JPS5984920A - ポリジハイドロジエンシロキサンの製法 - Google Patents

ポリジハイドロジエンシロキサンの製法

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JPS5984920A
JPS5984920A JP19329682A JP19329682A JPS5984920A JP S5984920 A JPS5984920 A JP S5984920A JP 19329682 A JP19329682 A JP 19329682A JP 19329682 A JP19329682 A JP 19329682A JP S5984920 A JPS5984920 A JP S5984920A
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JP
Japan
Prior art keywords
dialkoxysilane
alcohol
polymerization
carried out
polycondensed
Prior art date
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Pending
Application number
JP19329682A
Other languages
English (en)
Inventor
Kota Nishii
耕太 西井
Shiro Takeda
武田 志郎
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Fujitsu Ltd
Original Assignee
Fujitsu Ltd
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 (1)技術分野 本発明はポリジハイドロジエンシロキサン(以下P D
 HSという)の製法、特に重合度の高いPDH8の製
法に関する。
(2)技術の背思 シラノール末端基を有するPDH8は不安定なので、シ
リル化するが、シリル基に有機基が含まれているときに
、ポリマーの重合度が低い場合は、無機ポリマーとして
のPDI−18の特徴を損ない、耐熱性の低下または被
覆膜中のピンホールの発生の原因となる。
(3)従来技術と間四点 ジアルコキシシランの加水分解工程 Hz 5i(OR) 2 + 2 Hz O−’ H2
81(OH) 2 + 2 ROH(1)の次に、続い
てシラノールの縮重合工程nH2si (OI()2 
→トi0− (Si H,、−0) −H+ (n−1
11−120(2、)がおきる。
このとき反応時間を20時間としても、重合度nは4〜
5に過ぎなかった8 (4)発明の目的 本発明の目的は短時間で重合圧の高いPDH8k得る製
法を提供することである。
(5)発明の構成 本発明の上記目的は、一般式L12 S i(0R)2
で表わされ、式中1(、が−価の脂肪族炭化水素基であ
るジアルコキシシランを加水分解した後に縮重合させル
、シラノール末端基を有するポリジハイドロジゴニンシ
ロキザンの製法であって、ジアルコキシシランの加水分
解において、生成する一価の脂肪族アルコールを除去し
ながら縮重合させることを特徴とする、ポリジハイドロ
ジェンシロキザ7(7)%法によって達成することがで
きる。
縮重合反応を減圧100+馴HP以下で行ない、かつ温
度50℃以下で行なうことが好ましい。
ジアルコキシシランの加水分解工程(1)の平衝定にお
いて、生成するアルコールROHを除去すれば、ミ5i
OH濃度を高めることができ、これによって、シラノー
ル末端基を有するPDI8の重合度を高めることができ
る。
出発物質のジアルコキシシランは通路、溶剤に溶解した
溶液として加水分解するが、出発物質の濃度を高めた場
合には、ROHの濃度も高くなるので、重合度を高める
ことができない。また縮重合工程において反応温度を高
めると、ミSi II結合が不安定となって、脱水素、
それに続いてケ゛ル化がおきるので、反応温度は50℃
1以下、好ましくは40℃以下とする。
溶剤としてメチルイソブチルケトン(以下MIBK)沸
点115.9℃を使用するときは、工程(1)で副生ず
るエチルアルコール、またはメチルアルコールの沸点は
78.3℃、64.5℃で/)9、・内式的に、アルコ
ール対MIBKの重量比1:1の(h液を減圧蒸溜する
と、残液中のアルコール敏朋ハ、エチル、・′ルコール
の場合は57ft i %以下、メチルアルコールの場
合は1係以下とすることができる。なお副生アルコール
がグロビルアルコール、ブチルアルコールのように沸点
が97.2℃、117.7℃であるときは、溶剤として
沸点が1700、または202℃であるメチルシクロヘ
ギサノンまたはアセトフェノンを溶剤とすることができ
る。
ただし出発物質がジェトキシシラン沸点約90℃の場合
は、縮重合開始直後から減圧にすると、単量体が蒸発し
て収率が低下するので、暫ら〈反応させた後に減圧にし
て反応させる。減圧は100mmH7以下、好ましくは
60間Hf以下とする。このとき、モノマー篩度は、濃
度が高すぎることによるゲル化を防ぐために60重舒チ
以下、好捷しくけ50重耽係以下とする。
(6)実施例および比較例 実施例1 還流管、攪拌棒、温度計、漏斗を設けた四つロフラスコ
にジェトキシシランi 2 r < o、iモル)、M
IBI(108fを採取し、温度5℃以下に氷冷しつつ
、水18F(1モル)を滴下し、滴下後、浴温を35℃
として、2時間、常圧で櫂拌を続けた。
次に漏斗を取去り、ドライアイス冷却エタールをトラッ
プとする減圧系に接続し、減圧50+nmFlfで浴温
35℃のまま13時時間型合させた。トラップされた溶
剤の量は50fであった。
得られた縮重合液を水洗、脱水後、有機層を傾写して得
、ジメチルクロロシラン9.51を加えてシリル化し、
水5(1’に滴下して過剰のシリル剤を分解させ、水洗
し、1.5+nm1Jj’で織縮し、アセトニトリルお
よびベンゼンで精製し、粉末状のPDI (84,11
を得た。赤外線吸収測定による重合度は約9であったー 実施例2゜ 縮重合時の減圧重合時間を2時間とした他は、実施例1
と同様にして粉末状のPDI(83,9f を得、その
重合度は5であった。
比較例1゜ 縮重合時に減圧とぜず、その時間を20時間とした他は
、実施例1と同様にして、粉末状の)’1)1184.
01を得、その重合度は約5であった。
実施例3゜ ジェトキシシラン36r(0,3モル)、へ1.031
(842、水54F (3モル)としたことの他は実施
例1と同様にして、粉末状のPJJH810、31−f
f:得、その重合度は約19であった。
比較例2 縮重合時に減圧としないことの他は、実施例3と同様に
して、オイル状のPDI−183,8r ’Th得、そ
の重合層は約2.8であった8 (力 発明の効果 上ej12よシ明らか々ように、本発明の製法によって
得たP I)HSは重合度が高く、従って耐熱性が良好
であり、刀・つ被慎欣のピンホールも少なく、半導体用
の配器層間絶縁1漠または保1換膜として使用すること
ができる1、 特訂出願人 冨士通株式会社 特許出願代理人 弁叩士り′木 朗 弁理士西舘和之 弁理士内田幸男 弁理士 山 口 昭 之

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1、一般式F1□5i(OR)2で表わされ、式中Rが
    一価の脂肪族炭化水素基であるジアルコキシシランを加
    水分解した後に縮重合させる、シラノール末端基を有す
    るポリジハイドロジエンシロキサンの製法であって、ジ
    アルコキシシランの加水分解において、生成する一価の
    脂肪族アルコールを除去しながら縮重合させることを特
    徴とする1、]?リジハイドロジエンシロキサンの製法
    。 2、縮重合反応を減圧100 mm1−1r以下で行な
    う、特許請求の範囲第1項記載の製法。 3、縮重合反応を温度50℃以下で行なう、特許請求の
    範囲第1項または第2項記載の製法6
JP19329682A 1982-11-05 1982-11-05 ポリジハイドロジエンシロキサンの製法 Pending JPS5984920A (ja)

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