SU1317338A1 - Устройство дл измерени спектральных коэффициентов пропускани оптических элементов и систем - Google Patents
Устройство дл измерени спектральных коэффициентов пропускани оптических элементов и систем Download PDFInfo
- Publication number
- SU1317338A1 SU1317338A1 SU853959805A SU3959805A SU1317338A1 SU 1317338 A1 SU1317338 A1 SU 1317338A1 SU 853959805 A SU853959805 A SU 853959805A SU 3959805 A SU3959805 A SU 3959805A SU 1317338 A1 SU1317338 A1 SU 1317338A1
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- mirror
- radiation
- beam splitter
- lens
- systems
- Prior art date
Links
Landscapes
- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
- Spectrometry And Color Measurement (AREA)
Abstract
Изобретение относитс к спектро- фотометрии и может быть использовано дл контрол спектрального пропускани оптических элементов и систем. Целью изобретени вл етс расширение типов контролируемых объектов и повьштение точности измерений. В измерительный канал фотометра ввод тс два идентичных объектива 4 и 6 и с помощью автоколлимационных.зеркал 7 и 10, размещенных на подвижных платформах (ПИ) с измерительными линейками , создаютс услови , при которых независимо от знака и величины фокусных рассто ний .контролируемых объектов световые пол на входе из измерительного и контрольного каналов строго идентичны. До установки контролис S (Л СА sj со со 00
Description
13
руемого объекта устанавливают ПП 8 в положение совпадени заднего фокуса объектива 4 с передним фокусом объектива 6, а ПП 1 в такое положение , чтобы рассто ние светоделитель 3 - автоколлимационное зеркало 10 было бы равно рассто нию светоделитель 3 - передний фокус объектива 4. После установки контролируемого объектива переднюю главную плоскость его совмещают с задним фокусом объектива 4, перемещают ПП 8 на рассто ние, равное рассто нию между главными
1
Изобретение относитс к спектрофо тометрии и может быть использовано дл контрол оптических элементов и систем по величине их спектрального коэффициента светопропускани .
Цель изобретени - расширение типов контролируемых объектов и повьше ние точности измерений.
На чертеже изобра сено предлагаемое устройство.
Устройство содержит источник 1 излучени , коллиматор 2, светоделитель 3, первый объектив 4, столик 5 дл контролируемого объекта, второй объектив 6 и автоколлимационное зеркало 7, установленные на первой подвижной .платформе 8, снабженной линейкой 9 с пр мо пропорциональной шкалой , второе автоколлимационное зерка ло 10, закрепленное на второй подвиж ной платформе 11, снабженной линейкой 12 с обратно пропорциональной шкалой, монохроматор 13, фотоприем- ник 14, автоматизированную систему 13 регистрации и блок 16 временного разделени лучей, включаюцщй модул тор 17 с командным устройством 18. Модул тор 17 выполнен в виде вращающегос диска с отверсти ми,. Автомати зированна система 15 регистрации содержит предварительный усилитель 19, вход которого соединен с фотоприемником 14, демодул тор 20 измери .тельного канала и демодул тор 21 контрольного канала, входы которых подключены к выходу предварительного усилител 19, а выходы соответственно ко входам делимого и делител де ,„
338
оскост ми контролируемого объекта, а ПП 11 - на рассто ние, равное , где f - фокусное рассто ние объективов 4 и 6, а F - фокусное рассто ние контролируемого объекта. Излучение из измерительного и контрольного каналов поступает через монохроматор 13 ,на фотоприемник 14 с автоматизированной СИСТЕМНОЙ регистрации 15, где блоками 19-2.2 осуществл етс сравнение этих двух потоков излучени , а ЭВМ 23 вычисл ет соответствующий спектральный коэффициент пропускани . ил.
15
лительного устройства 22, подключенного выходом к ЭВМ 23, .Командное устройство 18 содержит оптронную пару - светодиод 24 и фотодиод 25, располо- 5 женные по обе стороны диска модул тора 17, Фотодиод 25 подключен ко вторым входам демодул торов 20 и 21,
Устройство работает следующим образом ,
О Излучение от источника 1 излучени проходит коллиматор 2 и поступает на светоделитель 3, Часть излучени , прошедша через светоделитель 3, направл етс в автоколлимационную систему измерительного канала, проходит последовательно первый объектив 4, контролируем то систему, установленную на столике 5, второй объектив 6, отражаетс от автоколлимацион- 20 ного зеркала 7, вторично проходит второй объектив 6, контролируемую систему 5А, первый объектив-4, отражаетс светоделителем 3 и поступает через монохроматор 13 на фотоприем- ник 14,
Часть излучени , отраженна от светоделител 3, направл етс в автоколлимационную систему контрольного канала и отражаетс от второго автоколлимационного зеркала 10, проходит светоделитель 3 и поступает через монохроматор 13 на фотоприемник 14,
Блок 16 временного разделени лучей осуществл ет поочередную подачу 35 (иа фотоприемник 14) потоков излучени из измерительного и контрольного каналов. Фотоприемник Г4 вырабатывает периодическую последовательность
313
электрических сигналов, соответствующих монохроматизированным монохрома- тором 13 потокам излучени измерительного и контрольного каналов.
Разделенные по временному признаку электрические сигналы с фотоприемника 14 усиливаютс усилителем 19, обрабатываютс .раздельно демодул торами 20 и 21, стробируемьгх сигналом с фотодиода 25. Демодул тором 20 осуществл етс выделение и демодул ци электрического сигнала с фотоприемника 14, соответствующего потоку излучени измерительного канала. Демодул тором 21 осуществл етс выделение и демодул ци электрического сигнала с фотоприемника 14, соответствующего потоку излучени контрольного канала Электрические сигналы с выходов демодул торов 20 и 21 в виде посто нных напр жений поступают соответственно на входы делимого и делител делительного устройства 22, С выхода делительного устройства 22 сигнал вводитс в ЭВМ 23.
Измерение спектрального коэффициента пропускани производитс в два приема.
Вначале (без установленного в устройство контролируемого объекта) в пам ть ЭВМ 23 автоматизированной системы 15 регистрации ввод т эталонный спектр Т р ( ) с делительного устройства 22. Эталонный спектр 1 ( Д) представл ет собой отношение потоков излучени в узком спектральном диапазоне , выделенных монохроматором 13, поступающих на фотоприемник 14 из измерительного и контрольного каналов . Поскольку в автоматизированной системе 15 регистрации блоками 19 - 22 осуществл етс оперативное сравнение двух электрических величин, соот- ветствуюпщх этим двум каналам излучени , эталонный спектр I ( Л ) не зависит от оптических характеристик элементов устройства, вл ющихс общими дл двух автоколлимационных систем , т.е. не зависит от характеристики источника излучени , спектрального коэффициента пропускани мо- нохроматора 13, спектральной чувствительности фотоприемника 14.
При записи эталонного спектра Iр (Л ) подвижна платформа 8 установлена в положение, соответствующее нулевому отсчету на линейке 9 с пр мо пропорциональной шкалой, подвиж
84
на платформа 1 I ycTaHOBJieHa в положение , соответствующее отсчету (го ) на линейке с обратно пропорциональной шкалой.
Затем в устройство ввод т контролируемый объект, устанавлива его на столик 5. Совмещают переднюю главную плоскость контролируемого объекта с задней фокальной плоскостью первого объектива 4. Подвижную платформу 8
перемещают на рассто ние, равное рас- сто г ию между главными плоскост ми контролируемого объекта, отсчитывают на линейке 9 этот отрезок. Платформу
11 перемещают, отсчитыва на линейке 12. отрезок, равный f /F,, где f - фокусное рассто ние объективов 4 и 6 а F - фокусное рассто ние контролиру емого объекта,
В пам ть ЭВМ 23 ввод т измер емый спектр с делительного устройства 22. Размер емы спектр I ( Л ) j ввиду двойного прохода излучени через контролируемый объект, представл етс
в виде
I ( 1 ) I о ( Л ) Т
Т ( Л ) - спектральный коэффрпдиент .пропускани контролируемого объекта с
ЭВМ 23 осуществл ет деление измер емого спектра I (Д ) на эталонный спектр I5 (Л )5 извлекает корень квадратный из результата делени и осуп1ествл ет вывод полученных данных о спектральном коэффициенте пропускани контролируемого объекта.
Форму л а изобретени
Устройство дл измерени спектральных Коэ4)фициентов пропускани оптических элементов и систем, содержащее коллимированный источник излучени и последовательно установленные по ходу излучени светоделитель, столик дл контролируемого объекта, автоколлимационное зеркало, монохроматор и фотоприемник с автоматизированной системой регистрации, отличающеес тем, что, с целью расширени типов контролируемых . объектов и повьшение точности измереНИИ , в него введены второе автоколли-
мационное зеркало и два идентичных объектива, причем первьш объектив- расположен между светоделителем и
513173386
столиком дл контролируемого объекта,ме, снабженной линейкой с пр мо про- второй объектив расположен между сто-порциональной шкалой, второе автокол- ликом дл контролируемого объекта илимационное зеркало расположено по автоколлимационным зеркалом, установ-ходу отраженного от светоделител из- ленным в задней фокальной плоскости 5лучени и закреплено на второй под- второго объекпива, и закреплен сов-вн тной вдоль оптической оси платфор- местно с этим зеркалом на первой под-ме, снабженной линейкой с обратно про- вижной вдоль оптической .оси пла,тфор-порциональной шкалой.
Claims (1)
- 40 Формула изобретенияУстройство для измерения спектральных -коэффициентов пропускания оптических элементов и систем, содержащее коллимированный источник излучения и последовательно установленные по ходу излучения светоделитель, столик для контролируемого объекта, автоколлимационное зеркало, монохроматор и фотоприемник с автоматизированной системой регистрации, отличающееся тем, что, с целью расширения типов контролируемых . объектов и повышение точности измерений, в него введены второе автоколлимационное зеркало и два идентичных объектива, причем первый объективрасположен между светоделителем и столиком для контролируемого объекта, второй объектив расположен между столиком для контролируемого объекта и автокоплимационным зеркалом, установленным в задней фокальной плоскости второго объеютива, и закреплен совместно с этим зеркалом на первой подвижной вдоль оптической оси платформе, снабженной линейкой с прямо пропорциональной шкалой, второе автокод лимационное зеркало расположено по ходу отраженного от светоделителя из· 5 лучения и закреплено на второй подвижной вдоль оптической оси платформе, снабженной линейкой с обратно про· порциональной шкалой.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU853959805A SU1317338A1 (ru) | 1985-10-15 | 1985-10-15 | Устройство дл измерени спектральных коэффициентов пропускани оптических элементов и систем |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU853959805A SU1317338A1 (ru) | 1985-10-15 | 1985-10-15 | Устройство дл измерени спектральных коэффициентов пропускани оптических элементов и систем |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
SU1317338A1 true SU1317338A1 (ru) | 1987-06-15 |
Family
ID=21199569
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
SU853959805A SU1317338A1 (ru) | 1985-10-15 | 1985-10-15 | Устройство дл измерени спектральных коэффициентов пропускани оптических элементов и систем |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
SU (1) | SU1317338A1 (ru) |
-
1985
- 1985-10-15 SU SU853959805A patent/SU1317338A1/ru active
Non-Patent Citations (1)
Title |
---|
Афанасьев Б.А. Оптические измерени . М.: Высша школа, 1981, с.165- 166. Авторское свидетельство СССР № 744240, кл. G 01 J 1/20, 1978. * |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US3788741A (en) | Distance indicating optical probe | |
GB1583992A (en) | Spectrometers | |
US3860342A (en) | Dual-wavelength scanning doppler velocimeter | |
SE329924B (ru) | ||
GB2183418A (en) | Determining distance to a surface | |
JPS6038644B2 (ja) | 分光光度計 | |
US3794426A (en) | Holographic spectrometer | |
SU1317338A1 (ru) | Устройство дл измерени спектральных коэффициентов пропускани оптических элементов и систем | |
US3737234A (en) | Spectrophotometer for measurement of derivative spectra | |
JPS59164924A (ja) | 較正波長の自動補正システム | |
JPS63193003A (ja) | 凹部深さ・膜厚測定装置 | |
GB1190564A (en) | Method of and Means for Surface Measurement. | |
US3829222A (en) | Device to introduce an optic measuring index at photoelectric detection of photographic plates | |
US4814624A (en) | Method and apparatus for measuring the position of an object boundary | |
US5059023A (en) | Angular deviation measurement system | |
SU922598A1 (ru) | Устройство дл измерени коэффициента поглощени | |
JPS62502421A (ja) | 二次元の対象物を整向、検査及び/または測定するための装置 | |
JPS594258Y2 (ja) | ダブルビ−ム分光光度計 | |
JP3519605B2 (ja) | エリプソメトリ装置 | |
SU1469344A1 (ru) | Устройство дл определени размеров малых объектов | |
JPH0417367B2 (ru) | ||
SU1695184A1 (ru) | Способ определени профил показател преломлени оптических неоднородностей | |
SU1038811A1 (ru) | Устройство дл измерени относительной спектральной чувствительности приемников излучени | |
SU919475A1 (ru) | Оптический измеритель концентрации двуокиси азота в атмосфере | |
RU2078305C1 (ru) | Интерференционный способ контроля геометрического расположения линз и интерференционное устройство для его осуществления |