JPS60110448A - 貼り合せ装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、液晶ガラス板の貼り合せ等において、２枚の
ガレス板を効率よく、しかも高精度に貼り合すことを目
的とした液晶ガラス板貼り合せ装置に関するものである
。

液晶セルを使用した製品は、光学機器、電子機器９時計
・・・・・・等の部品とし゛て、すでに確立されている
。しかし、その用途は、増々門大されている。

例えば、液晶テレビ、大型ドツトディスプレー、自動車
用表示系、温度計・・・・・・等などが次々に開発され
ているように液晶を使用した製品が極めて広い分野にわ
たって生産されている。この液晶セルを生産するために
は、以下の工程を完了しなければならない。すなわち、
［ガラス洗浄、パターン蒸着、レジスト印刷、露光、エ
ツチング、配向膜コート、ストリッピング、ラビング処
理、接着剤塗布・・・・・・等」の工程である。ところ
で上記の工程を終了した二枚のガラス板の合せマークを
位置決めして、貼り合せるという工程上、最も重要な処
理がある。この時の、貼り合せ精度が、または、作業者
の能率が全くでき上った液晶セルの信頼性及び生産性に
直接結び付くものであるため、いかに精度よく、しかも
効率よく貼り合せることができるかが、液晶製造する業
者の大きなポイントとなっている。

先づ最初に、従来の液晶貼り合せ装置を第１図について
説明する。

第１図において、１は下ガラス板吸着移動板でベース３
の上に載置されている。この下ガラス板吸着移動板１の
下面両側はベース３の上面に設けた支持ローラ７′、７
′により摺動自在になっており、そして、位置決めピン
７によってベース３上に位置決めされるようにしである
。ベース３の両側には、それぞれ二本の支柱ａ／　、　
ａ／が立設されており、これ等の二本の支柱３’、３’
の上端には、球受８，８が取付けてあり、該球受８，８
，８．８には、位置合せ基板９が載置保持されている。

この位置合せ基板９の下方には、上ガラス吸着移動板２
が四本の柱５゜５．５．５及び該柱５，５，５．５に嵌
着したバネ６．６，６．６により吊設されている。上下
のガラス板は、それぞれ、下ガラス板移動吸着板１及び
上ガラス吸着板２の面に、吸引接着されている。又、上
ガラス板吸着板２の上面には、テコ棒４が取付けてあっ
て、このテコ棒４の操作により、上ガラス板吸着板２を
下降させるようにしである。そして、位置合せ基板９は
、マニプレータ−又は手動により、貼り合せ位置に上ガ
ラスを吸着したま＼来るようになっている。更に位置合
せ板９の上方には、観察装置１０．１０が設けてあり、
この観察装置１０．１０はベース３に立設した腕により
取付けられている。

初期の設定位置で、ベース３の上に位置決めピン７によ
って保持された下ガラス板吸着移動板１に、下ガラス板
の貼り合せ面を上に向けて真空により吸着する。

次に、マニプレータ（図示せず）又は手動により、位置
合せ板９を下ガラス吸着移動板１の上面まで運び、ベー
ス３の上面左右に立設した支柱ぎ。

３′、３′、３′、３′の上端面にある球受８，８，８
．８の上に載置させる。そして、下ガラス吸着移動板１
が上ガラス吸着移動板２の真下に来るように、手動によ
って、移動させる。そして、それによって上ガラス板と
下ガラス板が略対向するようになる。そして上ガラス板
、吸着板２の中心部において、テコ棒４を押すことによ
り上ガラス板吸着移動板２を降下させて下ガラス板吸着
移動板１に吸着している下ガラス板と上板ガラスが接触
する。そして、下ガラス板吸着している下ガラス吸着移
動板１の吸着を解除し、次に上板ガラス吸着移動板２の
吸着を開始することによって、下ガラス吸着移動板１か
ら上ガラスを移し変えることによって第１回目の授受動
作を完了する。そして、第１回目の授受動作を完了させ
るに当っては位置決めピン７．７゜７で固定される。

前記した作動中には、上下のガラス板は対向した状態に
なっていて、上下のガラス板の位置合せマークを観察す
る観察装置１０が２台とも位置合せ基板９の上部に取り
付けである。上下合せマークのズレをこの観察装置１０
で目視し、位置合せ基板９に連結した２つのマニプレー
タで、位置合せ基板９を操作して、上下の合せマークの
ズレを修正する。そして、合せマークが一致した後、テ
コ棒４手動で上ガラス板を下ガラス板の上に押し付け、
上下ガラス板の貼り合せを行なっている。

以上、説明したように、従来例である第１図においては
、作業操作力上全て手動であるために、作業者が直接ガ
ラス板を取り扱うために、ガラス板にゴミや指又等のヨ
ゴレ或いはキズ等が付き易い状況である。又、作業者に
よる各人の能力が異りているために、合せ精度とか、貼
り合せ時のプレス圧力などが、まちまちで、作業効率に
おいて、バラツキが生じて生産性が低下するという欠点
を生ずる。

又、位置合せ時における操作において、２つのマニプレ
ータを操作しながら位置決めをするため、非常に手間を
要するなど、多くの問題をかかえている。

最近の液晶セルの動向から考察すると、大型デ゛　イス
プレー、ドツトマトリックス化、テレビ、自動車用ディ
スプレー等が活発に開発されて生産されている。

これ等の動向を見ると、一致して大型化、或いはパター
ンの微細化が目立って開発されている。

そこで、これ等の技術に対応するには、少くとも前記の
従来例において示された諸問題点を解決し、さらに高性
能の貼り合せ精度が必要となってきた。

本発明の目的としては、これ等の諸問題点を含め、新技
術製品に対応すべく、高精度な位置合せによる貼り合せ
と、大型液晶セルに対処できる貼り合せを考慮して作業
者を介在しない自動化による生産性のよい高能率を主眼
においた貼り合せを提供する装置である。

本発明における構成および作用を第２図について説明す
る。第２図において、上ガラス板搬送台１１と上ガラス
板チャック板１３とは、一体側性箱１４に設置されてい
る。一体側性箱１４の右側（第２図において）にはゼネ
バ機構１６があり、このゼネバ機構１６には、上ガラス
板搬送台１１が水平位置に反時計方向に又は時計方向に
９０°回動するようにしである。そして上ガラス板搬送
台１１の上面には吸着溝を具備したＸＹ方向（図面に直
角な面における前後左右方向）に吸着板１５．１５が取
付けてあり、更にガラス板等の位置決め用ピン或はツキ
アテが上ガラス板搬送台１１の上面に組み込んである。

又、上ガラス板搬送台１１の下面には水平弁え板１８が
あり、左側には上フック１７がある。又上ガラス板チャ
ック板１３は一体剛性箱１４に組み込まれて支持されて
いる四本の柱１９，１９，１９．１９で吊設保持されて
いる。又、上ガラス板３と四本の柱１９，１９，１９．
１９とは吸着穴付球受で吸着固定されていて、その四本
の柱１９，１９，１９．１９をＺ方向（図面における上
下方向）にのみ移動するポールブツシュ１９’、　１９
’、　１９’、　１９’等でガイドしている。更に、上
ガラス板チャック板１３の上面中心には、押棒２０がバ
ネ１２′を介して立設されていて、一体側性箱１４に２
方向に移動可能に組込まれている。押し棒２０は上ガラ
ス板チャック板１３と連動しており、上ガラス板チャッ
ク板１３を上下する為に一体剛性箱１４に設置しである
。押し棒２０の上端には、テコ棒２１が設けてあり、こ
のテコ棒２１は駆動源であるモーター１４′及び押しネ
ジ等で作動するようにしである。前記した四本の支柱１
９，１９，１９，１９、バネ２５’、　２５’、　２５
’、　２５’により一体剛性箱１４の上面に弾着されて
いる。更に、前記した押棒２０はバネ１２′を介して上
ガラス板チャック板１３に保持されている。

又、下ガラス板搬送台２６には、数個の穴及び切欠部が
設けてあり、これ等の穴及び切欠部には、授受ピン３４
，３４．３４が設けてあり、下ガラス板搬送台２６の上
面には、吸着板２１′及びピン２σが取付けてあり、下
ガラス板チャック板２９は該吸着板２１′及びピン２σ
を介して下ガラス板搬送台２６の上に載置されている。

３７は、下ガラス板チャック板２９に取付けたギャップ
センサである。このギャップセンサは、上ガラス板チャ
ック板１３と下ガラス板チャック板２９の設定基準位置
での平行出しのために使用するものである。下ガラス板
搬送台２６の右側には、フック１８′が設けてあり前記
した下ガラス板搬送台２６の数個の穴及び切欠部内を、
後述する三点支持授受軸３５，３５．３５が上下方向に
摺動するようにしである。

そして、基板３３の上には四本の２方向支持軸２３．２
３，２３．２３が立設してあり、該四本の２方向支持軸
２３，２３，２３．２３には基板３３の上に載置された
ＸＹ方向ステージ２４が嵌入支持されている。また基板
３３には、２方向支持軸２３，２３，２３．２３に対向
して下搬送軸２２が嵌装し立設しである。Ｚ方向ステー
ジ２５は、該２方向支持軸２３，２３，２３．２３と下
搬送軸２２に嵌装されている。下搬送軸２２の下端には
ゼネバ機構１６′が設けてあり、下搬送軸２２の上端に
は、下ガラス板搬送台２６が支持されている。

２方向ステージ２５に凹陥部が形成されていて、この凹
陥部には回転方向の角度θを変えるθステージ２７が嵌
合されている。又、θステージ２７には、三点支持授受
軸３５，３５．３５が組込んであり、この三点支持授受
軸３５，３５．３５には、その上端にセンサー３６，３
６．３６が取付けである。この取付位置は下ガラス板チ
ャック板２９の最外周の等分位置に対応している。

下ガラス板搬送台２６の上にある下ガラス板チャック板
２９の裏面には前記したように授受ピン３４゜３４．３
４が取付けてあり、そして、授受ピン３４，３４゜３４
の下面と三点支持受軸３５，３５．３５とが対面してい
る。前述した下搬送軸２２と四本の支持軸２３゜２３　
、２３　、２３の下端は結合板２８で固定しである。結
合板２８にはエアシリンダー２８′が設けてあり、エア
シリンダー２８′はプッシャーを介して、２方向ステー
ジ２５及びθステージ２７を上昇固定させるようにしで
ある。又、結合板２８は、連結板３９で結合してあり、
手動用マニプレータ及び自動用に切替えるためのエアー
クラッチ板３０と連結している。

そして、四本の支持軸２３，２３，２３．２３及び下搬
送軸２２は基台３３を貫通している。又、ＸＹ方向ステ
ージ２４を固定するためのエヤーパット３１，３１，３
１゜３１は、四本の支持軸２３，２３，２３．２３に取
付けている板バネ３２，３２，３２．３２によって保持
されていて、エヤーバット３１．３１．３１．３１は基
台３３に接触している。エヤーパラ）　３１，３１，３
１．３１は空気の吸着及び排出が可能になっている。下
ガラス板チャック板２Ｂ又は、上ガラス板チャック板１
３には少くとも３個以上の平行出しギャップセンサー３
７．３７・・・・・・が取付けてあり、又２台以上の観
察装置３８が一体剛性箱４に取付けてあり、上下ガラス
のマーク位置を観察し、さらにギャップ量を測定し、観
察装置３８で計測したマーク位置のズレ量およびギャッ
プ量は、映像信号としてＴＶに取出し、ＴＶの走査線を
利用してマークのズレ量を検知し、ＣＰｖにて演算処理
し、各駆動系をコントロールして自動位置決めをするこ
とができ・る。又、ギャップ量においては、周知の技術
である白色照明とウォラストンプリズムを利用し白色干
渉縞を使用することで上下のガラス間の光路差を有した
反射光を取り出し、干渉縞を形整させその干渉縞のピッ
チを電気的に変換して得られた信号、すなわち軸３５，
３５゜３５を指示して単独に駆動させることにより平行
ギャップを提供することができるようになっている。

次に、作用を説明するに、初期の上下ガラス板授受位置
では、上ガラス板搬送台１１と下ガラス板搬送台２６と
が、ガラス板を自動的に載置されるのを待っている。上
ガラス板搬送台１１及び下ガラス板搬送台２６にそれぞ
れ板ガラスが載せられると、セネパ機構１６及び１６′
により、水平位置に保持されて、上ガラス板搬送台１１
及び下ガラス板搬送台２６はそれぞれ時計方向及反時計
方向に９０’回転し、はぼ同時に第２図の位装置に来る
。この位置に来ると、センサー等で検知し、その信号で
、上ガラス板搬送台１１は、上フック１７と水平おさえ
板１８′の作動により、所定の位置に固定される。そし
て、上板ガラスは、上板ガラス搬送台上にあるｘＹ方向
ガラス吸着板１５により位置決めされる。そして、モー
ター１４′及び押しネジを作動させて、テコ棒２１を作
動させると、押し棒２０がテコ棒２１により押されて下
降しバネ１２′を押し付け、更に上ガラス板チャック板
１３を下降させる。これにより、上ガラス板搬送台１１
上の上ガラス板に上ガラス板チャック板１３を接触させ
、次にエヤー圧力センサー等で、上ガラス板チャック板
１３の吸着を検知し、上ガラス板搬送台１１の吸着を解
除し、吸着穴付球受にエヤー吸着が開始され、上ガラス
板チャック板１３の下面に上ガラス板を吸着させる。そ
して、モーター１４′及び押しネジの作動により、上ガ
ラス板チャック板１３を一体剛性箱１４のつき当て面に
引き上′げる。更に前記したように、下ガラス板搬送台
２６も上ガラス板搬送台１１とほぼ同時に９０゜反時計
方向に回転して第２図の位置に来る。そして、センサー
等により位置を検知されて、フック１８′で固定される
。下ガラス板チャック板２９はピン２０′と３ケの吸着
板２１’、２１’、２１’により、下ガラス板搬送台２
６上に固定されて位置決めされている。

次に、マニプレータ−により、連結板３９及び結合板２
８を介して４本の支持軸２３，２３，２３．２３によっ
て一体に支持されたＸＹ方向ステージ２４を移動させ、
ＸＹ方向ステージ２４を基台３３に固定させるために、
板バネ３２及びエアーバットにエアーを吸着させるよう
にする。次に上ガラス板搬送台１１をゼネバ機構１６の
作動により、水平方向に９０°反時計方向に回動させて
、元のガラス板の受け渡しの位置に移動させる。次に、
三点支持授受軸３５，３５．３５を２駆動部により上昇
させると前記したセンサー３６の作動により下ガラス板
チャック板２９と下ガラス搬送台２６との吸着結合を解
除し続いて下ガラス板チャック板２９と三点支持授受軸
３５，３５．３５を吸着結合することによって、下ガラ
ス板チャック板２９の授受ピン３４，３４．３４が三点
支持授受軸３５゜３５．３５に挿入され一体となる。次
に、結合板２８に取付けであるエアーシリンダー２８′
によって２方向ステージ２５を上昇するとθステージ２
７と共に三点支持授受軸に支持された下ガラス板チャッ
ク板２８が位置合せする位置まで上昇する。この時にお
いて、上ガラス板チャック板１３に保持された上ガラス
板と下ガラス板チャック板２９に保持された下ガラス板
とは接着面に向き合った状態となる。

下ガラス板チャック板２９には、少くとも３ヶ以上の平
行出しギャップセンサー３７．３７．３７・・・が取付
けである。（上ガラス板チャック板１３に上記のギャッ
プセンサーを取付けてもよい）、そしてこれ等のギャッ
プセンサー３７．３７．３７によって、上下２枚の板ガ
ラスの平行度を感知させる。更に、一体制性箱１４に取
付けた少くとも３つ以上の観察装置３８．３８・・・・
・・によって上下のガラス板のマーク位置を観察し、更
にギャップの量を測定する。観察装置３８．３８．・・
・・・・で計測したマークのズレ量及びギャップ量は映
像信号としてＴＶに取出し、ＴＶの走査線を利用して、
マークのズレ量を検出し、ｃＰｖで演算処理し、各駆動
系を制御して自動位置することができる。

次に、前記した三点支持授受軸３５，３５．３５を同時
に作動させて、平行ギャップ及び位置を保持させて、下
ガラス板チャック板２９を上昇させ、上ガラス板チャッ
ク板１３と下ガラス板チャック板２９とを圧接させてプ
レスする。任意の時間セットされてから、上ガラス板チ
ャック板と上ガラス板との吸着を解除し、上ガラス板と
下ガラス板とが接着したま＼下ガラス板チャック板２９
上に保持され、更に下ガラス板搬送台２６と下ガラス板
チャック板２９を吸着させ、下ガラス板搬送台２６をゼ
ネバ機構１６′により、水平方向に９０°時計方向に取
出し位置へ回動させる。そして、貼り合せた二枚の板ガ
ラスを取り出す。さて、貼り合すべき二枚のガラス板の
貼り合すべき面が傾斜している場合には、平行出しギャ
ップセンサー３７．３７．３７　ニよす、キャップ量を
出し、二枚のガラス板の貼り合せ面のギャップを調整し
なければならない。そのためには、下ガラス板チャック
板１ａを上昇させるべき三点支持授受軸３５，３５．３
５が同時だけですく、個々単独に上昇しなければならな
い。そのための装置が第３図に示しである。

第３図は、プレス駆動部及びギャップ駆動部の要部であ
る。第３図においては３個の吸着バット付き支持軸１ａ
、ｌａ、ｌａは第２図の三点支持授受軸３５．３５．３
５であり、１２ａはθステージであって、第２図のθス
テージ２７である。３個の吸着バット付き支持軸１ａ、
ｌａ、ｌａの各々はθステージ１２ａをボールブツシュ
３ａを介して貫通している。又吸着バット付き支持軸１
ａ、ｌａ、ｌａの各々はθステージ１２ａに対してポー
ルブツシュ２ａを組込んでいる。

吸着バット付き支持軸１ａ、ｌａ、ｌａの各々には、そ
の下方に同時ギヤー６ａが設けてあり、この同時ギヤー
６ａを′吸着するためのエヤーバット板４ａが板バネ５
ａに支持されている。この板バネ５ａは同時ギヤー６ａ
の上面に接触している。又、同時ギヤー６ａの中心部に
は、ネジ穴が有り、単独ギヤー付ネジ棒８ａが精度よく
中心部にネジ挿入されており、さらに、支持軸１ａと同
時ギヤー６ａとはベアリング１３ａ、１４ａと、該ベア
リング１３ａ、１４ａを押えている押リング１５ａによ
って連結している。又、単独ギヤー付ネジ棒８ａの軸は
、ベアリング１６ａで支持サレ、θステージ１２ａの底
面に固定しである。単独ギヤー付ネジ棒８ａを駆動する
モーター１０ａはギヤー９ａを介して、ギヤー９ａに噛
合している大歯車９ａ’により、単独ギヤー付ネジ棒８
ａに伝動している。

一方、各同時ギヤー６ａは、前記した吸着バット付き支
持軸１ａ、ｌａ、ｌａに具備してあり、この三つの同時
ギヤー６ａ、６ａ、６ａを同時に駆動できるように、同
時ギヤー６ａ　、　６ａ　、　６ａに連動ギヤー１１ａ
を噛合させて設置してあり、同時ギヤー６ａ、６ａ、６
ａはそれぞれθステージ１２ａに支持されている。又、
連動ギヤーｌｌａには、θステージ１２ａによって支持
されたフリクション機構１７ａが噛合しており、このフ
リクション機構１７ａはモーターで駆動されるようにな
っている。そして、次にギャップ駆動及びプレス駆動の
動作を説明する。先づギャップ駆動の場合には、三つの
吸着バット付支持軸１ａ、ｌａ、ｌａの各々を個々単独
にモーター１０ａ　（）＜ルスモーター）を駆動させて
、所要のギャップ量の移動を行うためのパルスにて、前
記したギヤー９ａ、大歯車９ａ’を介して単独ギヤー付
ネジ棒８ａに伝達する。この時に、吸着バット付支持軸
１ａに設けであるエアーバット４ａとバネ５ａとで吸着
バット付支持軸１ａと同時ギヤー６ａとを吸着固定する
。この時他の支持軸との間では吸着しない。それ故に、
同時ギヤー６ａと吸着バット付支持軸１ａは回転を拘束
された状態になっており、そのために羊独ギヤー付ネジ
棒８ａの回転により、同時ギヤー６ａを含む吸着バット
付支持軸１ａは垂直方向に移動することができる。それ
故に、モーター１０ａを、３個、個々に発信するパルス
により、別々に駆動させて、所望のギャップに調整でき
る。次に、三つの吸着バット付支持軸１ａ、ｌａ、ｌａ
を用いてプレス駆動させるには単独ギヤー付ネジ棒８ａ
を固定するために、モータ１０ａの自己トルクを利用し
て、単独ギヤー付ネジ棒８ａを固定しておき、次に、エ
ヤーバット板４ａの吸着を解除することで、支持軸１ａ
−と同時ギヤー６ａとの連結を切り離すと、同時ギヤー
６ａは回転可能になっている。連動ギヤー１１ａに噛合
っているフリクション機構１７ａをモーターで駆動する
と、連動ギヤー１１ａに噛合っている同時ギヤー６ａが
回転し、その回転で支持軸１ａを垂直方向に移動させる
。垂直方向に移動された支持軸１ａはプレス物体に接触
し押しつける。この押し付は圧力はモーターの出力とフ
リクション機構１７ａに具備されているスベリ摩擦力に
よって規制されている。任意のスベリ摩擦力を設定する
ことにより、フリクション機構１７ａでスベリによるカ
ラ廻りを起させて、一定のプレスを提供する。第４図は
、本発明の実施例の全体図であり、１ｂは第１の回転移
動体、２ｂは第２の回転移動体、３ｂは下チャック板、
４ｂはｘｙ移動体５ｂは２移動体、６ｂはθ移動体、７
ｂは上チャック板、８ｂは観察系である。

この観察系８ｂには、ＴＶ、検出処理器、演算処理器及
びＸＹ、θ、２方向の駆動制御器が連結されている。そ
してｘ、ｙ、ｚ方向の駆動制御器はベース３ａ’に連結
しである。第１回転移動体１ｂは、上ガラス板搬送台で
あり、右側にあるコンベアから、上ガラス板を受取って
水平方向において時計方向に９０°、反時計方向に９０
°回動するようにしである。

上チャック板７ｂは、上ガラス板チャック板である。

第２の回転移動体は下ガラス板搬送台であり、左側のコ
ンベアから、下ガラス板を受取って、水平位置において
、９０°反時計方向に、又、時計方向に９０°回動する
ようにしである。下チャック板３ｂは、下ガラス板チャ
ック板であり、下ガラス板チャック板は下ガラス板搬送
台の上に載置しである。ベース３ａの上にはＸＹ方向移
動体４ｂが載せてあり、ＸＹ移動体４ｂの上には２方向
移動体５ｂが載せてあり、Ｚ方向移動体５ｂの上にはθ
移動体６ｂが載せである。

１、以上説明したように本発明によれば、第一の物体と
第二の物体をほぼ同時に搬送する搬送台が、−回毎、確
実に位置決めできる様に、水平回転で移動し、移動から
固定までのイナシャーによる衡機を緩和させるため、ゼ
ネバ機構を取り入れ、設定位置固定の時に生じるイナー
シャ−を最小限にしている。又、設定位置精度を確保す
るための、引込みフックを使用し、繰返しにおける設定
精度のバラツキを最小限におさえ、初期設定位（プリア
ライメント）での繰り返り精度を高めることができる。

２、第一の物体を授受吸着する手段として、位置ズレの
ない授受方法を提供するために、上ガラスチャック板と
上ガラス搬送台とが一体の箱に取り付いであるため、上
ガラス板と上ガラス搬送台との平行度がとり易いことと
、かりに平行度がガラス厚等のバラツキによってとれて
いない状態においても、上ガラスチャック板と四本の支
持軸との結合部分を球形嵌合部を介して、エヤの吸着或
いは、エヤーの排出ができるようになっているため、ガ
ラスの面に対し、一様に密着できるので、授受時におけ
る位置ズレな生じないで、確実に授受動作を繰り返すこ
とができる。

又、本発明によれば、下ガラス搬送台に取り付けた下ガ
ラスチャック板をプレス位置で、下ガラス搬送台とは別
に単独に動作することができるために、上ガラス面に対
する平行ギャップを作り出す場合において他の機構等に
拘束されず確実な動作で平行ギャップを提供できる。

又、オートローディング等との組み合せによって、全自
動化による貼り合せが可能になり、キズ、ヨゴレ等の諸
問題を解決し、さらに高精度な位置合せにおける貼り合
せが自動的に提供できるという可能性があり、今後の液
晶セルの目標になる合せ精度、或いは生産性の効率化、
さらには大型セルの貼り合せを十分満足させるというよ
うな効果を持っている。

【図面の簡単な説明】

第１図は、従来例における液晶貼り合せ装置を示し、第
２図は本発明の実施例を示し、第３図は本発明の実施例
におけるギャップ駆動部及びプレス駆動部を示し、第４
図は全体の構成図を示す。 １・・・下ガラス板吸着移動板 ２・・・上ガラス板吸着移動板 ３・・・ベース　３′・・・支柱 ４・・・テコ棒　５・・・柱 ６・・・バネ　７・・・位置決めピン ７′・・・支持ローラ　８・・・球受 ９・・・位置合せ基板　１０・・・観察装置１１・・・
上ガラス板搬送台１３・・・上ガラス板チャック板１４
・・・一体剛性箱　１５・・・吸着板１６．１６’・・
・セネパ機構　１７・・・上フック１８・・・水平押え
板　１９・・・柱 １９′・・・ポールブツシュ　２０・・・押棒２１・・
・テコ棒　２２・・・バネ ２０′・・・ピン　２１′・・・吸着板２２・・・下搬
送軸　２３・・・２方向支持軸２４・・・ｘｙ方向ステ
ージ　２５・・・２方向支持軸２６・・・下ガラス搬送
台　２７・・・θステージ２８・・・結合板　２８′・
・・エアシリンダー２９・・・下ガラス板チャック板 ３０・・・エアークラッチ板　３１・・・エアーパット
３２・・・板バネ　３３・・・基台 ３４・・・授受ピン　３５・・・三点支持授受軸３７・
・・ギャップセンサー３８・・・観察装置３９・・・連
結板　１ａ・・・吸着バット付き支持軸２ａ、３ａ・・
・ポールブツシュ４ａ・・・エアーバット板５ａ・・・
板バネ　６ａ・・・同時ギヤー８ａ・・・単独ギヤー付
ネジ棒　１０ａ・・・モーター１１ａ・・・連動ギヤー
　１２ａ・・・θステージ１３ａ、１４ａ・・・ベアリ
ング　１５ａ・・・押しリング１７ａ・・・フリクショ
ン機構８ａ・・・ギヤー９ａ’・・・大歯車　１ｂ・・
・第１の回転移動体２ｂ・・・第２の回転移動体３ｂ・
・・下チャック板４ｂ・・・ＸＹ移動体　５ｂ・・・Ｚ
移動体６ｂ・・・θ移動体　７ｂ・・・上チャック板８
ｂ・・・観察系　３ａ・・・ベース 特許出願人　キャノン株式会社 手続補正書（自発） 昭和５９年１１月１６日 特許庁長官　殿 １、事件の表示　昭和５８年特許願　第２１８７４５号
２、発明の名称 貼り合せ装置 ３、補正をする者 事件との関係　出願人 キャノン株式会社 ４、代理人 住所　東京都港区赤坂１丁目９番２０号５、補正により
増加する発明の数　１ ６、補正の対称　明細書及び図面 ７、補正の内容 （１）　明細書を全文別紙のとおりに補正する。 （２）図面第３図、第４図を別紙のとおりに補正する。 訂　正　明　細　書 １、発明の名称 貼り合せ装置 ２、特許請求の範囲 １、第１の板状体をプレス位置へ移送する第１の移送テ
ーブルと、第２の板状体をプレス位置へ第１の移送テー
ブルと略同時に移送する第２の移送テーブルと、 第１．第２の板状体を位置合せする手段と、第１．第２
の板状体の平行出しを行なう手段と、 第１．第２の板状体を所定圧力でプレスする手段を有す
ることを特徴とする貼り合せ装置。 ２、第１．第２の移送テーブルはプレス位置へ回転移動
する特許請求の範囲第１項記載の貼り合せ装置。 ３、　第１．第２の移送テーブルはゼネバ機構Ｋ　ヨり
回転移動する特許請求の範囲第２項記載の貼り合せ装置
。 ４、第１．第２の移送デープルは互いに逆方向に　１　
一 回転する特許請求の範囲第１項記載の貼り合せ装置。 ５、前記平行出しを行なう手段は、少な（とも３箇の独
立に駆動する昇降手段であり、該昇降手段はプレス時に
は一体的に駆動する特許請求の範囲第１項記載の貼り合
せ装置。 ６、第１の板状体を保持する第１のチャックと、第１の
チャックをプレス位置へ移送する第１の移送テーブルと
、 第１の板状体の上面の傾きに応じて第１のチャックを傾
ける手段と、 第２の板状体をプレス位置へ移送する第２の移送テーブ
ルと、 第２の板状体の上面を吸着する第２のチャックと、 第２の板状体の上面の傾きに応じて第２のチャックを傾
ける手段と、 第１．第２の板状体を位置合わせする手段と、第１．第
２の板状体を所定圧力でプレスする手段を有することを
特徴とする貼り合せ装置。 　２− ３、発明の詳細な説明 本発明は、２枚の板状体（例えば液晶用ガラス板）を効
率良（、しかも高精度に貼り合すプレス装置に関する。 液晶セルを使用した製品は、光学機器、電子機器１時計
・・・・・・等の部品として、すでに確立されている。 しかし、その用途は、増々拡大されている。 例えば、液晶テレビ、大型ドツトディスプレー、自動車
用表示系、温度計・・・・・・等などが次々に開発され
ているように液晶を使用した製品が極めて広い分野にわ
たって生産されている。この液晶セルを生産するために
は、以下の工程を完了しなければならない。すなわち、
［ガラス洗浄、パターン蒸着、レジスト印刷、露光、エ
ラ（チング、配向膜コート、ストリッピング、ラビング
処理、接着剤塗布・・・・・・等」の工程である。とこ
ろで上記の工程を終了した二枚のガラス板の合せマーク
を位置決めして、貼り合せるという工程上、最も重要な
処理がある。この時の、貼り合せ精度が、または、作業
者の能率が全くでき上った液晶セルの信頼性及び生産性
に直接結び付（ものであるため、いかに精度よく、しか
も効率よく貼り合せることができるかが、液晶製造する
業者の大きなポイントとなっている。 ここで、従来の液晶貼り合せ装置を第１図について説明
する。 まず、初期設定位置でガラス吸着移動板１に上ガラス板
を貼り合わせ面が下となるように吸着する。又、ガラス
吸着移動板１に上ガラス板と所定距離、離して、下ガラ
ス板を貼り合せ面が上となるように吸着する。 そして、ガラス吸着移動板１上の上ガラス板が上ガラス
吸着板２の真下に（るように手動にてガラス吸着移動板
を直線移動する。次に基台３で支持された球受８の上に
載置された位置介せ基板９から４木柱５とバネ６でつり
上げられている上ガラス吸着板２の中心部をテコ棒４で
押しつけるとガラス吸着移動板１に吸着している上ガラ
ス板に上ガラス吸着板２が接触する。 そして上ガラス吸着板２が吸着を開始する一方、ガラス
吸着移動板１の吸着を解除することにより上ガラスをガ
ラス吸着移動板１から上ガラス吸着板２へ移す。 続いて、ガラス吸着移動板１に吸着している下ガラス板
が上ガラス吸着板２の真下位置にくるようにガラス吸着
移動板１を直線移動し、位置決めピン７にて固定する。 ここで、上下のガラス板は対向した状態になるが上下の
ガラス板に設けられた位置合せマークを２台の観察装置
ｌＯで観察する。すなわち、上下の位置合せマークのず
れを観察装置１０で目視し位置合せ基板９に連結した２
つのマニプレータで位置合せ基板９を操作して上下の位
置合せマークのずれを修正する。 そして、位置合せマークが合致した後、テコ棒４を再び
手動で押し付けて上下ガラス板の貼り合せを行なう。 しかしながら斯かる従来例においては上下のガラス板を
プレス位置にセットするまでに時間を要する等効率が悪
いという欠点がある。しかも作業　５− 操作が全て手動であるだめ作業者が直接、ガラス板を取
り扱うためにガラス板にゴミや指紋等の汚れ又は傷等が
付きやすいという欠点がある。又、作業者による能力に
よって位置合せ精度とか、貼り合せ時のプレス圧力等が
安定せず、作業効率が著しくばらつ（等、生産性の点で
欠点がある。 本発明の目的は、液晶ガラス板等の貼り合せにおいて、
効率良（、しかも高精度に貼り合すことができる装置を
提供することにある。更に本発明の目的は液晶ガラス板
等がテーパをもっていても高精度に貼、り合わすことが
できる装置を提供することにある。以下、本発明の実施
例を示す。 第２図において、上ガラス板搬送台１１と上ガラス板用
チャック１３とは、一体剛性箱１４に設置されている。 一体剛性箱１４の右側にはゼネバ機構１６があり、との
ゼネバ機構１６によって、上ガラス板搬送台１１が水平
位置に反時計方向に又は時計方向に９０°回動するよう
にしである。そして上ガラス板搬送台１１の上面には吸
着溝を具備し、ＸＹ方向に設けられる吸着板１５が取付
け　６− てあり、更にガラス板等の位置決め用ピンが上ガラス板
搬送台１１の上面に組み込んである。又、上ガラス板搬
送台１１の下面にはたわみ防止用の水平弁え板１８があ
り、左側には位置固定用の上フック１７がある。父上ガ
ラス板用チャック１３は一体剛性箱１４に組み込まれて
支持されている四本の柱１９で吊設保持されている。又
、上ガラス板用チャック１３と四本の柱１９とは吸着穴
付球受１９’で吸着固定されていて、その四本の柱１９
をＺ方向（図面における上下方向）にのみ移動するボー
ルブツシュでガイドしている。更に、上ガラス板用チャ
ック１３の上面中心には、押棒２０がバネ１２’を介し
て立設されていて、一体剛性箱１４にＺ方向に移動可能
に組込まれている。押し棒２０は上ガラス板用チャック
１３と連動しており、上ガラス板用チャック１３を上下
する為に一体剛性箱１４に設置しである。押し棒２０の
上端には、テコ棒２１が設けてあり、このテコ棒２１は
駆動源であるモーター１４′及び押しネジ等で作動する
ようにしである。押棒２０はバネ１２’を介して上ガラ
ス板用チャック１３に保持されている。 又、下ガラス板搬送台２６には、数個の切欠部が設けて
あり、これ等の切欠部には、授受ピン３４が設けてあり
、下ガラス板搬送台２６の上面には、吸着板２１′及び
ピン２σが取付けてあり、下ガラス板用チャック２９は
該吸着板２１′及びビン２０′を介して下ガラス板搬送
台２６の上に載置されている。３７は、下ガラス板用チ
ャック２９に取付けたギャップセンサである。このギャ
ップセンサ３７は、上ガラス板用チャック１３と下ガラ
ス板用チャック２９の設定基準位置での平行出しのため
に使用するものである。なお、下ガラス板搬送台２６の
右側には、位置固定用のフック１８’が設けである。又
前記下ガラス板搬送台２６の数個の切欠部内を、後述す
る三点支持授受軸３５が上下方向に摺動するようにしで
ある。 そして、基板３３の上には四本のＺ方向支持軸２３が立
設してあり、該四本のＺ方向支持軸２３には基板３３の
上に載置されたＸＹ方向ステージ２４が嵌入支持されて
いる。また基板３３には、Ｚ方向支持軸２３に対向して
下搬送軸２２が嵌装し立設しである。Ｚ方向ステージ２
５は、該Ｚ方向支持軸２３と下搬送軸２２に嵌装されて
いる。 下搬送軸２２の下端にはゼネバ機構１６′が設けてあり
、下搬送軸２２の上端には、下ガラス板搬送台２６が支
持されている。Ｚ方向ステージ２５に凹部が形成されて
いて、この凹部には回転方向の角度θを変えるθステー
ジ２７が嵌合されている。 又、θステージ２７には、三点支持授受軸３５が組み込
んであり、この三点支持授受軸３５には、その上端にセ
ンサー３６が取付けである。この取付位置は下ガラス板
用チャック２９の最外周の等分位置に対応している。 下ガラス板搬送台２６の上にある下ガラス板用チャック
２９の裏面には前記したように授受ピン３４が取付けて
あり、そして、授受ピン３４の下面と三点支持受軸３５
とが対面している。前述した下搬送軸２２と四本の支持
軸２３の下端は結合板２８で固定しである。結合板２８
にはエアシリンダー２８′が設けてあり、エアシリンダ
ー２８′は　９− プッシャーを介して、Ｚ方向ステージ２５及びθステー
ジ２７を上昇固定させるようにしである。 又、結合板２８は、連結板３９で結合してあり、手動用
マニプレータ及び自動用に切替えるためのエアークラッ
チ板３０と連結している。そして、四本の支持軸２３及
び下搬送軸２２は基台３３を貫通している。又、ＸＹ方
向ステージ２４を固定するだめのエヤーパット３１は、
四本の支持軸２３に取付けている板バネ３２によって保
持されていて、エヤーパット３１は基台３３に接触して
いる。 エヤーパット３１は空気の吸着及び排出が可能になって
いる。下ガラス板用チャック２９又は、上ガラス板用チ
ャック１３には少くとも３個以上の平行出しギャップセ
ンサー３７が取付けてあり、又２台以上の観察装置３８
が一体剛性箱１４に取付けてあり、上下ガラスのマーク
位置を観察し、さらにギャップ量を測定する。観察装置
３８で計測したマーク位置のズレ量およびギャップ量は
、映像信号としてＴＶに取出し、ＴＶの走査線を利用し
くてマークのズレ量を検知し、ｃｐｖにて演算１０− 処理し、各駆動系をコントロールして自動位置決めをす
ることができる。又、ギャップ量においては、周知の技
術である白色照明とウォラストンプリズムを利用し白色
干渉縞を使用することで上下のガラス間の光路差を有し
た反射光を取り出し、干渉縞を形整させその干渉縞のピ
ッチを電気的に変換して得られた信号により各軸３５を
個別に駆動させることにより平行ギャップを設定するこ
とができるようになっている。 次に、作用を説明するに、初期の上下ガラス板授受位置
では、上ガラス板搬送台１１と下ガラス板搬送台２６と
が、ガラス板が自動的に載置されるのを待っている。上
ガラス板搬送台１１及び下ガラス板搬送台２６にそれぞ
れ板ガラスが載せられると、ゼネバ機構１６及び１６′
により、水平位置に保持されて、上ガラス板搬送台１１
及び下ガラス板搬送台２６はそれぞれ時計方向及反時計
方向に９０°回転し、はぼ同時に第２図の位置に来る。 この位置に来ると、センサー等で検知し、その信号で、
上ガラス板搬送台１１は、上フック１７と水平おさえ板
１８′の作動により、所定の位置に固定される。そして
、上板ガラスは、上板ガラス搬送台上にあるＸＹ方向ガ
ラス吸着板１５により位置決めされる。そして、モータ
ー１４′及び押しネジを作動させて、テコ棒２１を作動
させると、押し棒２０が下降しバネ１２を押し付け、更
に上ガラス板用チャック１３を下降させる。これにより
、上ガラ１搬送台１１上の上ガラス板に上ガラス板チャ
ック板１３を接触させる。次にエヤー圧力センサー等で
、上ガラス板用チャック１３の吸着を検知し、上ガラス
板搬送台１１の吸着を解除し、吸着穴付球受にエヤー吸
着が開始され、上ガラス板用チャック１３の下面に上ガ
ラス板を吸着させる。そして、モーター１４’及び押し
ネジの作動により、上ガラス板用チャック１３を一体剛
性箱１４のつき当て面に引き上げる。ここで前記したよ
うに、下ガラス板搬送台２６も上ガラス板搬送台１１と
ほぼ同時に９０°反時計方向に回転して第２図の位置に
来る。そして、センサー等により位置を検知されて、フ
ック１８′で固定される。下ガラス板用チャック２９は
ピン２０′と３ケの吸着板２１’により、下ガラス板搬
送台２６上に固定されて位置決めされている。次に、マ
ニプレータ−により、連結板３９及び結合板２８を介し
て４本の支持軸２３によって一体に支持されたＸＹ方向
ステージ２４を移動させ、基台３３に固定させるために
、板バネ３２及びエアーバットにエアーを吸着させるよ
うにする。次に上ガラス板搬送台１１をゼネバ機構１６
の作動により、水平方向に９０°反時計方向に回動させ
て、元のガラス板の受け渡しの位置に移動させる。次に
、三点支持授受軸３５をＺ駆動部により上昇させると前
記したセンサー３６の作動により下ガラス板用チャック
２９と下ガラス搬送台２６との吸着結合を解除し続いて
下ガラス板用チャック２９と三点支持授受軸３５を吸着
結合することによって、下ガラス板チャック板２９の授
受ピン３４が三点支持授受軸３５に挿入され一体となる
。次に、結合板２８に取付けであるエアーシリンダー２
８′によってＺ方向ステージ２５を上昇するとθステー
ジ２７と共に三点支持授受１３− 軸３５に支持された下ガラス板用チャック板２９が位置
合せする位置まで上昇する。この時において、上ガラス
板用チャック１３に保持された上ガラス板と下ガラス板
用チャック２９に保持された下ガラス板とは接着面に向
き合った状態となる。 下ガラス板用チャック２９には、少くとも３ケ以上の平
行出しギャップセンサー３７が取付けてあり、（上ガラ
ス板用チャック１３に上記のギャップセンサーを取付け
てもよい）、これ等のギャップセンサー３７によって、
上下２枚の板ガラスの平行度を感知させる。更に、一体
剛性箱１４に取付けた観察装置３８によって上下のガラ
ス板のマーク位置を観察し、更にギャップの量を測定す
る。 観察装置３８で計測したマークのズレ量及びギャップ量
は映像信号としてＴＶに取出され、ＴＶの走査線を利用
して、マークのズレ量を検出し、ＣＰＶで演算処理しＸ
Ｙ方向ステージ２４．θステージ２７及び３つの独立し
た軸３５を制御して自動位置合わせすることができる。 次に、前記三点支持授受軸３５を同時に作動さ１４− せて、平行ギャップ及び位置を保持させて、下ガラス板
用チャック２９を上昇させ、上ガラス板と下ガラス板と
を圧接させてプレスする。任意の時間セットされてから
、上ガラス板用チャック１３と上ガラス板との吸着を解
除し、上ガラス板と下ガラス板とが接着したまに下ガラ
ス板用チャック２９上に保持される。更に下ガラス板搬
送台２６と下ガラス板用チャツレ２９を吸着させ、下ガ
ラス板搬送台２６をゼネバ機構１６′により、水平方向
に９０°時計方向に取出し位置へ回動させる。そして、
貼り合せた二枚の板ガラスを取り出す。 さて、貼り合すべき二枚のガラス板の貼り合すべき面が
傾斜している場合には、平行出しギャップセンサー３７
により、ギャップ量を出し、二枚のガラス板の貼り合せ
面のギャップを調整しなければならない。そのためには
、下ガラス板チャック板１ａを上昇させるべき三点支持
授受軸３５が同時だけでなく、個々単独に上昇しなけれ
ばならない。そのだめの装置が第３図に示しである。 第３図は、プレス駆動部及びギャップ駆動部の要部を示
す。吸着バット付き支持軸３５の各々はθステージ２７
に対してベアリング４２．ボールブツシュ４３を組込ん
でいる。吸着ノ（ット付き支持軸３５の各々には、その
下方に同時ギヤー４６が設けてあり、この同時ギヤー４
６を吸着するだめのエヤーバット板４４が板バネ４５に
支持されている。この板バネ４５は同時ギヤー４６の上
面に接触している。又、同時ギヤー４６の中心部には、
ネジ穴が有り、単独ギヤー付ネジ棒４８が精度よく中心
部にネジ挿入されており、さらに、軸３５と同時ギヤー
４６とはベアリング５３　、５４と、該ベアリング５３
．５４を押えている押リング５５によって連結している
。又、単独ギヤー付ネジ棒４８の軸は、ベアリング５６
で支持され、θステージ２７の底面に固定しである。単
独ギヤー付ネ・ジ棒４８を駆動するモーター５０はギヤ
ー４９を介して、ギヤー４９に噛合している大歯車によ
り、単独ギヤー付ネジ棒４８に伝動している。 一方、各同時ギヤー４６は、前記した吸着バット付き支
持軸３５に具備してあり、この三つの同時ギヤー４６を
同時に駆動できるように、連動ギヤー５１を噛合させて
設置してあり、同時ギヤー４６はそれぞれθステージ２
７に支持されている。 又、連動ギヤー５１には、θステージ２７によって支持
されたフリクション機構５７が噛合しており、このフリ
クション機構５７はモーターで駆動されるようになって
いる。 次にギャップ駆動及びプレス駆動の動作を説明する。先
づギャップ駆動の場合には、三つの吸着バット付支持軸
３５の各々を個々単独にモーター５０（パルスモータ−
）を駆動させて、所要のギャップ量の移動を行うための
パルスにて、前記したギヤー４９を介して単独ギヤー付
ネジ棒４８に伝達する。この時に、吸着バット付支持軸
３５に設けであるエアーバット４４とバネ４５とで吸着
バット付支持軸３５と同時ギヤー４６とを吸着固定する
。この詩仙の支持軸との間では吸着しない。 それ故に、同時ギヤー４６と吸着バット付支持軸３５は
回転を拘束された状態になっており、そのために単独ギ
ヤー付ネジ棒４８の回転により、同１７一 時ギヤー４６を含む吸着バット付支持軸３５は垂直方向
に移動することができる。それ故に、モーター５０を、
３個、個々に発信するパルスにより、別々に駆動させて
、所望のギャップに調整できる。 次に、三つの吸着バット付支持軸３５を用いてプレス駆
動させるには単独ギヤー付ネジ棒４８を固定するために
、モータ５０の自己トルクを利用して、単独ギヤー付ネ
ジ棒４８を固定してお（。 又、エヤーバット板４４の吸着を解除することで、軸３
５と同時ギヤー４６との連結を切り離すと、同時ギヤー
４６は回転可能となる。連動ギヤー５１に噛合っている
フリクション機構５７をモーターで駆動すると、連動ギ
ヤー５１に噛合っている同時ギヤー４６が回転し、その
回転で軸３５を垂直方向に移動させる。垂直方向に移動
された軸３５はプレス物体に接触し押しつける。この押
し付は圧力はモーターの出力とフリクション機構５７に
具備されているすべり摩擦力によって規制されている。 任意のすべり摩擦力を設定することにより、フリクショ
ン機構５７ですべりによるカラ廻りを１８− 起させて、一定のプレスを提供する。 ところで以上の説明において下ガラス板が傾斜していて
下ガラス板の上面が、上ガラス板搬送台１１の上面に対
して傾いても３本の軸３５を個別に作動させて下ガラス
板用チャック２９を傾けることにより下ガラス板の上面
が上ガラス板搬送台１１の上面と平行にすることができ
ることが理解される。 ところで、上ガラス板が傾斜していて上ガラス板の上面
が上ガラス板搬送台１１の上面と傾いている場合には、
上ガラス板用チャック１３が上ガラスの傾きに応じて傾
き、上ガラス板の上面と良くなじんで吸着できるように
なっているため、上ガラス板用チャック１３に吸着され
た後の上ガラスの下面は上ガラス板搬送台１１の上面と
平行となる。すなわち、上下のガラス板に傾きがあって
も下ガラス板の上面と上ガラスの下面という２つの接触
面を平行にすることができる。 なお、第４図は、本発明の実施例の全体図であり、１１
は上ガラス板搬送台、２６は下ガラス板搬送台、２９は
下ガラス板用チャック、２４はＸＹ方向ステージ、２５
はＺ方向ステージ、２７はθステージ、１３は上ガラス
板用チャック、３８は観察装置である。この観察装置３
８には、ＴＶ。 検出処理器、演算処理器及びＸ、Ｙ、θ、Ｚ方向の駆動
制御器が連結されている。そしてＸ、Ｙ。 Ｚ方向の駆動制御器は基板３３に連結しである。 上ガラス板搬送台１１は、右側にあるコンベアから、上
ガラス板を受取って水平方向において時計方向に９０°
、反時計方向に９０°回動するようにしである。下ガラ
ス板搬送台２６は、左側のコンベアから、下ガラス板を
受取って、水平位置において、９０°反時計方向に、又
、時計方向に９０°回動するようにしである。又、基板
３３の上にはＸＹ方向ステージ２４が載せてあり、ＸＹ
方向ステージ２４の上にはＺ方向ステージ２５が載せて
あり、Ｚ方向ステージ２５の上にはθステージ２７が載
せである。 以上、本発明によれば液晶ガラス板等の貼り合せにおい
て、効率良（、しかも高精度に貼り合すことができる。 更には液晶ガラス板等がテーパ（傾き）をもっていても
高精度に貼り合すことが可能となる。 ４、図面の簡単な説明 第１図は、従来例における液晶貼り合せ装置を示し、第
２図は本発明の実施例を示し、第３図は本発明の実施例
におけるギャップ駆動部及びプレス駆動部を示し、第４
図は全体の構成図を示す。 図中、１１は上ガラス板搬送台、 １３は上ガラス板用チャック、 ２４はＸＹ方向ステージ、 ２５はＺ方向ステージ、 ２６は下ガラス板搬送台、 ２７はθステージ、 ２９は下ガラス板用チャック、 ３３は基板、 ３８は観察装置である。 特許出願人　キャノン株式会社 ２１− 第３図

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. （１）二つの薄状物体を位置合せし、貼り合わせる装置
   において、第一の物体と第二の物体を、はぼ同時にプレ
   スステージに回転移動する手段と、第一、第二の物体を
   位置合せする手段と、第一。 第二の物体の間隙を設定する設定手段と、第一。 第二の物体を近づくように移動させ、第一、第二の物体
   を任意圧力でプレスする手段を具備したことを特徴とし
   た貼り合せ装置。
2. （２）前記第１項における回転移動手段として、第・−
   ９第二の物体を搬送する搬送台が、七ネパ機構により水
   平方向回転するようにしたことを特徴とする貼り合せ装
   置。
3. （３）前記第１項における回転移動手段として、第一、
   第二物体を一送する搬送台が、水平位置において、時計
   方向および反時計方向に９０°回転するようにしたこと
   を特徴とした貼り合せ装置。
4. （４）前記第１項において第一物体と第二物体との間隙
   を設定する手段として、回転移動手段の内で、第一の物
   体を搬送する搬送台もしくは、第二の物体を搬送する搬
   送台のいづれか一方に穿設された穴及び切欠部を貫通し
   、上下させて、個々別々に作動する別個の手段を有して
   いることを特徴とした貼り合せ装置。
5. （５）前記第１項における回転移動手段の内、第一の物
   体を搬送する搬送台もしくは第二物体を搬送する搬送台
   のいづれか一方が、ＸＹステージと一体に動作すること
   を特徴とした貼り合せ装置。