JPS599498B2 - 光学ガラスの製造方法 - Google Patents
光学ガラスの製造方法Info
- Publication number
- JPS599498B2 JPS599498B2 JP9575680A JP9575680A JPS599498B2 JP S599498 B2 JPS599498 B2 JP S599498B2 JP 9575680 A JP9575680 A JP 9575680A JP 9575680 A JP9575680 A JP 9575680A JP S599498 B2 JPS599498 B2 JP S599498B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- gel
- sintering
- surface area
- specific surface
- porous
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B19/00—Other methods of shaping glass
- C03B19/12—Other methods of shaping glass by liquid-phase reaction processes
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Silicon Compounds (AREA)
- Glass Melting And Manufacturing (AREA)
- Manufacture, Treatment Of Glass Fibers (AREA)
- Glass Compositions (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は金属アルコキシドを加水分解して作成した多孔
質ゲルを加熱焼結して得られる光学ガラスの製造方法に
関する。
質ゲルを加熱焼結して得られる光学ガラスの製造方法に
関する。
特に残留水分の少ないことが要求される光学部品、例え
ば光ガイド、レンズ、プリズムなどのガラス製造方法に
関するものである。最近、金属アルコキシド(例えばS
i(OCH3)4)を加水分解して得られる多孔質ゲル
を焼結し、無孔のブロック体(例えばシリカガラス体)
を作製する方法(以下ゲル・ゾル法と呼ぶ)が提示され
ている。第1図はゾル・ゲル法のプロセスの概要を示し
たもので、例えばSi(OCH3)4を原料とし、CH
3OHおよびH2Oを混合かくはんした11のち、所望
の容器に移し、容器をほぼ密閉、放置してゲル化させる
120つぎに容器の密閉度を徐々に悪くして残留物(水
やアルコール)を蒸発乾燥し13、しかるのち1100
℃以上で焼結ガラス化する140上記ゾル・ゲル法で得
られるシリカゲルは作成条件にも依存するが、比表面積
約800m”/gの多孔質体であり、平均細孔径は20
〜100λである。
ば光ガイド、レンズ、プリズムなどのガラス製造方法に
関するものである。最近、金属アルコキシド(例えばS
i(OCH3)4)を加水分解して得られる多孔質ゲル
を焼結し、無孔のブロック体(例えばシリカガラス体)
を作製する方法(以下ゲル・ゾル法と呼ぶ)が提示され
ている。第1図はゾル・ゲル法のプロセスの概要を示し
たもので、例えばSi(OCH3)4を原料とし、CH
3OHおよびH2Oを混合かくはんした11のち、所望
の容器に移し、容器をほぼ密閉、放置してゲル化させる
120つぎに容器の密閉度を徐々に悪くして残留物(水
やアルコール)を蒸発乾燥し13、しかるのち1100
℃以上で焼結ガラス化する140上記ゾル・ゲル法で得
られるシリカゲルは作成条件にも依存するが、比表面積
約800m”/gの多孔質体であり、平均細孔径は20
〜100λである。
このゲル状態を微粒子の集合体とした場合約100λの
微粒子の集まりに相当する。加水分解で作成した、この
ような比表面積の大きい、換言すれば、表面吸着点の多
い多孔質体を通常の加熱焼結すると、ゲルが発泡したり
、著しいときは破裂を生ずる場合がある。上記発泡を生
ずる主な吸着物としては、加水分解溶液の原料である、
水やアルコールおよび化学吸着した0CH3、OH基な
どがある。したがつて多孔質ゲルの焼結にあたつては、
これらの残留物を除去することが不可欠である。具体的
には約300℃に加熱して吸着アルコ−ルや水を除去し
たのち、約400℃で−0CH3基を酸化処理する。0
H基の除去処理(脱0H処理)に関しては塩化チオニル
、あるいは塩素雰囲気中400℃以上で加熱することに
よりある程度達せられることが当業者にはよく知られて
いる。
微粒子の集まりに相当する。加水分解で作成した、この
ような比表面積の大きい、換言すれば、表面吸着点の多
い多孔質体を通常の加熱焼結すると、ゲルが発泡したり
、著しいときは破裂を生ずる場合がある。上記発泡を生
ずる主な吸着物としては、加水分解溶液の原料である、
水やアルコールおよび化学吸着した0CH3、OH基な
どがある。したがつて多孔質ゲルの焼結にあたつては、
これらの残留物を除去することが不可欠である。具体的
には約300℃に加熱して吸着アルコ−ルや水を除去し
たのち、約400℃で−0CH3基を酸化処理する。0
H基の除去処理(脱0H処理)に関しては塩化チオニル
、あるいは塩素雰囲気中400℃以上で加熱することに
よりある程度達せられることが当業者にはよく知られて
いる。
脱0H処理が0HとClの置換反応に帰せられるため、
すみやかな反応は700℃以上の温度で達せられている
。ところで上記、加熱、酸化、脱0H処理を経た多孔質
ゲルを加熱焼結すると発泡する場合がある。
すみやかな反応は700℃以上の温度で達せられている
。ところで上記、加熱、酸化、脱0H処理を経た多孔質
ゲルを加熱焼結すると発泡する場合がある。
この原因は2つ考えられる。1つは脱0H処理によつて
、0Hと置換した多量のClが焼結によつてガラス内に
取込まれることによる。
、0Hと置換した多量のClが焼結によつてガラス内に
取込まれることによる。
2つ目は焼結の雰囲気ガスが細孔の閉気孔内に閉じ込め
られたことによる。
られたことによる。
後者の原因はゲルの細孔分布などにも依存するものであ
る。本発明は、低0H含有ガラスの製造方法において、
上記脱0H処理によつて0Hと置換した塩素のガラス内
への含有を著しく減じ、焼結時の発泡を防止する手法を
提供するものである。
る。本発明は、低0H含有ガラスの製造方法において、
上記脱0H処理によつて0Hと置換した塩素のガラス内
への含有を著しく減じ、焼結時の発泡を防止する手法を
提供するものである。
0HとClの置換はCl2のシリカバルクガラス体内で
の拡散が800℃〜1000℃の温度ではほとんど起ら
ないことから主としてゲル細孔表面で進んでいると考え
られる。
の拡散が800℃〜1000℃の温度ではほとんど起ら
ないことから主としてゲル細孔表面で進んでいると考え
られる。
すなわちClの吸着サイトの数は多孔体の表面積に比例
することが予想される。一方多孔質ゲルの微粒子(約1
00λ)内に存在する0Hの拡散速度はシリカガラス内
での0Hの拡散係数D=〜10−8cTi1/sから推
定するとかなり大きい。したがつて、多孔質ゲルの微粒
子内部に存在する0H基は微粒子表面(細孔表面)まで
拡散し、Clと置換して除去される。上記の予想のもと
に実験を行ない得られた結果を第2図に示す。横軸は多
孔質ゲルの比表面積、縦軸は横軸に示した比表面積のゲ
ルを900℃で脱0H処理し、さらに焼結無孔化したと
きの塩素含有量である。ここで塩素含有量は無孔化ガラ
ス体の屈折率から求めた値である。また比表面積の異な
る多孔質ゲルはゲルを900℃〜11000Cで部分焼
結し、部分的に細孔をつぶし細孔表面積を減じる方法で
作成した。第2図から明らかなように焼結後の無孔ガラ
ス体中に含まれる塩素量は脱0Hの塩素処理をほどこさ
れるときのゲル比表面積に比例することがわかる。加え
て第2図中の全測定点で0H量は測定限界(く3ppm
)以下であつた。なお比表面積を減少させると若干脱0
H処理の速度が遅くなつたことを附言する。上記のこと
から、多孔質ゲルの比表面積を小さくすることによつて
Clのガラスバルク体への含有を少なくし得ることが明
白となつた。
することが予想される。一方多孔質ゲルの微粒子(約1
00λ)内に存在する0Hの拡散速度はシリカガラス内
での0Hの拡散係数D=〜10−8cTi1/sから推
定するとかなり大きい。したがつて、多孔質ゲルの微粒
子内部に存在する0H基は微粒子表面(細孔表面)まで
拡散し、Clと置換して除去される。上記の予想のもと
に実験を行ない得られた結果を第2図に示す。横軸は多
孔質ゲルの比表面積、縦軸は横軸に示した比表面積のゲ
ルを900℃で脱0H処理し、さらに焼結無孔化したと
きの塩素含有量である。ここで塩素含有量は無孔化ガラ
ス体の屈折率から求めた値である。また比表面積の異な
る多孔質ゲルはゲルを900℃〜11000Cで部分焼
結し、部分的に細孔をつぶし細孔表面積を減じる方法で
作成した。第2図から明らかなように焼結後の無孔ガラ
ス体中に含まれる塩素量は脱0Hの塩素処理をほどこさ
れるときのゲル比表面積に比例することがわかる。加え
て第2図中の全測定点で0H量は測定限界(く3ppm
)以下であつた。なお比表面積を減少させると若干脱0
H処理の速度が遅くなつたことを附言する。上記のこと
から、多孔質ゲルの比表面積を小さくすることによつて
Clのガラスバルク体への含有を少なくし得ることが明
白となつた。
以下実施例による詳細な説明をする。
実施例 1
Si(0CH3)415.2g1メタノール14.4g
1蒸留水7.2gを混合かくはんし、内径10m1Lの
ガラス容器に入れ70℃の恒温そう内でゲル化させたの
ち、残留の水およびメタノールを蒸発乾燥し、約5.3
φの円柱状ゲルを作成した。
1蒸留水7.2gを混合かくはんし、内径10m1Lの
ガラス容器に入れ70℃の恒温そう内でゲル化させたの
ち、残留の水およびメタノールを蒸発乾燥し、約5.3
φの円柱状ゲルを作成した。
ゲルの比表面積は約800wI/g1嵩密度は約1.1
5g/dであり比表面積と嵩密度から算出した平均の細
孔径は約20人であつた。このゲルを長さ20mm1こ
破断した数ケのゲルを同時に加熱し、まず200℃で吸
着アルコール、水を蒸発させ、400℃で0CH3を酸
化除去した。次にこれらのゲルの1つを酸素雰囲気中に
て約100℃/Hrで800℃まで昇温加熱したものの
比表面積を測定したところ、約500イ/gと若干減少
していた。他のゲルを用いて同様に900℃、1000
℃、1100℃の温度まで昇温加熱処理したところ比表
面積はそれぞれ約300、約1001約10イ/gとす
ることができた。雰囲気はいずれも酸素とした。ただし
、1100℃に加熱した試料については焼結の過程で生
じると考えられる閉気孔による発泡が見られた。
5g/dであり比表面積と嵩密度から算出した平均の細
孔径は約20人であつた。このゲルを長さ20mm1こ
破断した数ケのゲルを同時に加熱し、まず200℃で吸
着アルコール、水を蒸発させ、400℃で0CH3を酸
化除去した。次にこれらのゲルの1つを酸素雰囲気中に
て約100℃/Hrで800℃まで昇温加熱したものの
比表面積を測定したところ、約500イ/gと若干減少
していた。他のゲルを用いて同様に900℃、1000
℃、1100℃の温度まで昇温加熱処理したところ比表
面積はそれぞれ約300、約1001約10イ/gとす
ることができた。雰囲気はいずれも酸素とした。ただし
、1100℃に加熱した試料については焼結の過程で生
じると考えられる閉気孔による発泡が見られた。
同様の条件で作成したゲルを同様の条件で酸化処理し、
今度はHeが50%以上含有する雰囲気で加熱し部分焼
結したところ800,900,1000,1100℃ま
で昇温加熱した場合の比表面積は上記とほぼ同じであり
、さらに、1100℃処理の試料においても発泡は見ら
れなかつた。
今度はHeが50%以上含有する雰囲気で加熱し部分焼
結したところ800,900,1000,1100℃ま
で昇温加熱した場合の比表面積は上記とほぼ同じであり
、さらに、1100℃処理の試料においても発泡は見ら
れなかつた。
但しこの1100℃焼結試料を1150℃に加熱したと
ころ含有0Hによると考えられる発泡が生じた。上記H
e含有雰囲気中800℃、900℃、1000℃で部分
焼結したゲルを塩素雰囲気中800℃で約10時間処理
後さらに温度を上げHe雰囲気中で焼結した。
ころ含有0Hによると考えられる発泡が生じた。上記H
e含有雰囲気中800℃、900℃、1000℃で部分
焼結したゲルを塩素雰囲気中800℃で約10時間処理
後さらに温度を上げHe雰囲気中で焼結した。
0H量とCl量を測定した結果、0H量は3ppm以下
であり、かつ含有Cl量はCl2処理前の比表面積とと
もに減じ、1000℃で部分焼結した比表面積約100
m”/gの試料では約4000ppmであつた。
であり、かつ含有Cl量はCl2処理前の比表面積とと
もに減じ、1000℃で部分焼結した比表面積約100
m”/gの試料では約4000ppmであつた。
含有塩素による発泡は約5000ppm以上で生じてお
り、100m″/g以下の比表面積で脱0Hすることが
望ましい。但し、比表面積を減じるとともに脱0H処理
速度は遅くなる傾向があり、実験の結果、30TI/g
以下では実用的な速度では処理が完了しないことが示さ
れた。なお、上記塩素雰囲気中での加熱処理は、前述の
ように、400℃以上で効果のあることが知られている
。
り、100m″/g以下の比表面積で脱0Hすることが
望ましい。但し、比表面積を減じるとともに脱0H処理
速度は遅くなる傾向があり、実験の結果、30TI/g
以下では実用的な速度では処理が完了しないことが示さ
れた。なお、上記塩素雰囲気中での加熱処理は、前述の
ように、400℃以上で効果のあることが知られている
。
また、上記したように発泡の生じない試料は部分焼結温
度が1000℃以下の場合に得られているので、塩素雰
囲気中での加熱処理温度は1000℃未満とする。した
がつて、本発明の方法における塩素雰囲気中での加熱処
理温度は400℃以上10000C未満で部分焼結温度
より低い温度が適当である。Si(0CH3)4の加水
分解水のPH値などゲル作成条件によつて、作成された
ゲルの比表面積、細孔分布が変化する。
度が1000℃以下の場合に得られているので、塩素雰
囲気中での加熱処理温度は1000℃未満とする。した
がつて、本発明の方法における塩素雰囲気中での加熱処
理温度は400℃以上10000C未満で部分焼結温度
より低い温度が適当である。Si(0CH3)4の加水
分解水のPH値などゲル作成条件によつて、作成された
ゲルの比表面積、細孔分布が変化する。
このゲル状態の変化に伴ない、上記部分焼結温度とゲル
比表面積の関係も変化する。しカル本発明で述べたガラ
スバルク体中に残留するCl量を低減する手法、概念は
広く通用することが可能であり、必要なデータは実験に
より確認すればよい。また種々の原料、とくにシリカに
ドーパントとしてGe,P,Zr,Ti,Sn,Bi,
Te,Taなどを添加した組成においても当然成立する
ことは勿論であり、これを理解するに難くない。
比表面積の関係も変化する。しカル本発明で述べたガラ
スバルク体中に残留するCl量を低減する手法、概念は
広く通用することが可能であり、必要なデータは実験に
より確認すればよい。また種々の原料、とくにシリカに
ドーパントとしてGe,P,Zr,Ti,Sn,Bi,
Te,Taなどを添加した組成においても当然成立する
ことは勿論であり、これを理解するに難くない。
第1図はゲル・ゾル法の工程の概要を説明する図、第2
図は塩素による脱0H処理前の多孔質ゲルの比表面積と
、脱0H処理ならびに焼結後のCl含有量との関係を示
したグラフである。 13:ドライゲルの得られた状態、14:ガラス化され
た状態。
図は塩素による脱0H処理前の多孔質ゲルの比表面積と
、脱0H処理ならびに焼結後のCl含有量との関係を示
したグラフである。 13:ドライゲルの得られた状態、14:ガラス化され
た状態。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1 金属アルコキシドを加水分解して得られる多孔質ゲ
ルを加熱焼結し無孔の酸化物ブロック体を得る方法にお
いて、一旦加熱処理して該ゲルを部分焼結したのち、塩
素含有雰囲気において部分焼結した温度より低くかつ4
00℃以上1000℃未満に加熱処理を行ない、しかる
のちに該塩素処理温度より高い温度で焼結することを特
徴とする光学ガラスの製造方法。 2 上記部分焼結として該ゲルの比表面積が30〜10
0m^2/gになるまで該ゲルの細孔をつぶすことを特
徴とする特許請求の範囲第1項記載の光学ガラスの製造
方法。 3 上記部分焼結をHe含有雰囲気中で行なうことを特
徴とする特許請求の範囲第1項もしくは第2項記載の光
学ガラスの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9575680A JPS599498B2 (ja) | 1980-07-15 | 1980-07-15 | 光学ガラスの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9575680A JPS599498B2 (ja) | 1980-07-15 | 1980-07-15 | 光学ガラスの製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5722128A JPS5722128A (en) | 1982-02-05 |
| JPS599498B2 true JPS599498B2 (ja) | 1984-03-02 |
Family
ID=14146332
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9575680A Expired JPS599498B2 (ja) | 1980-07-15 | 1980-07-15 | 光学ガラスの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS599498B2 (ja) |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS59107937A (ja) * | 1982-12-10 | 1984-06-22 | Seiko Epson Corp | 石英ガラスの製造法 |
| JPS59116134A (ja) * | 1982-12-23 | 1984-07-04 | Seiko Epson Corp | 石英ガラスの製造法 |
| JPS6191021A (ja) * | 1984-09-20 | 1986-05-09 | Seiko Epson Corp | 石英ガラスの製造方法 |
| US6732549B1 (en) * | 2000-08-01 | 2004-05-11 | Lucent Technologies Inc. | Multi-pass sintering of a sol-gel body through a hot zone |
-
1980
- 1980-07-15 JP JP9575680A patent/JPS599498B2/ja not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5722128A (en) | 1982-02-05 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US4317668A (en) | Method for producing silica glass | |
| US4432956A (en) | Preparation of monolithic silica aerogels, the aerogels thus obtained and their use for the preparation of silica glass articles and of heat-insulating materials | |
| JP4381512B2 (ja) | 多孔性グラファイトるつぼを使用するシリカ顆粒の処理方法 | |
| WO1984002519A1 (fr) | Procede de production de verre de quartz | |
| US3459522A (en) | Method of treating a porous,high silica content glass | |
| JPH0840737A (ja) | 高粘度合成石英ガラス部材およびその製造方法 | |
| KR890001123B1 (ko) | 광파이버용 유리모재의 소결방법 | |
| JPS599498B2 (ja) | 光学ガラスの製造方法 | |
| GB2113200A (en) | Process for producing optical glass | |
| CA1071409A (en) | Method for the production of bubble-free objects of quartz glass by drawing | |
| Susa et al. | Reduction of chlorine content in sol-gel derived silica glass | |
| JPH03275527A (ja) | 多孔質シリカガラス粉末 | |
| JP2522830B2 (ja) | 半導体熱処理用石英ガラス材料及びその製造方法 | |
| JPS5842136B2 (ja) | 光フアイバ母材の製造方法 | |
| Kobayashi et al. | Visible rays cutoff and infrared transmission properties of TeO2–GeO2–V2O5–PbF2 glass systems | |
| JPS6150886B2 (ja) | ||
| CA1192409A (en) | Process for producing optical glass | |
| JPS61281036A (ja) | 光フアイバ用母材の製造方法 | |
| SU604837A1 (ru) | Способ получени фотохромного стекла | |
| US3362805A (en) | Production of foam glass | |
| JPS60108325A (ja) | ガラスの製造方法 | |
| GB2075003A (en) | Method for Producing Optical Glass | |
| JPH07223843A (ja) | 化学強化ガラスの製造方法 | |
| JPS63295455A (ja) | シリカ含有ガラス製品の製造方法 | |
| KR830002196B1 (ko) | 광파이버용 유리소재의 제조방법 |