JPS5986250A - 半導体製造装置 - Google Patents
半導体製造装置Info
- Publication number
- JPS5986250A JPS5986250A JP57196390A JP19639082A JPS5986250A JP S5986250 A JPS5986250 A JP S5986250A JP 57196390 A JP57196390 A JP 57196390A JP 19639082 A JP19639082 A JP 19639082A JP S5986250 A JPS5986250 A JP S5986250A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- chute
- endless belt
- work
- distribution
- supplied
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K13/00—Apparatus or processes specially adapted for manufacturing or adjusting assemblages of electric components
- H05K13/0084—Containers and magazines for components, e.g. tube-like magazines
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Belt Conveyors (AREA)
- Framework For Endless Conveyors (AREA)
- Feeding Of Articles To Conveyors (AREA)
- Supply And Installment Of Electrical Components (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の技術分野〕
本発明は、半導体製造装置に関する。
従来、半導体装置の製造工程では、元シュートから供給
された被処理体のワークを、所定形状に切出した後、多
列に配置された搬出シュートに供給する機能を備えた半
導体製造装置が使用されている。第１図は、従来の半導
体製造装置の一例の概略構成を示す斜視図である。図中
１は、ワーク２を切出し部に供給する元シュートである
。切出し部には、ワーク２を垂直方向と水平方向から所
定形状に切出す切出シリンダー３が設けられている。切
出し部の前方には、元シュート１からのワーク１の供給
方向と略直交する方向に、切出されたワーク２が載置さ
れる間隔で２本の搬送ロープ４か、駆動デーＩＪ−５に
取付けられている。搬送ロープ４間には、切出されたワ
ーク２が収容される分配シュート６が設けられている。
された被処理体のワークを、所定形状に切出した後、多
列に配置された搬出シュートに供給する機能を備えた半
導体製造装置が使用されている。第１図は、従来の半導
体製造装置の一例の概略構成を示す斜視図である。図中
１は、ワーク２を切出し部に供給する元シュートである
。切出し部には、ワーク２を垂直方向と水平方向から所
定形状に切出す切出シリンダー３が設けられている。切
出し部の前方には、元シュート１からのワーク１の供給
方向と略直交する方向に、切出されたワーク２が載置さ
れる間隔で２本の搬送ロープ４か、駆動デーＩＪ−５に
取付けられている。搬送ロープ４間には、切出されたワ
ーク２が収容される分配シュート６が設けられている。
分配シュート６の上方には、ワーク２を固定するストッ
・母−７が昇降自在に設けられている。元シュート１が
設けられた搬送ロープ４の側部に対向する側の搬送ロー
プ４の側部には、複数本の搬出シュート８が所定間隔で
設けられている。
・母−７が昇降自在に設けられている。元シュート１が
設けられた搬送ロープ４の側部に対向する側の搬送ロー
プ４の側部には、複数本の搬出シュート８が所定間隔で
設けられている。
而して、元シュート１から供給されたワーク２は、切出
し部で所定形状に切出された後、分配シュート６上に導
かれス） 、）ｌ ／’Ｐ ７にて固定される。次い
で、搬送ロープ４の移動に従って、分配シュート６に載
置された状態で移動する。
し部で所定形状に切出された後、分配シュート６上に導
かれス） 、）ｌ ／’Ｐ ７にて固定される。次い
で、搬送ロープ４の移動に従って、分配シュート６に載
置された状態で移動する。
分配シュート６は、所定の搬出シュート８に対応する位
置に来たところで停止する。次いで、ストン・母−７が
分配シー−トロから離れ、ワーク２は搬出シュート８に
供給される。供給後、分配シュート６は、ワーク２が供
給される元の位置に搬送ロープ４の移動によって戻り、
同様の操作を繰り返す。
置に来たところで停止する。次いで、ストン・母−７が
分配シー−トロから離れ、ワーク２は搬出シュート８に
供給される。供給後、分配シュート６は、ワーク２が供
給される元の位置に搬送ロープ４の移動によって戻り、
同様の操作を繰り返す。
上述の如く構成された従来の半導体製造装置Ｌ」には、
次のような欠点がある。
次のような欠点がある。
■ 分配シュート６は、各々の搬出シュート８にワーク
２を供給した後、その都度元のワーク供給位置まで戻る
ため、戻りのだめの時間のロスが多い。
２を供給した後、その都度元のワーク供給位置まで戻る
ため、戻りのだめの時間のロスが多い。
■ 分配するワーク２の数が多くなるに従って、分配シ
ュート６の移動距離が大きくなり、ワ−り２の分配に多
くの時間を必要とする。
ュート６の移動距離が大きくなり、ワ−り２の分配に多
くの時間を必要とする。
■ ストツノ臂−７の開閉操作をワーク２の供給毎に行
う必要があシ、極めて作業性が悪い。
う必要があシ、極めて作業性が悪い。
本発明は、多数個のワークを連続的にかつ、短時間に所
定のシュートに供給できる半導体製造装置を提供するこ
とをその目的とするものである。
定のシュートに供給できる半導体製造装置を提供するこ
とをその目的とするものである。
本発明は、無端ベルト上に所定間隔で配置した分配シュ
ートから、−所定のシ＝−トにワークを連続的に、かつ
短時間で供給することにより、作業性の向上を達成した
半導体製造装置である。
ートから、−所定のシ＝−トにワークを連続的に、かつ
短時間で供給することにより、作業性の向上を達成した
半導体製造装置である。
以下、本発明の実施例について図面を参照して説明する
。
。
第２図は、本発明の一実施例の概略構成を示す説明図で
ある。図中２０は、ワーク２１を切出し部に供給する元
シュートである。切出し部には、ワーク２１を垂直方向
と水平方向から所定形状に切出す切出シリンダー２２が
設けられている。切出し部の前方には、元シュート２０
からのワーク２ノの供給方向と略直交する方向に沼って
、無端ベルト２３が回転するように駆動プーリー２４に
取付けられている。無端ベルト２３上には、切出された
ワーク２１が載置される分配シュート２５が所定間隔で
設けられている。一方の駆動プーリー２４の回転軸には
、無端ベルト２３を間欠的に回転させるためのゼネバ歯
車２６が取付けられている。元シュート２０が設けられ
た無端ベルト２３の側部に対向する側の無端ベルト２３
の側部には、複数本の搬出シュート２７が、分配シュー
ト２５の配置間隔と等しい間隔で配置されている。搬出
シーート２７に臨む分配シュート２５の搬出口には、搬
出口を開閉するようにストン／？−２ｇが昇降自在に設
けられている。ス）ツ／ｆ−２８は、無端ベルト２３゛
の側部上方に設けられたアーム２９に取付けられており
、アーム２９の一端部に取付けられたストッパ−シリン
ダー３０によシ昇降動するようになっている。また、切
出し部から分配シュート２５へのワーク２１の供給と、
無端ベルト２３の間欠的な移動とは、同期して行われる
ようになっている。
ある。図中２０は、ワーク２１を切出し部に供給する元
シュートである。切出し部には、ワーク２１を垂直方向
と水平方向から所定形状に切出す切出シリンダー２２が
設けられている。切出し部の前方には、元シュート２０
からのワーク２ノの供給方向と略直交する方向に沼って
、無端ベルト２３が回転するように駆動プーリー２４に
取付けられている。無端ベルト２３上には、切出された
ワーク２１が載置される分配シュート２５が所定間隔で
設けられている。一方の駆動プーリー２４の回転軸には
、無端ベルト２３を間欠的に回転させるためのゼネバ歯
車２６が取付けられている。元シュート２０が設けられ
た無端ベルト２３の側部に対向する側の無端ベルト２３
の側部には、複数本の搬出シュート２７が、分配シュー
ト２５の配置間隔と等しい間隔で配置されている。搬出
シーート２７に臨む分配シュート２５の搬出口には、搬
出口を開閉するようにストン／？−２ｇが昇降自在に設
けられている。ス）ツ／ｆ−２８は、無端ベルト２３゛
の側部上方に設けられたアーム２９に取付けられており
、アーム２９の一端部に取付けられたストッパ−シリン
ダー３０によシ昇降動するようになっている。また、切
出し部から分配シュート２５へのワーク２１の供給と、
無端ベルト２３の間欠的な移動とは、同期して行われる
ようになっている。
このように構成された半導体製造装置ヱ」によれば、先
ず、元シュート２０から切出し部に供給されたワーク２
１が所定形状に切出される。
ず、元シュート２０から切出し部に供給されたワーク２
１が所定形状に切出される。
次いで、切出されたワーク２１が切出し部から分配シュ
ート２５に供給されると、これに同期してゼネバ歯車２
６を利用した駆動プーリー２４が作動し、無端ベルト２
３は間欠的に回転する。この操作によって全ての分配シ
ュート２５にワーク２１が供給される。分配シュート２
５に供給されたワーク２１は、ストッノヤー７８によっ
て分配シュート２５内に保持される。
ート２５に供給されると、これに同期してゼネバ歯車２
６を利用した駆動プーリー２４が作動し、無端ベルト２
３は間欠的に回転する。この操作によって全ての分配シ
ュート２５にワーク２１が供給される。分配シュート２
５に供給されたワーク２１は、ストッノヤー７８によっ
て分配シュート２５内に保持される。
面して、分配数分だけワーク２１が分配シュート２５内
に収容された時点で、ストッパーシリンダー３０によシ
ストラ／＃ ３１ｊを上昇させ、分配シーート２５か
ら対応する搬出シー−ト２７にワーク２１を供給する。
に収容された時点で、ストッパーシリンダー３０によシ
ストラ／＃ ３１ｊを上昇させ、分配シーート２５か
ら対応する搬出シー−ト２７にワーク２１を供給する。
搬出シュート２７へのワーク２１の供給後、ストツバ−
２８を元の状態に戻し、同様の操作の繰返しにより分配
シーート２５から搬出シュート２７へのワーク２ノの連
続的な供給を行うことができる。
２８を元の状態に戻し、同様の操作の繰返しにより分配
シーート２５から搬出シュート２７へのワーク２ノの連
続的な供給を行うことができる。
このワーク２１の供給操作の間、無端ベルト２３は常に
一定方向に動いているので動作に全く無駄がない。しか
も、ワーク２１の切出し、分配シュート２５への分配、
分配シュート２５から搬出シーート２７への供給は、全
て連続した一連の操作で行われるので、ワーク２ノの供
給処理時間を著しく短縮し、作業性を向上させることが
できる。
一定方向に動いているので動作に全く無駄がない。しか
も、ワーク２１の切出し、分配シュート２５への分配、
分配シュート２５から搬出シーート２７への供給は、全
て連続した一連の操作で行われるので、ワーク２ノの供
給処理時間を著しく短縮し、作業性を向上させることが
できる。
以上説明した如く、本発明に係る半導体製造装置によれ
ば、多数個のワークを連続的にかつ、短時間に所定のシ
ュートに供給することができるものである。
ば、多数個のワークを連続的にかつ、短時間に所定のシ
ュートに供給することができるものである。
第１図は、従来の半導体製造装置の概略構成を示す斜視
図、第２図は、本発明の一実施例の概略構成を示す斜視
図である。 ２θ・・・元シュート、２１・・・ワーク、２２・・・
切出シリンダー、２３・・・無端ベルト、２４・・・駆
動−ｆ−リ−１２５・・・分配シュート、２６・・・ゼ
ネ／Ｊ歯沖、２７・・・搬出シュート、２８・・・スト
ッパー、２９・・・アーム、３０・・・ストッｉｊ−シ
リンダー、４０・・・半導体製造装置。 出願人代理人 弁理士 鈴 江 武 彦満Ｐ１ 図 秒 矛２ＪＫ
図、第２図は、本発明の一実施例の概略構成を示す斜視
図である。 ２θ・・・元シュート、２１・・・ワーク、２２・・・
切出シリンダー、２３・・・無端ベルト、２４・・・駆
動−ｆ−リ−１２５・・・分配シュート、２６・・・ゼ
ネ／Ｊ歯沖、２７・・・搬出シュート、２８・・・スト
ッパー、２９・・・アーム、３０・・・ストッｉｊ−シ
リンダー、４０・・・半導体製造装置。 出願人代理人 弁理士 鈴 江 武 彦満Ｐ１ 図 秒 矛２ＪＫ
Claims (1)
- １対の駆動プーリー間に間欠動作をするように取付けら
れた無端ベルトと、該無端ベルト上に所定間隔で配置さ
れた分配シュートと、該分配シュートの出口に対向して
所定間隔で前記無端ベルトの側部に設けられた搬出シュ
ートと、前記分配シュートの出口部に開閉自在に設けら
れたストッ・ぐ−と、前記分配シュートに所定形状のワ
ークを前記無端ベルトの間欠動作に同期して供給する切
出し部とを具備することを特徴とする半導体製造装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57196390A JPS5986250A (ja) | 1982-11-09 | 1982-11-09 | 半導体製造装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57196390A JPS5986250A (ja) | 1982-11-09 | 1982-11-09 | 半導体製造装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5986250A true JPS5986250A (ja) | 1984-05-18 |
Family
ID=16357068
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP57196390A Pending JPS5986250A (ja) | 1982-11-09 | 1982-11-09 | 半導体製造装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5986250A (ja) |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6115227U (ja) * | 1984-06-29 | 1986-01-29 | 株式会社アドバンテスト | Ｉｃ試験装置のｉｃ素子分配装置 |
| JPS61267604A (ja) * | 1984-12-12 | 1986-11-27 | ミクロ コンポ−ネント テクノロジ−，インコ−ポレイテイド | 集積回路装置搬送用シヤトル |
| JPS6337025A (ja) * | 1986-07-30 | 1988-02-17 | Ando Electric Co Ltd | 部品の複数列分配機構 |
| EP0300059A1 (en) * | 1987-02-06 | 1989-01-25 | Takasago Electric Industry Co. Ltd. | Electronic component processing apparatus |
| JPH01159625U (ja) * | 1988-04-22 | 1989-11-06 | ||
| JPH02127616U (ja) * | 1989-03-29 | 1990-10-22 | ||
| JPH06216590A (ja) * | 1993-01-18 | 1994-08-05 | Nippon Dainapaato Kk | アキシャル部品自動挿入装置 |
-
1982
- 1982-11-09 JP JP57196390A patent/JPS5986250A/ja active Pending
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6115227U (ja) * | 1984-06-29 | 1986-01-29 | 株式会社アドバンテスト | Ｉｃ試験装置のｉｃ素子分配装置 |
| JPS61267604A (ja) * | 1984-12-12 | 1986-11-27 | ミクロ コンポ−ネント テクノロジ−，インコ−ポレイテイド | 集積回路装置搬送用シヤトル |
| JPS6337025A (ja) * | 1986-07-30 | 1988-02-17 | Ando Electric Co Ltd | 部品の複数列分配機構 |
| EP0300059A1 (en) * | 1987-02-06 | 1989-01-25 | Takasago Electric Industry Co. Ltd. | Electronic component processing apparatus |
| JPH01159625U (ja) * | 1988-04-22 | 1989-11-06 | ||
| JPH02127616U (ja) * | 1989-03-29 | 1990-10-22 | ||
| JPH06216590A (ja) * | 1993-01-18 | 1994-08-05 | Nippon Dainapaato Kk | アキシャル部品自動挿入装置 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPS5986250A (ja) | 半導体製造装置 | |
| EP0234125A2 (en) | Feed conveyor for machine for forming leads of electronic components | |
| CN112192165A (zh) | 一种适用于管件装配生产线的下料装置 | |
| CN210209286U (zh) | 一种适用于管件装配生产线的下料装置 | |
| JPS61188035A (ja) | プリント基板の面取り装置 | |
| JPS57211746A (en) | Wafer conveying apparatus | |
| JPH06126363A (ja) | 組鉄筋製造装置 | |
| JPS6274556A (ja) | 自動搬送装置 | |
| JPH06254639A (ja) | 自動搬送装置 | |
| JPS62213259A (ja) | バツフア装置 | |
| CN211566487U (zh) | 一种龙门式玻璃钻孔机 | |
| JPH02217787A (ja) | 匣鉢詰め装置 | |
| ATE46642T1 (de) | Vorrichtung und verfahren zum handhaben von werkstuecken. | |
| JPS59161809A (ja) | リ−ドフレ−ム搬送装置 | |
| SU1705092A1 (ru) | Устройство дл транспортировки и раскладки изделий с заданным шагом | |
| JPS6122643A (ja) | 半導体ウエ−ハの搬送装置 | |
| JPS6313896B2 (ja) | ||
| JPS6114844A (ja) | 物品の搬送方法 | |
| JPH0398746A (ja) | フレキシブル生産システム | |
| JP3401782B2 (ja) | 加工装置 | |
| JPH03208536A (ja) | テーブル移動型工作機械用ワーク移送装置 | |
| JPH0532178B2 (ja) | ||
| JPS59146730A (ja) | 加工品の搬入搬出装置 | |
| JPS6351214A (ja) | コンベア装置 | |
| JPH0683951B2 (ja) | プリント基板の面取り方法 |