JPS5989991A - 電気炉 - Google Patents
電気炉Info
- Publication number
- JPS5989991A JPS5989991A JP19976582A JP19976582A JPS5989991A JP S5989991 A JPS5989991 A JP S5989991A JP 19976582 A JP19976582 A JP 19976582A JP 19976582 A JP19976582 A JP 19976582A JP S5989991 A JPS5989991 A JP S5989991A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electric furnace
- heat
- furnace
- gas
- transparent
- Prior art date
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- Granted
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- Investigating Or Analyzing Materials Using Thermal Means (AREA)
- Furnace Details (AREA)
- Recrystallisation Techniques (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は電気炉、特に半導体材料を始めとしその他各種
化合物灯料に対するそれらの気相合成及びそれらの単結
晶の気相成長、また気相及び液相のエピタキシャル成長
、並びに凝固法及び溶液析出法等による単結晶成長等に
利用するのに適した電気炉に関するものである。
化合物灯料に対するそれらの気相合成及びそれらの単結
晶の気相成長、また気相及び液相のエピタキシャル成長
、並びに凝固法及び溶液析出法等による単結晶成長等に
利用するのに適した電気炉に関するものである。
従来のとの種電気炉としては、
（１） 断熱けとしてレンガ、カオール等の耐火物を
使用した電気炉 気炉 が知られている。
使用した電気炉 気炉 が知られている。
しかしながら、前記（１）の電気炉は断熱材がレンガ、
カオール等の耐火物であるため、炉内部は直視観察する
ことができず、また耐火物の熱容量が大きいため、急熱
、急冷等の急激な温度変化の制御が不可能であυ、特に
気相及び液相エピタキシャル成長のような複雑な過程の
制御を要する対象に利用するには極めて不都合である欠
点を有していた。
カオール等の耐火物であるため、炉内部は直視観察する
ことができず、また耐火物の熱容量が大きいため、急熱
、急冷等の急激な温度変化の制御が不可能であυ、特に
気相及び液相エピタキシャル成長のような複雑な過程の
制御を要する対象に利用するには極めて不都合である欠
点を有していた。
また、前記（２）の電気炉は直視可能な利点を有するが
、伝導と対流による放熱が犬さく、そのために保温性並
びに急熱特性が不十分である欠点があった。
、伝導と対流による放熱が犬さく、そのために保温性並
びに急熱特性が不十分である欠点があった。
本発明は従来電気炉における前記欠点をなくすべくなさ
れたもので、その目的は加熱部内を直視可能であると同
時に、急熱・急冷等の急激な温度変化の制御が可能で、
かつ断熱、保温性が優れ、消費電力が少なくてすむ電気
炉を提供するにある。
れたもので、その目的は加熱部内を直視可能であると同
時に、急熱・急冷等の急激な温度変化の制御が可能で、
かつ断熱、保温性が優れ、消費電力が少なくてすむ電気
炉を提供するにある。
次に本発明の電気炉の実施態様を第１図に基づいて説明
する。発熱部分はらせん状に巻いたカンタル純抵抗体１
と、これを支える硬質アスベスト製リング２からなって
いる。この加熱部分の外側を、透明耐熱材料である透明
石英ガラス製内管３と、透明パイレックスガラス製外管
４からなる二重管で囲んでいる。この両管の両端部にお
いて金属製フランジ５によって両管の間隙７は気密に連
結保持されている。６及び８は７ランジ５に設けられた
真空排気管６及び気体導入管８である。間隙７内部を真
空排気ｗ６よシ真空ポンプで排気することにより１０
ｍｍＨ１以上の真空状態にし断熱層として作用させるこ
とができ、また気体導入管８より熱伝達用アルゴン等の
気体を導入することにより放熱層として作用させること
ができる。９は内管３の外側に被覆された選択的透過膜
としての蒸着金薄膜で、熱輻射断熱作用をする。１０は
フランジ５に取付けられた冷却用パイプで、フランジ５
の過熱を防１１−する作用をする。
する。発熱部分はらせん状に巻いたカンタル純抵抗体１
と、これを支える硬質アスベスト製リング２からなって
いる。この加熱部分の外側を、透明耐熱材料である透明
石英ガラス製内管３と、透明パイレックスガラス製外管
４からなる二重管で囲んでいる。この両管の両端部にお
いて金属製フランジ５によって両管の間隙７は気密に連
結保持されている。６及び８は７ランジ５に設けられた
真空排気管６及び気体導入管８である。間隙７内部を真
空排気ｗ６よシ真空ポンプで排気することにより１０
ｍｍＨ１以上の真空状態にし断熱層として作用させるこ
とができ、また気体導入管８より熱伝達用アルゴン等の
気体を導入することにより放熱層として作用させること
ができる。９は内管３の外側に被覆された選択的透過膜
としての蒸着金薄膜で、熱輻射断熱作用をする。１０は
フランジ５に取付けられた冷却用パイプで、フランジ５
の過熱を防１１−する作用をする。
発熱用抵抗体１としては、カンタル線のほか、ニクロム
線、シリコニット等の発熱体はすべて使用することがで
きる。
線、シリコニット等の発熱体はすべて使用することがで
きる。
内管３、外管４にはパイレックスガラス、石英ガラスの
ほか、透明アルミナ等の透明である耐熱材料であればよ
い。また、内管３の外側に被覆された選択的透過膜とし
てｅよ、乍薄膜のほか、酸化スズ薄膜、酸化インジウム
薄膜、酸化タングステン薄膜のような赤外線を反射し、
かつ可視光線を透過する機能を持つ薄膜であれば同様に
使用することができる。
ほか、透明アルミナ等の透明である耐熱材料であればよ
い。また、内管３の外側に被覆された選択的透過膜とし
てｅよ、乍薄膜のほか、酸化スズ薄膜、酸化インジウム
薄膜、酸化タングステン薄膜のような赤外線を反射し、
かつ可視光線を透過する機能を持つ薄膜であれば同様に
使用することができる。
熱伝達用気体としては、アルゴンガスのほか、空素ガス
、ヘリウムガス等も同様に使用し得られる。
、ヘリウムガス等も同様に使用し得られる。
本発明の電気炉は、加熱部分の外側を少なくとも二重Ｉ
ｔｌｔ造ン持つ透明耐熱は孝子で気密に囲み、その多重
構造となった透明耐熱材料間の間隙をの間隙に適宜気体
を導入することができるように構成し、かつ加熱部分全
赤外線を反射し、可視光を透過する選択的光透過膜で覆
ったことを特徴とする電気炉にある。
ｔｌｔ造ン持つ透明耐熱は孝子で気密に囲み、その多重
構造となった透明耐熱材料間の間隙をの間隙に適宜気体
を導入することができるように構成し、かつ加熱部分全
赤外線を反射し、可視光を透過する選択的光透過膜で覆
ったことを特徴とする電気炉にある。
本発明の市、気炉によると、（１）透明耐熱は科による
多重構造で形成された真空断熱層と、選択的光透過膜に
よる輻射断熱を採用しているため、可視光に対して透明
である。従って、加熱中炉内部を透視することがでさ、
炉内部で進行する反応系及び結菖成長系の動的観測が可
能であり、またそれらの系の側倒１が、容易である。ま
たこの利点は青色光照明下で本電気炉を用いると、四に
顕著になる。
多重構造で形成された真空断熱層と、選択的光透過膜に
よる輻射断熱を採用しているため、可視光に対して透明
である。従って、加熱中炉内部を透視することがでさ、
炉内部で進行する反応系及び結菖成長系の動的観測が可
能であり、またそれらの系の側倒１が、容易である。ま
たこの利点は青色光照明下で本電気炉を用いると、四に
顕著になる。
（２）真空断熱ノーと選択的透過膜による輻射断熱層に
よシ断熱するためその断熱性が優れ、そのだめ消費型５
力が小さく経済効率が高い。
よシ断熱するためその断熱性が優れ、そのだめ消費型５
力が小さく経済効率が高い。
（３）また、上記の構成から熱容量も小さく、併せて気
体導入と真空排気が可能であるため、優れた急熱、急冷
効果を持つ。従って所望の温度への急激な変化に極めて
早く追従させることができる。
体導入と真空排気が可能であるため、優れた急熱、急冷
効果を持つ。従って所望の温度への急激な変化に極めて
早く追従させることができる。
本発明の電気炉と従来型ゴールドファーネスとの消費電
力及び急熱特性と比較すると次の通シであった。
力及び急熱特性と比較すると次の通シであった。
（４）電、気炉内部の透視及び急激に温度変化が可能な
ことにより、エピタキシャル結晶を始めとし、その他結
晶の成長に関する研死、結晶素Ｈ″の製造分野における
作業能率の向上に寄与することが大きい。
ことにより、エピタキシャル結晶を始めとし、その他結
晶の成長に関する研死、結晶素Ｈ″の製造分野における
作業能率の向上に寄与することが大きい。
等の優れた作用効果を有する。
ｎＬ １Ｍに↓本発明における一実施態様の電気炉の断
面図を示す。 ｌ：発熱用抵抗体 ２：発熱用抵抗体の支えリング ３：透明耐熱性材料からなる自前 特杵出願人 科学技術庁金属材料技術研究所長才１図
面図を示す。 ｌ：発熱用抵抗体 ２：発熱用抵抗体の支えリング ３：透明耐熱性材料からなる自前 特杵出願人 科学技術庁金属材料技術研究所長才１図
Claims (1)
- １、加熱部分の外側を少なくとも二重構造を持つ透明耐
熱目”科で気密に囲み、その多重構造となった透明耐熱
性材料間の間隙を１０〜１０ｙｎｍ ）Ｉｔの真空にす
ることができ、またその間隙に適宜気体を導入すること
ができるように構成し、かつ加熱部分を、赤外線を反射
し可視光を透過する選択的光透過膜で覆ったことを特徴
とする電気炉。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19976582A JPS5989991A (ja) | 1982-11-16 | 1982-11-16 | 電気炉 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19976582A JPS5989991A (ja) | 1982-11-16 | 1982-11-16 | 電気炉 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5989991A true JPS5989991A (ja) | 1984-05-24 |
| JPS62437B2 JPS62437B2 (ja) | 1987-01-07 |
Family
ID=16413241
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19976582A Granted JPS5989991A (ja) | 1982-11-16 | 1982-11-16 | 電気炉 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5989991A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2019044798A (ja) * | 2017-08-30 | 2019-03-22 | トヨタ自動車株式会社 | 二重管断熱壁構造体 |
| JP2019044987A (ja) * | 2017-08-29 | 2019-03-22 | トヨタ自動車株式会社 | 二重管断熱炉 |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01130840U (ja) * | 1988-03-02 | 1989-09-06 | ||
| JPH0460721U (ja) * | 1990-10-04 | 1992-05-25 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS53105739A (en) * | 1977-02-28 | 1978-09-14 | Clarion Co Ltd | Electric furnace of thermal radiation balancing type |
-
1982
- 1982-11-16 JP JP19976582A patent/JPS5989991A/ja active Granted
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS53105739A (en) * | 1977-02-28 | 1978-09-14 | Clarion Co Ltd | Electric furnace of thermal radiation balancing type |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2019044987A (ja) * | 2017-08-29 | 2019-03-22 | トヨタ自動車株式会社 | 二重管断熱炉 |
| JP2019044798A (ja) * | 2017-08-30 | 2019-03-22 | トヨタ自動車株式会社 | 二重管断熱壁構造体 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS62437B2 (ja) | 1987-01-07 |
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