JPS5992564A - カラ−固体撮像素子 - Google Patents
カラ−固体撮像素子Info
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- JPS5992564A JPS5992564A JP57204146A JP20414682A JPS5992564A JP S5992564 A JPS5992564 A JP S5992564A JP 57204146 A JP57204146 A JP 57204146A JP 20414682 A JP20414682 A JP 20414682A JP S5992564 A JPS5992564 A JP S5992564A
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- JP
- Japan
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- green
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- patterns
- yellow
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- Pending
Links
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- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 2
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L31/00—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
- H01L31/02—Details
- H01L31/0216—Coatings
- H01L31/02161—Coatings for devices characterised by at least one potential jump barrier or surface barrier
- H01L31/02162—Coatings for devices characterised by at least one potential jump barrier or surface barrier for filtering or shielding light, e.g. multicolour filters for photodetectors
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- Optical Filters (AREA)
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の技術分野〕
との発明はカラー固体撮像素子に関し、特にモザイク状
カラーフィルタの構成に係わるものである。
カラーフィルタの構成に係わるものである。
カラー固体撮像素子は、これを組み込むカメラによって
カラーフィルタ、いわゆる色分解フィルタの構成が異な
る。すなわち、同素子を１個、２個または３個用いるこ
とによって、１板式、２板式および３板式と呼ばれ、１
板式および２板式では、色の３原色、換言すると赤色（
以下Ｒとも称する）、緑色（以下Ｇとも称する）、およ
び青色（以下Ｂとも称する）についての各色情報を得る
ためにフィルタの色の種類を選択する必要があシ、３板
式にあってだけ、それぞれにＲ，Ｇ、Ｈのように単色の
フィルタが用いられる。
カラーフィルタ、いわゆる色分解フィルタの構成が異な
る。すなわち、同素子を１個、２個または３個用いるこ
とによって、１板式、２板式および３板式と呼ばれ、１
板式および２板式では、色の３原色、換言すると赤色（
以下Ｒとも称する）、緑色（以下Ｇとも称する）、およ
び青色（以下Ｂとも称する）についての各色情報を得る
ためにフィルタの色の種類を選択する必要があシ、３板
式にあってだけ、それぞれにＲ，Ｇ、Ｈのように単色の
フィルタが用いられる。
こ＼では前記１板式のカラーカメラに適用するカラー固
体撮像素子を対象とするが、従来、この場合にあってカ
ラーフィルタのモザイク状パターンの色構成は、第１図
および第２図に示すように、緑色（Ｇ）パターン（１）
を市松模様状に配し、この緑色（Ｇ）以外はすべて青色
（Ｂ）か赤色（Ｒ）として、１列毎に青色（Ｂ）パター
ン（２）と赤色（Ｒ）パターン（３）とを交互に繰シ返
して配列したものである。なお、ちなみに第２図にあっ
て、（４）はシリコン半導体基板、（５）は基板上にｐ
−ｎ接合を形成して感光部とした拡散層、（６）はゲ
ート、σ）はドレインとなる拡散層、（８）は垂直信号
線、（９）は遮光層、（１０）は平坦化層を示している
。
体撮像素子を対象とするが、従来、この場合にあってカ
ラーフィルタのモザイク状パターンの色構成は、第１図
および第２図に示すように、緑色（Ｇ）パターン（１）
を市松模様状に配し、この緑色（Ｇ）以外はすべて青色
（Ｂ）か赤色（Ｒ）として、１列毎に青色（Ｂ）パター
ン（２）と赤色（Ｒ）パターン（３）とを交互に繰シ返
して配列したものである。なお、ちなみに第２図にあっ
て、（４）はシリコン半導体基板、（５）は基板上にｐ
−ｎ接合を形成して感光部とした拡散層、（６）はゲ
ート、σ）はドレインとなる拡散層、（８）は垂直信号
線、（９）は遮光層、（１０）は平坦化層を示している
。
しかしてこのような構成のモザイク状カラーくターンを
、例えばＭＯＳ型あるいはＣＣＤ型カラー固体撮像素子
の２＝１インタ一レース走査方式で読み出すと、その撮
像信号からは黄色シアン色のフリッカを生ずることにな
り、これはまたモザイク状カラーパターンの色配列のう
ち、緑色（Ｇ）パターンをそのま＼とし、青色（Ｂ）パ
ターンをシアン色（Ｃｙ）に、赤色（Ｒ）パターンを黄
色（Ｙａ）に変更しても同様である。そしてまた第２図
からも明らかなようにとの従来例にあっては、各色パタ
ーンのそれぞれが相互に独立に形成されていて、フィル
タ全体の構造を複雑化しているなどの不利もあって好ま
しくないものであった。
、例えばＭＯＳ型あるいはＣＣＤ型カラー固体撮像素子
の２＝１インタ一レース走査方式で読み出すと、その撮
像信号からは黄色シアン色のフリッカを生ずることにな
り、これはまたモザイク状カラーパターンの色配列のう
ち、緑色（Ｇ）パターンをそのま＼とし、青色（Ｂ）パ
ターンをシアン色（Ｃｙ）に、赤色（Ｒ）パターンを黄
色（Ｙａ）に変更しても同様である。そしてまた第２図
からも明らかなようにとの従来例にあっては、各色パタ
ーンのそれぞれが相互に独立に形成されていて、フィル
タ全体の構造を複雑化しているなどの不利もあって好ま
しくないものであった。
この発明は従来のこのような欠点をカラーパターンの効
果的な組み合わせ配列によって改良し、併せて全体構造
の簡略化を図ったものである。
果的な組み合わせ配列によって改良し、併せて全体構造
の簡略化を図ったものである。
以下、この発明の一実施例につき、第３図および第４図
を参照して詳細に説明する。
を参照して詳細に説明する。
これらの第３図および第４図実施例において前記第１図
および第２図と同一符号は同一または相当部分を示して
いる。
および第２図と同一符号は同一または相当部分を示して
いる。
この実施例でのモザイク状カラーパターンの色配列は、
第３図に示すように、まず緑色（Ｇ）パターン（１１）
を従来と同様に市松模様状として、この視感度の高いＧ
により輝度信号の主成分を形成させ、ついでシアン色（
ｃｙ）パターン（１２）と黄色（Ｙｅ）パターン（１３
）を２行づ＼、２行飛びに設けて構成する。
第３図に示すように、まず緑色（Ｇ）パターン（１１）
を従来と同様に市松模様状として、この視感度の高いＧ
により輝度信号の主成分を形成させ、ついでシアン色（
ｃｙ）パターン（１２）と黄色（Ｙｅ）パターン（１３
）を２行づ＼、２行飛びに設けて構成する。
従ってこの実施例パターン構成によると、シアン色（Ｃ
ｙ）パターン（１２）では青色（Ｂ）と緑色（Ｇ）。
ｙ）パターン（１２）では青色（Ｂ）と緑色（Ｇ）。
黄色（Ｙｅ ）パターン（１３）では緑色（Ｇ）と赤色
（Ｒ）のそれぞれ両色が受光部である拡散層（５）に各
々入射されることになり、その入射光量は第１図従来例
でのような赤色（Ｒ）、緑色（Ｇ） ｒ １色（δ）の
３原色構成のカラーフィルタに比較して大きくなる。そ
してこのときの分解色の構成は、２：１インターレース
による走査方式で、ＡフィールドがＧ −ＣＦ−Ｇ −
Ｙｅとなり、ｎフィールドでＣｙ−Ｇ−Ｙａ−Ｇとなっ
て、Ａ、Ｂ両フィールド共に４絵素単位で４Ｇ十Ｂ十Ｈ
のように輝度信号の主成分を形成し、このためＡ、Ｂ両
フィールドにおいてフリッカを生ずることがなく、安定
した色再現性を得られるのである。
（Ｒ）のそれぞれ両色が受光部である拡散層（５）に各
々入射されることになり、その入射光量は第１図従来例
でのような赤色（Ｒ）、緑色（Ｇ） ｒ １色（δ）の
３原色構成のカラーフィルタに比較して大きくなる。そ
してこのときの分解色の構成は、２：１インターレース
による走査方式で、ＡフィールドがＧ −ＣＦ−Ｇ −
Ｙｅとなり、ｎフィールドでＣｙ−Ｇ−Ｙａ−Ｇとなっ
て、Ａ、Ｂ両フィールド共に４絵素単位で４Ｇ十Ｂ十Ｈ
のように輝度信号の主成分を形成し、このためＡ、Ｂ両
フィールドにおいてフリッカを生ずることがなく、安定
した色再現性を得られるのである。
またこの実施例では、第４図にも示すように、構造的に
前記緑色（Ｇ）パターン（１１）を、シアン色（Ｃｙ）
パターン（１２）と黄色（Ｙｓ）パターン（１３）との
重ね合わせによ多構成している。すなわち、この第４図
から明らかなようにシアン色（Ｃｙ）パターン（１２）
と黄色（Ｙｅ）パターン（１３）の重ね合わせによシ緑
色（Ｇ） パターンを得ておシ、これは２色のモザイク
パターンにより３色のモザイクパターンを簡単に構成で
きることを意味し、従ってモザイク状カラーフィルタ製
造時のプロセス簡略化、製造歩留シ向上に大きく役立つ
のである。
前記緑色（Ｇ）パターン（１１）を、シアン色（Ｃｙ）
パターン（１２）と黄色（Ｙｓ）パターン（１３）との
重ね合わせによ多構成している。すなわち、この第４図
から明らかなようにシアン色（Ｃｙ）パターン（１２）
と黄色（Ｙｅ）パターン（１３）の重ね合わせによシ緑
色（Ｇ） パターンを得ておシ、これは２色のモザイク
パターンにより３色のモザイクパターンを簡単に構成で
きることを意味し、従ってモザイク状カラーフィルタ製
造時のプロセス簡略化、製造歩留シ向上に大きく役立つ
のである。
なお前記実施例においては、ｐ−ｎ接合の検出素子とＭ
Ｏ８型素子とを組み合わせたカラー固体撮像素子に適用
する場合について述べたが、その他９例えばＣＣＤ型な
どにも適用可能なことは勿論である。
Ｏ８型素子とを組み合わせたカラー固体撮像素子に適用
する場合について述べたが、その他９例えばＣＣＤ型な
どにも適用可能なことは勿論である。
以上詳述したようにこの発明によれば、カラー固体撮像
素子のモザイク状カラーフィルタにあって、緑色（Ｇ）
パターンを市松模様状に配し、かつこの緑色（Ｇ）以外
のパターンに、各列２行づ＼交互ニジアン色（Ｃｙ）パ
ターンと黄色αｅ）パター７を配したから、２：１イン
タ一レース走査方式でＡ、Ｂいずれのフィールドも４絵
素毎に輝度信号の主成分を得ることができ、撮像信号に
フリッカがなく、シかもＣ’／ ＋ Ｙｅの補色フィル
タの利用で原色フィルタに比較して通過光量が多く、色
再現性に優れてお）、また緑色（Ｇ）パターンをシアン
色（Ｃｙ）パターンと黄色（Ｙｅ）パターンの重ね合わ
せによ多構成するため、製造の簡略化ならびに歩留シ向
上を期待し得るなどの特長を有するものである。
素子のモザイク状カラーフィルタにあって、緑色（Ｇ）
パターンを市松模様状に配し、かつこの緑色（Ｇ）以外
のパターンに、各列２行づ＼交互ニジアン色（Ｃｙ）パ
ターンと黄色αｅ）パター７を配したから、２：１イン
タ一レース走査方式でＡ、Ｂいずれのフィールドも４絵
素毎に輝度信号の主成分を得ることができ、撮像信号に
フリッカがなく、シかもＣ’／ ＋ Ｙｅの補色フィル
タの利用で原色フィルタに比較して通過光量が多く、色
再現性に優れてお）、また緑色（Ｇ）パターンをシアン
色（Ｃｙ）パターンと黄色（Ｙｅ）パターンの重ね合わ
せによ多構成するため、製造の簡略化ならびに歩留シ向
上を期待し得るなどの特長を有するものである。
第１図は従来例によるカラー固体撮像素子のモザイクパ
ターンを示す平面配置図、第２図は同上素子構成の部分
断面図、第３図はこの発明の一実施例によるカラー固体
撮像素子のモザイクパターンを示す平面配置図、第４図
は同上素子構成の部分断面図である。 （１１）・・・・緑色（Ｇ）パターン、（１２）・・・
・シアン色（Ｃｙ）パターン、（１３）・・・・黄色（
Ｙｅ）パターン。 代理人 葛 野 信 − ２９７−
ターンを示す平面配置図、第２図は同上素子構成の部分
断面図、第３図はこの発明の一実施例によるカラー固体
撮像素子のモザイクパターンを示す平面配置図、第４図
は同上素子構成の部分断面図である。 （１１）・・・・緑色（Ｇ）パターン、（１２）・・・
・シアン色（Ｃｙ）パターン、（１３）・・・・黄色（
Ｙｅ）パターン。 代理人 葛 野 信 − ２９７−
Claims (1)
- モザイク状カラーフィルタにあって、緑色パターンを市
松模様状に配し、かつこの緑色以外のパターンに、各列
２行づ＼交互にシアン色パターンと黄色パターンを配し
、また前記緑色パターンをシアン色パターンと黄色パタ
ーンとの重ね合わせにより構成させたことを特徴とする
カラー固体撮像素子。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57204146A JPS5992564A (ja) | 1982-11-18 | 1982-11-18 | カラ−固体撮像素子 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57204146A JPS5992564A (ja) | 1982-11-18 | 1982-11-18 | カラ−固体撮像素子 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5992564A true JPS5992564A (ja) | 1984-05-28 |
Family
ID=16485594
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP57204146A Pending JPS5992564A (ja) | 1982-11-18 | 1982-11-18 | カラ−固体撮像素子 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5992564A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61144869A (ja) * | 1984-12-19 | 1986-07-02 | Toshiba Corp | カラ−固体撮像装置の製造方法 |
-
1982
- 1982-11-18 JP JP57204146A patent/JPS5992564A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61144869A (ja) * | 1984-12-19 | 1986-07-02 | Toshiba Corp | カラ−固体撮像装置の製造方法 |
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