JPS60105222A - 組立式支持具 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、半導体ウェーハ又はその類似物を支持するた
めの支持具に関する。

当業者には周知の如く、半導体ウェーＩ〜の拡散処理に
おいては、複数枚の半導体ウェー−・を支持具上に載置
して拡散炉内に収容されている。この拡散炉としては、
実質上水平に延びる横型拡散炉がこれまで一般に使用さ
れてきたが、特に近時においては、実質上鉛直に延びる
縦型拡散炉も開発され使用されるようになってきた。

縦型拡散炉に適用される支持具においては、支持具から
半導体ウェー・・（又はその類似物）が偶発的に脱落す
るのを防止するという見地からして、支持具に支持され
たウェーハはその自由端側か上方に向かって傾斜する状
態になるようにせしめることが望まれる。一方、支持具
へのウェーッ〜の装填及びそれからの取出し、特に自動
装填及び取出しの容易性という見地からすれは、ウェー
ッへを実質上鉛直な状態或いは実質上水平な状態で移動
せしめることが望まれる。かような事実に鑑みると、支
持具にウエーーーを装填する際及び支持具からウェーハ
を取出す際には、ウェーハを実質上鉛直な状態或いは実
質上水平な状態で移動せしめることによってウェー・・
の装填及び取出しを遂行することができ、一方拡散炉内
でウェー−・を支持する時にはウェーハを自由端側か上
方に向かって傾斜する状態にせしめることができる、ウ
ェー７・を支持するための支持具の実現が望まれる。

本発明は上記事実に鑑みてなされたものであり、その目
的は、縦型炉内で処理すべき複数枚の半導体ウェーハ又
はその類似物を支持するための組立式支持具であって、
炉内では半導体ウェー・・（又はその類似物）を自由端
部が上方に向って傾斜して延びる状態に支持することが
できるにもかかわらず、支持具に半導体ウェー−・を装
填する際及び支持具から半導体ウェー／・を取出す際に
は、半導体ウェーハを実質上鉛直な状態或いは実質上水
平な状態で取扱うことができる組立式支持具を提供する
ことである。

本発明によれば、半導体ウェーハ又はその類似物を支持
するための組立式支持具にして、間隔を置いて配設され
る２個の端板と、該端板間を延びる少なくとも２本のロ
ッドとを含み、該ロッドの各々には、その長手方向に間
隔を置いて複数個の保持溝が形成されておシ、該支持具
は、各ロッドに形成されている該保持溝が相互に整合す
る第１の状態と、該整合が解除される第２の状態との間
を変態自在である、ことを特徴とする組立式支持具が提
供される。

以下、本発明に従って構成された組立式支持具の具体例
を、添付図面を参照して説明する。

まず、第１図乃至第５図を参照して、組立式支持具の第
１の具体例について説明する。組立式支持具の分解斜視
図である第１図において、図示の組立式支持具は、２個
の端板２ａ及び２ｂ、並びに４本のロッド４　ａ　＃　
４　ｂ　ｔ　４　ｅ及び４ｄを含んでいる。

端板２ａ及び２ｂの各々は、適宜の形状でよいが、第１
図に示す状態で安定して自立し得る幅広の略矩形状であ
るのが好都合である。図示の端板２＆及び２ｂの各々は
、第１図に示す状態において、下部に存在する比較的幅
狭の第１の支持部６と、上部に存在する比較的幅広の第
２の支持部８と、これらの中間に位置する中間部１０と
を有する。中間部１０の両側には、第１の支持部６及び
第２の支持部８を越えて側方へ突出している突出部１２
が設けられている。第１の支持部６の外面には、横方向
（第１図において左下方から右上方に向かう方向）に延
びるチャンネル１４（第１図において、端板２ａに形成
されているチャンネルのみを示す）が形成されておシ、
同様に第２の支持部８の外面に社横方向に延びるチャン
ネル１６が形成されている。チャンネル１４及び１６の
断面形状は、正方形でよい。中間部１０の両側に存在す
る上記突出部１２の上面は、水平面１８と傾斜面２０と
によって規定されている。第１図に示す状態において、
端板２ｍ及び２ｂに形成された水平面１８は実質上水平
であシ、また端板２ａに形成された傾斜面２０は外面側
に向かって下方に５度乃至１０度程度でよい所定角度を
なして傾斜し、端板２ｂに形成された傾斜面２０は内面
側に向かって下方に５度乃至１０度程度でよい所定角度
をなして傾斜している（第４図も参照されたい）。

上記突出部１２の下面も、水平面２２と傾斜面２４によ
って規定されている。第１図に示す状態において、端板
２ａ及び２ｂに形成された水平面２２は実質上水平であ
シ、また端板２＆に形成された傾斜面２４は内面側に向
かって上方に５度乃至１０度でよい所定角度をなして傾
斜し、端板２ｂに形成された傾斜面２４は外面側に向か
って上方に５度乃至１０度でよい所定角度をなして傾斜
している（第４図も参照されたい）。

４本のロッド４ｍ、４ｂ、４ａ及び４ｄは、円形、多角
形等の適宜の横断面形状を有するものでよいが、製作の
容易性２組立及び分解の際の取扱いの容易性等の見地か
ら見て、矩形、特に正方形の横断面形状を有するもので
あるのが好ましい。中央部に位置する２本のロッド４ａ
及び４ｂの各々においては、両端部の下面にチャンネル
２６が形成されている。このチャンネル２６の断面形状
は、上記チャンネル１４の断面形状と実質上同一の正方
形であるのが好都合である。両側に位置する２本のロッ
ド４ｃ及び４ｄの各々においては、両端部の上面にチャ
ンネル２８が形成されている。このチャンネル２８の断
面形状は、上記チャンネル１６の断面形状と実質上同一
の正方形であるのが好都合である。４本のロッド４ｍ、
４ｂ、４ｅ及び４ｄの各々には、その主部に長手方向に
用足間隔を置いて複数個の保持溝３ｏが形成されている
。

かかる保持溝３０は、第１図に示す状態において内側上
端に位置する角部に形成されているのが好都合である。

即ち、ロッド４　ｍ　＋　４　ｂ　ｒ　４　ｃ及び４ｄ
の角部にかく保持溝３０を形成した場合には、容易に理
解される如く、所定深さの保持溝を生成するためにロッ
ド４ｍ、４ｂ、４ａ及び４ｄから削除しなければならな
い材料の量がかなシ少なくてすみ、このことは保持溝の
形成を容易且つ迅速に遂行することができ、また保持溝
の形成に起因するロッド４ｍ、４ｂ、４ａ及び４ｄの強
度低下を相当小さくすることができることを意味する。

尚、具体例においては保持溝３０をロッド４ａ。

４ｂ、４ｃ及び４ｄの角部に形成しているが、所望なら
ば、これに代えて、ロッド４ａ＊４ｂｔ４Ｃ及び４ｄの
平面部に形成することもできる。かような保持溝３０の
各々は、第１図において左右方向に傾斜することなく鉛
直に延びている。保持溝３０の各々は、第２図に拡大し
て示す如く、開口端から所定深さＳまでは幅が漸次減少
するようにテーパが付けられておシ、上記所定深さＳか
ら底までは実質上同一の幅Ｗを有するのが好ましい。

上記所定深さＳから底までの実質上同一の幅Ｗは、それ
に挿入される半導体ウェーッ〜又はその類似物の厚さよ
シも幾分大きくせしめられていることが重要である。

図示の支持具は、更に、４本のロッド４ａ、４ｂ、４ｃ
及び４ｄの各々の両端部を、端板２ａ及び２ｂの各々に
離脱自在に且つ所定角度範囲に渡って旋回自在に組合せ
るのに使用される、４本の連結軸３２と８個の止めリン
グ３４を含んでいる。

４本の連結軸３２の各々は断面形状が円形であるのが好
都合である。８個の止めリング３４の各々には、連結軸
３２の外径に対応した内径を有する孔３６が形成されて
いる。

上述した２個の端板２ａ及び２ｂ韮びに４本のロッド４
ｍ、４ｂ、４ｃ及び４ｄは、第３図及び第４図に図示す
る通りに組立てられて、半導体ウェー・・３８又はその
類似物を支持するための支持具を構成する。第１図と共
に第３図及び第４図を−ｎｆｌして説明すると、２個の
端板２ａ及び２ｂは所定間隔を置いて相互に平行に位置
するように自立せしめられる。中央に位置する２本のロ
ッド２ａ及び２ｂの各々は、その両端部の各々を端板２
ａ及び２ｂの各々の第１の支持部６の両側面に隣接せし
めて、その下面に形成されているチャンネル２６が第１
の支持部６の外面に形成されたチャンネル１４に整合す
るように位置付けられる。そして、チャンネル１４及び
２６を通して連結軸３２が挿入される。かくして、ロッ
ド４ａ及び４ｂの各々の両側部は、夫々、端板２ａ及び
２ｂに旋回自在に組合せられる。チャンネル１４の開口
面から外方への連結軸３２の脱落は、連結軸３２がチャ
ンネル２６を通っていることによって阻止され、またチ
ャンネル２６の開口面から下方への連結軸３２の脱落は
、連結軸３２がチャンネル１４を通っていることによっ
て阻止される。更に、チャンネル１４及び２６に挿通さ
れた連結軸３２が横方向（第１図において左下方から右
上方への方向、第３図において上下方向、また第４図に
おいて紙面に画亘な方向）に移動するのを阻止するため
に、ロッド４ｍ及び４ｂを越えて横方向に突出する連結
軸３２の両端の各々に、止めリング３４が固定される。

連結＠３２０両端への止めリング３４の固定は、例えば
、連結軸３２の両端に雄ねじを形成すると共に止めリン
グ３４の孔３６に雌ねじを形成し、連結軸３２の両端に
止めリング３４を螺着することによって達成することが
できる。或いは、これに代えて、止めリング３４及び連
結軸３２の端部に直径方向に延びるビン孔を形成し、か
かるビン孔に止めビンを挿入することによっても達成す
ることができる。両側に位置する２本のロッド４ｃ及び
４ｄの各々は、その両端部の各々を端板２ａ及び２ｂの
各々の第２の支持部８の両側面に隣接せしめて、その上
面に形成されているチャンネル２８を第２の支持部８の
外面に形成されたチャンネル１６に整合するように位置
付けられる。

そして、チャンネル１６及び２８を通して連結軸３２が
挿入される。かくして、ロッド４Ｃ及び４ｄの各々の両
端部は、夫々、端板２＆及び２ｂに旋回自在に組合せら
れる。チャンネル１６の開口面から外方への連結軸３２
の脱落は、連結軸３２がチャンネル２８を通っているこ
とによって阻止され、またチャンネル２８の開口面から
上方への連結軸３２の脱落は、連結軸３２がチャンネル
１６を通っていることによって阻止される。更に、チャ
ンネル１６及び２８に挿通された連結軸３２が横方向に
移動するのを防止するために、ロッド４Ｃ及び４ｄを越
えて横方向に突出する連結軸３２の両端の各々に、止め
リング３４が固定される。

この止めリング３４の固定は、上述した如くして達成す
ることができる。

上述した通シにして分解自在に組立てられて組立式支持
具を構成する各種部品も、シリコンから形成されている
のが好ましい。シリコンに代えて、石英ガラスから上記
各種部品を形成することもできる。石英ガラスから形成
する場合には、所望ならば、例えばロッド４８，４ｂ、
４ｅ及び４ｄ並びに連結軸３２においては、石英ガラス
中を金属材又は耐熱繊維等の補強材が長手方向に延びる
ような形態にせしめて強度を増大せしめることができる
。

次に、上述した通シの組立式支持具の使用様式について
説明する。支持具に半導体ウェーハ（又はその類似物）
を装填する際には、支持具は第３図及び第４図に示す通
シの第１の状態でおる横置状態、即ち端板２＆及び２ｂ
の第１の支持部６の下面を実質上水平な適宜の支持基面
に接触せしめて端板２ａ及び２ｂを直立せしめた状態に
せしめられる。かかる横置状態においては、４本のロッ
ド４ａ、４ｂ、４ａ及び４ｄは実質上水平に延びる。そ
して、中央に位置する２本のロッド４ａ及び４ｂの両端
部の上面は、端板２１及び２ｂにおける突出部１２の下
側水平面２２に接触乃至隣接する（特に第４図参照）。

また、両側に位置する２本のロッド４ｃ及び４ｄの両端
部下面は、端板２ａ及び２ｂにおける突出部１２の上側
水平面１８に接触乃至隣接する（特に第４図参照）。か
ような横置状態においては、４本のロッド４ａ＠４ｂｔ
４ｃ及び４ｄに形成されている保持溝３ｏは、第３図及
び第４図から明らかな如く、横方向（第３図において上
下方向、第４図において紙面に垂直な方向）に整合して
いることが重要である。支持具が上記横置状態にせしめ
られている時には、容易に理解される如く、ウェー７・
３８を実質上鉛直な状態で上方から下方に下降せしめて
、ウェー−一３８の下部周縁部の周方向に間隔を置いた
４個の部位を４本のロッド４ａ、４ｂ、４ｅ及び４ｄの
保持溝３０に挿入することができる。従って、充分容易
に支持具ヘウェーッ３８’ｉ自動装填することができる
。

ウェーハ３８が装填された支持具を縦型拡散炉内へ収容
するには、適宜の懸架器具（図示せず）によって端板２
ｂの上端部を把持して、第４図及び第５図に矢印４０で
示す如く、支持具を吊υ上げる。懸架器具による端板２
ｂの把持のために、必要たらは端板２ｂの上端部に厚さ
方向に貫通する１個又はそれ以上の孔を形成することも
できる。

第４図に示す如く支持具を吊り上げると、端板２ａ及び
２ｂとロッド４ｍ、４ｂ、４ｃ及び４ｄはそれら自身の
重量に起因して幾分かの角度範囲（例えば５度乃至１０
度でよい）に渡って相対的に旋回し、かくして第５図に
示す通シの第２の状態である懸架状態になる。この懸架
状態においては、ロッド４ａ、４ｂ、４ｃ及び４ｄは実
質上鉛直に延びるが、端板２ａ及び２ｂは第２の支持部
８がら第１の支持部６に向って幾分下方に傾斜した状態
になる。かくして、中央に位置する２本のロッド４ａ及
び４ｂの両端部の上面（第５図において左側の面）は、
端板２１Ｌ及び２ｂにおける突出部１２の下側（第５図
において右側）傾斜面２４に接触し、外側に位置する２
本のロッド４ｃ及び４ｄの両端部の下面（第５図におい
て右側の面）は、端板２＆及び２ｂにおける突出部１２
の上側（第５図において左側）傾斜面２０に接触し、こ
れによって端板２ａ及び２ｂとロッド４ａ、４ｂ、４Ｃ
及び４ｄとが更に相対的に旋回することが阻止される。

第５図に示す懸架状態においては、端板２参及び２ｂが
第２の支持部８から第１の支持部６に向かって幾分下方
に傾斜する故に、中央に位置するロッド４＆及び４ｂに
対して両側に位置するロッド４ｃ及び４ｄが幾分上方に
ずれる。即ち、牛導体ウェーハ３８（又はその類似物）
の装着方向に見て後側に位置するロッド４ａ及び４ｂに
対して前側に位置するロッド４ｃ及び４ｄが幾分上方に
ずれ、従ってロッド４＆及び４ｂに形成されている保持
溝３０に対してロッド４ｃ及び４ｄに形成されている保
持溝３０が幾分上方にずれる。

かくすると、第５図に明確に図示する如く、ウェー／〜
３８はその自由端が上方に向がって傾斜する状態になシ
、従って支持具からウェーハ３８が偶発的に脱落するこ
とが充分に防止される。ウェー／〜３８のかような傾斜
は、上述した如く保持溝３゜の幅が挿着されるウェー・
・３８の厚さよりも幾分大きくせしめられていることに
よって許容される。

支持具は懸架状態のままで魂ｙ炉内に収容され懸架状態
に維持される。拡散炉内での拡散処理が終了すると、支
持具は拡散炉から取出され、次いで第３図及び第４図に
示す通シの横置状態にせしめられる。しかる後に、拡散
処理されたウェー−・３８が支持具から取出される。支
持具が横置状態にせしめられると、端板２ａ及び２ｂと
ロッド４ｍ。

４ｂ、４ｃ及び４ｄとは相対的に旋回して、第３図及び
第４図に示す状態に戻夛、かくしてウェーハ３８は実質
上垂直な状態に戻る。従って、支持具からのウェーハ３
８の取出しは、実質上鉛直な状態のウェーハ３Ｂを実質
上鉛直に上昇せしめればよく、充分容易に自動的に遂行
することができる。

しかして、上述した使用様式においては、支持具にウェ
ーハ３８を装填する際及び支持具からウェーッ〜３８を
取出す際には、支持具を第３図及び第４図に示す横置状
態にせしめたが、所望ならば、これに代えて、次の通シ
にせしめることもできる。

即ち、支持具にウェーハ３８を装填する際及び支持具か
らクエーノ・３８を取出す際には、支持具を懸架して保
持してはいるが、ロッド４ａ、４ｂ。

４Ｃ及び４ｄの全ての第５図における下端を実質上水平
な支持基面に接触せしめることによって、端板２＆及び
２ｂとロッド４ａ、４ｂ、４ｃ及び４ｄとの相対的関係
を第３図及び第４図に示す通〕の関係にせしめる。かく
すると、ロッド４ａ。

４ｂ、４ａ及び４ｄに形成されている保持溝３０は整合
されてその高さが実質上同一となシ、それ故に、実質上
水平な状態にあるウェーッ・３８を実質上水平な方向に
移動せしめることによって、従って充分容易に自動的に
、支持具に対するウェーハ３８の装填及び取出しを遂行
することができる。

次に、第６図乃至第９図を参照して、組立式支持具の第
２の具体例について説明する。第６図乃至第８図におい
て、図示の組立式支持具は、２個の端板１０２＆及び１
０２ｂ、並びに４本のロッド１０４ｍ、１０４ｂ、１０
４ｅ及び１０４ｄを含んでいる。

端板１０２ａ及び１０２ｂは、適宜の形状でよいて、図
示の具体例では円板状である。第６図及び第８図におい
て下方に位置する端板１０２１には、略対向する端部に
矩形状の貫通孔１０６が形成され、上記貫通孔１０６間
の一端部に間隔を置いて一端が開放された切欠き溝１０
８が形成されている。端板１０２ｍの外面（第６図及び
第８図において下側の面）の各々の切欠き溝１０８の開
放端を除く周囲には、コ字状の尚接凹所１１０（第８図
において片方のみ示す）が形成され（第９図も参照され
たい）、またその内面（第６図及び第８図において上側
の面）の各々の切欠き溝１０８の底部の両側には、装着
日用１１２が形成されている。第６図及び第８図におい
て上側に位置する端板１０２ｔｊにも、略対向する端部
に矩形状の貫通孔１１４が形成され、上記貫通孔１１４
間の一端部に間隔を置いて一端が開放された切欠き溝１
１６が形成されている。この端板１０２ｂの外面（第６
図及び第８図において上側の面）の各々の切欠き溝１１
６の開放端を除く周囲には、コ字状の当接凹所１１８が
形成され、この崩接凹所１１８の切欠き溝１１６の開放
端とは反対側の部位には、装着凹所１２０が形成されて
いる（第９図も参照されたい）。上記端板１０２ｂの略
中央部には、更に、矩形状の負通孔１２２が形成されて
いる。

４本のロッド１０４ｍ　、１０４ｂ　、１０４ｃ及び１
０４ｄは、円形、多角形等の適宜の横断面形状を有する
ものでよいが、製作の容易性等の見地から、矩形、特に
図示する如く正方形の横断面形状を有するのが好゛まし
い。中央部に位置する２本のロッド１０４Ａ及び１０４
ｂの各々には、両端部に段部１２４が形成されている。

段部１２４は横断面形状が正方形であル、ロッド１０４
ａ及び１０４ｂの主部（中間部）よシも細くなっている
。

両側に位置する２本のロッド１０４Ｃ及び１０４ｄの各
々は、一端から他端まで実質上同一の正方形の横断面形
状を有している。４本の上記ロッド１０４ａ、１０４ｂ
、１０４ａ及び１０４ｄの各々には、その主部（中間部
）に長手方向に所定の間隔を置いて複数個の保持溝１２
６が形成されている（第７図及び第８図参照）。かかる
保持溝１２６は、第７図に示す如く、ロッド１０４８．
１０４ｂ、１０４０及び１０４ｄが重要の通シに装着さ
れた状態において内側に位置する角部に形成されている
のが好都合である。即ち、かく保持溝３０を形成した場
合には、上述した如く、保持溝１２６の形成を容易且つ
迅速に遂行することができ、また保持溝１２６の形成に
起因するロッド１０４　ａ。

１０４ｂ、１０４ｅ及び１０４ｄの強度低下を相当小さ
くすることができる。尚、この具体例においても保持溝
１２６をロッド１０４ａ、１０４ｂ。

１０４ｃ及び１０４ｄの角部に形成しているが、所望な
らばこれに代えてロッド１０４ａ　、１０４ｂ＃　１０
４　ｃ及び１０４ｄの平面部に形成することもできる。

保持溝１２６の各々は、本具体例においても、第２図に
拡大して示す如く、開口端から所定深さＳまでは幅が漸
次減少するようにテーパが付けられておシ、上記所定深
さＳから底までは実質上同一の幅Ｗを有している。上記
実質上同一の幅Ｗは、この場合においても、それに挿入
される半導体ウェーハ又はその類似物の厚さよシも幾分
大きくせしめられていることが重要である。

上述した２個の端板１０２ａ及び１０２ｂ並びに４本の
ロッド１０４ａ　、１０４ｂ　、１０４ｃ及び１０４ｄ
は、第６図及び第７図に示す通シに組立てられて、半導
体ウェーハ１２８又はその類似物を支持するための支持
具を構成する。第６図乃至第８図を参照して説明すると
、まず、２個の端板１０２＆及び１０２ｂは所定の間隔
を置いて配設される。両側に位置するロッド１０４ｃ及
び１０４ｄの各々は、その一端部（下端部）を端板１０
２ａに形成された貫通孔１０６に挿入してその一端面が
端板１０２ａの外面と実質上同一平面となると共にその
他端部（上端部）を端板１０２ｂに形成された貫通孔１
１４に挿入してその他端面が端板ｉ　０２　ｂの外面と
実質上同一平面となるように位置付けられる。そして、
ロッド１０４ｃ及び１０４ｄの一端部と端板１０２ａの
貫通孔１０６との間に存在する間隙にテーバ状の楔１３
０が圧入され、ロッド１０４Ｃ及び１０４ｄの他端部と
端板１０２ｂの貫通孔１１４との間に存在する間隙にテ
ーパ状の楔１３２が圧入される。かくして、端板１０２
ａ及び１０２ｂ間にロッド１０４Ｃ及び１０４ｄが所要
の通シに組合せられる。上述したロッド１０４０及び１
０４ｄは、楔１３０及び１３２に代えて、それ自体公知
の他の方式によって組合せることもできる。即ち、例え
ば、ロッド１０４Ｃ及び１０４ｄの両端部に段部を形成
し、この段部にコ字状の保持片を係合せしめる、或いは
、ロッド１０４Ｃ及び１０４ｄの両端部に段部を形成す
ると共に端板１０２Ｓ及び１０２ｂに切欠き溝及び装着
凹所を形成し、上記切欠き溝を通して各ロッドの段部を
所要位置に位置付けた後上記装着凹所を通してコ字状の
保持片を上記段部に係合せしめることによって組合わせ
ることもできる。中央部に位置する２本のロッド１０４
ａ及び１０４ｂの各々は、その一端部（下端部）に形成
された段部１２４を端板１０２１の切欠き溝１０８に位
置付は且つその一端頭部１３４を端板１０２ａの当接凹
所１１０に位置付けると共に、その他端部（上端部）に
形成された段部１２４を端板１０２ｂの切欠き溝１１６
に位置付は且つその他端頭部１３４を端板１０２ｂの当
接凹所１１８に位置付けた後に、上記段部１２４の各々
を切欠き溝１０８及び１１６に沿って移動させることに
よって所要位置に位置付けられる。そして、端板１０２
畠に形成された装着凹所１１２の各々にコ字形の保持片
１３６が端板１０２ａの内面側から装着され、端板１０
２ｂに形成された装着凹所１２０の各々にコ字状の保持
片１３８が当接臼Ｗ１１１８を通して装着される。保持
片１３６及び１３８はその自重によって装着凹所１１２
及び１２０内に保持され、かくして中央部に位置するロ
ッド１０４ａ及び１０４ｂは、後述する如くその長手方
向に所定の範囲に渡って移動自在に装着されて組合せら
れる。かく糾合せられると、第８図及び第９図から容易
に理解される如く、ロッド１０４ａ及び１０４ｂの切欠
き溝１０８及び１１６からの脱落は、その段部１２４が
保持片１３６及び１３８に当接してその移動が妨げられ
る故に、確実に阻止される。上述したロッド１０４ａ及
び１０４ｂも、それ自体公知の他の方式によって組合わ
せることもできる。

上記端板１０２ｂの外面には、更に、鉤部１４０ａを有
する懸架部材１４０が装着される。懸架部材１４０は、
一端部を端板１０２ｂの略中央部に形成された貫通孔１
２２内に挿入してその一端部と貫通孔１２２との間に存
在する間隙にテーパ状の楔１４２を圧入することによっ
て、Ｍ要の通りに組合せられる。との懸架部材１４０も
、楔１４２に代えて、それ自体公知の方式によって組合
せることもできる。即ち、例えば、懸架部材１４０の一
端部に段部を形成し、この段部にコ字状の保持片を係合
せしめる、或いは懸架部材１４０の一端部に段部を形成
すると共に端板１０２ｂに装着凹所を形成し、この装着
凹所な通してコ字状の保持片を上記段部に係合せしめる
ことによって組合せることもできる。

上述した通シにして分解自在に組立てられて組立式支持
具を構成する各種部品も、シＩＪ　ｐンがら形成されて
いるのが好ましい。シリコンに代えて、石英ガラスから
上記各種部品を形成することもできる。石英ガラスから
形成する場合には、両側に位置するロッド１０４ｃ及び
１０４ｄを端板１０２ａ及び１０２ｂに、また懸架部材
１４０を端板１０２ｂに溶接によりｉ着することもでき
る。また、この場合には、例えばロッド１０４　ｍ　＋
　１０４　ｂ　−１０４ｏ及び１０４ｄにおいては、石
英ガラス中を金属材又は耐熱繊維等の補強材が長手方向
に延びるような形態にせしめることができる。

次に、上述した通シの組立式支持具の使用様式について
説明する。支持具に半導体ウエーーー（又はその類似物
）を装填する際には、支持具は第６図に示す通シの、第
１１の状態である載置状態、１３０ち端板１０２ａの外
面を実質上水平な適宜の支持基面１４４に接触せしめた
状態にせしめられる。

かかる載置状態においては、４本のロッド１０４ｍ、１
０４ｂ、１０４ｅ及び１０４ｄは実質上垂直に延びる。

そして、中央に位置するロッド１０４ａ及び１０４ｂは
、その一端頭部１３４（下端に位置する頭部）が支持基
面１４４に当接して上下方向（第６図において上下方向
、第７図において紙面に垂直な方向）上方に移動せしめ
られる故に、その一端頭部１３４が端板１０２ｍの当接
凹所１１０内に位置し、その一端頭部１３４の内面が上
記当接凹所１１０の底面に接触乃至隣接し、その主部の
他端側外面が端板１０２ｂの内面に接触乃至隣接する状
態に保持される（第６図参照）。かような載置状態にお
いては、４本のロッド１０４ｍ。

１０４ｂ、１０４ａ及び１０４ｄに形成されている保持
溝１２６は、第６図＆び第７図から明らかな如く、縦方
向、即ち上下方向（第６図において紙面に当直外方向）
に整合していることが重要である。支持具が上記載置状
態にせしめられている時には、容易に理解される如く、
ウェーハ１２８を実質上水平な状態で第６図に矢印１４
６で示す方向（第６図において左方向）に移動せしめて
、ウェー−１２６の左部周縁部の周方向に間隔を置いた
４個の部位を４本のロッド１０４　ａ　ｓ　１０４ｂ、
１０４ｃ及び１０４ｄの保持溝１２６に挿入することが
できる。従って、本具体例でも、充分容易にウェーハ１
２８を自動装填することができる。

ウェーハ１２６が装填された支持具を縦型拡散炉内へ収
容するには、適宜の懸架器具（図示せず）によって端板
１０２ｂに固定された懸架部材１４０の鉤部１４０ａを
把持して、第９図に矢印１４８で示す如く、支持具を吊
シ上げる。第９図に示す如く支持具を吊シ上げると、中
央に位置するロッド１０４ａ及び１０４ｂがそれ自身の
重鉦に起因して上下方向下方に移動し、かくして支持具
は第９図に示す通シの第２の状態である懸架状態になる
。この懸架状態においても、４本のロッド１０４ａ、１
０４ｂ、１０４及び１０４ｄは実質上垂直に延びる。そ
して、中央に位置するロッド１０４ａ及び１０４ｂは、
それ自身の自重によって下方に移動する故に、その他端
頭部１３４（上端に位置する頭部）の内面が装着凹所１
２０に装着された保持片１３８に当接し、その主部の一
端側外面が端板１０２＆の内面の一部及び装着凹所１１
２に装着された保持片１３６に当接する状態に保持され
る（第９図参照）。従って、上記懸架状態においては、
中央に位置するロッド１０４＆及び１０４ｂが両側に位
置するロッド１０４Ｃ及び１０４ｄに対して幾分下方に
ずれる。即ち、半導体ウェーハ１２８（又はその類似物
）の矢印１４６（第６図）で示す装着方向に見て前側に
位置するロッド１０４ｃ及び１０４ｄに対して後側に位
置するロッド１０４ａ及び１０４ｂが幾分下方にずれ、
従ってロッド１０４ｃ及び１０４ｄに形成されている保
持溝１２６に対してロッド１０４＆及び１０４ｂに形成
されている保持溝１２６が幾分下方にずれる。かくする
と、第９図に明確に図示する如く、ウェーハ１２Ｂはそ
の自由端が上方に向かって傾斜する状態となシ、従って
支持具からウェーハ１２８が偶発的に脱落することが充
分に防止される。支持具は懸架状態のままで拡散炉内に
収容され懸架状態に維持される。拡散炉内での拡散処理
が終了すると、支持具は拡散炉から取出され、次いで第
６図に示す通シの載置状態にせしめられる。しかる後に
、拡散処理されたウェー１１２８が支持具から取出され
る。支持具が載置状態にせしめられると、中央に位置す
るロッド１０４ａ及び１０４ｂが上方に移動されて第６
図に示す通りの状態となシ、かくして支持具に保持され
たウェーハ１２８は実質上水平な状態に戻る。従って、
支持具からのウェーハ１２８の取出しは、実質上水平な
状態にあるウェーハ１２８を矢印１４６（第６図）で示
す装着方向とは反対方向に移動せしめればよく、充分容
易に自動的に遂行することができる。

以上、添付図面を参照して本発明に従って構成された組
立式支持具の具体例について説明したが、本発明はかか
る具体例に限定されるものではなく、本発明の範囲を逸
脱することなく鍾々の変形乃至修正が可能である。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本発明に従って構成された組立式支持具の第
１の具体例を示す分解斜視図。 第２図は、第１図の組立式支持具のロッドに形成された
保持溝を示す拡大断面図。 第３図及び第４図は、夫々、第１図における組立式支持
具の組立てられ且つ横置された状態を示す平面図及び正
面図。 第５図は、第１図における組立式支持具の組立てられ且
つ懸架された状態を示す正面図。 第６図は、本発明に従って構成された組立式支持具の第
２の具体例を示す正面図。 第７図は、第６図における■−■による断面図。 第８図は、第６図における組立式支持具の分解された状
態を示す分解斜視図。 第９図は、第６図における組立式支持具の懸架された状
態を示す正面図。 ２ｍ、２ｂ、１０２ｍ及び１０２　ｂ　・・・端板４ａ
、４ｂ、４ｃ、４ｄ、１０４ａ、１０４ｂ。 １０４ｃ及び１０４ｄ・・・ロッド ３０及び１２６・・・保持溝 ３８及び１２８・・・半導体ウェーハ 特許出願人　株式会社テクニスコ 第６図

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、半導体ウェーハ又はその類似物を支持するための組
   立式支持具にして、間隔を置いて配設される２個の端板
   と、該端板間を延びる少なくとも２本のロッドとを含み
   、該ロッドの各々には、その長手方向に間隔を置いて複
   数個の保持溝が形成されておシ、該支持具は、各ロッド
   に形成されている該保持溝が相互に整合する第１の状態
   と、該整合が解除される第２の状態との間を変態自在で
   ある、ことを特徴とする組立式支持具。 ２、該ロッドの各々は、一端部が該端板の一方に他端部
   が該端板の他方に離脱自在に且つ相互に所定の角度範囲
   に渡って旋回自在に装着されて組合わされてお９、該支
   持具は、各ロッドに形成されている該保持溝が相互に整
   合する第１の状態と、該第１の状態から該端板の各々と
   該ロッドの各々の各端部とが該所定の角度範囲に渡って
   相対的に旋回して該整合が解除される第２の状態との間
   を変態自在である、特許請求の範囲第１項記載の組立式
   支持具。 ３、該端板間を相互に実質上平行に延びる少なくとも３
   本のロッドを含み、支持具へのウェーハ又はその類似物
   の装着方向に見て、少なくとも１本のロッドは他のロッ
   ドよシ、も後方に位置し、該第１の状態においては各々
   の該ロッドに形成された該保持溝は相互に整合するが、
   該第２の状態においては前側に位置するロッドに形成さ
   れた該保持溝に対して後側に位置するロッドに形成され
   た該保持溝が所定方向にずれる、特許請求の範囲第１項
   又は第２項記載の組立式支持具。 ４．該ロッドが実質上水平に延びる横置状態においては
   、該支持具は該第１の状態になり、該端板の一方の所定
   位置を懸架して該ロッドが実質上鉛直に延びる懸架状態
   にせしめると、該支持具はそれ自身の重量に起因して該
   第２の状態になり、該第２の状態においては前側に位置
   する該ロッドに形成された該保持溝に対して後側に位置
   する該ロッドに形成された該保持溝が下方にずれる、特
   許請求の範囲第３項記載の組立式５、少なくとも１本の
   該ロッドは、該端板間に所定方向に且つ所定の範囲に渡
   って移動自在に装着されて組合わされておシ、該支持具
   は、各ロッドに形成されている該保持溝が相互に整合す
   る該第１の状態と、該第１の状態から少なくとも１本の
   該ロッドが該端板に対して該所定の範囲に渡って移動し
   て該整合が解除される該第２の状態との間を変態自在で
   ある、特許請求の範囲第１項記載の組立式支持具。 ６、該端板間を相互に実質上平行に延びる少なくとも３
   体のロッドを含み、支持具へのウェーハ又はその類似物
   の装着方向に見て、少なくとも１体のロッドは他のロッ
   ドよシも後方に位置し、該第１の状態においては各々の
   該ロッドに形成された該保持溝は相互に整合するが、該
   第２の状態においては前側に位置するロッドに形成され
   た該保持溝に対して後側に位置するロッドに形成された
   該保持溝が該所定方向にずれる、特許請求の範囲第１項
   又は第５項記載の組立式支持具。 ７、該端板の一方が載置される載置状態においては、該
   支持具は該第１の状態にな夛、該端板の他方の所定位置
   を懸架して懸架状態にせしめると、該支持具は、後側に
   位置する該ロッドがそれ自身の重量に起因して下方に移
   動して該第２の状態になシ、該第２の状態においては前
   側に位置する該ロッドに形成された該保持溝に対して後
   側に位置する該ロッドに形成された該保持溝が下方にず
   れる、特許請求の範囲第６項記載の組立式支持具。 ８、該保持溝の各々は、開口端から所定深さまでは幅が
   漸次減少するようにテーパが付けられておシ、該所定深
   さから底までは実質上同一幅を有する、特許請求の範囲
   第１項乃至第７項いずれかに記載の組立式支持具。 ９、該ロッドの横断面形状は矩形であシ、該保持溝は該
   ロッドの一角部に形成されている、特許請求の範囲第１
   項乃至第８項いずれかに記載の組立式支持具。 １０、該端板及び該ロッドはシリコン製である、特許請
   求の範囲第１項乃至第９項いずれかに記載の組立式支持
   具。 １１、該端板及び該ロッドは石英ガラス製である、特許
   請求の範囲第１項乃至第９項いずれかに記載の組立式支
   持具。 １２、該ロッドは石英ガラス中を長手方向に延びる補強
   材を有する、特許請求の範囲第１１項記載の組立式支持
   具。