JPS5976763A - 研磨材製造方法 - Google Patents

研磨材製造方法

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Publication number
JPS5976763A
JPS5976763A JP18746982A JP18746982A JPS5976763A JP S5976763 A JPS5976763 A JP S5976763A JP 18746982 A JP18746982 A JP 18746982A JP 18746982 A JP18746982 A JP 18746982A JP S5976763 A JPS5976763 A JP S5976763A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
synthetic resin
abrasive material
cooled
abrasive
rotary drum
Prior art date
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Pending
Application number
JP18746982A
Other languages
English (en)
Inventor
Junji Nakada
順二 中田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Toshiba Corp
Original Assignee
Toshiba Corp
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Filing date
Publication date
Application filed by Toshiba Corp filed Critical Toshiba Corp
Priority to JP18746982A priority Critical patent/JPS5976763A/ja
Publication of JPS5976763A publication Critical patent/JPS5976763A/ja
Pending legal-status Critical Current

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Classifications

    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B24GRINDING; POLISHING
    • B24BMACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
    • B24B31/00Machines or devices designed for polishing or abrading surfaces on work by means of tumbling apparatus or other apparatus in which the work and/or the abrasive material is loose; Accessories therefor
    • B24B31/02Machines or devices designed for polishing or abrading surfaces on work by means of tumbling apparatus or other apparatus in which the work and/or the abrasive material is loose; Accessories therefor involving rotary barrels

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の技術分野〕 本発明は、研磨能力が大きい合成樹脂研磨材を製造する
だめの研磨材製造方法に関する。
〔発明の概鷹〕
近時、熱硬化性樹脂又は熱軟化性樹脂からなる合成樹脂
研磨材が、半導体部品の樹脂ノ(す取υや合成樹脂成形
品のパリ取シに用いられている。ところで、この合成樹
脂研磨材は、一般にカットワイヤ状や球状に成形されて
いる。しかし、これらの形状の合成樹脂研磨材は、鋭利
な切刃エツジが全くないか、若しくは少ないので、研磨
能力が小さい。そこで、ハンマー、クラッシャー等で粗
粉砕された合成樹脂を、ボールミル、カッタミル等の粉
砕機で微粉砕して、鋭利な角部を有する多角状の研磨材
を得ている。しかるに、上記粉砕機で合成樹脂研磨材を
作る場合には、粉砕中に大量の熱が発生し、合成樹脂が
100℃前後にまで加熱される。その結果、合成樹脂研
磨材が熱可塑性樹脂の場合には、熱により軟化してしま
い、破砕が円滑に行われず鋭利な角部を得ることが困難
となるとともに、所定径にまで合成樹脂を破砕する時間
が長くなってしまう。他方、合成樹脂研磨材が熱硬化性
樹脂の場合には、熱によシ分子構造が変化して物理的特
性が劣化したり、熱可塑性樹脂と同様に、熱軟化によシ
鋭利な角部を得ることができず、破砕時間が長くなって
しまう。このように、従来の粉砕機は、合成樹脂研磨材
の生産能率が単に低いのみならず、粉砕後の研磨材形状
も不完全なものであった。
〔発明の目的〕
本発明は、上d己事情を勘案してなされたもので、合成
樹脂研磨材の生理能率が同上するとともに、合成樹脂研
磨材の形状を鋭利な角部をゼする多角状粒子に容易に形
成することのできる研磨材製造方法を提供することを目
的とする。
〔発明の概安〕
粗砕された合成樹脂を冷却硬化させた状態で、所望の大
きさになるまで破砕し、鋭い研磨エツジを有する合成樹
脂研磨材を得るものである。
〔発明の実施例〕
以下、本発明を図面を参照して、実施例に基づいて詳述
する。
第1図は、本実施例の研磨材製造方法に用いられる回転
バレル形の粉砕機を示している。この粉砕機は、円筒状
の回転ドラム(1)と、この回転ドラム(1)の一方の
肩板に同軸に取付けられたロータリ・バルブ(2)及び
この−一タリ・バルブ(2)に連結された導管(3)を
介して回転ドラム(1)に冷却気体を供給する冷却気体
源(4)と、上記回転ドラムを回転駆動する駆動機構と
から構成されている。上記駆動機構は、回転ドラム(1
)の外周面に同軸に環装された2本の円環体φf5) 
、 (5)と、これら円環体(5)i5)と摺接して回
転ドラム(1)を回転自在に載置する41面の弾性体か
らなる摩擦車(6)・・・と、これら摩擦車(6)・・
・のうち2個の摩擦車(6) 、 (6)が同軸に取付
けられた回転軸(力と、この回転軸(力の一端に連結さ
れて回転軸(7)を回転させる例えばモータと歯車列と
からなる回転装置(図示せず)とからなっている。
上記摩擦車(6)・・・のうち回転l1II(力に取付
けられていない残シの2個の摩擦車(6) 、 (6)
は、図示せぬ基台上に回動自在に軸支されている。また
、上記冷却気体源(4)は、液体空気又は液体窒素の貯
蔵器と、この貯蔵器にて発生した冷却気体を圧送する送
風器とからなっている。さらに、回転ドラム(1)の他
方の端板は開閉自在となっていて、合成樹脂研磨材と硬
球とを出し入れできるようになっている。
つぎに、上記構成の粉砕機を用いた研磨材製造方法につ
いて説明するCまず、ポリアミド樹脂。
ポリカーボネート樹脂、ポリスチレン樹脂等の熱DJ′
塑性樹脂を塊状に形成後、クラッシャ、ハンマーなどで
破砕して平均粒径5闘程度の粗粒子(8)・・・を得る
。このようにして得られた粗粒子を@製の41球(9)
・・・とともに回転ドラム(1)中に格納する。しかし
て、駆動機構を起動させて回転軸(力及びこの回転軸(
力に取付けられている摩擦車(6) 、 (6)を回転
させて、回転ドラム(1)を周速5〜20m/minで
回転させる。一方、冷却気体源(4)から導管(3)及
びロータリ・バルブ(2)を介して、−1oo“C〜0
℃程度の冷却気体を回転ドラム(1)中に導入する。す
ると、粗粒子(8)・・・は、低温に冷却されるので脆
化して破砕性が向上し、回転ドラム(1)の回転にとも
なう硬球(9)・・・の圧縮力と衝撃力とにより、高能
率で微粉砕される。このとき、回転ドラム(1)の回転
にともなって、摩擦熱が発生するが、冷却気体により昇
温か阻止される。そのため、粗粒子(8)・・・の軟化
をまねくことなく、第3図に示すような鋭利な切刃エツ
ジ(10)・・・を有する多角状の研磨材(11)を得
ることができる。しかして、粗粒子(8)・・・が、平
均粒径0.1〜1關程度になるまで回転ドラム(1)の
回転を継続する。
得られた研磨材a〔には破砕時に生じたクラック(1カ
・・・が残留しているので、プラスト加工により切刃エ
ツジ叫・・・が磨滅しても、丸みを帯びた部分が脱落し
て、次々と新しい研磨エツジ(10)・・・が新生する
ので、長時間使用しても研磨能力が低下することなく、
研磨材としての寿命が長くなる。
なお、上記実施例においては、熱可塑性合成樹脂研磨材
について述べたが、不飽和ポリエステル樹脂、エポキシ
mMF1.フェノールフォルムアルデヒド樹脂、尿素樹
脂、メラミン樹脂等の熱硬化性合成樹脂研磨材の製造に
も適用でき、この場合昇温にともなう物理的特性の劣化
を防止できるという特有の効果を奏する。さらに、上記
実施例においては、回転バレル形の粉砕機を例示してい
るが、これに限ることなく振動を付与することによシ合
成樹脂粒子と硬球とを流動させる振動ミル、遠心力によ
シ合成樹脂粒子と硬球とを流動させる遠心ミル、ジェッ
トミル等の粉砕機中に冷却気体を導入してもよい。のみ
ならず、あらかじめ微粉砕される合成樹脂粒子を冷却硬
化したものを前述した粉砕機にて微粉砕するようにして
も、同様の効果を得ることができる。
〔発明の効果〕
本発明の研磨4チ製造方法は、合成樹脂を冷却硬化し、
脆化により粉砕性を向上させたもので、研磨材の生産能
率が顕著に向上する。また、破砕にともなう発熱による
昇温を阻止できるので、合成樹脂の軟化や物理性変性を
防止して、鋭利な研磨エツジを有する多角波の研磨能力
の高い研磨材を得ることができる。しかも、この多角状
研磨材中には破砕によるクラックが残留しているので、
プラスト加工にともない研磨エツジが磨滅して九→を帯
びた部分が脱落し、次々に新たな研磨エツジが新生する
ので研磨能力が長時間使用しても低下することなく研磨
材としての寿命が長くなる。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明の一実施例に使用される粉砕機を示す図
、第2図は同じく断面図、第3図は得られた研磨材の断
面図である。 (8):粗粒子 ←υ:研磨材 代理人 弁理士  則 近 憲 1右 (ほか1名)

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)合成樹脂を市却し−ご脆化させる方法と、上記冷
    却した合成樹脂を破砕して粒子状の研磨材を得る方法と
    を具備することを%徴とする研磨材製造方法。
  2. (2)合成樹脂は一100’O乃至0’O近傍に冷却す
    ることを特徴とする特許請求の範囲第1項記載の研磨材
    製造方法。
JP18746982A 1982-10-27 1982-10-27 研磨材製造方法 Pending JPS5976763A (ja)

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JP18746982A JPS5976763A (ja) 1982-10-27 1982-10-27 研磨材製造方法

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JP18746982A JPS5976763A (ja) 1982-10-27 1982-10-27 研磨材製造方法

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPS5976763A true JPS5976763A (ja) 1984-05-01

Family

ID=16206623

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JP18746982A Pending JPS5976763A (ja) 1982-10-27 1982-10-27 研磨材製造方法

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JP (1) JPS5976763A (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN109702631A (zh) * 2018-12-06 2019-05-03 林潇宇 一种钢珠粗抛光设备

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