JPS6010739A - ストロボ電子ビ−ム装置 - Google Patents
ストロボ電子ビ−ム装置Info
- Publication number
- JPS6010739A JPS6010739A JP58119082A JP11908283A JPS6010739A JP S6010739 A JPS6010739 A JP S6010739A JP 58119082 A JP58119082 A JP 58119082A JP 11908283 A JP11908283 A JP 11908283A JP S6010739 A JPS6010739 A JP S6010739A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- voltage
- electron beam
- phase
- delay
- strobe
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- Pending
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-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L22/00—Testing or measuring during manufacture or treatment; Reliability measurements, i.e. testing of parts without further processing to modify the parts as such; Structural arrangements therefor
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- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Tests Of Electronic Circuits (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（１）発明の技術分野
本発明はストロボ電子ビームにより集積回路の動作解析
を行うストロボ電子ビーム装置に関する。
を行うストロボ電子ビーム装置に関する。
（２） 技術の背景
ＩＣ技術の進歩に伴い、集積回路は益々大規模化、高速
化しているが、ｒｃが大規模化、高速化してくると動作
解析、故障診断は困難になってくる。大規模で高速な集
積回路の動作解析としてストロボ電子ビームによりＩＣ
の動作解析、故障診断を行うＥＩ’３プロービングが注
目を集めている。
化しているが、ｒｃが大規模化、高速化してくると動作
解析、故障診断は困難になってくる。大規模で高速な集
積回路の動作解析としてストロボ電子ビームによりＩＣ
の動作解析、故障診断を行うＥＩ’３プロービングが注
目を集めている。
ＥＢプロービングは電子ビーム照射点からの２次電子信
号強度が照射点電圧により変調されるという原理に基づ
く、非接触な測定法であり、ストロボ電子ビームを用い
ることによりＩＣを実際の動作速度で動作させて測定さ
せることができるので極めて有効な測定法である。第１
図にＩＣの配線電圧に対して得られる２次電子信号を示
す。この２次電子信号はボルテージコント、ラストと呼
ばれる。
号強度が照射点電圧により変調されるという原理に基づ
く、非接触な測定法であり、ストロボ電子ビームを用い
ることによりＩＣを実際の動作速度で動作させて測定さ
せることができるので極めて有効な測定法である。第１
図にＩＣの配線電圧に対して得られる２次電子信号を示
す。この２次電子信号はボルテージコント、ラストと呼
ばれる。
（３） 従来技術と問題点
従来、ストロボ電子ビーム装置では電子ビームを、照射
して生じた２次電子を検出し、サンプリングした２次電
子信号強度すなわちボルテージコントラストを時間に対
して示すストロボ波形観測を行っている。従来のストロ
ボ電子ビーム装置の構成例を第３図に示す。計算機３１
．クロックゼネレータ３２．ディレィ回路３３．パルス
ゼネレータ３４．電子光学鏡筒３５．電子ビームパルス
ゲート３６，２次電子検出器３７．ＡＤ変換器３８を有
し、ＩＣ駆動用クロック３１２により駆動される被測定
ＩＣ３１０に電子ビーム３９を照射し。
して生じた２次電子を検出し、サンプリングした２次電
子信号強度すなわちボルテージコントラストを時間に対
して示すストロボ波形観測を行っている。従来のストロ
ボ電子ビーム装置の構成例を第３図に示す。計算機３１
．クロックゼネレータ３２．ディレィ回路３３．パルス
ゼネレータ３４．電子光学鏡筒３５．電子ビームパルス
ゲート３６，２次電子検出器３７．ＡＤ変換器３８を有
し、ＩＣ駆動用クロック３１２により駆動される被測定
ＩＣ３１０に電子ビーム３９を照射し。
得られた２次電子３１１を検出し計算機３１により処理
を行いボルテージコントラスト信号のストロボ観測波形
を表示する。第２図にストロボ観測波形の一例を示す。
を行いボルテージコントラスト信号のストロボ観測波形
を表示する。第２図にストロボ観測波形の一例を示す。
電子ビームをＩＣの配線に照射して出る２次電子は数ｅ
Ｖ〜数十ｅＶのエネルギーを有している。
Ｖ〜数十ｅＶのエネルギーを有している。
ＩＣの配線の電圧によりこの２次電子を配線に引き戻す
力が異なり、２次電子検出器３７に到達する２次電子数
と配線電圧に相関が生じる。２次電子数と配線電圧の関
係は一意に決まるものではないので前記従来例における
ストロボ観測波形は電圧変化を定量的に表わしていない
。このため１例えば立ち上り時間の評価においても正確
な測定は困難である。
力が異なり、２次電子検出器３７に到達する２次電子数
と配線電圧に相関が生じる。２次電子数と配線電圧の関
係は一意に決まるものではないので前記従来例における
ストロボ観測波形は電圧変化を定量的に表わしていない
。このため１例えば立ち上り時間の評価においても正確
な測定は困難である。
定量的に電圧を測定する方法として、エネルギー分析が
知られている。エネルギー分析は例えば第４図に示す構
成により行う。計算機４１．ブランキングドライバ４２
．プランカー４３．エネルギー分析器４４．２次電子検
出器４５．ＡＤ変換器４６．ＤＡ変換器４７．エネルギ
ー分析制御回路４８．Ｉ’Ｃドライバ４９を有し、サン
プリング信号４１０．エネルギー分析制御信号４１５の
制御により被測定ＩＣ４１１に電子ビームを照射し。
知られている。エネルギー分析は例えば第４図に示す構
成により行う。計算機４１．ブランキングドライバ４２
．プランカー４３．エネルギー分析器４４．２次電子検
出器４５．ＡＤ変換器４６．ＤＡ変換器４７．エネルギ
ー分析制御回路４８．Ｉ’Ｃドライバ４９を有し、サン
プリング信号４１０．エネルギー分析制御信号４１５の
制御により被測定ＩＣ４１１に電子ビームを照射し。
２次電子４１２を減速電圧４１３により減速制御を行い
１分析電圧データ出力４１４を計算機４１を介して表示
する。
１分析電圧データ出力４１４を計算機４１を介して表示
する。
エネルギー分析による電圧の定量的測定は減速書
電圧４１３を変化させて同一測定点に対して多くの（例
えば２５６個）の２次電子信号を得て測定する。そのた
め被測定電圧が変化する動的な状態にあるＩＣの測定に
は不向きであった。また従来のストロボ電子ビーム装置
と組み合せると測定点が非常に多くなり、処理°コスト
が高くなってしまう欠点があった。
えば２５６個）の２次電子信号を得て測定する。そのた
め被測定電圧が変化する動的な状態にあるＩＣの測定に
は不向きであった。また従来のストロボ電子ビーム装置
と組み合せると測定点が非常に多くなり、処理°コスト
が高くなってしまう欠点があった。
（４） 発明の目的
本発明の第１の目的は以上従来方法の欠点に鑑み、高速
ダイナミック動作状態にあるＩＣの任意の位相での電圧
の測定を行い、ＩＣの動作解析。
ダイナミック動作状態にあるＩＣの任意の位相での電圧
の測定を行い、ＩＣの動作解析。
不良診断の手段を提供することである。
本発明の第２の目的は、ｒｃの動作解析、不良給断にお
ける測定時間を短縮することである。
ける測定時間を短縮することである。
（５） 発明の構成
本発明はクロック発生手段と、該クロック発生手段の出
力信号を遅延する遅延手段と該遅延手段の出力信号によ
り駆動されるストロボ電子ビームパルス発生手段を有し
たストロボ波形観測装置において、観測波形上の任意の
位相時間を指示する５− 位相時間指示手段と指示された位相に電子ビームパルス
を固定する位相固定手段と指示された位相において電圧
を測定する電圧測定手段を有することを特徴としたスト
ロボ電子ビーム装置を提供するものである。
力信号を遅延する遅延手段と該遅延手段の出力信号によ
り駆動されるストロボ電子ビームパルス発生手段を有し
たストロボ波形観測装置において、観測波形上の任意の
位相時間を指示する５− 位相時間指示手段と指示された位相に電子ビームパルス
を固定する位相固定手段と指示された位相において電圧
を測定する電圧測定手段を有することを特徴としたスト
ロボ電子ビーム装置を提供するものである。
（６） 発明の実施例
以下１本発明の一実施例を図面を用いて詳細に説明する
。第５図（ａ）に本発明の構成を示す。計算機５１はデ
ィレィ制御回路５１３．エネルギー分析制御回路５１１
．ストロボ波形表示器５１４を制御する。クロックゼネ
レータ５２の出力はディレィ回路５３及びＩＣドライバ
５９に接続する。
。第５図（ａ）に本発明の構成を示す。計算機５１はデ
ィレィ制御回路５１３．エネルギー分析制御回路５１１
．ストロボ波形表示器５１４を制御する。クロックゼネ
レータ５２の出力はディレィ回路５３及びＩＣドライバ
５９に接続する。
スイッチ５２４によりディレィ制御回路５１３またはデ
ィレィレジスタ５１２により制御されるディレィ回路５
３の出力はパルスゼネレータ５４及びスイッチ５２３を
介してＡＤ変換器５１０またはエネルギー分析制御回路
５１１に接続する。パルスゼネレータ５４は電子ビーム
パルスゲート５５を制御する。２次電子検知器５７の出
力はＡＤ変換器５１０．エネルギー分析制御回路５１１
に６− 接続する。エネルギー分析制御回路５１１はＤＡ変換器
５８を介してエネルギー分析器５６を制御する。位相指
示回路５１５の出力はディレィレジスタ５１２．ストロ
ボ波形表示器５１４及び計算機５１に接続している。
ィレィレジスタ５１２により制御されるディレィ回路５
３の出力はパルスゼネレータ５４及びスイッチ５２３を
介してＡＤ変換器５１０またはエネルギー分析制御回路
５１１に接続する。パルスゼネレータ５４は電子ビーム
パルスゲート５５を制御する。２次電子検知器５７の出
力はＡＤ変換器５１０．エネルギー分析制御回路５１１
に６− 接続する。エネルギー分析制御回路５１１はＤＡ変換器
５８を介してエネルギー分析器５６を制御する。位相指
示回路５１５の出力はディレィレジスタ５１２．ストロ
ボ波形表示器５１４及び計算機５１に接続している。
スイッチ５２３，５２４がａ側に接続する時。
本実施例は被測定電圧の高低に応じた２次電子信号すな
わちボルテージコントラスト信号のストロボ観測波形を
表示する。この様子を第６図のタイミングチャートと共
に説明する。
わちボルテージコントラスト信号のストロボ観測波形を
表示する。この様子を第６図のタイミングチャートと共
に説明する。
第６図（ａｌはクロックゼネレータ５２の出力波形であ
る。このクロックはＩＣ駆動用クロック５２２としてＩ
Ｃドライバ５９を介して被測定■Ｃ５１６に与えられる
。被測定ＩＣ５１６の動作はクロックゼネレータ５２の
クロックに同期して行なわれ被測定点において第６図ｆ
ｄ）の様な電圧波形を示す。第６図（ｆｌは電子ビーム
５１８の出力波形である。ディレィ時間ｔ ＋ ＋ ｔ
２１ ・・・。
る。このクロックはＩＣ駆動用クロック５２２としてＩ
Ｃドライバ５９を介して被測定■Ｃ５１６に与えられる
。被測定ＩＣ５１６の動作はクロックゼネレータ５２の
クロックに同期して行なわれ被測定点において第６図ｆ
ｄ）の様な電圧波形を示す。第６図（ｆｌは電子ビーム
５１８の出力波形である。ディレィ時間ｔ ＋ ＋ ｔ
２１ ・・・。
ｔ５は計算機５１よりディレィ制御回路５１３を介して
ディレィ回路５３で設定される。パルスゼネレータ５４
は電子ビームパルスゲート５５を制御してパルス状の電
子ビーム５１８を出力する。
ディレィ回路５３で設定される。パルスゼネレータ５４
は電子ビームパルスゲート５５を制御してパルス状の電
子ビーム５１８を出力する。
この電子ビーム５１８は被測定ＩＣ５１６に照射すると
第６図（ｄｌで示す被測定点の電圧に応じて。
第６図（ｄｌで示す被測定点の電圧に応じて。
第６図（Ｃ１の２次電子信号が２次電子検知器５７によ
り検知される。被測定点の電圧と２次電子信号の強度は
、第１図に示す様な負の相関関係があり。
り検知される。被測定点の電圧と２次電子信号の強度は
、第１図に示す様な負の相関関係があり。
２次電子信号をストロボ観測することにより被測定点の
電圧変化の様子を知ることが出来る。第１図のグラフの
横軸はＩＣの配線電圧を示し、縦軸は２次電子信号の強
度を示す。ストロボ観測とは。
電圧変化の様子を知ることが出来る。第１図のグラフの
横軸はＩＣの配線電圧を示し、縦軸は２次電子信号の強
度を示す。ストロボ観測とは。
第６図に示すようにクロックに同期した被測定点の周期
電圧波形をクロックからのディレィ時間すなわち周期波
形内の位相時間を少しづつ変化させてツ′ンブリングす
ることにより一周期の電圧波形を観測する方法である。
電圧波形をクロックからのディレィ時間すなわち周期波
形内の位相時間を少しづつ変化させてツ′ンブリングす
ることにより一周期の電圧波形を観測する方法である。
この様に観測したストロボ観測波形はストロボ波形表示
５１４に表示される。ストロボ波形表示５１４には水平
方向（位相軸）に可動なカーソル５１９が表示される。
５１４に表示される。ストロボ波形表示５１４には水平
方向（位相軸）に可動なカーソル５１９が表示される。
カーソル５１９の位置は位相指示回路５１５により指示
される位相を表わしている。この位相はディレィレジス
タ５１２に格納される。すなわち測定者がストロボ波形
表示５１４上のストロボ観測波形及びカーソル５１９を
見て９位相指示回路５１５を操作し、カーソル５１９が
ストロボ観測波形の所望の部分を示す様にするとディレ
ィレジスタ５１２にカーソル位置に応じた位相情報が格
納される。この時エネルギー分析器５６の減速電圧５２
５は２次電子信号強度が被測定点電圧に強く依存するボ
ルテージコントラスト条件に設定する。次にスイッチ５
２３，５２４をｂ側に倒し２位相指示回路５１５により
指示した位相における被測定点電圧をめる。電圧の測定
にはエネルギー分析を用いている。スイッチ５２４がｂ
側に接続しているのでディレィ回路５３のディレィ時間
はディレィレジスタ５１２に格納された値によって設定
される。ディレィレジスタ５１２はスイ・ノチ５２３．
５２４がａ側の時に位相指示回路５１５により所望の位
相を示す様に設定されている。この様にディレィ時間が
ディレィレジスタ５１２により９− 設定されるので電子ビームパルスの照射は指示された位
相に固定される。この状態でエネルギー分析スタート信
号５２０をエネルギー分析制御回路５１１に与えるとエ
ネルギー分析が開始される。
される位相を表わしている。この位相はディレィレジス
タ５１２に格納される。すなわち測定者がストロボ波形
表示５１４上のストロボ観測波形及びカーソル５１９を
見て９位相指示回路５１５を操作し、カーソル５１９が
ストロボ観測波形の所望の部分を示す様にするとディレ
ィレジスタ５１２にカーソル位置に応じた位相情報が格
納される。この時エネルギー分析器５６の減速電圧５２
５は２次電子信号強度が被測定点電圧に強く依存するボ
ルテージコントラスト条件に設定する。次にスイッチ５
２３，５２４をｂ側に倒し２位相指示回路５１５により
指示した位相における被測定点電圧をめる。電圧の測定
にはエネルギー分析を用いている。スイッチ５２４がｂ
側に接続しているのでディレィ回路５３のディレィ時間
はディレィレジスタ５１２に格納された値によって設定
される。ディレィレジスタ５１２はスイ・ノチ５２３．
５２４がａ側の時に位相指示回路５１５により所望の位
相を示す様に設定されている。この様にディレィ時間が
ディレィレジスタ５１２により９− 設定されるので電子ビームパルスの照射は指示された位
相に固定される。この状態でエネルギー分析スタート信
号５２０をエネルギー分析制御回路５１１に与えるとエ
ネルギー分析が開始される。
エネルギー分析は被測定ＩＣ５１６に電子ビーム５１８
を照射し発生する２次電子５１７のエネルギーが被測定
点電圧により変調される性質を利用して被測定点電圧を
測定するものである。エネルギー分析器５６に与える減
速電圧５２５を変化させた時、２次電子検知器５７で検
知される２次電子信号の変化を第７図に示す。第７図で
横軸は減速電圧Ｖｒを示し、縦軸は２次電子信号を示す
。
を照射し発生する２次電子５１７のエネルギーが被測定
点電圧により変調される性質を利用して被測定点電圧を
測定するものである。エネルギー分析器５６に与える減
速電圧５２５を変化させた時、２次電子検知器５７で検
知される２次電子信号の変化を第７図に示す。第７図で
横軸は減速電圧Ｖｒを示し、縦軸は２次電子信号を示す
。
あるスライスレベルＳを指定した時、２次電子信号グラ
フがスライスレベルＳを横切る点の減速電圧を分析電圧
ｋ とすると測定電圧ＶｍはＶｍ＝ａＶＡ ＋ｂ （ａ
＝１） となることが知られている。すなわち狗 を測定すると
基準電圧と比較して測定点電圧Ｖｍが判る。
フがスライスレベルＳを横切る点の減速電圧を分析電圧
ｋ とすると測定電圧ＶｍはＶｍ＝ａＶＡ ＋ｂ （ａ
＝１） となることが知られている。すなわち狗 を測定すると
基準電圧と比較して測定点電圧Ｖｍが判る。
第７図に点線で示したグラフは、測定点電圧が前記Ｖｍ
より高い場合を示している。このグラフで一１〇− は減速電圧■ＡｌにおいてグラフがスライスレベルＳを
横切っている。分析電圧ｖＡ を測定するために本実施
例では、エネルギー分析制御回路５１１からＤＡ変換器
５８を介して減速電圧５２５をエネルギー分析器５６に
与え、電子ビーム５１８と同期して減速電圧５２５を変
化させ２次電子検知器５７で２次電子信号を検出しエネ
ルギー分析制御回路５１１に入力する様に構成する。エ
ネルギー分析制御回路５１１はディレィ回路５３の出力
パルスのタイミングで２次電子信号をサンプリングし３
次にＤＡ変換器５８に与える値を変化させ。
より高い場合を示している。このグラフで一１〇− は減速電圧■ＡｌにおいてグラフがスライスレベルＳを
横切っている。分析電圧ｖＡ を測定するために本実施
例では、エネルギー分析制御回路５１１からＤＡ変換器
５８を介して減速電圧５２５をエネルギー分析器５６に
与え、電子ビーム５１８と同期して減速電圧５２５を変
化させ２次電子検知器５７で２次電子信号を検出しエネ
ルギー分析制御回路５１１に入力する様に構成する。エ
ネルギー分析制御回路５１１はディレィ回路５３の出力
パルスのタイミングで２次電子信号をサンプリングし３
次にＤＡ変換器５８に与える値を変化させ。
すなわち減速電圧５２５を変化させ次のデータに備える
。−例としてＤＡ変換器が３ｂｉｔであるとき２５６個
のデータを用いて、エネルギー分析を行う。すなわち、
ディレィ回路から出力するクロックの２５６個ごとに分
析電圧データ５２１が得られる。
。−例としてＤＡ変換器が３ｂｉｔであるとき２５６個
のデータを用いて、エネルギー分析を行う。すなわち、
ディレィ回路から出力するクロックの２５６個ごとに分
析電圧データ５２１が得られる。
この様に、スイッチ５２３．５２４の操作によりストロ
ボ観測波形上の任意の点の電圧を知ることが出来る。こ
の様子を第５図（ｂｌに示す。第５図（ｂｌにおいて上
のグラフは２次電子信号波形を示し。
ボ観測波形上の任意の点の電圧を知ることが出来る。こ
の様子を第５図（ｂｌに示す。第５図（ｂｌにおいて上
のグラフは２次電子信号波形を示し。
下のグラフで黒点で示した部分が電圧測定の結果である
。第５図（ｂｌでは波形内の５ケ所において測定を行っ
ているが、測定個数は任意である。また。
。第５図（ｂｌでは波形内の５ケ所において測定を行っ
ているが、測定個数は任意である。また。
測定した電圧の出力形式も第５図（ｂｌに限らず任意の
形式が可能である。
形式が可能である。
（７） 発明の詳細
な説明した様に本発明によればストロボ電子ビーム装置
においてストロボ観測波形の任意の位相の電圧を精度よ
くめることができ、高速グイナミソク動作状態にあるＩ
Ｃの動作解析や診断がより正確に行える。また２本発明
によれば、特に重要な位相点における電圧のみを測定す
ることによって電圧測定に要する時間を短縮することが
可能である。
においてストロボ観測波形の任意の位相の電圧を精度よ
くめることができ、高速グイナミソク動作状態にあるＩ
Ｃの動作解析や診断がより正確に行える。また２本発明
によれば、特に重要な位相点における電圧のみを測定す
ることによって電圧測定に要する時間を短縮することが
可能である。
第１図はＩＣの配線電圧と２次電子信号の関係を示す関
係図、第２図は従来のストロボ電子ビーム装置で観測さ
れる２次電子信号の波形図、第３図は従来技術によるス
トロボ電子ビーム装置のブ！ ロック図、第４図はエネルギー分析による電圧測定装置
のブロック図、第５図は本発明の一実施例のブロック図
、第６図はストロボ電子ビーム装置のタイミングチャー
ト、第７図は減速電圧Ｖｒと２次電子信号の関係を示す
関係図である。 ５１２・・・ディレィ・レジスタ、 ５１４・・・スト
ロボ波形表示器、 ５１５・・・位相指示回路、 ５１
９・・・カーソル。 ５２３．５２４・・・スイッチ １３− 第１図 第２図 Ｏ峙問
係図、第２図は従来のストロボ電子ビーム装置で観測さ
れる２次電子信号の波形図、第３図は従来技術によるス
トロボ電子ビーム装置のブ！ ロック図、第４図はエネルギー分析による電圧測定装置
のブロック図、第５図は本発明の一実施例のブロック図
、第６図はストロボ電子ビーム装置のタイミングチャー
ト、第７図は減速電圧Ｖｒと２次電子信号の関係を示す
関係図である。 ５１２・・・ディレィ・レジスタ、 ５１４・・・スト
ロボ波形表示器、 ５１５・・・位相指示回路、 ５１
９・・・カーソル。 ５２３．５２４・・・スイッチ １３− 第１図 第２図 Ｏ峙問
Claims (3)
- （１） クロック発生手段と、該クロック発生手段の出
力信号を遅延する遅延手段と該遅延手段の出力信号によ
り駆動されるストロボ電子ビームパルス発生手段を有し
たストロボ波形観測装置において、観測波形上の任意の
位相時間を指示する位相時間指示手段と指示された位相
に電子ビームパルスを固定する位相固定手段と指示され
た位相において電圧を測定する電圧測定手段を有するこ
とを特徴としたストロボ電子ビーム装置。 - （２） 前記位相時間指示手段が前記遅延手段の遅延時
間を指示することにより位相時間を指示することを特徴
とする特許請求の範囲第１項記載のストロボ電子ビーム
装置。 - （３） 前記電圧測定手段がエネルギー分析法により電
圧を測定する手段であることを特徴とする特許請求の範
囲第１項記載のストロボ電子ビーム装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58119082A JPS6010739A (ja) | 1983-06-30 | 1983-06-30 | ストロボ電子ビ−ム装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58119082A JPS6010739A (ja) | 1983-06-30 | 1983-06-30 | ストロボ電子ビ−ム装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6010739A true JPS6010739A (ja) | 1985-01-19 |
Family
ID=14752430
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58119082A Pending JPS6010739A (ja) | 1983-06-30 | 1983-06-30 | ストロボ電子ビ−ム装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6010739A (ja) |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS54134570A (en) * | 1978-03-31 | 1979-10-19 | Siemens Ag | Method of and device for measuring nonncontact potential elapse in electronic part |
| JPS5848346A (ja) * | 1981-09-17 | 1983-03-22 | Toshiba Corp | ストロボ走査型電子顕微鏡のパルスビ−ム位相制御装置 |
| JPS59181630A (ja) * | 1983-03-31 | 1984-10-16 | Toshiba Corp | 電子ビ−ムテスタ |
-
1983
- 1983-06-30 JP JP58119082A patent/JPS6010739A/ja active Pending
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