JPS5988645A - 赤外線透過率測定装置 - Google Patents
赤外線透過率測定装置Info
- Publication number
- JPS5988645A JPS5988645A JP19842982A JP19842982A JPS5988645A JP S5988645 A JPS5988645 A JP S5988645A JP 19842982 A JP19842982 A JP 19842982A JP 19842982 A JP19842982 A JP 19842982A JP S5988645 A JPS5988645 A JP S5988645A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- infrared
- specimen
- light
- passing
- sample
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/17—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
- G01N21/25—Colour; Spectral properties, i.e. comparison of effect of material on the light at two or more different wavelengths or wavelength bands
- G01N21/31—Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry
- G01N21/39—Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry using tunable lasers
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
発明の技術分野
本発明は気体あるいは固体（以下試料と呼ぶ）を通過す
る赤外線の割合を測定する装置、すなわち試料の赤外線
透過率測定装置に関するものである。
る赤外線の割合を測定する装置、すなわち試料の赤外線
透過率測定装置に関するものである。
従来技術と問題点
この種の従来の赤外線透過率測定装置を第１図および第
２図に示す。
２図に示す。
まず、第１図の装置の構成９作用を説明する。
図中、１は赤外線半導体レーザ（赤外線光源）、２はコ
リメート光学系、３は集光光学系、４は赤外線検知器、
５は増幅器、６，７．８．９は反射鏡である。反射鏡６
，７は、赤外線半導体レーザ１から発射されコリメート
光学系２によシ平行光となって集光光学系乙に入射する
赤外線の光路に出し入れ可能に設けられておシ、反射鏡
８．９は、上記光路から十分外れた位置に設けられてい
る。光路中の試料１０の赤外線透過率測定は次の手順に
よシ行われる。すなわち、まず反射鏡６，７を図中点線
で示すように光路から退避させる。この場合、赤外線半
導体レーザ１よシ発射される赤外線は、コリメートレン
ズ′系２によシ平行化されて試料１０に入シ、その通過
光は集光光学系６によシ赤外線検知器４上に集光される
。赤外線検知器４に集光された赤外線はここで光電変換
され電気信号とじて増幅器５に入シ、増幅された信号電
圧Ｖ、が得られる。次に反射鏡６，７を図中実線で示す
ように光路中に入れると、コリメート光学系２によυ平
行化された赤外線は、試料１０存在位置の手前で反射鏡
乙により反射された後反射鏡８，９によシ反射され、更
に試料１０から離れた位置で反射鏡７によシ反射されて
赤外線検知器４上に集光され、増幅器５によシ増幅され
た信号電圧Ｖ１が得られる。この反射光は基準光（試験
を通らない光）に相当するもので、Ｖ、／、、よシ赤外
線透過率が得られる。
リメート光学系、３は集光光学系、４は赤外線検知器、
５は増幅器、６，７．８．９は反射鏡である。反射鏡６
，７は、赤外線半導体レーザ１から発射されコリメート
光学系２によシ平行光となって集光光学系乙に入射する
赤外線の光路に出し入れ可能に設けられておシ、反射鏡
８．９は、上記光路から十分外れた位置に設けられてい
る。光路中の試料１０の赤外線透過率測定は次の手順に
よシ行われる。すなわち、まず反射鏡６，７を図中点線
で示すように光路から退避させる。この場合、赤外線半
導体レーザ１よシ発射される赤外線は、コリメートレン
ズ′系２によシ平行化されて試料１０に入シ、その通過
光は集光光学系６によシ赤外線検知器４上に集光される
。赤外線検知器４に集光された赤外線はここで光電変換
され電気信号とじて増幅器５に入シ、増幅された信号電
圧Ｖ、が得られる。次に反射鏡６，７を図中実線で示す
ように光路中に入れると、コリメート光学系２によυ平
行化された赤外線は、試料１０存在位置の手前で反射鏡
乙により反射された後反射鏡８，９によシ反射され、更
に試料１０から離れた位置で反射鏡７によシ反射されて
赤外線検知器４上に集光され、増幅器５によシ増幅され
た信号電圧Ｖ１が得られる。この反射光は基準光（試験
を通らない光）に相当するもので、Ｖ、／、、よシ赤外
線透過率が得られる。
次に第２図の装置の構成作用を説明する。との場合は反
射鏡を用いず、試料を入れた試料セル１１を光路に出し
入れして赤外線透過率を測定するもので、試料セル１１
を光路に入れた場合の信号電圧Ｖ、 Ｉ と、試料セル
１１を光路に入れない場合の信号電圧Ｖ、／の比から赤
外線透過率が得られる。
射鏡を用いず、試料を入れた試料セル１１を光路に出し
入れして赤外線透過率を測定するもので、試料セル１１
を光路に入れた場合の信号電圧Ｖ、 Ｉ と、試料セル
１１を光路に入れない場合の信号電圧Ｖ、／の比から赤
外線透過率が得られる。
ところが、これらの従来の装置には次のような各種の欠
点があった。
点があった。
（１＋ いずれの場合も赤外線検知器は１個しか使用
せず、該赤外線検知器によシ異なる時刻に通過光と基準
光の信号電圧を測定してその比から赤外線透過率を求め
ることになるため、赤外線光源の出力を一定に制御する
複離な制御回路が必要である。
せず、該赤外線検知器によシ異なる時刻に通過光と基準
光の信号電圧を測定してその比から赤外線透過率を求め
ることになるため、赤外線光源の出力を一定に制御する
複離な制御回路が必要である。
（２） 同様の理由により、通過光と基準光の信号電
圧の同時測定ができず、測定が面倒でかつ測定に時間を
要する。
圧の同時測定ができず、測定が面倒でかつ測定に時間を
要する。
（３） 第１図の装置の場合、試料が拡散して反射鏡
８．９の間の基準光の光路に入ると正確な透過率測定が
できない。
８．９の間の基準光の光路に入ると正確な透過率測定が
できない。
（４） 第２図の装置の場合、長光路における測定（
光源と赤外線検知系とを長距離離して行う測定）は、長
光路の試料出し入れができず、実現困難である。
光源と赤外線検知系とを長距離離して行う測定）は、長
光路の試料出し入れができず、実現困難である。
発明の目的
本発明は上述の欠点を解決するためのもので、光源出力
パワーの一定化、光路切替等の操作を必要とせず、しか
も長光路においての透過率測定が可能な赤外線透過率測
定装置を提供することを目的としている。
パワーの一定化、光路切替等の操作を必要とせず、しか
も長光路においての透過率測定が可能な赤外線透過率測
定装置を提供することを目的としている。
発明の構成
本発明では、上述の目的を達成するため、赤外線光源と
、該赤外線光源よυ発射され試料通過光光路を通過した
赤外線を受光してその光量を検出する第１の赤外線検知
器と、前記光路の試料存在位置の手前に設けられ該光路
を通る赤外線の一部を該光路から外れる方向に反射させ
るビームスプリッタと、前記ビームスプリッタによシ反
射される赤外線を受光してその光量を検出する第２の赤
外線検知器とよシなる構成としている。
、該赤外線光源よυ発射され試料通過光光路を通過した
赤外線を受光してその光量を検出する第１の赤外線検知
器と、前記光路の試料存在位置の手前に設けられ該光路
を通る赤外線の一部を該光路から外れる方向に反射させ
るビームスプリッタと、前記ビームスプリッタによシ反
射される赤外線を受光してその光量を検出する第２の赤
外線検知器とよシなる構成としている。
発明の実施例
以下、第６図に関連して本発明の詳細な説明する。
第３図は本発明に係る赤外線透過率測定装置の概要図で
、従来と同一構成の部材は従来と同一符号で表わしてい
る。
、従来と同一構成の部材は従来と同一符号で表わしてい
る。
図中、２１はビームスプリッタ、２２は集光光学系、２
３は赤外線検知器、２４は増幅器である。
３は赤外線検知器、２４は増幅器である。
ビームスプリッタ２．１は、光学系２から光学系６に至
る試料通過光光路２５の試料１０存在位置の手前に設け
られ、該光路２５を通る赤外線の一部を該光路２５ と
垂直方向に反射させる。
る試料通過光光路２５の試料１０存在位置の手前に設け
られ、該光路２５を通る赤外線の一部を該光路２５ と
垂直方向に反射させる。
集光光学系２２は、ビームスプリッタ２１によシ反射さ
れた赤外線を赤外線検知器２６に集光させる。
れた赤外線を赤外線検知器２６に集光させる。
赤外線検知器２６は集光された赤外線を光電変換し７１
、気侶号として増幅器２４に入力させる。
、気侶号として増幅器２４に入力させる。
本発明に係る赤外線透過率測定装置は以上のように組成
されるが、次にその作用について説明する。
されるが、次にその作用について説明する。
赤外線半導体レーザ１よシ発射される赤外線は、コリメ
ート光学系２によシ平行化され、ビームスプリッタ２１
によシ一部分が反射されて集光光学系２２に入射すると
ともに残υがビームスプリッタ２１ヲ通り集光光学系６
に入射する。集光光学系２２に入射した光は該集光光学
系２２によシ赤外線検知器２６”に集光されて光電変換
され電気信号として増幅器２４に入シ増幅されて信号電
圧が得られる。まだ集光光学系５に入射した光は該集光
光学系６によシ赤外線検知器４に集光されて光ｔ変換さ
れ電気信号として増幅器５に入シ増幅されて信号電圧が
得られる。
ート光学系２によシ平行化され、ビームスプリッタ２１
によシ一部分が反射されて集光光学系２２に入射すると
ともに残υがビームスプリッタ２１ヲ通り集光光学系６
に入射する。集光光学系２２に入射した光は該集光光学
系２２によシ赤外線検知器２６”に集光されて光電変換
され電気信号として増幅器２４に入シ増幅されて信号電
圧が得られる。まだ集光光学系５に入射した光は該集光
光学系６によシ赤外線検知器４に集光されて光ｔ変換さ
れ電気信号として増幅器５に入シ増幅されて信号電圧が
得られる。
いま、試料通過光光路２５に試料１０が存在しない場合
に増幅器２４および５によシ同時に得られる信号電圧を
＃１０．およびＶｏ、とし、試料通過光光路２５に試料
１０が存在する場合に増幅器２４および５により同時に
得られる信号電圧をＶｉＩ およびＶ□とすると、試
料がない場合のその比０”／ＦＯｆは基準値となる。
に増幅器２４および５によシ同時に得られる信号電圧を
＃１０．およびＶｏ、とし、試料通過光光路２５に試料
１０が存在する場合に増幅器２４および５により同時に
得られる信号電圧をＶｉＩ およびＶ□とすると、試
料がない場合のその比０”／ＦＯｆは基準値となる。
試料１０の赤外線透過率性ＩＶＴ／、 で求められる
のであるが、２個の赤外線検知器４，２６の感度られる
ことになる。
のであるが、２個の赤外線検知器４，２６の感度られる
ことになる。
発明の効果
本発明は以上のように構成されているため、次のような
各種の優れた効果を奏することが可能である。
各種の優れた効果を奏することが可能である。
（１） 赤外線検知器を２個用いることによシ試料を
通過する前の赤外線パワーと試料を通過した後の赤外線
パワーの比を同時に求めることができるため、赤外線光
源の出力パワーを一定に制御する必要はなく、装置の簡
単化を図るとともに安定した測定を容易に行うことがで
きる。
通過する前の赤外線パワーと試料を通過した後の赤外線
パワーの比を同時に求めることができるため、赤外線光
源の出力パワーを一定に制御する必要はなく、装置の簡
単化を図るとともに安定した測定を容易に行うことがで
きる。
（２） 試料がない場合の両検知器によシ検出される
赤外線パワーの比を一度測定しておけは、これを今後の
計測の基準値とすることができ、各検知器の感度差の影
響を除去することができる。
赤外線パワーの比を一度測定しておけは、これを今後の
計測の基準値とすることができ、各検知器の感度差の影
響を除去することができる。
（３） 試料の出し入れあるいは光路の切換等の操作
は不要で、長光路における測定も可能である。
は不要で、長光路における測定も可能である。
第１図および第２図はそれぞれ従来の装置を示す概要図
、第６図は本発明に係る赤外線透過率測定装置の実施例
を示す概要図で、図中、１１ｄ赤外線半導体レーザ（赤
外線光源）、２はコリメート光学系、３，２２は集光光
学系、４，２６は赤外線検−ｆ、ａ器、５，２４は増幅
器、１０は試料、２５は試料通過光光路である。 特許出願人 富士通株式会社 代理人 弁理士玉蟲久五部（外６名）
、第６図は本発明に係る赤外線透過率測定装置の実施例
を示す概要図で、図中、１１ｄ赤外線半導体レーザ（赤
外線光源）、２はコリメート光学系、３，２２は集光光
学系、４，２６は赤外線検−ｆ、ａ器、５，２４は増幅
器、１０は試料、２５は試料通過光光路である。 特許出願人 富士通株式会社 代理人 弁理士玉蟲久五部（外６名）
Claims (1)
- 赤外線光源と、前記赤外線光源よシ発射され試料通過光
光路を通過した赤外線を受光してその光量を検出する第
１の赤外線検知器と、前記試料通過光光路の試料存在位
置の手前に設けられ入射する赤外線の一部を該試料通過
光光路から外れる方向に反射させるビームスプリッタと
、前記ビームスプリッタによシ反射される赤外線を受光
してその光量を検出する第２の赤外線検知器とを具備し
たことを特徴とする赤外線透過率測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19842982A JPS5988645A (ja) | 1982-11-12 | 1982-11-12 | 赤外線透過率測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19842982A JPS5988645A (ja) | 1982-11-12 | 1982-11-12 | 赤外線透過率測定装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5988645A true JPS5988645A (ja) | 1984-05-22 |
Family
ID=16390938
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19842982A Pending JPS5988645A (ja) | 1982-11-12 | 1982-11-12 | 赤外線透過率測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5988645A (ja) |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5142588A (ja) * | 1974-08-09 | 1976-04-10 | Licentia Gmbh | |
| JPS52130683A (en) * | 1976-04-26 | 1977-11-02 | Alkem Gmbh | Photometer head |
-
1982
- 1982-11-12 JP JP19842982A patent/JPS5988645A/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5142588A (ja) * | 1974-08-09 | 1976-04-10 | Licentia Gmbh | |
| JPS52130683A (en) * | 1976-04-26 | 1977-11-02 | Alkem Gmbh | Photometer head |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US4514083A (en) | Distance measuring apparatus | |
| US5061070A (en) | Particulate inspection of fluids using interferometric light measurements | |
| JPH06167456A (ja) | スキャナの校正方法及び所定の散乱光振幅の発生装置 | |
| JPH0627706B2 (ja) | 反射率測定装置 | |
| US6624403B2 (en) | Autofocus system | |
| US5606418A (en) | Quasi bright field particle sensor | |
| US3572938A (en) | Polarimeter | |
| JPS5988645A (ja) | 赤外線透過率測定装置 | |
| KR970011144B1 (ko) | 반도체 레이저를 이용한 센서 | |
| JPS5629112A (en) | Distance measurement unit | |
| JPH06307858A (ja) | 光学式変位計 | |
| JPH11101739A (ja) | エリプソメトリ装置 | |
| JPH10103915A (ja) | 面位置検出装置 | |
| JPH11264928A (ja) | 合焦装置 | |
| JP3204726B2 (ja) | エッジセンサ | |
| SU1317338A1 (ru) | Устройство дл измерени спектральных коэффициентов пропускани оптических элементов и систем | |
| SU821989A1 (ru) | Устройство дл определени плоскостиизОбРАжЕНи | |
| JPH0262181B2 (ja) | ||
| SU1472760A1 (ru) | Устройство дл бесконтактного измерени размеров деталей | |
| JPS58193426A (ja) | 光検出器 | |
| JPS59228131A (ja) | レ−ザ光警報装置 | |
| JPS61240103A (ja) | 光学式微小変位計 | |
| SU1693394A1 (ru) | Устройство дл измерени относительной спектральной чувствительности фотоприемных устройств | |
| JPS6388411A (ja) | 積分球装置 | |
| JPH0315710A (ja) | 変位検出装置 |