JPS6010228A - トランスデユ−サ−アレ− - Google Patents
トランスデユ−サ−アレ−Info
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- JPS6010228A JPS6010228A JP11708183A JP11708183A JPS6010228A JP S6010228 A JPS6010228 A JP S6010228A JP 11708183 A JP11708183 A JP 11708183A JP 11708183 A JP11708183 A JP 11708183A JP S6010228 A JPS6010228 A JP S6010228A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- frequency
- diffraction efficiency
- point
- light
- idt
- Prior art date
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- Pending
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
- G02F1/29—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the position or the direction of light beams, i.e. deflection
- G02F1/33—Acousto-optical deflection devices
- G02F1/335—Acousto-optical deflection devices having an optical waveguide structure
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Nonlinear Science (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［技術性！？］
本発明は音響光学（ＡＯ）効果を利用した素子の構成要
素として使用されるトランスデユーサ−アレー、特に光
導波型素子に用いられる弾性表面波（ＳＡＷ）ｈランス
デューサーアレーに関する。
素として使用されるトランスデユーサ−アレー、特に光
導波型素子に用いられる弾性表面波（ＳＡＷ）ｈランス
デューサーアレーに関する。
［従来技術］
光偏向器、スペクトラム−アナライザー、相関器などの
先導波型ＡＯ素子の構成要素として用いらえｉるトラン
スデューサーとして次第に広帯域のものが要求されるよ
うになっている。広帯域の５ＡＷｌ・ランスデューサー
を作製する方法は既にいくつか知られている。 その中
でη−いに異なる中心Ｉ？、１波数を持つ複数のくし型
トランスデユーサ−（ＩＤＴ）を導波光に対しそれぞれ
ブラッグ条ヂ１を満足するように異なる傾角にて配置し
てなるマルティプル・ティルテッドー５ＡＷＩ・ランス
デューサーアレー （ＭＴｓアレー）は構成が筒中であ
り、トランスデユーサ−作製後の電気的調整がＯｆ佳で
あるという利点がある。しかし、隣接するＩＤ Ｔの持
つ各々の周波数帯域の交わるクロスオーバー周波数にお
いで各ＩＤＴによる回折光間の位相差を補償１．てそれ
らが強め合うように加え合わせおためには通常電気的な
位相檜移器が必要である。
先導波型ＡＯ素子の構成要素として用いらえｉるトラン
スデューサーとして次第に広帯域のものが要求されるよ
うになっている。広帯域の５ＡＷｌ・ランスデューサー
を作製する方法は既にいくつか知られている。 その中
でη−いに異なる中心Ｉ？、１波数を持つ複数のくし型
トランスデユーサ−（ＩＤＴ）を導波光に対しそれぞれ
ブラッグ条ヂ１を満足するように異なる傾角にて配置し
てなるマルティプル・ティルテッドー５ＡＷＩ・ランス
デューサーアレー （ＭＴｓアレー）は構成が筒中であ
り、トランスデユーサ−作製後の電気的調整がＯｆ佳で
あるという利点がある。しかし、隣接するＩＤ Ｔの持
つ各々の周波数帯域の交わるクロスオーバー周波数にお
いで各ＩＤＴによる回折光間の位相差を補償１．てそれ
らが強め合うように加え合わせおためには通常電気的な
位相檜移器が必要である。
ＩＤＴを適切に配置することによってそのような電気的
位相椎移器を不要にする方法がＣ，Ｓ、Ｔｓａｉ：Ｇｕ
ｉｄｅｄ−Ｗａｖｅ Ａｃｏｕｓｔｏｏｐｔｔｃ Ｂｒ
ａｇｇ Ｍｏｄｕｌａｔｏｒｓｆｏｒ Ｗｉｄｅ−Ｂａ
ｎｄ Ｉｎｔｅｇｒａｔｅｄ ０ｐｔｉｃ ＧｏＩＩｍ
ｕｎｉｃａ−ｔｉｏｎｓ ａｎｄ Ｓｉｇｎａｌ Ｐｒ
ｏｃｅｓｓｉｎｇ、ＩＥＥＥ、Ｔｒａｎｓ−ａｃｔｉｏ
ｎｓ ｏｎ Ｃ１ｒｃｕｉｔｓ ａｎｄ Ｓｙｓｔｅｍ
ｓ、Ｖｏｌ、ＧＡＳ−２６゜１０７２−１０９８ （＋
９７９）あるいは水出願人による特願昭５７−２３００
８０号（昭和５７年１２月２８日出願）明細書に開示さ
れている。しかし、隣接するＩＤＴの配置を決定するた
めにそれらに示されている数式においては各ＩＤＴより
励振されるＳＡＷの初期位相を考慮しておらずそのため
にそのような初１すｊ位相が隣接するＩＤＴで〃いに異
なる場合にはクロスオーバー周波数において高い回折効
率が得られず、トランスデユーサ−アレーの全帯域にわ
たって一様な回折効率を持つようにすることがでＳない
という欠点があった。
位相椎移器を不要にする方法がＣ，Ｓ、Ｔｓａｉ：Ｇｕ
ｉｄｅｄ−Ｗａｖｅ Ａｃｏｕｓｔｏｏｐｔｔｃ Ｂｒ
ａｇｇ Ｍｏｄｕｌａｔｏｒｓｆｏｒ Ｗｉｄｅ−Ｂａ
ｎｄ Ｉｎｔｅｇｒａｔｅｄ ０ｐｔｉｃ ＧｏＩＩｍ
ｕｎｉｃａ−ｔｉｏｎｓ ａｎｄ Ｓｉｇｎａｌ Ｐｒ
ｏｃｅｓｓｉｎｇ、ＩＥＥＥ、Ｔｒａｎｓ−ａｃｔｉｏ
ｎｓ ｏｎ Ｃ１ｒｃｕｉｔｓ ａｎｄ Ｓｙｓｔｅｍ
ｓ、Ｖｏｌ、ＧＡＳ−２６゜１０７２−１０９８ （＋
９７９）あるいは水出願人による特願昭５７−２３００
８０号（昭和５７年１２月２８日出願）明細書に開示さ
れている。しかし、隣接するＩＤＴの配置を決定するた
めにそれらに示されている数式においては各ＩＤＴより
励振されるＳＡＷの初期位相を考慮しておらずそのため
にそのような初１すｊ位相が隣接するＩＤＴで〃いに異
なる場合にはクロスオーバー周波数において高い回折効
率が得られず、トランスデユーサ−アレーの全帯域にわ
たって一様な回折効率を持つようにすることがでＳない
という欠点があった。
［本発明の目的］
本発明は」−・記従来例の欠点を除去すべく成されたも
ので、入射光を全周波数帯域にわたって有効に回折する
ことのできる新規なトランスデユーサ−アレーを提供す
ることを目的とする。
ので、入射光を全周波数帯域にわたって有効に回折する
ことのできる新規なトランスデユーサ−アレーを提供す
ることを目的とする。
［本発明の実施例］
以下に図面を用いて本発明の実施例を詳細に説明する。
第１図はＭ’ｒＳアレーを用いた通常の光導波型ＡＯ素
子を示す図である。ｌはＴｉ拡散ＬｉＮｂＯ３等の先導
波路、２は光導波路ｌを伝搬する導波光（入射光）であ
る、３，４，５．６はそれぞれ異なる中心周波数をもち
目つ導波光２に対しそれぞれ異なる傾角をもって配置さ
れたＩＤＴであり。
子を示す図である。ｌはＴｉ拡散ＬｉＮｂＯ３等の先導
波路、２は光導波路ｌを伝搬する導波光（入射光）であ
る、３，４，５．６はそれぞれ異なる中心周波数をもち
目つ導波光２に対しそれぞれ異なる傾角をもって配置さ
れたＩＤＴであり。
７１−１：ＳＡＷ、８は５ＡＷ７による回折光、９は非
回折光である。尚、第１図はＭＴＳアレーの駆動周波数
がＳＡＷがＩＤＴ４からのみ励振されるような周波数で
ある場合について描かれている。ＩＤＴ４によって励振
された５ＡＷ７は入射光２に対１．て移動する凹折格ｒ
として働き、入射光２の一部はブラング回折され回折光
８となり、 一部はそのまま透過し非回折光９となる。
回折光である。尚、第１図はＭＴＳアレーの駆動周波数
がＳＡＷがＩＤＴ４からのみ励振されるような周波数で
ある場合について描かれている。ＩＤＴ４によって励振
された５ＡＷ７は入射光２に対１．て移動する凹折格ｒ
として働き、入射光２の一部はブラング回折され回折光
８となり、 一部はそのまま透過し非回折光９となる。
回折光８は非回折光９から分離され、信叶処理、記録等
に用いられる。 第２図はクロスオーバー周波数におけ
る導波光の回折を示す図である。 １１．１２は互いに
隣接するＩＤＴであり、異なる中心周波数をもつ。１３
．１４はそれぞれＩＤＴＩＩ、１２によって励振された
ＳＡＷである。１５は回折光束中の光線であり入射光束
中の光線１６と１７の回折光が加え合わさったものであ
る。クロスオーバー周波数においては５ＡＷ１３，１４
の２つのＳＡＷがそれぞれｊＤＴｌｌ、ｌ−２から同時
に励振される。 入射光束中の光線１６はＡ点で５ＡＷ
１３によって回折され、光線１７はＢ点で５ＡＷ１４に
よって回折されて回折光束の中の−っの光線１５となる
。
に用いられる。 第２図はクロスオーバー周波数におけ
る導波光の回折を示す図である。 １１．１２は互いに
隣接するＩＤＴであり、異なる中心周波数をもつ。１３
．１４はそれぞれＩＤＴＩＩ、１２によって励振された
ＳＡＷである。１５は回折光束中の光線であり入射光束
中の光線１６と１７の回折光が加え合わさったものであ
る。クロスオーバー周波数においては５ＡＷ１３，１４
の２つのＳＡＷがそれぞれｊＤＴｌｌ、ｌ−２から同時
に励振される。 入射光束中の光線１６はＡ点で５ＡＷ
１３によって回折され、光線１７はＢ点で５ＡＷ１４に
よって回折されて回折光束の中の−っの光線１５となる
。
光線１５は２つの回折光線が加え合わさったものである
ため、光線１５の強度を人きくするためには２つの回折
光線の位相が揃っていなければならない。そのためには
、ＩＤＴＩＩ及び１２により励振されるＳＡＷがクロス
オーバー周波数において回−の初期位相を有する場合に
は、以下の２つの条件が満足されればよい。
ため、光線１５の強度を人きくするためには２つの回折
光線の位相が揃っていなければならない。そのためには
、ＩＤＴＩＩ及び１２により励振されるＳＡＷがクロス
オーバー周波数において回−の初期位相を有する場合に
は、以下の２つの条件が満足されればよい。
（１）光線１６がＡ点に到るまでの光路長と光線１７が
Ｂ点を経てその回折光線がＡ点に到るまでの光路長との
差が導波光の波長λの整数倍であるこ（２）ＩＤＴＩＩ
からＡ点までの距離とＩＤＴ１２からＢ点までの距離の
差がクロスオーバー周波数における音波の波長Δ。の整
数倍であること。
Ｂ点を経てその回折光線がＡ点に到るまでの光路長との
差が導波光の波長λの整数倍であるこ（２）ＩＤＴＩＩ
からＡ点までの距離とＩＤＴ１２からＢ点までの距離の
差がクロスオーバー周波数における音波の波長Δ。の整
数倍であること。
ＩＤ’ｒ１１．１２はそれぞれの中心周波数において入
射光に対してブランク条ヂ１を満にするように傾けられ
るので、第２図におけるり、とｈずなわちＸ方向とＸ方
向のＩＤＴＩＩ、１２間の距離が定まれば２つのＩＤＴ
の配置は定まる。そして、上記２条件を満足するような
り５ とｈは既に上記特願昭５７−２３００８０号明細
書で述べられているように。
射光に対してブランク条ヂ１を満にするように傾けられ
るので、第２図におけるり、とｈずなわちＸ方向とＸ方
向のＩＤＴＩＩ、１２間の距離が定まれば２つのＩＤＴ
の配置は定まる。そして、上記２条件を満足するような
り５ とｈは既に上記特願昭５７−２３００８０号明細
書で述べられているように。
Ｄ、＝ ｙＯｓｉｎ八〇
へ（ｍ入ｃｏｓ ψ）／ （２ｓｉｎ ２０ｃ ）＋１
ｎ′ Δ、 ｓｉｎΔ０（１） ｈ＝２ｙｏｓｉｎ’ （ｉΔＯ／２） ＋（ｍ入ｓｉｎ ψ） ／ （２ｓｉｎ ２０． ）−
ｍ′ＡＴ： ｃｏｓΔ０（２） でめられる。
ｎ′ Δ、 ｓｉｎΔ０（１） ｈ＝２ｙｏｓｉｎ’ （ｉΔＯ／２） ＋（ｍ入ｓｉｎ ψ） ／ （２ｓｉｎ ２０． ）−
ｍ′ＡＴ： ｃｏｓΔ０（２） でめられる。
ここで、
Δθ＝０．−〇。
ψ＝２０゜ −０１
ｍ 、 ｍ′は整数
θ工 、０２はそれぞれＩＤＴＩＩ、１２の中心周波数
におけるブラッグ角 Ｏｏはクロスオーバー周波数におけるブラング角 ｙｏ、はＩＤＴＩＩの中心からＡ点までの距離。
におけるブラッグ角 Ｏｏはクロスオーバー周波数におけるブラング角 ｙｏ、はＩＤＴＩＩの中心からＡ点までの距離。
ところで、一般にはＩＤＴを含む駆動電気系の４、＋ｊ
性、ＩＤＴの形態などから必ずしも２つの５ＡＷ１３及
び１４の初期位相は・致していない。
性、ＩＤＴの形態などから必ずしも２つの５ＡＷ１３及
び１４の初期位相は・致していない。
第３図はＭＴＳアレーの駆動系を示す図である。２１は
オシレーター、２２はアンプ、２３はパワースプリンタ
−１２４はＩＤＴ２５，２６゜２７．２８への給電線で
あり、コネクター、ケーブル、マイクロストリップ、ワ
イヤーボンディング線等を含む。オシレーター２１は高
周波電気信号を発生する。この信号はアンプ２２で増幅
されパワースプリッター２３で４分割された後、ＩＤＴ
２５，２６，２７．２８へ印加される。ＩＤＴ２５．２
６，２７．２８は先に説明したように異なる中心周波数
をもち目つ入射光に対し異なる傾角をもって配置される
。 このような駆動系においでは例えばケーブル長やマ
イクロストリップの長さ等が一般に界なるためにＩＤＴ
２５．２６゜２７．２８へ印加される高周波信号の位相
がそれぞれ異なる。従って励振されるＳＡＷの初期位相
も一般に一致しないのである。
オシレーター、２２はアンプ、２３はパワースプリンタ
−１２４はＩＤＴ２５，２６゜２７．２８への給電線で
あり、コネクター、ケーブル、マイクロストリップ、ワ
イヤーボンディング線等を含む。オシレーター２１は高
周波電気信号を発生する。この信号はアンプ２２で増幅
されパワースプリッター２３で４分割された後、ＩＤＴ
２５，２６，２７．２８へ印加される。ＩＤＴ２５．２
６，２７．２８は先に説明したように異なる中心周波数
をもち目つ入射光に対し異なる傾角をもって配置される
。 このような駆動系においでは例えばケーブル長やマ
イクロストリップの長さ等が一般に界なるためにＩＤＴ
２５．２６゜２７．２８へ印加される高周波信号の位相
がそれぞれ異なる。従って励振されるＳＡＷの初期位相
も一般に一致しないのである。
隣接するＩＤＴのフィンカ一対数が異なる場合のＭＴＳ
アレーの 組のＩＤＴを第４図に示す。
アレーの 組のＩＤＴを第４図に示す。
３＋１ｉ４．．５対（ｒ）１イ７ガーを持っＩＤＴ、３
２は３対のフィンガーを持つＩＤＴである。フィンカー
列数は電気−ｉｆ響変換の帯域幅やＩＤＴのインピーダ
ンスに関係し様様なＩＤＴ設ｇ＋杖によって種種のもの
か作製される。 ０点はＩ ＤＴ３１のフィンカーの中
心でありフィンカー１．にある。Ｄ点はＩＤＴ３２のフ
ィンガーの中心でありフィンカー間にある。従ってＩＤ
Ｔ３１及びＩＤＴ３２によって励振されるＳＡＷは駆動
電気系によって生じた位相差がなかったとしてもクロス
オーバー周波数においては初期位相差を持つことになる
。
２は３対のフィンガーを持つＩＤＴである。フィンカー
列数は電気−ｉｆ響変換の帯域幅やＩＤＴのインピーダ
ンスに関係し様様なＩＤＴ設ｇ＋杖によって種種のもの
か作製される。 ０点はＩ ＤＴ３１のフィンカーの中
心でありフィンカー１．にある。Ｄ点はＩＤＴ３２のフ
ィンガーの中心でありフィンカー間にある。従ってＩＤ
Ｔ３１及びＩＤＴ３２によって励振されるＳＡＷは駆動
電気系によって生じた位相差がなかったとしてもクロス
オーバー周波数においては初期位相差を持つことになる
。
以Ｈの如きＳＡＷの初期位相差を考慮Ｌ７た場合には、
隣接するＩＤＴによる２つの回折光が位相が合って強め
合うように加え合わせられるためのＩＤＴの配置は以下
のようにして行えばよい。第２図を参照して、いまＩＤ
ＴＩＩによって励振される５ＡＷ１３とＩＤＴ１２によ
って励振される５ＡＷ１４がクロスオーバー周波数にお
いて初期位相差φ（ＳＡＷ１４が５ＡＷ１３より進んで
いるとする）を持つものとする。この位相差を補償する
にはＩＤＴ１２を５ＡＷ１４の伝搬方向に沿って（φ／
２）ＡＣ後方へ動かしてやれば良い。
隣接するＩＤＴによる２つの回折光が位相が合って強め
合うように加え合わせられるためのＩＤＴの配置は以下
のようにして行えばよい。第２図を参照して、いまＩＤ
ＴＩＩによって励振される５ＡＷ１３とＩＤＴ１２によ
って励振される５ＡＷ１４がクロスオーバー周波数にお
いて初期位相差φ（ＳＡＷ１４が５ＡＷ１３より進んで
いるとする）を持つものとする。この位相差を補償する
にはＩＤＴ１２を５ＡＷ１４の伝搬方向に沿って（φ／
２）ＡＣ後方へ動かしてやれば良い。
５ＡＷ１３，１４の伝搬方向のなす角はΔθであるから
、ＩＤＴ１２の移動によりＩＤＴＩＩ。
、ＩＤＴ１２の移動によりＩＤＴＩＩ。
１２間の距離はＸ方向には（Ａｅφ／２π）×ｓｉｎΔ
θ、Ｘ方向には−（Δ、φ／ ２ π） ＸｃｏｓΔ０
変化する。従って初期位相差φがあるときのＩＤＴの゛
配置を定めるり、とｈは次式で表わされる。
θ、Ｘ方向には−（Δ、φ／ ２ π） ＸｃｏｓΔ０
変化する。従って初期位相差φがあるときのＩＤＴの゛
配置を定めるり、とｈは次式で表わされる。
ｎ、＝ｙリ Ｓ１ｎ ΔＯ
＋（ｍ入ＣＱＳ ψ） ／ （、，２ｓｉｎ ’ θＣ
）＋（ｍ′ →−φ／２ｇ）Ａｃｓ１ｎΔθ （３）Ｋ
”’２ｙｐｓｉｎ２ （Δ０／２） ＋（ｍ入ｓｉｎψ） ／ （２ｓｉｎ ’ ０Ｃ）−ｃ
ｍ′ ＋φ／２π）Δ、 ＱＯ３Δ０（４）（３）、、
（４）式はり。を含んでおり２つの回折光の位相を合わ
せイ）条件は光束全体にわたって満たすことはできない
つ従って光束の中心光線に対してＬ式を適用するのが望
ましい。（３）、（４）式は一組の＃接するＩＤＴの位
置を定めるものであり順次トランスデユーサ−アレー全
体に適用される。
）＋（ｍ′ →−φ／２ｇ）Ａｃｓ１ｎΔθ （３）Ｋ
”’２ｙｐｓｉｎ２ （Δ０／２） ＋（ｍ入ｓｉｎψ） ／ （２ｓｉｎ ’ ０Ｃ）−ｃ
ｍ′ ＋φ／２π）Δ、 ＱＯ３Δ０（４）（３）、、
（４）式はり。を含んでおり２つの回折光の位相を合わ
せイ）条件は光束全体にわたって満たすことはできない
つ従って光束の中心光線に対してＬ式を適用するのが望
ましい。（３）、（４）式は一組の＃接するＩＤＴの位
置を定めるものであり順次トランスデユーサ−アレー全
体に適用される。
本発明の一実施例を第５図に示す。 ４１゜４２．４３
．４４はそれぞれ異なる中心周波数及び異なる傾角を持
つフィンガー数４．５対のＩＤＴである。このＭ’ｒＳ
アレーは７３０ＭＨｚの周波数帯域幅をｉも、Ｔｌｌｌ
７、散Ｙカ・ントし１Ｎｂｏｚ光導波路上に通常のフォ
トリソグラフィーの技術で作られている。光源として空
気中での波長９．８！ｉｐＬｍの半導体１／−ザーを用
い、ＴＭ、モードが使用される。モードインデックスは
２，２５と推定される。表１に各ＩＤＴの中心周波数ν
、１、中心周波数におけるブラッグ角ＯＬ＋、フィンガ
ー交差幅Ｗａ、フィンカー線＠ｊを示す。
．４４はそれぞれ異なる中心周波数及び異なる傾角を持
つフィンガー数４．５対のＩＤＴである。このＭ’ｒＳ
アレーは７３０ＭＨｚの周波数帯域幅をｉも、Ｔｌｌｌ
７、散Ｙカ・ントし１Ｎｂｏｚ光導波路上に通常のフォ
トリソグラフィーの技術で作られている。光源として空
気中での波長９．８！ｉｐＬｍの半導体１／−ザーを用
い、ＴＭ、モードが使用される。モードインデックスは
２，２５と推定される。表１に各ＩＤＴの中心周波数ν
、１、中心周波数におけるブラッグ角ＯＬ＋、フィンガ
ー交差幅Ｗａ、フィンカー線＠ｊを示す。
表Ｉ
このＭＴＳアレーの駆動゛電気系では隣接するＩＤＴに
よって励振されるＳＡＷの初期位相差φが表２に示す値
はどあることが予想された。
よって励振されるＳＡＷの初期位相差φが表２に示す値
はどあることが予想された。
表２
表３にクロスオーバー周波数ν。、θｃ、ｍ。
ψ、及びＳＡＷの初期位相差φを考慮して（３）、（４
）式で計算ＪれるＩ）ｑ、ｈを示す。
）式で計算ＪれるＩ）ｑ、ｈを示す。
表３
ここで、ＳＡＷの音速はＺ−伝搬の値３４８８ｍ／ｓｅ
ｃを用い、’ｌ Ｌｌは５．２ ｆｆ１ｍとした。また
ｍ′は０としている。
ｃを用い、’ｌ Ｌｌは５．２ ｆｆ１ｍとした。また
ｍ′は０としている。
第５図に示した実施例においてはＺＤＴの電極引き出し
線の＠Ｗｌ及び２つの引き出し線の間の間隔曽Ｓは５０
川−であり、フィンカーの先端と隣のフィンガーのバス
バーとの間１１Ｆ％Ｗｃｊｆ２０ｇｍである。 ＳＡＷ
の初期位相差φの補ｉＥの影響は隣接するＩＤＴのなす
角Δθが小さいためにり、よりもｈに大きく表われてい
る。
線の＠Ｗｌ及び２つの引き出し線の間の間隔曽Ｓは５０
川−であり、フィンカーの先端と隣のフィンガーのバス
バーとの間１１Ｆ％Ｗｃｊｆ２０ｇｍである。 ＳＡＷ
の初期位相差φの補ｉＥの影響は隣接するＩＤＴのなす
角Δθが小さいためにり、よりもｈに大きく表われてい
る。
ｔｆ４６図は第５図にポしたＭＴＳアレーを用いて得ら
れる回折効率の周波数特性の概略図である。
れる回折効率の周波数特性の概略図である。
ＩＤＴ４１．４２，４３．４４はそれぞれ第６図の破線
５１．５２．５３．５４で示される回折効率周波数特性
を持つ。そして、このＩＤＴ４１゜４２．４３．４４を
ト述の如く適切に配置した場合には実線５５で示される
様な回折効率周波数特性を示し、クロスオーバー周波数
で落ち込まない。 このように低周波数側−３ｄＢ点を
０．８８５ＧＨｚ 、高周波数倒−３ｄＢ点を１．４１
５ＧＨ２とする全帯域幅にわたって回折効率は比較的−
・様である。
５１．５２．５３．５４で示される回折効率周波数特性
を持つ。そして、このＩＤＴ４１゜４２．４３．４４を
ト述の如く適切に配置した場合には実線５５で示される
様な回折効率周波数特性を示し、クロスオーバー周波数
で落ち込まない。 このように低周波数側−３ｄＢ点を
０．８８５ＧＨｚ 、高周波数倒−３ｄＢ点を１．４１
５ＧＨ２とする全帯域幅にわたって回折効率は比較的−
・様である。
尚、ＩＤＴ４１，４２，４３．４４は高周波信号パワ一
対回折効率特性が異なるので印加する高周波信号のパワ
ーはパワースプリッター、減衰′ａ等で調節することが
望ましい。
対回折効率特性が異なるので印加する高周波信号のパワ
ーはパワースプリッター、減衰′ａ等で調節することが
望ましい。
以に、ＳＡＷの初期位相差φを考慮してり９、ｈを適切
に定める一方法について述べたが、同様の方法でＤ’、
、ｈは更に一般的な条件で定められることが明らかであ
ろう、すなわち、クロスオー／へ一周波数において２つ
の回折光の位相を揃えるための前記の２つの条件は必ず
しも絶対的なものでなく１例えば条件（１）に関して光
路長差が導波光の波長λの整数倍でなくとも条ヂ１（２
）を変えＳＡＷの２つの伝搬路の長さの差をりけスオー
バー周波数における音波の波長Δ。の整数倍とせず２つ
の回折光の位相差を補償するように２つのＳＡＷに位相
差を持たせておけば良い。
に定める一方法について述べたが、同様の方法でＤ’、
、ｈは更に一般的な条件で定められることが明らかであ
ろう、すなわち、クロスオー／へ一周波数において２つ
の回折光の位相を揃えるための前記の２つの条件は必ず
しも絶対的なものでなく１例えば条件（１）に関して光
路長差が導波光の波長λの整数倍でなくとも条ヂ１（２
）を変えＳＡＷの２つの伝搬路の長さの差をりけスオー
バー周波数における音波の波長Δ。の整数倍とせず２つ
の回折光の位相差を補償するように２つのＳＡＷに位相
差を持たせておけば良い。
従って、２つの回折光が加え合わされる際に位相が揃う
ための条件は（１）及び（２）の条件を適宜変更するこ
とにより数多くの組合わせが可能である。
ための条件は（１）及び（２）の条件を適宜変更するこ
とにより数多くの組合わせが可能である。
また、以１．の本発明の説明においては、光導波型ＡＯ
素−ｒを例にとり、光としては導波光、トランスデュー
サーとしてはＩＤＴ、超音波としては弾性表面波特にレ
ーレ−波の場合について述べたが本発明は特にこれらの
素子、光、トランスデユーサ−１汗波に限定されるもの
ではなく、類似の手段を用いる場合も同様にその目的が
達成されることは明らかである。
素−ｒを例にとり、光としては導波光、トランスデュー
サーとしてはＩＤＴ、超音波としては弾性表面波特にレ
ーレ−波の場合について述べたが本発明は特にこれらの
素子、光、トランスデユーサ−１汗波に限定されるもの
ではなく、類似の手段を用いる場合も同様にその目的が
達成されることは明らかである。
［本発明の効果］
以ヒの如く本発明によればクロスオーバー周波数におい
ても回折効率が落ちず全動作周波数帯域において一様な
回折効率を達成できるトランスデユーサ−アレーが得ら
れる。
ても回折効率が落ちず全動作周波数帯域において一様な
回折効率を達成できるトランスデユーサ−アレーが得ら
れる。
第１図はＭＴＳアレーを用い起光導波型ＡＯ素子の概略
図、第２図１：］クロスオーバー周波数における導波光
の回折を示す概略図、第３図はＭＴＳアレーの駆動系を
示すブロック図、第４図はフィンガ一対数の異なる一組
のＩＤＴを示す概略図、婉５図は本発明の一実施例を示
すａ略図、第６１４は″４：、発明の実施例のよって得
られる回折効率特性を示す概略図である。 １・・光４＃路、２・−入射光、３，４，５゜６＝ＩＤ
’ｒ、７−−ＳＡＷ、８・・回折光、９１非回折光、ｌ
ｌ 、 １２・弓ＤＴ、１３゜１４−−８ＡＷ、１５
＠−回折光、１６．１７−拳λ射光、２１−・オンレー
タ−１２２ａ＋１アンプ、２３・・パワースプリッター
、２４・・給電線、２５．２６．２７，２８拳・ＩＤＴ
、３１．３２−−ＩＤＴ、４１，４２，４３．４４・・
ＩＤＴ、５５・・回折効率特性。 第 ５ 回 周仮数 （ＭＨ，り
図、第２図１：］クロスオーバー周波数における導波光
の回折を示す概略図、第３図はＭＴＳアレーの駆動系を
示すブロック図、第４図はフィンガ一対数の異なる一組
のＩＤＴを示す概略図、婉５図は本発明の一実施例を示
すａ略図、第６１４は″４：、発明の実施例のよって得
られる回折効率特性を示す概略図である。 １・・光４＃路、２・−入射光、３，４，５゜６＝ＩＤ
’ｒ、７−−ＳＡＷ、８・・回折光、９１非回折光、ｌ
ｌ 、 １２・弓ＤＴ、１３゜１４−−８ＡＷ、１５
＠−回折光、１６．１７−拳λ射光、２１−・オンレー
タ−１２２ａ＋１アンプ、２３・・パワースプリッター
、２４・・給電線、２５．２６．２７，２８拳・ＩＤＴ
、３１．３２−−ＩＤＴ、４１，４２，４３．４４・・
ＩＤＴ、５５・・回折効率特性。 第 ５ 回 周仮数 （ＭＨ，り
Claims (1)
- （１）光を回折させるための超音波を励振するトラ）・
スデューサーアレーにおいて、開時に超音波を励振する
複数のトランスデユーサ−が該超音波による複数の回折
光が各励振超音波の初期位相差を補償して位相が揃って
加え合わされるように配置されていることを特徴とする
、トランスデユーサ−アレー。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11708183A JPS6010228A (ja) | 1983-06-30 | 1983-06-30 | トランスデユ−サ−アレ− |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11708183A JPS6010228A (ja) | 1983-06-30 | 1983-06-30 | トランスデユ−サ−アレ− |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6010228A true JPS6010228A (ja) | 1985-01-19 |
Family
ID=14702917
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11708183A Pending JPS6010228A (ja) | 1983-06-30 | 1983-06-30 | トランスデユ−サ−アレ− |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6010228A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6317428A (ja) * | 1986-07-08 | 1988-01-25 | Mitsubishi Electric Corp | ブラツグセル |
-
1983
- 1983-06-30 JP JP11708183A patent/JPS6010228A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6317428A (ja) * | 1986-07-08 | 1988-01-25 | Mitsubishi Electric Corp | ブラツグセル |
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