JPS5974178A - 可塑剤非移行性粘着シ−ト - Google Patents
可塑剤非移行性粘着シ−トInfo
- Publication number
- JPS5974178A JPS5974178A JP18406782A JP18406782A JPS5974178A JP S5974178 A JPS5974178 A JP S5974178A JP 18406782 A JP18406782 A JP 18406782A JP 18406782 A JP18406782 A JP 18406782A JP S5974178 A JPS5974178 A JP S5974178A
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- JP
- Japan
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- sheet
- adhesive
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- plasticizer
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明げ、ステンレス似、アルミニウム板等の金属機、
あゐいｉＪガラス、半導体ウエノ・ｌど（／Ｊ衣向抹腹
用帖盾シートに関するもので、時にこ２’１．ら抜沼体
への可塑剤の移行りない軟質ホリ塩化ヒニル（以−ＦＰ
ＶＣと略記）基刷り再剥離柑二イ＋！ｉ ｌ＆シートｙ
ｃ関丁ゐ。
あゐいｉＪガラス、半導体ウエノ・ｌど（／Ｊ衣向抹腹
用帖盾シートに関するもので、時にこ２’１．ら抜沼体
への可塑剤の移行りない軟質ホリ塩化ヒニル（以−ＦＰ
ＶＣと略記）基刷り再剥離柑二イ＋！ｉ ｌ＆シートｙ
ｃ関丁ゐ。
便米、ＰＶＣ樹脂樹脂１皿０
２０〜１００重量部會含有した厚で０．０４〜０。
２ｍｍ程度のＰＶＣシート基材に、粘涜創を塗イ６した
表向保護用粘盾シートが一般に使用芒１１−でいるが、
前記被看体に貼付けている間に、基材中ＧＪ ’ｉＪ塑
剤か移行して、被瘤体會汚染丁４欠点を射していπ０ この欠点は、ＰＶＣの柔軟性ｒ付与丁４目げづで添加式
１１−たフタル酸系．ポリエステル糸、エポキシ糸など
の可塑剤が、年女Ｗｌ状！源で存在丁ゐため、粘看剤ケ
弁して級后体に１で連子ゐ１こめに生じる。
表向保護用粘盾シートが一般に使用芒１１−でいるが、
前記被看体に貼付けている間に、基材中ＧＪ ’ｉＪ塑
剤か移行して、被瘤体會汚染丁４欠点を射していπ０ この欠点は、ＰＶＣの柔軟性ｒ付与丁４目げづで添加式
１１−たフタル酸系．ポリエステル糸、エポキシ糸など
の可塑剤が、年女Ｗｌ状！源で存在丁ゐため、粘看剤ケ
弁して級后体に１で連子ゐ１こめに生じる。
この可塑剤の移行によめ汚染に・扱眉面の美観全損９こ
とから補修に多大ｌ労力、費用４ν丁をはかりでなく、
たとえば不純物による汚染を極度に嫌う半導体ウェハに
貼付けた部付には２牛導体％件の不良（！７壕ね〈寺の
ことから、そり改良が強く留１１１−でいた。
とから補修に多大ｌ労力、費用４ν丁をはかりでなく、
たとえば不純物による汚染を極度に嫌う半導体ウェハに
貼付けた部付には２牛導体％件の不良（！７壕ね〈寺の
ことから、そり改良が強く留１１１−でいた。
この対策として、基材中（／．１町塑刑前を用油な＋！
ＩＸ！り姫らしたり、あめいＣ粘沼剤層ケ光分ｌこ架橋
ざぜる等の手段が試みらＩしているか，抜本的ｌ所決末
に致っていない。
ＩＸ！り姫らしたり、あめいＣ粘沼剤層ケ光分ｌこ架橋
ざぜる等の手段が試みらＩしているか，抜本的ｌ所決末
に致っていない。
本発明け１かかる欠点全解決した新規な釉層７−トｔｙ
ｖ構取に関丁ゐものであり、表面積１００ｍＩ／ｇ以上
のカーボンブランクを２〜４０体積％混甘した粘スイ畑
層をＭする可塑剤層を有丁ゐ可塑刑非移行性粘盾シート
でめる。
ｖ構取に関丁ゐものであり、表面積１００ｍＩ／ｇ以上
のカーボンブランクを２〜４０体積％混甘した粘スイ畑
層をＭする可塑剤層を有丁ゐ可塑刑非移行性粘盾シート
でめる。
丁ｌわち、不発四巻らはＰＶＣ基材粘宥釉層トにあ゛い
て粘宥剤中にある独のカーボンブラックを混せ丁ゐこと
により、被漕開の移行防止に著しい効果のおることを見
出し不発明に至った。
て粘宥剤中にある独のカーボンブラックを混せ丁ゐこと
により、被漕開の移行防止に著しい効果のおることを見
出し不発明に至った。
小勇ｑ １ｐＪ（／Ｊ ’ＩＩイｉ＊ さ１１．６−＊
施９１Ｊ ＶＣＪ ７１、ｕ、ｐｖｃシート基材中に
カーボンブランクＰＬひ、銀、鞭、アルミニウム等（Ｉ
Ｊ金Ｘ粉エリなる導電性光填剤會宮南し／ひ基材（以下
碑篭性ＰＶＣ基材）γ用いることＶＣ、Ｃつ１丁ぐＩし
た電気伝４注葡もあわぜて付つ非移行性の粘肩シートか
傅ら７′Ｌ／）。
施９１Ｊ ＶＣＪ ７１、ｕ、ｐｖｃシート基材中に
カーボンブランクＰＬひ、銀、鞭、アルミニウム等（Ｉ
Ｊ金Ｘ粉エリなる導電性光填剤會宮南し／ひ基材（以下
碑篭性ＰＶＣ基材）γ用いることＶＣ、Ｃつ１丁ぐＩし
た電気伝４注葡もあわぜて付つ非移行性の粘肩シートか
傅ら７′Ｌ／）。
不う６明ＶＣおいて便用さＩＬ々ＰＶＣンート基材とし
てｉＱ、ＰＶＣ切脂１００厘童部に対し町塑刑駕２０〜
１００乗賞部の広い範囲の基材か〕搬用でき、厚さとし
てに、貼付性２工び剥離性？考慮丁ゐと０．０４〜Ｑ、
２ｍｍ程度力卸ｆ能であゐ０１だカーボンブラックとし
てに、表面種１００ｍ”／ｇ以以上動物３ｔｆＵ用ｏＪ
能−ごあり、わンり形状および寸法全問わない０表び０
績＋００ｍ’／ｇ以下″Ｔ：に、多重のカーボンブラン
クの混せケ必要と−Ｊ−４ため、笑用性あ々釉層性か侍
ら１１−ない。
てｉＱ、ＰＶＣ切脂１００厘童部に対し町塑刑駕２０〜
１００乗賞部の広い範囲の基材か〕搬用でき、厚さとし
てに、貼付性２工び剥離性？考慮丁ゐと０．０４〜Ｑ、
２ｍｍ程度力卸ｆ能であゐ０１だカーボンブラックとし
てに、表面種１００ｍ”／ｇ以以上動物３ｔｆＵ用ｏＪ
能−ごあり、わンり形状および寸法全問わない０表び０
績＋００ｍ’／ｇ以下″Ｔ：に、多重のカーボンブラン
クの混せケ必要と−Ｊ−４ため、笑用性あ々釉層性か侍
ら１１−ない。
六■槓１００ｍ”／ｇ以よりカーボンプラッタａ、テヤ
ンネルブラックボおよびファー不スプラッタ系から選択
さ１１ゐ。表面種とにＩ、ＡＳ′ｒＭＤ−５０３７−７
３に示す屋索衣面槓伝ＩＥ′ｒ法）によ々結果を用いゐ
。
ンネルブラックボおよびファー不スプラッタ系から選択
さ１１ゐ。表面種とにＩ、ＡＳ′ｒＭＤ−５０３７−７
３に示す屋索衣面槓伝ＩＥ′ｒ法）によ々結果を用いゐ
。
上記カーボンブラック２、粘眉創として一般に用いら１
１−る天然ゴム、小すクロログレン、ブタジェン−スチ
レン共亜せ捧酢酸ビニルーエチレン共重合体、ホリイン
ブテレン、アクリル敏エステル系ゴム、ポリビニルエー
テル糸コムなどに混甘し粘瑚剤と丁ゐ０もちろん帖盾斉
１１中にに、粘虐付与剤、可塑剤、架橋創あないにカー
ボンブランクなど會併用して（史ｊ＋Ｉ丁ゐことも可能
である。
１−る天然ゴム、小すクロログレン、ブタジェン−スチ
レン共亜せ捧酢酸ビニルーエチレン共重合体、ホリイン
ブテレン、アクリル敏エステル系ゴム、ポリビニルエー
テル糸コムなどに混甘し粘瑚剤と丁ゐ０もちろん帖盾斉
１１中にに、粘虐付与剤、可塑剤、架橋創あないにカー
ボンブランクなど會併用して（史ｊ＋Ｉ丁ゐことも可能
である。
カーボンフランクＵＪＩｒ＼力ｏ童ｖ、ｘ、 ｐ ｖ
ｃ シー ）。
ｃ シー ）。
ノー材中り可塑剤層と相対的に決定系ＩＬなか、２〜４
０体伯％で効果がある０２体積弊以下では俣盾捧［ｍへ
（／Ｊ可塑剤り移行防止に効果か少ｌく、４０体積弊以
−にで（転）粘屑力の低下かスきく実用的でない。
０体伯％で効果がある０２体積弊以下では俣盾捧［ｍへ
（／Ｊ可塑剤り移行防止に効果か少ｌく、４０体積弊以
−にで（転）粘屑力の低下かスきく実用的でない。
ｙｚｈ柘治斉１］中にカーボンを７昆付丁ゐことに、従
米層色ケ目的とし１こ特殊の場せ几、１体績％以Ｔのき
わめて少量″′Ｃ″使用さ才１ていた０−Ｆ罷粘沿削會
、ＰＶＣシート基材に塗工して釉層シートな侍ゐかＣ（
／Ｊ構成物に、僅層体に貼１１′け１ζ１１．′１１甲
削り移行が極端に少くなるか、全くｌい０とがわかっｌ
こ○その理由（ｒＪ必すしも明らかでないかＰＶＣシー
ト基材中より粘ンｄ剤に移行しｙｔ １ｘＪｔ剤に、粘
肩剤中に混合σｆｌ−；＋を表面イ〆（か人きく吸］ｈ
龍Ｉ７ｃ優７１．７でカーボンブランクに吸７１“り珠
竹さ７１５、抜７討体ｎｎ葉でｖ、ｚ ｉ」塑剤に工ゐ
悪影＜ｎケ及ｅ３さ／１いためと考えら１１な。
米層色ケ目的とし１こ特殊の場せ几、１体績％以Ｔのき
わめて少量″′Ｃ″使用さ才１ていた０−Ｆ罷粘沿削會
、ＰＶＣシート基材に塗工して釉層シートな侍ゐかＣ（
／Ｊ構成物に、僅層体に貼１１′け１ζ１１．′１１甲
削り移行が極端に少くなるか、全くｌい０とがわかっｌ
こ○その理由（ｒＪ必すしも明らかでないかＰＶＣシー
ト基材中より粘ンｄ剤に移行しｙｔ １ｘＪｔ剤に、粘
肩剤中に混合σｆｌ−；＋を表面イ〆（か人きく吸］ｈ
龍Ｉ７ｃ優７１．７でカーボンブランクに吸７１“り珠
竹さ７１５、抜７討体ｎｎ葉でｖ、ｚ ｉ」塑剤に工ゐ
悪影＜ｎケ及ｅ３さ／１いためと考えら１１な。
以下不発１すＡを央流汐りに基いて訃ａｉ＋に続開する
０夾ｌイｈ↑２リ−１ （＋）ｐｖｃシート基材の作成 ｐｖｃ側脂樹脂 １００重量部 可塑剤 ２０巣量都 安定剤 ６車倉部 ＬＱｌる配せ物を、バンバリーミキサ−で混＃ｐｊｙレ
ンタ−ｏ−ルＶ（−エリ厚’Ｇ Ｃ１，ＯＦ３ ｍｍ（
／、Ｉｐｖｃシートを侍だ。
０夾ｌイｈ↑２リ−１ （＋）ｐｖｃシート基材の作成 ｐｖｃ側脂樹脂 １００重量部 可塑剤 ２０巣量都 安定剤 ６車倉部 ＬＱｌる配せ物を、バンバリーミキサ−で混＃ｐｊｙレ
ンタ−ｏ−ルＶ（−エリ厚’Ｇ Ｃ１，ＯＦ３ ｍｍ（
／、Ｉｐｖｃシートを侍だ。
（２）粘看剤の作成
天然ゴム１級（６０分累裡り品）
１００垂Ｍ都
ポリテルペン切刃旨（軟化点１００℃）３’ ＯＪ＋４
幇都 に対し５、チャン坏ル糸カーボ／ブランクＣＫ−３（西
独、Ｄｅｇｕｓｓａ ；７ ） ｋ−＝−ターで工〈混
付後１５重量％のトルエン浴液とした。なおＣＫ−３ｉ
表面ｍ１１５ｍ’／ｇであった０ （３）釉層シートの作逗 ＰＶＣ基材土に、乾燥後の厚みかＱ、（１２ｍｍとなる
ようにロールコータ−で塗布し、１００’Ｃ−３０分１
１ｉＪ乾燥して釉層シート奮侍た。この粘端■シート（
ｊＪ特特性比第１表示す。
幇都 に対し５、チャン坏ル糸カーボ／ブランクＣＫ−３（西
独、Ｄｅｇｕｓｓａ ；７ ） ｋ−＝−ターで工〈混
付後１５重量％のトルエン浴液とした。なおＣＫ−３ｉ
表面ｍ１１５ｍ’／ｇであった０ （３）釉層シートの作逗 ＰＶＣ基材土に、乾燥後の厚みかＱ、（１２ｍｍとなる
ようにロールコータ−で塗布し、１００’Ｃ−３０分１
１ｉＪ乾燥して釉層シート奮侍た。この粘端■シート（
ｊＪ特特性比第１表示す。
）４４．η１１タリー ２
（１） 専蓋件ＰＶＣンート基材の作り又Ｐ Ｖ（
Ｊ＃１１旨 ＋
０ ０１ｊ１ｇ部可塑介’Ｉ ＋
ＯＯ重童都々ｆ′市性カーボンブラック ６０垂に
部安定畑 ２ｍ［都 よりｌろ自己台９勿を、実施例−１と１司様ＦＣバンバ
リーミキサ−で混練佐、カレンダーロールＶこ エ リ
）緑 さ ０．４５ｍ口１ｑノ４勢電１生 Ｐ ｖ
ｃ ン − ト ンヒ召１１こ。
Ｊ＃１１旨 ＋
０ ０１ｊ１ｇ部可塑介’Ｉ ＋
ＯＯ重童都々ｆ′市性カーボンブラック ６０垂に
部安定畑 ２ｍ［都 よりｌろ自己台９勿を、実施例−１と１司様ＦＣバンバ
リーミキサ−で混練佐、カレンダーロールＶこ エ リ
）緑 さ ０．４５ｍ口１ｑノ４勢電１生 Ｐ ｖ
ｃ ン − ト ンヒ召１１こ。
（２）粘λＩ剤の作成
アクリルホ粘盾剤（束史せ取四）製アロンＳ−１５１１
）とンアーネス糸カーボンフ′ラソタ（ライオンアクゾ
（４１ψ製ケツチエンブラツク１ｉ Ｃ） ２ニーダ−
ｖｃて良く混付した組成９勿１００１（１代−出５Ｖ（
−外Ｊして、架橋斉り（日本ポリウレタ ンエ朶蓼４コ
ロイ・−ト Ｌ ） ３ ｍ、ｍ台１５をカロλ
、２０垂重％のトルエン浴液とした。
）とンアーネス糸カーボンフ′ラソタ（ライオンアクゾ
（４１ψ製ケツチエンブラツク１ｉ Ｃ） ２ニーダ−
ｖｃて良く混付した組成９勿１００１（１代−出５Ｖ（
−外Ｊして、架橋斉り（日本ポリウレタ ンエ朶蓼４コ
ロイ・−ト Ｌ ） ３ ｍ、ｍ台１５をカロλ
、２０垂重％のトルエン浴液とした。
なお、ケッチェンブラックＥＣり表面槓汀９５０ｍノ／
ｇであった。
ｇであった。
（６）釉層シートの作成
４電性ＰＶｃ基材よ１７ｎ、乾燥体の厚みが０゜Ｑｌｍ
ｍとなるように実施辺止１と同様にｏ −ルコーターで
Ｊ：Ｍビ粘漕剤ケ塗布し、＋２Ｄ℃−５５ｊ間乾燥して
粘沼シートケ得た。
ｍとなるように実施辺止１と同様にｏ −ルコーターで
Ｊ：Ｍビ粘漕剤ケ塗布し、＋２Ｄ℃−５５ｊ間乾燥して
粘沼シートケ得た。
こり枯庸シート（ｌＪ％性を第１表に示す。
比較例−１
カーボンブラックの種類。づみを変えて、実施例−１と
同＠な帽ハ手段にエリ釉層シート７作成した。カーボン
ブラックに、表ｍ槓７６ ｍ’／ｇ（１）アセチレンブ
ラックをイ史用した。
同＠な帽ハ手段にエリ釉層シート７作成した。カーボン
ブラックに、表ｍ槓７６ ｍ’／ｇ（１）アセチレンブ
ラックをイ史用した。
ＣＣ／ＪＶ５府シートの特性を第１表に示す。
第１表
（
第１衣甲
（＋） ”Ｊ ｆｆ）、Ｍす（／Ｊ イ多イ丁１
午は、 厚さ ０．０ ６ ｍｍ（ａ ＯＰ
Ｐ フィルム（呆し＠製トレノアン゛ＢＯ）ＶＣ粘
７ｆｊシートを貼４・ｊけ、５０°Ｃ乾珠慎申１’ｃ５
０時間放１飢 （粘４シート會剥市しＯＰＰフィルム
の赤外分光分析を竹ない、可塑剤の特性吸収１７３０Ｃ
ｍ−’り吸収深σヶ調べた。
午は、 厚さ ０．０ ６ ｍｍ（ａ ＯＰ
Ｐ フィルム（呆し＠製トレノアン゛ＢＯ）ＶＣ粘
７ｆｊシートを貼４・ｊけ、５０°Ｃ乾珠慎申１’ｃ５
０時間放１飢 （粘４シート會剥市しＯＰＰフィルム
の赤外分光分析を竹ない、可塑剤の特性吸収１７３０Ｃ
ｍ−’り吸収深σヶ調べた。
Ｏｆ） Ｐフィルムは、１７３０Ｃｍ−’での吸収が５
７９− ないことから基準ラインからの吸収床δで可塑剤り移行
度ケ次Ｖ？−エリ刊頑し／こ。
７９− ないことから基準ラインからの吸収床δで可塑剤り移行
度ケ次Ｖ？−エリ刊頑し／こ。
■・・・吸収深さ １％未満
■・・・吸収深１１〜５％
×・・・吸収深さ ５％以上
、２）粘后力にＪＩＳ Ｃ−２１０７ＶＣ工ゐ（１８
０度剥離、１５ｎ速ＦＫ ３００ ｍｍ ７分、２０°
Ｃ−６５％ＲＨｉ／Ｃ″′Ｃ測５ｊＺ）ＳＵＳ−４５０
ＢＡｖｃ対−１＝粘看カケボし、初期粘７ｎ力とげ貼付
向伐り６ケ月俊粘宥力とｒＪ１貼付俊６ケ月経府し１４
吋の粘腐刀會ボ丁。
０度剥離、１５ｎ速ＦＫ ３００ ｍｍ ７分、２０°
Ｃ−６５％ＲＨｉ／Ｃ″′Ｃ測５ｊＺ）ＳＵＳ−４５０
ＢＡｖｃ対−１＝粘看カケボし、初期粘７ｎ力とげ貼付
向伐り６ケ月俊粘宥力とｒＪ１貼付俊６ケ月経府し１４
吋の粘腐刀會ボ丁。
※印は粘眉シート會剥陥し１こ時、目仇刊建て板虐体曲
か汚染さ１１−たことを示す。
か汚染さ１１−たことを示す。
※５：七印は粘７甜性不十分なＡ、部分的に級盾俸１ｍ
から粘冷ンートか浮きあがっＬ６とをボ丁。
から粘冷ンートか浮きあがっＬ６とをボ丁。
勺 貫層抵抗とは、導電性ＰＶＣ基材衣面Ｊ−ＩＪ粘瘤
創層ケブｒして碑電住■被瘤捧に通紙しｔ（ときの釉層
シート厚み方向Ｄ′屯気抵抗を示す。
創層ケブｒして碑電住■被瘤捧に通紙しｔ（ときの釉層
シート厚み方向Ｄ′屯気抵抗を示す。
第１表に示す試験結果から明らかな、ｒ−りに衣［用イ
貢り入さいカーボンフ゛ラソタケ粘腐沖ｊ甲に混付しｌ
こｌ） Ｖ Ｃシート基材の粘溜／−ト汀】内宮の貼付
期１ば］であめ６ケ月會経過しても被盾面の汚染かみら
ｒＬｊ″、実施？Ｕ−２の如く、σらに導電性ＰｖＣシ
ート基材を用いゐことに１り釉層ジートリ厚み方向に対
して導電性？もち、あわせて俣層面を汚染しｉい粘瘤シ
ートか得らｆＬる。
貢り入さいカーボンフ゛ラソタケ粘腐沖ｊ甲に混付しｌ
こｌ） Ｖ Ｃシート基材の粘溜／−ト汀】内宮の貼付
期１ば］であめ６ケ月會経過しても被盾面の汚染かみら
ｒＬｊ″、実施？Ｕ−２の如く、σらに導電性ＰｖＣシ
ート基材を用いゐことに１り釉層ジートリ厚み方向に対
して導電性？もち、あわせて俣層面を汚染しｉい粘瘤シ
ートか得らｆＬる。
５８０−
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 軟仙ポリ塩化ビニルソート基材に粘滴剤ケ所布して
なめ枯眉シートにおいて、粘層刑に表Ｄ１１槓か１００
ｍ’／ｇ以上のカーボンブラック會２〜４０俸績％宮翁
してｌゐＣとｔ特徴とする司牢剤非移行性粘フ＆シート
。 ２、軟質ポリ塩化ビニルシート基材か碑篭性ケ七１−々
もの′Ｔ：あめ特許請求り範囲第１墳配軟（／、Ｉ呵！
！１２剤非移行性粘瘤シート。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18406782A JPS5974178A (ja) | 1982-10-20 | 1982-10-20 | 可塑剤非移行性粘着シ−ト |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18406782A JPS5974178A (ja) | 1982-10-20 | 1982-10-20 | 可塑剤非移行性粘着シ−ト |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5974178A true JPS5974178A (ja) | 1984-04-26 |
Family
ID=16146797
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18406782A Pending JPS5974178A (ja) | 1982-10-20 | 1982-10-20 | 可塑剤非移行性粘着シ−ト |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5974178A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02125946U (ja) * | 1989-03-27 | 1990-10-17 | ||
| US8728910B2 (en) | 2010-09-30 | 2014-05-20 | Mitsui Chemicals, Inc. | Expandable film, dicing film, and method of producing semiconductor device |
-
1982
- 1982-10-20 JP JP18406782A patent/JPS5974178A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02125946U (ja) * | 1989-03-27 | 1990-10-17 | ||
| US8728910B2 (en) | 2010-09-30 | 2014-05-20 | Mitsui Chemicals, Inc. | Expandable film, dicing film, and method of producing semiconductor device |
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