JPS5968653A - 物体の表面検査方法 - Google Patents
物体の表面検査方法Info
- Publication number
- JPS5968653A JPS5968653A JP17954582A JP17954582A JPS5968653A JP S5968653 A JPS5968653 A JP S5968653A JP 17954582 A JP17954582 A JP 17954582A JP 17954582 A JP17954582 A JP 17954582A JP S5968653 A JPS5968653 A JP S5968653A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light
- reflected
- light shielding
- scattered
- abnormal
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
- G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
- G01N21/89—Investigating the presence of flaws or contamination in moving material, e.g. running paper or textiles
- G01N21/8901—Optical details; Scanning details
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Textile Engineering (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は物体の表面にレーザー光ケ照射し、その反射ブ
Ｌの散乱状態から物体の表面に傷があるか否か或は塵芥
が付着していないかといったことを検棄する方法に関す
る。
Ｌの散乱状態から物体の表面に傷があるか否か或は塵芥
が付着していないかといったことを検棄する方法に関す
る。
この和！検査方法には従来から各種あり、その主なもの
として第１図に示すように工業用テレビ（ＩＴＶ）を使
用する方法があるが、これらｕ： Ｓ ／ Ｎが悪いと
か、分解能が悪いといった各種欠点がある。
として第１図に示すように工業用テレビ（ＩＴＶ）を使
用する方法があるが、これらｕ： Ｓ ／ Ｎが悪いと
か、分解能が悪いといった各種欠点がある。
本発明はこれらの欠点を解消すると共に微少な傷をも簡
易にしかも確実に検知できるようにしたものである。以
下本発明を図面に基づきｉ９明する。
易にしかも確実に検知できるようにしたものである。以
下本発明を図面に基づきｉ９明する。
レーザー発振器（１）から発振されるし・−ザー光金変
調器（２）で変調してコリメータ（３）に人Ｊ］１、こ
＼でレーザー光を平行光にして物体（／Ｉ）の表面に照
射する。
調器（２）で変調してコリメータ（３）に人Ｊ］１、こ
＼でレーザー光を平行光にして物体（／Ｉ）の表面に照
射する。
照射さノ１．た光は物体（４）の表面で反射される。
反射光の反射角度は物体の表面の状態により異なる。表
Ｆｈ１に傷が無く、塵芥も付着していない正常状態では
反射光の反射パターンが一定面訂ｔに収まるが、表面に
隅がついていたり、塵芥が付着している異常状態では反
射光の散乱が大きくなり、正常時の反射パターン面積の
タト佃［１で散乱する。
Ｆｈ１に傷が無く、塵芥も付着していない正常状態では
反射光の反射パターンが一定面訂ｔに収まるが、表面に
隅がついていたり、塵芥が付着している異常状態では反
射光の散乱が大きくなり、正常時の反射パターン面積の
タト佃［１で散乱する。
そこで本発明では市常時の反射光パターン上に少くとも
そのパターンの面オ責より広い面積の遮）Ｙ、体（５）
を設けてｒＥ常時の反ｆＡ、、１光ｋ Ｄ＝：Ｄ ｌす
Ｉ Ｌ、ｊｌ、ｒ：光体（５）の外ｌ１ｊｌに受光体（
６）全設けて、物体（４）の累増時に遮光体（５）の外
側にまで散乱する異常反射光だけテ当該受光体（６）に
より受光するようにしたものである。
そのパターンの面オ責より広い面積の遮）Ｙ、体（５）
を設けてｒＥ常時の反ｆＡ、、１光ｋ Ｄ＝：Ｄ ｌす
Ｉ Ｌ、ｊｌ、ｒ：光体（５）の外ｌ１ｊｌに受光体（
６）全設けて、物体（４）の累増時に遮光体（５）の外
側にまで散乱する異常反射光だけテ当該受光体（６）に
より受光するようにしたものである。
受光さ！−１だ尾は適宜の処理装置（７）に」：り処理
する。
する。
受光体（６）は少くとも二以上使用し、その二つを第３
図のようにレーザー光を挾んで１８０度反対位置に設置
するのがよい。
図のようにレーザー光を挾んで１８０度反対位置に設置
するのがよい。
物体（／１）が製造ラインで流れているもの＼場合は、
物体（羽がゆＪｌ、／ζす、検出する傷が神々異なるた
め、物体（・１）に照射するレーザー光のビーム仔や遮
光体（５）の径或はレーザー光の出力等は実際の検出状
況に合きて適宜選定する。
物体（羽がゆＪｌ、／ζす、検出する傷が神々異なるた
め、物体（・１）に照射するレーザー光のビーム仔や遮
光体（５）の径或はレーザー光の出力等は実際の検出状
況に合きて適宜選定する。
本発明においては、遮光体（５）の径Ｌ−ビーム径ｔ１
−材料のゆわ２、となり、イｇ＋の径／レーザー光の照
射径ｔ２−散乱光の度合となる。
−材料のゆわ２、となり、イｇ＋の径／レーザー光の照
射径ｔ２−散乱光の度合となる。
本発明は叙上のように、正常時の反射パターン上に遮光
体（！”ｉｌ’、ｒ設けてＩＦ常時の反射光は受光ぜす
、遮光体（５）の外側に受光体（６）を設けて遮光体（
５）の外側Ｋまで散乱する異常時の散乱光だけを受光す
るようにしであるため、棲めて簡潔な構成で確実に物体
（４）の表面の傷やそれに利幅している塵芥等全検出す
ることができる。
体（！”ｉｌ’、ｒ設けてＩＦ常時の反射光は受光ぜす
、遮光体（５）の外側に受光体（６）を設けて遮光体（
５）の外側Ｋまで散乱する異常時の散乱光だけを受光す
るようにしであるため、棲めて簡潔な構成で確実に物体
（４）の表面の傷やそれに利幅している塵芥等全検出す
ることができる。
第１図（イ）（ロ）は従来の探傷方法の説明図、第２図
は本発明の説明図、第３図は本発明における受光体の配
置説明図、第４図は本発明の測定条注の説明図である。 （１）はレーザー発ｊ辰器、 （２）は変調器、 に３）はコリメータ、（
４）は物体、 （５）は遮光体、（０）は
受光体。
は本発明の説明図、第３図は本発明における受光体の配
置説明図、第４図は本発明の測定条注の説明図である。 （１）はレーザー発ｊ辰器、 （２）は変調器、 に３）はコリメータ、（
４）は物体、 （５）は遮光体、（０）は
受光体。
Claims (1)
- 検査する物体の表面にレーザー光を適宜角度で照射して
そのレーザー光を物体により反＃ｊさぜ、物体のＩＦ常
な表面から反射される正常反則パターン上に遮光体金膜
けてその反射光を遮断し、その遮光体の外１１１１に受
光器を設けて、物体の異常な表面から反射されて遮光体
の外側に散乱する異常反射光だけを受光して物体の表面
の異常全検知するようにした物体の表向検査方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17954582A JPS5968653A (ja) | 1982-10-13 | 1982-10-13 | 物体の表面検査方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17954582A JPS5968653A (ja) | 1982-10-13 | 1982-10-13 | 物体の表面検査方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5968653A true JPS5968653A (ja) | 1984-04-18 |
Family
ID=16067616
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17954582A Pending JPS5968653A (ja) | 1982-10-13 | 1982-10-13 | 物体の表面検査方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5968653A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62147348A (ja) * | 1985-12-17 | 1987-07-01 | ツエルヴエ−ゲル・ウステル・アクチエンゲゼルシヤフト | 糸の毛羽検出装置 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5221387A (en) * | 1975-08-07 | 1977-02-17 | Meito Sangyo Kk | Process for preparing a novel lipase |
-
1982
- 1982-10-13 JP JP17954582A patent/JPS5968653A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5221387A (en) * | 1975-08-07 | 1977-02-17 | Meito Sangyo Kk | Process for preparing a novel lipase |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62147348A (ja) * | 1985-12-17 | 1987-07-01 | ツエルヴエ−ゲル・ウステル・アクチエンゲゼルシヤフト | 糸の毛羽検出装置 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US4467214A (en) | Method of and apparatus for detecting external defects of a circular sealing member | |
| RU2243540C2 (ru) | Устройство и способ для высокоскоростной дефектоскопии отражающего материала | |
| JP2999712B2 (ja) | 端部欠陥検査方法とその装置 | |
| US3475615A (en) | Process and apparatus for the detection of flaws in a transparent material | |
| JPS5965428A (ja) | 異物検査装置 | |
| JPS5968653A (ja) | 物体の表面検査方法 | |
| JPS6125042A (ja) | 表面欠陥検査装置 | |
| JPS5599049A (en) | Defect detector | |
| JPH0228815B2 (ja) | ||
| JPS6364738B2 (ja) | ||
| JP2000314707A (ja) | 表面検査装置および方法 | |
| JPH0495861A (ja) | 透明体円形ワークの欠陥検出装置 | |
| JP2837079B2 (ja) | ネジ、釘、ビス又はリベットの先端形状検査装置 | |
| JPH01138447A (ja) | 異物検出方法 | |
| JPS5944578B2 (ja) | 透明な被検査物の欠陥検出方法 | |
| JPS60194337A (ja) | ビン検査装置 | |
| JPH0364828B2 (ja) | ||
| JP3105899B2 (ja) | レーザ光学系装置 | |
| JPS5998524A (ja) | 透明体の検査装置 | |
| JPS5840690B2 (ja) | びんの合せ目検出機 | |
| JPS6319793Y2 (ja) | ||
| JPS60154634A (ja) | パタ−ン欠陥検査装置 | |
| JPS59180413A (ja) | 表面欠陥検査方法 | |
| JP2709946B2 (ja) | 異物検査方法および異物検査装置 | |
| JPS61102543A (ja) | ゴム様材料に埋設された繊維の検出装置 |