SU1317338A1 - Устройство дл измерени спектральных коэффициентов пропускани оптических элементов и систем - Google Patents

Устройство дл измерени спектральных коэффициентов пропускани оптических элементов и систем Download PDF

Info

Publication number
SU1317338A1
SU1317338A1 SU853959805A SU3959805A SU1317338A1 SU 1317338 A1 SU1317338 A1 SU 1317338A1 SU 853959805 A SU853959805 A SU 853959805A SU 3959805 A SU3959805 A SU 3959805A SU 1317338 A1 SU1317338 A1 SU 1317338A1
Authority
SU
USSR - Soviet Union
Prior art keywords
mirror
radiation
beam splitter
lens
systems
Prior art date
Application number
SU853959805A
Other languages
English (en)
Inventor
Владимир Михайлович Волков
Владимир Владимирович Донец
Анатолий Сергеевич Скирда
Валерий Петрович Соболь
Петр Александрович Суббота-Мельник
Андрей Иванович Шарапа
Original Assignee
Киевский Государственный Университет Им.Т.Г.Шевченко
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Киевский Государственный Университет Им.Т.Г.Шевченко filed Critical Киевский Государственный Университет Им.Т.Г.Шевченко
Priority to SU853959805A priority Critical patent/SU1317338A1/ru
Application granted granted Critical
Publication of SU1317338A1 publication Critical patent/SU1317338A1/ru

Links

Landscapes

  • Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
  • Spectrometry And Color Measurement (AREA)

Abstract

Изобретение относитс  к спектро- фотометрии и может быть использовано дл  контрол  спектрального пропускани  оптических элементов и систем. Целью изобретени   вл етс  расширение типов контролируемых объектов и повьштение точности измерений. В измерительный канал фотометра ввод тс  два идентичных объектива 4 и 6 и с помощью автоколлимационных.зеркал 7 и 10, размещенных на подвижных платформах (ПИ) с измерительными линейками , создаютс  услови , при которых независимо от знака и величины фокусных рассто ний .контролируемых объектов световые пол  на входе из измерительного и контрольного каналов строго идентичны. До установки контролис S (Л СА sj со со 00

Description

13
руемого объекта устанавливают ПП 8 в положение совпадени  заднего фокуса объектива 4 с передним фокусом объектива 6, а ПП 1 в такое положение , чтобы рассто ние светоделитель 3 - автоколлимационное зеркало 10 было бы равно рассто нию светоделитель 3 - передний фокус объектива 4. После установки контролируемого объектива переднюю главную плоскость его совмещают с задним фокусом объектива 4, перемещают ПП 8 на рассто ние, равное рассто нию между главными
1
Изобретение относитс  к спектрофо тометрии и может быть использовано дл  контрол  оптических элементов и систем по величине их спектрального коэффициента светопропускани .
Цель изобретени  - расширение типов контролируемых объектов и повьше ние точности измерений.
На чертеже изобра сено предлагаемое устройство.
Устройство содержит источник 1 излучени , коллиматор 2, светоделитель 3, первый объектив 4, столик 5 дл  контролируемого объекта, второй объектив 6 и автоколлимационное зеркало 7, установленные на первой подвижной .платформе 8, снабженной линейкой 9 с пр мо пропорциональной шкалой , второе автоколлимационное зерка ло 10, закрепленное на второй подвиж ной платформе 11, снабженной линейкой 12 с обратно пропорциональной шкалой, монохроматор 13, фотоприем- ник 14, автоматизированную систему 13 регистрации и блок 16 временного разделени  лучей, включаюцщй модул тор 17 с командным устройством 18. Модул тор 17 выполнен в виде вращающегос  диска с отверсти ми,. Автомати зированна  система 15 регистрации содержит предварительный усилитель 19, вход которого соединен с фотоприемником 14, демодул тор 20 измери .тельного канала и демодул тор 21 контрольного канала, входы которых подключены к выходу предварительного усилител  19, а выходы соответственно ко входам делимого и делител  де ,„
338
оскост ми контролируемого объекта, а ПП 11 - на рассто ние, равное , где f - фокусное рассто ние объективов 4 и 6, а F - фокусное рассто ние контролируемого объекта. Излучение из измерительного и контрольного каналов поступает через монохроматор 13 ,на фотоприемник 14 с автоматизированной СИСТЕМНОЙ регистрации 15, где блоками 19-2.2 осуществл етс  сравнение этих двух потоков излучени , а ЭВМ 23 вычисл ет соответствующий спектральный коэффициент пропускани . ил.
15
лительного устройства 22, подключенного выходом к ЭВМ 23, .Командное устройство 18 содержит оптронную пару - светодиод 24 и фотодиод 25, располо- 5 женные по обе стороны диска модул тора 17, Фотодиод 25 подключен ко вторым входам демодул торов 20 и 21,
Устройство работает следующим образом ,
О Излучение от источника 1 излучени  проходит коллиматор 2 и поступает на светоделитель 3, Часть излучени , прошедша  через светоделитель 3, направл етс  в автоколлимационную систему измерительного канала, проходит последовательно первый объектив 4, контролируем то систему, установленную на столике 5, второй объектив 6, отражаетс  от автоколлимацион- 20 ного зеркала 7, вторично проходит второй объектив 6, контролируемую систему 5А, первый объектив-4, отражаетс  светоделителем 3 и поступает через монохроматор 13 на фотоприем- ник 14,
Часть излучени , отраженна  от светоделител  3, направл етс  в автоколлимационную систему контрольного канала и отражаетс  от второго автоколлимационного зеркала 10, проходит светоделитель 3 и поступает через монохроматор 13 на фотоприемник 14,
Блок 16 временного разделени  лучей осуществл ет поочередную подачу 35 (иа фотоприемник 14) потоков излучени  из измерительного и контрольного каналов. Фотоприемник Г4 вырабатывает периодическую последовательность
313
электрических сигналов, соответствующих монохроматизированным монохрома- тором 13 потокам излучени  измерительного и контрольного каналов.
Разделенные по временному признаку электрические сигналы с фотоприемника 14 усиливаютс  усилителем 19, обрабатываютс .раздельно демодул торами 20 и 21, стробируемьгх сигналом с фотодиода 25. Демодул тором 20 осуществл етс  выделение и демодул ци  электрического сигнала с фотоприемника 14, соответствующего потоку излучени  измерительного канала. Демодул тором 21 осуществл етс  выделение и демодул ци  электрического сигнала с фотоприемника 14, соответствующего потоку излучени  контрольного канала Электрические сигналы с выходов демодул торов 20 и 21 в виде посто нных напр жений поступают соответственно на входы делимого и делител  делительного устройства 22, С выхода делительного устройства 22 сигнал вводитс  в ЭВМ 23.
Измерение спектрального коэффициента пропускани  производитс  в два приема.
Вначале (без установленного в устройство контролируемого объекта) в пам ть ЭВМ 23 автоматизированной системы 15 регистрации ввод т эталонный спектр Т р ( ) с делительного устройства 22. Эталонный спектр 1 ( Д) представл ет собой отношение потоков излучени  в узком спектральном диапазоне , выделенных монохроматором 13, поступающих на фотоприемник 14 из измерительного и контрольного каналов . Поскольку в автоматизированной системе 15 регистрации блоками 19 - 22 осуществл етс  оперативное сравнение двух электрических величин, соот- ветствуюпщх этим двум каналам излучени , эталонный спектр I ( Л ) не зависит от оптических характеристик элементов устройства,  вл ющихс  общими дл  двух автоколлимационных систем , т.е. не зависит от характеристики источника излучени , спектрального коэффициента пропускани  мо- нохроматора 13, спектральной чувствительности фотоприемника 14.
При записи эталонного спектра Iр (Л ) подвижна  платформа 8 установлена в положение, соответствующее нулевому отсчету на линейке 9 с пр мо пропорциональной шкалой, подвиж
84
на  платформа 1 I ycTaHOBJieHa в положение , соответствующее отсчету (го ) на линейке с обратно пропорциональной шкалой.
Затем в устройство ввод т контролируемый объект, устанавлива  его на столик 5. Совмещают переднюю главную плоскость контролируемого объекта с задней фокальной плоскостью первого объектива 4. Подвижную платформу 8
перемещают на рассто ние, равное рас- сто г ию между главными плоскост ми контролируемого объекта, отсчитывают на линейке 9 этот отрезок. Платформу
11 перемещают, отсчитыва  на линейке 12. отрезок, равный f /F,, где f - фокусное рассто ние объективов 4 и 6 а F - фокусное рассто ние контролиру емого объекта,
В пам ть ЭВМ 23 ввод т измер емый спектр с делительного устройства 22. Размер емы спектр I ( Л ) j ввиду двойного прохода излучени  через контролируемый объект, представл етс 
в виде
I ( 1 ) I о ( Л ) Т
Т ( Л ) - спектральный коэффрпдиент .пропускани  контролируемого объекта с
ЭВМ 23 осуществл ет деление измер емого спектра I (Д ) на эталонный спектр I5 (Л )5 извлекает корень квадратный из результата делени  и осуп1ествл ет вывод полученных данных о спектральном коэффициенте пропускани  контролируемого объекта.
Форму л а изобретени 
Устройство дл  измерени  спектральных Коэ4)фициентов пропускани  оптических элементов и систем, содержащее коллимированный источник излучени  и последовательно установленные по ходу излучени  светоделитель, столик дл  контролируемого объекта, автоколлимационное зеркало, монохроматор и фотоприемник с автоматизированной системой регистрации, отличающеес  тем, что, с целью расширени  типов контролируемых . объектов и повьшение точности измереНИИ , в него введены второе автоколли-
мационное зеркало и два идентичных объектива, причем первьш объектив- расположен между светоделителем и
513173386
столиком дл  контролируемого объекта,ме, снабженной линейкой с пр мо про- второй объектив расположен между сто-порциональной шкалой, второе автокол- ликом дл  контролируемого объекта илимационное зеркало расположено по автоколлимационным зеркалом, установ-ходу отраженного от светоделител  из- ленным в задней фокальной плоскости 5лучени  и закреплено на второй под- второго объекпива, и закреплен сов-вн тной вдоль оптической оси платфор- местно с этим зеркалом на первой под-ме, снабженной линейкой с обратно про- вижной вдоль оптической .оси пла,тфор-порциональной шкалой.

Claims (1)

  1. 40 Формула изобретения
    Устройство для измерения спектральных -коэффициентов пропускания оптических элементов и систем, содержащее коллимированный источник излучения и последовательно установленные по ходу излучения светоделитель, столик для контролируемого объекта, автоколлимационное зеркало, монохроматор и фотоприемник с автоматизированной системой регистрации, отличающееся тем, что, с целью расширения типов контролируемых . объектов и повышение точности измерений, в него введены второе автоколлимационное зеркало и два идентичных объектива, причем первый объективрасположен между светоделителем и столиком для контролируемого объекта, второй объектив расположен между столиком для контролируемого объекта и автокоплимационным зеркалом, установленным в задней фокальной плоскости второго объеютива, и закреплен совместно с этим зеркалом на первой подвижной вдоль оптической оси платформе, снабженной линейкой с прямо пропорциональной шкалой, второе автокод лимационное зеркало расположено по ходу отраженного от светоделителя из· 5 лучения и закреплено на второй подвижной вдоль оптической оси платформе, снабженной линейкой с обратно про· порциональной шкалой.
SU853959805A 1985-10-15 1985-10-15 Устройство дл измерени спектральных коэффициентов пропускани оптических элементов и систем SU1317338A1 (ru)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU853959805A SU1317338A1 (ru) 1985-10-15 1985-10-15 Устройство дл измерени спектральных коэффициентов пропускани оптических элементов и систем

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU853959805A SU1317338A1 (ru) 1985-10-15 1985-10-15 Устройство дл измерени спектральных коэффициентов пропускани оптических элементов и систем

Publications (1)

Publication Number Publication Date
SU1317338A1 true SU1317338A1 (ru) 1987-06-15

Family

ID=21199569

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
SU853959805A SU1317338A1 (ru) 1985-10-15 1985-10-15 Устройство дл измерени спектральных коэффициентов пропускани оптических элементов и систем

Country Status (1)

Country Link
SU (1) SU1317338A1 (ru)

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
Афанасьев Б.А. Оптические измерени . М.: Высша школа, 1981, с.165- 166. Авторское свидетельство СССР № 744240, кл. G 01 J 1/20, 1978. *

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US3788741A (en) Distance indicating optical probe
GB1583992A (en) Spectrometers
US3860342A (en) Dual-wavelength scanning doppler velocimeter
SE329924B (ru)
GB2183418A (en) Determining distance to a surface
JPS6038644B2 (ja) 分光光度計
US3794426A (en) Holographic spectrometer
SU1317338A1 (ru) Устройство дл измерени спектральных коэффициентов пропускани оптических элементов и систем
US3737234A (en) Spectrophotometer for measurement of derivative spectra
JPS59164924A (ja) 較正波長の自動補正システム
JPS63193003A (ja) 凹部深さ・膜厚測定装置
GB1190564A (en) Method of and Means for Surface Measurement.
US3829222A (en) Device to introduce an optic measuring index at photoelectric detection of photographic plates
US4814624A (en) Method and apparatus for measuring the position of an object boundary
US5059023A (en) Angular deviation measurement system
SU922598A1 (ru) Устройство дл измерени коэффициента поглощени
JPS62502421A (ja) 二次元の対象物を整向、検査及び/または測定するための装置
JPS594258Y2 (ja) ダブルビ−ム分光光度計
JP3519605B2 (ja) エリプソメトリ装置
SU1469344A1 (ru) Устройство дл определени размеров малых объектов
JPH0417367B2 (ru)
SU1695184A1 (ru) Способ определени профил показател преломлени оптических неоднородностей
SU1038811A1 (ru) Устройство дл измерени относительной спектральной чувствительности приемников излучени
SU919475A1 (ru) Оптический измеритель концентрации двуокиси азота в атмосфере
RU2078305C1 (ru) Интерференционный способ контроля геометрического расположения линз и интерференционное устройство для его осуществления