JPS5965468A - Semiconductor memory device - Google Patents

Semiconductor memory device

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JPS5965468A
JPS5965468A JP57177022A JP17702282A JPS5965468A JP S5965468 A JPS5965468 A JP S5965468A JP 57177022 A JP57177022 A JP 57177022A JP 17702282 A JP17702282 A JP 17702282A JP S5965468 A JPS5965468 A JP S5965468A
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cell group
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Kenji Anami
穴見 健治
Tsutomu Yoshihara
吉原 務
Masahiko Yoshimoto
雅彦 吉本
Hiroshi Shinohara
尋史 篠原
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Mitsubishi Electric Corp
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    • G11C11/00Digital stores characterised by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor
    • G11C11/21Digital stores characterised by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor using electric elements
    • G11C11/34Digital stores characterised by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor using electric elements using semiconductor devices
    • G11C11/40Digital stores characterised by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor using electric elements using semiconductor devices using transistors

Abstract

PURPOSE:To obtain the titled memory device of high speed and low power consumption by a method wherein a pre-word wire and a word wire are arranged in parallel with row direction and, at the same time, an AND gate is arranged in the center of each memory cell group. CONSTITUTION:When a memory cell is selected from a memory cell group 1a, the row address information of the memory cell group 1a to make access is decoded by a row decoder 4, and one of pre-word wires 15 is activated. Then, when a selective signal is applied to said memory cell group selection wire 14a, an AND gate 16a opens, and word wire 3a is activated. Accordingly, the column current flowing into the memory cell group 1a from the power source via a bit line runs into to the column located in the selected memory cell group 1a. Also when the AND gates 16a-16c, to be used for selection of memory cell groups, are arranged in the center of the memory cell groups 1a-1c, the resistance of the output terminal of the AND gates 16a-16c on a word wire 3a is reduced to half, thereby enabling to create an advantageous condition wherein the titled memory device can be operated at a high speed.

Description

【発明の詳細な説明】 このRFDtぼアクセスタイムの向上および消費電力の
低紙が可能な半導体メモリ装置に関するものである。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION The present invention relates to a semiconductor memory device capable of improving RFD access time and reducing power consumption.

第1図は従来の半導体メモリ装置を示すブロック図であ
る。同図におい°C,(1)はマトリックス状に配列し
、その詳細な回路を第2図に示すメモリセル、(2a)
および(2b)は1目補的な関係にある一対のビット線
、(3)は選択時に同一行上にあるメモリセル(1)を
活性化するワード線、(4)は行アドレス情報を解読す
る行デコーダ、(5)は行アドレス信号線、(6a)お
よび(6b)は前記ビット線(2a)および(2b)に
それぞれ接続するピッl−k負荷、(7)は電源端子で
ある。
FIG. 1 is a block diagram showing a conventional semiconductor memory device. In the same figure, °C, (1) are memory cells arranged in a matrix, the detailed circuit of which is shown in Figure 2, (2a)
and (2b) are a pair of bit lines in a one-eye complementary relationship, (3) is a word line that activates memory cells (1) on the same row when selected, and (4) decodes row address information. (5) is a row address signal line, (6a) and (6b) are pin l-k loads connected to the bit lines (2a) and (2b), respectively, and (7) is a power supply terminal.

なお、第2図に示すメモリセル(1)において、(8a
)および(8b)はMOSトランジスタ、抵抗などで構
成する負荷素子、(9a)および(9b)はインバータ
トランジスタ、(10a)および(10b)はアクセス
トランジスタ、(lla)および(llb)はメモリセ
ル(1)のストアノードである。
Note that in the memory cell (1) shown in FIG.
) and (8b) are load elements composed of MOS transistors, resistors, etc., (9a) and (9b) are inverter transistors, (10a) and (10b) are access transistors, (lla) and (llb) are memory cells ( 1) is the store node.

次に、上記構成による半導体メモリ装置の動作について
、−例として、ストアノード(lla)および(llb
)がそれぞれ6“H′”レベルおよび“L′”レベル(
こ書き込まれている場合について説明する。
Next, regarding the operation of the semiconductor memory device having the above configuration, as an example, store nodes (lla) and (llb
) are respectively 6 “H′” level and “L′” level (
The case where this is written will be explained.

まず、読み出しの場合には読み出そうとするセルのアド
レス情報をアドレス信号線(5)に入力する。
First, in the case of reading, the address information of the cell to be read is input to the address signal line (5).

そして、このワード線(3)が活性化されると、“Lル
ベルをストアしているアクセストランジスタ(10b)
が導通する。このため、電源端子(7)からビット線負
荷(6b) 、ビット線(2b) 、アクセストランジ
スタ(10b) 、インバータトランジスタ(9b)の
経路を電流が流れ、読み出すことができる。
When this word line (3) is activated, the access transistor (10b) storing "L level" is activated.
conducts. Therefore, a current flows from the power supply terminal (7) through the path of the bit line load (6b), bit line (2b), access transistor (10b), and inverter transistor (9b), allowing reading.

この構成による半導体メモリ装置は同−打上のすべての
メモリセルが活性化されるので、全列に電源からメモリ
セル(こ電流が流れ込み、コラム数の多い犬′6急スタ
ティックRAMを構成する場合、消費電流゛が大きくな
る。そし°乙消費電流を少なくするため、従来は第8図
に示す半導体メモリ装置が提案されている。この場合、
行デコーダ(4)をメモリセルプレーンの中央に配し、
ワード線を左側ワード線(8a)および右側ワード線(
8b)に分割し、左右のメモリセル群の選択された方の
メモリセル群のワード線のみ活性化することにより、全
列の内、半数の列だけ電流パスを生じさセるものである
。なお、(12a)および(12b)はそれぞれ左側ワ
ード線(8a)あるいは右側ワード線(3b)を選択す
るアンドゲート、(18a)および(18b)はそれぞ
れこのアンドゲート(12a)および(12b)はu5
状態にするゲート信号線である。
In a semiconductor memory device with this configuration, all memory cells on the same memory cell are activated, so current flows into all columns from the power supply to the memory cells.When configuring a static RAM with a large number of columns, The current consumption increases.In order to reduce the current consumption, a semiconductor memory device as shown in FIG. 8 has been proposed.In this case,
A row decoder (4) is arranged in the center of the memory cell plane,
The word lines are connected to the left word line (8a) and the right word line (8a).
8b), and by activating only the word line of the selected one of the left and right memory cell groups, a current path is generated in only half of all the columns. Note that (12a) and (12b) are AND gates that select the left word line (8a) or right word line (3b), respectively, and (18a) and (18b) are u5
This is the gate signal line to set the state.

次に、第4図は第8図の思想に基づいて構成した従来の
半導体メモリ装置を示す配置図である。
Next, FIG. 4 is a layout diagram showing a conventional semiconductor memory device constructed based on the idea of FIG. 8.

この場合、行デコーダ(4a)および(4b)を複数列
配置し、ワード線(8a)〜(8b)をその倍数だけ分
割し、直流電流路のできる数を減少させるものである。
In this case, the row decoders (4a) and (4b) are arranged in a plurality of columns, and the word lines (8a) to (8b) are divided by a multiple thereof, thereby reducing the number of DC current paths.

しかしながら、従来の半導体メモリ装置は数多くの行デ
コーダを設ける必要かある。このため、チップ面積の増
大を招き、速度性能や歩留りを損うなどの欠点があった
However, conventional semiconductor memory devices require a large number of row decoders. For this reason, there were drawbacks such as an increase in chip area and a loss in speed performance and yield.

したがって、この発明の目的は高速で、しかも低消費電
力で大容量の半導体メモリ装置を提供するものである。
Therefore, an object of the present invention is to provide a high-speed, low power consumption, large capacity semiconductor memory device.

このような目的を達成するため、この発明はメモリセル
をマトリックス状に配置したメモリセルアレイを列方向
に分割して配置したN個のメモリセル群と、このN個の
メモリセル群の1つを選択するメモリセル群選択線と、
アクセスすべきメモリセル群の行アドレス情報を解読す
る行デコーダと、この行デコーダの出力端子に接続する
前置ワード線と、前記メモリセル群選択線の選択信号と
曲肥前随ワード線の出力信号との論理積をとるアンドゲ
ートと、このアンドゲートの出力端子に接続するワード
線とからなり、前・記@販ワード線と前記ワード線を行
方向1こ並行して配列すると共に、前記アンドゲートを
前記各々のメモリセル群の中央に配置したものであり、
以下実施例を用も)で詳細に説明する。
In order to achieve such an object, the present invention includes N memory cell groups in which a memory cell array in which memory cells are arranged in a matrix is divided in the column direction, and one of the N memory cell groups. A memory cell group selection line to be selected;
A row decoder for decoding row address information of a memory cell group to be accessed, a pre-word line connected to the output terminal of this row decoder, a selection signal of the memory cell group selection line and an output signal of the pre-address word line. It consists of an AND gate that takes the AND of the AND gate, and a word line connected to the output terminal of this AND gate. The gate is arranged at the center of each of the memory cell groups,
Examples will be described in detail below.

第5図はこの発明に係る半導体メモリ装置の一実施例を
示すブロック図であり、−例として、列方向に8個に分
割したメモリセル群(la)、 (lb)および(1c
)を配置した場合を示す。同図において、(1aa) 
、 (14b)および(14c)はこのメモリセル群(
1a)〜(IC)を選択するメモリセル群選択線、αQ
はワード線(8a)〜(8C)と同一方向に並行して配
置した前置ワード線、(16a) 、 (leb)およ
び(16c)は入力端子がそれぞれ前lワードQ5とメ
モリセル選択線(14a)〜(14c)に接続し、出力
端子がそれぞれワード線(8a)〜(8C)に接続する
アンドケートである。
FIG. 5 is a block diagram showing one embodiment of the semiconductor memory device according to the present invention.
) is placed. In the same figure, (1aa)
, (14b) and (14c) represent this memory cell group (
1a) Memory cell group selection line for selecting (IC), αQ
(16a), (LEB) and (16c) have input terminals connected to the previous word Q5 and the memory cell selection line (16a), (LEB) and (16c), respectively. 14a) to (14c), and output terminals are connected to word lines (8a) to (8C), respectively.

なお、メモリセル面積を低赫させるため(こ、ワード線
(8a) 〜(8c)はMOS )ランジスタ(10a
)および(iob)のゲートと同一層のポリシリコン層
で形成する一方、前Lワード線(LQはこのワード線(
3a)〜(3C)であるこのポリシリコン層とは別のポ
リシリコン層あるいはアルミ、モリブデン、モリフデン
シリサイドなどの金層配線層で形成する。
In addition, in order to reduce the memory cell area (the word lines (8a) to (8c) are MOS), a transistor (10a) is used.
) and (iob), while the previous L word line (LQ is formed from this word line (
These polysilicon layers 3a) to (3C) are formed of a different polysilicon layer or a gold wiring layer of aluminum, molybdenum, molybdenum silicide, or the like.

次に、上記構成による半導体メモリ装置の動作Iこつい
て説明する。まず、例えはメモリセル群(1a)内のメ
モリセルを選択する場合、アクセスすべきメモリセル群
(1a)の行アドレス情報を行デコーダ(4)で解読し
、前置ワード線αGの一本を活性化する。そし°C1メ
モリセル群選択線(14a)に選択信号を加えると、ア
ンドゲート(16a)か開き、ワ−ド線(8a)を活性
化する。したがつ°C1図示せの電源から図示せぬビッ
ト線を経C,メモリセル群(1a)へ流れ込むコラム電
流が流れるのは選択されたメモリセル群(la)内にあ
るコラムのみである。
Next, the operation of the semiconductor memory device having the above structure will be explained. First, for example, when selecting a memory cell in the memory cell group (1a), the row address information of the memory cell group (1a) to be accessed is decoded by the row decoder (4), and one of the prefix word lines αG is Activate. Then, when a selection signal is applied to the C1 memory cell group selection line (14a), the AND gate (16a) is opened and the word line (8a) is activated. Therefore, the column current flowing from the power supply (not shown) through the bit line (not shown) to the memory cell group (1a) flows only in the column in the selected memory cell group (la).

なお、以上はメモリセル1n(la)内のメモリセル(
1)の選択1こついて説明したが、他のメモリセル群(
1b)および(IC)につい°Cも同様にできることは
もちろんである。さらに、メモリセル群を3個に分割し
fこ場合につい゛C説明したか、N個(N 、<−’ 
2 )に分割しても同様にてきることはもちろんである
Note that the above describes the memory cell (in the memory cell 1n(la))
1) Selection 1 has been explained, but other memory cell groups (
Of course, 1b) and (IC) can also be heated to °C in the same way. Furthermore, if the memory cell group is divided into three, then the number of cells (N, <-'
Of course, the same result can be obtained even if it is divided into 2).

また、前動°ワード線QQのみを低抵抗材料で構成して
おけは、ワード糾の抵抗は多少大きく’Cも、長さが短
かい1こ−め、容隼が小さく、高速1こメモリセルをア
クセスラーることができる。まtコ、アンドケー) (
16a)〜(16c)は入力端子が2個、出力端子1個
の1コめ、回路構成が簡単になるので、チップ面積の増
大は無視することができる。まtこ、行デコーダ(4)
はチップの中央に配置し°Cもよく、チップの端に配+
j7,1しCもよいことはもちろんでJ)る。
In addition, if only the forward motion word line QQ is made of a low-resistance material, the resistance of the word line will be somewhat large. Cells can be accessed. matco, andk) (
16a) to (16c) have two input terminals and one output terminal, which simplifies the circuit configuration, so the increase in chip area can be ignored. Matoko, row decoder (4)
is placed in the center of the chip for good °C, and placed at the edge of the chip.
Of course, j7,1 and C are also good.

まtこ、以との実施例では行デコーダをチップの端に配
置したが、チップの中央にムけてもよいことはもちろん
である。
In the following embodiments, the row decoder is placed at the edge of the chip, but it goes without saying that it may be placed in the center of the chip.

まtこ、第6図に示すように、メモリセル群選択用アン
ドゲート(t6a)〜(16c)をメモリセル群(1a
)〜(IC)の中央に配置する(図ではメモリセル群(
1a)のみを例示)と、ワード線(8a)のアンドゲー
ト(16a)〜(16c)の出力端からの抵抗が半分に
なるので^連化に有利である。
As shown in FIG. 6, the memory cell group selection AND gates (t6a) to (16c) are connected to the memory cell group (1a).
) to (IC) (in the figure, the memory cell group (
1a) is exemplified) and the resistance from the output ends of the AND gates (16a) to (16c) of the word line (8a) is halved, which is advantageous for interconnection.

以上詳細に説明したように、この発明に係る半導体メモ
リ装置によればメモリセルの選択を前置ワード線とワー
ド楠すの2段階に分け0行なうように、行選択を階層的
に行なうため、列の直流電流路のある列数を減少するこ
とができるので、高速で、しかも低消費電力の大容量の
半導体メモリ装置を構成することができる効果がある。
As described above in detail, according to the semiconductor memory device according to the present invention, row selection is performed hierarchically such that memory cell selection is divided into two stages, pre-word line and word line selection, and zero rows are performed. Since the number of columns with direct current paths in the columns can be reduced, it is possible to construct a high-speed, low power consumption, large-capacity semiconductor memory device.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

第1図は従来の半導体メモリ装置を示すブロック図、第
2図は第1図のメモリセルの詳細な回路図、第8図は従
来の他の半導体メモリ装置を示すブロック図、第4図は
従来の他の半導体メモリ装置を示す配置図、第6図、@
6図はこの発明に係る半導体メモリ装置の異なる実施例
を示すブロック図である。 (1)・・・メモリセル、(la)および(lb)・・
・メモリセル群、(2a)および(2b)・・・ビット
線、(3)・・・ワード線、(4)・・・行デ」−ダ、
(5)・・・行アドレス信号線、(6a)および(6b
)・・・ビット称負荷、(7)・・・電源端子、(8)
・・・負荷j?E子、(9)・・・・fンバータトラン
ジスタ、αQ・・・アクセストランジスタ、Ql)・・
・ストアノード、  (12a)および(12b) ・
・・アンドゲート、(18a)および(18b)・・・
ゲート信号線、(14aン〜(14c)・・・メモリセ
ル選択線、(旬・・・前置ソード線、(16a)〜(1
6c)・・・アンドゲート。 なお、同一符号は同一または相当部分を示す。 代理人  葛 野 信 − 手 続 補 正 害(自発) 21発明の名称 半導体メモリ装置 3、補正をすると 代表者片111仁八部 4代理人 明細書の発明の詳細な説明の欄 6、補正の内容 (1)明細用をつぎのとおり訂正する。 3F
FIG. 1 is a block diagram showing a conventional semiconductor memory device, FIG. 2 is a detailed circuit diagram of the memory cell in FIG. 1, FIG. 8 is a block diagram showing another conventional semiconductor memory device, and FIG. 4 is a block diagram showing a conventional semiconductor memory device. Layout diagram showing another conventional semiconductor memory device, Fig. 6, @
FIG. 6 is a block diagram showing different embodiments of the semiconductor memory device according to the present invention. (1)...Memory cell, (la) and (lb)...
-Memory cell group, (2a) and (2b)...bit line, (3)...word line, (4)...row de''-da,
(5)...Row address signal line, (6a) and (6b
)... Bit nominal load, (7)... Power supply terminal, (8)
...Load j? E child, (9)... f inverter transistor, αQ... access transistor, Ql)...
・Store node, (12a) and (12b) ・
...And gate, (18a) and (18b)...
Gate signal lines, (14a-(14c)...memory cell selection lines, (junior...front sword lines, (16a)-(1)
6c)...and gate. Note that the same reference numerals indicate the same or equivalent parts. Agent Makoto Kuzuno - Procedures Amendment Damage (voluntary) 21 Name of the invention Semiconductor memory device 3. If amended, representative piece 111 Jin 8 section 4 Column 6 for detailed description of the invention in the agent's specification Contents (1) For details, please correct as follows. 3F

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] メモリセルをマトリクス状に配V1シたメモリセルアレ
イを列方向に分割して配[L、たN個のメモリセルW1
と、このN個のメモリセル8Tの1つを選択するメモリ
セル群選択線と、アクセスすべきメモリセル群の行アド
レス情報を解読する行デコーダと、この行デコーダの出
力端子に接続される前置ワード線と、前記メモリセル8
¥、選択線の選択信号と前記前置ワード線の出力信号と
の論理積をとるアンドゲートと、このアンドゲートの出
力端子に接続されるワード線からなり、前記前置ワード
線と前記ワード線を行方向に並行して配列すると共に前
記アンドケートを、前記各々のメモリセル群の中央に配
置したことを特徴とする半導体記憶装置。
A memory cell array in which memory cells are arranged in a matrix is divided in the column direction into [L, N memory cells W1].
, a memory cell group selection line for selecting one of the N memory cells 8T, a row decoder for decoding the row address information of the memory cell group to be accessed, and a line before being connected to the output terminal of this row decoder. word line and the memory cell 8
\, consists of an AND gate that takes the logical product of the selection signal of the selection line and the output signal of the prefix word line, and a word line connected to the output terminal of this AND gate, and the prefix word line and the word line are arranged in parallel in the row direction, and the nest is arranged at the center of each of the memory cell groups.
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