JPS5964840A - 感光性組成物 - Google Patents
感光性組成物Info
- Publication number
- JPS5964840A JPS5964840A JP17517782A JP17517782A JPS5964840A JP S5964840 A JPS5964840 A JP S5964840A JP 17517782 A JP17517782 A JP 17517782A JP 17517782 A JP17517782 A JP 17517782A JP S5964840 A JPS5964840 A JP S5964840A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- polymer
- alkali
- photosensitive composition
- hexarylbiimidazole
- derivs
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03C—PHOTOSENSITIVE MATERIALS FOR PHOTOGRAPHIC PURPOSES; PHOTOGRAPHIC PROCESSES, e.g. CINE, X-RAY, COLOUR, STEREO-PHOTOGRAPHIC PROCESSES; AUXILIARY PROCESSES IN PHOTOGRAPHY
- G03C1/00—Photosensitive materials
- G03C1/72—Photosensitive compositions not covered by the groups G03C1/005 - G03C1/705
- G03C1/73—Photosensitive compositions not covered by the groups G03C1/005 - G03C1/705 containing organic compounds
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、ポジ型レリーフ像を与える新規な感光性組成
物に関するものである。特に、分光増感が可能な高感度
ポジ型感光性組成物に関するものである。
物に関するものである。特に、分光増感が可能な高感度
ポジ型感光性組成物に関するものである。
従来、ポジ型レリーフ像を方える感光材料としては、0
−ナフトキノンジアジド誘導体をノボラック樹脂なでの
アルカリ可溶性結合剤中に混合もしくは化学結合させた
系が実用に供せられてきた。確かに、この系はある限定
された応用範囲においてはほぼ満足すべき特性を備えて
いるが回時に着干の欠廣が存在し、その為その改良技術
が望まれていた。即ち、前記系の欠点は例えば、分光増
感がほぼ不可能であることから使用光源の波長域を自由
に選択できない点、感光時に光分解により窒素ガスの発
生を伴なう為にしばしば接着性、解像性を低下させるこ
となどである。
−ナフトキノンジアジド誘導体をノボラック樹脂なでの
アルカリ可溶性結合剤中に混合もしくは化学結合させた
系が実用に供せられてきた。確かに、この系はある限定
された応用範囲においてはほぼ満足すべき特性を備えて
いるが回時に着干の欠廣が存在し、その為その改良技術
が望まれていた。即ち、前記系の欠点は例えば、分光増
感がほぼ不可能であることから使用光源の波長域を自由
に選択できない点、感光時に光分解により窒素ガスの発
生を伴なう為にしばしば接着性、解像性を低下させるこ
となどである。
かかるポジ作用を示す異なる感光系として、従来、いく
つかの提案がなされてきた。例えば、ビニルケトン類の
共重合体(、Ultravlolet LightIn
duced Reactions In Pol
ymers 、P、2ワs、2gi、3oq ;AC
8Symp、 Ser 2!; ) 、光分解性酸発
生剤とエーテル基含有主鎖構造を有するポリマーとの系
(特開昭55−/2993−号、同S乙−7り、? 9
.5−号、米国特許第377977g号、西独公開特許
第コロ10g’lコ号、同λり7g254号)、ニトロ
芳香族化合物をポリマーに添加混合もしくは結合させた
系(特開昭!;、?−/330ココ号、西独公開特許第
93637/号、同コl!θA9/号、同2 、l、
# ! / OA号、同コ2ダコ394!号、米国特許
第3991033号、英国特許第1/Stg’lJ号)
、ゾールと峻可溶性鋼脂との系(英国特許第1/Ag/
g2号)、 ビイミダゾールとジヒドロワ ピダジンとの系(特公昭!’A−4’4M’/A号)な
どが挙げられるがこれらの系は感咳、作業性、現像特性
などまだ多くの課題が残されていた。
つかの提案がなされてきた。例えば、ビニルケトン類の
共重合体(、Ultravlolet LightIn
duced Reactions In Pol
ymers 、P、2ワs、2gi、3oq ;AC
8Symp、 Ser 2!; ) 、光分解性酸発
生剤とエーテル基含有主鎖構造を有するポリマーとの系
(特開昭55−/2993−号、同S乙−7り、? 9
.5−号、米国特許第377977g号、西独公開特許
第コロ10g’lコ号、同λり7g254号)、ニトロ
芳香族化合物をポリマーに添加混合もしくは結合させた
系(特開昭!;、?−/330ココ号、西独公開特許第
93637/号、同コl!θA9/号、同2 、l、
# ! / OA号、同コ2ダコ394!号、米国特許
第3991033号、英国特許第1/Stg’lJ号)
、ゾールと峻可溶性鋼脂との系(英国特許第1/Ag/
g2号)、 ビイミダゾールとジヒドロワ ピダジンとの系(特公昭!’A−4’4M’/A号)な
どが挙げられるがこれらの系は感咳、作業性、現像特性
などまだ多くの課題が残されていた。
これら従来技術の欠点に鑑み、本発明者らは検討を重ね
た結果、優れた特性を有する栢規感光系を見い出した。
た結果、優れた特性を有する栢規感光系を見い出した。
即ち、本発明の要旨は、(a)エタノールアミン誘導体
、ベンズアルデヒド誘導体、酸クロライドとピリジンと
の付加物育たは二塩基性カルボン酸無水物、(b)ヘキ
サアリールビイミダゾール、および、(、]アルカリ可
溶性有機重合体を含有することを特徴とする感光性組成
物に存する。
、ベンズアルデヒド誘導体、酸クロライドとピリジンと
の付加物育たは二塩基性カルボン酸無水物、(b)ヘキ
サアリールビイミダゾール、および、(、]アルカリ可
溶性有機重合体を含有することを特徴とする感光性組成
物に存する。
本発明を更に詳細に説明するに、本発明は活性光線の作
用によりポジ型作動する新規な感光性組成物を提供する
ものであり、該組成物は次の3成分を必須の構成4分と
する。
用によりポジ型作動する新規な感光性組成物を提供する
ものであり、該組成物は次の3成分を必須の構成4分と
する。
第1の成分(、)は下記の化合物群より選択される少な
くとも一種のイビ金物であり、具体的には、例えば、モ
ノエタノールアミン、ジェタノールアミン、トリエタノ
ールアミン、N−メチルジェタノールアミン、N−フェ
ニルジエタノールアミン等のエタノールアミン類;テレ
フタルアルデヒド1.?、41−ジメトキシベンズアル
デヒド、p−ジエチルアミノベンズアルデヒド、p−二
3 − トロベンズアルデヒド、m−ニトロベンズアルデヒド、
0−ニトロベンズアルデヒド、p−アセトアミドベンズ
アルデヒド、p−ヒドロキシベンズアルデヒド、p−ク
ロロベンズアルデヒド、p−シアノベンズアルデヒド等
のベンズアルデヒド類;塩化ベンゾイル、塩化アセチル
、塩化すフタノイル、塩化アクリロイル等の酸クロライ
ドとピリジンの付加物;無水フタル酸、無水へキサヒド
ロフタル酸、無水コハク酸、無水マレイン酸等の二基本
性カルボン酸無水物が誉げられる。本発明においては、
エタノールアミン類、特に、ジェタノールアミン、トリ
エタノールアミンが好適に使用できる。
くとも一種のイビ金物であり、具体的には、例えば、モ
ノエタノールアミン、ジェタノールアミン、トリエタノ
ールアミン、N−メチルジェタノールアミン、N−フェ
ニルジエタノールアミン等のエタノールアミン類;テレ
フタルアルデヒド1.?、41−ジメトキシベンズアル
デヒド、p−ジエチルアミノベンズアルデヒド、p−二
3 − トロベンズアルデヒド、m−ニトロベンズアルデヒド、
0−ニトロベンズアルデヒド、p−アセトアミドベンズ
アルデヒド、p−ヒドロキシベンズアルデヒド、p−ク
ロロベンズアルデヒド、p−シアノベンズアルデヒド等
のベンズアルデヒド類;塩化ベンゾイル、塩化アセチル
、塩化すフタノイル、塩化アクリロイル等の酸クロライ
ドとピリジンの付加物;無水フタル酸、無水へキサヒド
ロフタル酸、無水コハク酸、無水マレイン酸等の二基本
性カルボン酸無水物が誉げられる。本発明においては、
エタノールアミン類、特に、ジェタノールアミン、トリ
エタノールアミンが好適に使用できる。
本発明組成物を構成する第2の成分(b) klヘキサ
アリールビイミダゾールである。これはコ、り。
アリールビイミダゾールである。これはコ、り。
結合した構造を有し、一般式
(式中 R1、R2、R3はアリール基を示し、点線の
円はイミダゾリル環の構成原子の原子価を満足する芳香
族性非局在化電子を示す。)で表わされる。
円はイミダゾリル環の構成原子の原子価を満足する芳香
族性非局在化電子を示す。)で表わされる。
前記アリール基の例としてはフェニル基、ビフェニル基
、ナフチル基、ピリジル基、チェニル基、フリル基を挙
することかできる。これらアリール基は光解離反応を妨
害せずかつ安定性を増加させる様な置換基を有していて
もよく、例えば、2位および2′位のアリール基がオル
ト置換されたフェニル基であってオルト置換基として弗
素原子、塩素原子、臭素原子、メトキシ基、メチル苓を
有するものが挙げられる。好ましいヘキサアリ−ルビイ
ミダソールを具体的に挙ケレば、コ、2′−ビス(O−
クロロフェニル)−タ、ダ’、r、s’−テトラフェニ
ルビイミタゾール、ネ、2′−ビス(0−ブロモフェニ
ル) −q−、ll’、s、s’−テトラフェニルビイ
ミダゾール、コツ2′−ビス(o+P−ジクロロフェニ
ル)−り、り’、 、t 、 5’−テトラフェニルビ
イミダゾール、2.2’−ビス(0−クロロフェニル)
−q、ti’、s、s’−テトラ(m−メトキシフェ
ニル)ビイミダゾール、特に好まL < )2 、a、
2’ −?’ス(o −クロロフェニル)−Q、’l’
、S、jt’−テトラフェニルビイミタ゛ゾール等カあ
げられる。これらのへキサアリールビイミダゾール類は
例えばBull、 Chem、 Soa、 Japan
、 33 、 昼!;(lqbo)およびJ、Org、
Chem、34 [/ A 〕ユコt、、s(t 9
? t )に開示されている方法により容易に合成す
ることができろ。
、ナフチル基、ピリジル基、チェニル基、フリル基を挙
することかできる。これらアリール基は光解離反応を妨
害せずかつ安定性を増加させる様な置換基を有していて
もよく、例えば、2位および2′位のアリール基がオル
ト置換されたフェニル基であってオルト置換基として弗
素原子、塩素原子、臭素原子、メトキシ基、メチル苓を
有するものが挙げられる。好ましいヘキサアリ−ルビイ
ミダソールを具体的に挙ケレば、コ、2′−ビス(O−
クロロフェニル)−タ、ダ’、r、s’−テトラフェニ
ルビイミタゾール、ネ、2′−ビス(0−ブロモフェニ
ル) −q−、ll’、s、s’−テトラフェニルビイ
ミダゾール、コツ2′−ビス(o+P−ジクロロフェニ
ル)−り、り’、 、t 、 5’−テトラフェニルビ
イミダゾール、2.2’−ビス(0−クロロフェニル)
−q、ti’、s、s’−テトラ(m−メトキシフェ
ニル)ビイミダゾール、特に好まL < )2 、a、
2’ −?’ス(o −クロロフェニル)−Q、’l’
、S、jt’−テトラフェニルビイミタ゛ゾール等カあ
げられる。これらのへキサアリールビイミダゾール類は
例えばBull、 Chem、 Soa、 Japan
、 33 、 昼!;(lqbo)およびJ、Org、
Chem、34 [/ A 〕ユコt、、s(t 9
? t )に開示されている方法により容易に合成す
ることができろ。
本発明の組成物を構成する第3の成分(C)はアルカリ
可溶性有機重合体である。該重合体としては、例えば、
アクリル酸またはメタクリル酸の一連の共重合体、具体
的には、メタクリル酸/メチルメタクリレート共重合体
、メタクリル酸とスチレン、酢酸ビニル、またはビニル
ピロリドンのいずれかとの共重合体、あるいは、メタク
リル酸、イタコン酸およびマレイン酸誘導体と前述した
スチレン、酢酸ビニルマタはビニルピロリドン等の共奇
体との絹合せから成る共重合体、その他、「ノボラック
−1の名称で知られているフェノール−ホルムアルデヒ
ド樹脂を挙げろことができる。特に、メタクリル酸/メ
チルメタクリレート共重合体が好適に使用できる。
可溶性有機重合体である。該重合体としては、例えば、
アクリル酸またはメタクリル酸の一連の共重合体、具体
的には、メタクリル酸/メチルメタクリレート共重合体
、メタクリル酸とスチレン、酢酸ビニル、またはビニル
ピロリドンのいずれかとの共重合体、あるいは、メタク
リル酸、イタコン酸およびマレイン酸誘導体と前述した
スチレン、酢酸ビニルマタはビニルピロリドン等の共奇
体との絹合せから成る共重合体、その他、「ノボラック
−1の名称で知られているフェノール−ホルムアルデヒ
ド樹脂を挙げろことができる。特に、メタクリル酸/メ
チルメタクリレート共重合体が好適に使用できる。
本発明においては、前記成分(a)は、例えば、メチル
メタクリレ−)/N−メタクリルピリジニウムクロリド
/メタクリル酸ターポリマー、メチルメタクリレート/
クーホルミルフェニルメタクリレート/メタクリル酸タ
ーポリマー等の様に前記成分(e)に導入しておいても
よい。
メタクリレ−)/N−メタクリルピリジニウムクロリド
/メタクリル酸ターポリマー、メチルメタクリレート/
クーホルミルフェニルメタクリレート/メタクリル酸タ
ーポリマー等の様に前記成分(e)に導入しておいても
よい。
以上本発明の感光性組成物の各成分について具体例を示
したが、これら3成分の使用割合は、重量比で(a)
: lbl : (cl = 0. / −0,6:
0. / ” 0.4:lの範囲内において用いるのが
好寸しい。前記組成物には、更に、第q成分として分光
増感剤を添加するのが有利である。分光増感剤とし 7
− では例えば、コー(p−ジエチルアミノスチリル)−ベ
ンゾチアゾール、2−(p−ジエチルアミノスチリル)
−ベンゾ[q、s ]ベンゾチアゾール、11g−ジメ
トキシアントラキノン、2−ジベンシイルメチレンー/
−メチル−ベンゾC’IN、t ] ヘヘンジチアゾリ
ン<+、p’−ビス(ジメチルアミノ)ベンゾフェノン
、p−ジメチルアミノスチリルフェニルケトン、トリフ
ェニルチオピリリウムバークロレートなどが好適である
。
したが、これら3成分の使用割合は、重量比で(a)
: lbl : (cl = 0. / −0,6:
0. / ” 0.4:lの範囲内において用いるのが
好寸しい。前記組成物には、更に、第q成分として分光
増感剤を添加するのが有利である。分光増感剤とし 7
− では例えば、コー(p−ジエチルアミノスチリル)−ベ
ンゾチアゾール、2−(p−ジエチルアミノスチリル)
−ベンゾ[q、s ]ベンゾチアゾール、11g−ジメ
トキシアントラキノン、2−ジベンシイルメチレンー/
−メチル−ベンゾC’IN、t ] ヘヘンジチアゾリ
ン<+、p’−ビス(ジメチルアミノ)ベンゾフェノン
、p−ジメチルアミノスチリルフェニルケトン、トリフ
ェニルチオピリリウムバークロレートなどが好適である
。
分光′増感剤は重量品で成分(C)/に対し0.02〜
0、7の範囲で用いるのが好゛ましい。本組成物には更
に公知の着色料、可塑剤などを添加することもできる。
0、7の範囲で用いるのが好゛ましい。本組成物には更
に公知の着色料、可塑剤などを添加することもできる。
以上述べた諸成分は、適当な溶媒を用いて溶解混合し、
支持体上に塗布される。好適な溶媒としては例えば、メ
チルエチルケトン、アセトン、シクロヘキサノン、トル
エン、ジメチルホルムアミド、エタノール、メチルセロ
ソルブ、エチルセロソルブ、ペントキソン等がある。支
持体としては目的用途に応じて異なるが1例え 8− げ、アルミニウム、銅、亜鉛などの金属シート、ポリエ
チレンテレフタレート、ポリメチルメタクリレート、ポ
リ塩化ビニル、ポリスチレンなどのポリマーシート、そ
の他紙類、ガラスシート等にも適用できろ。
支持体上に塗布される。好適な溶媒としては例えば、メ
チルエチルケトン、アセトン、シクロヘキサノン、トル
エン、ジメチルホルムアミド、エタノール、メチルセロ
ソルブ、エチルセロソルブ、ペントキソン等がある。支
持体としては目的用途に応じて異なるが1例え 8− げ、アルミニウム、銅、亜鉛などの金属シート、ポリエ
チレンテレフタレート、ポリメチルメタクリレート、ポ
リ塩化ビニル、ポリスチレンなどのポリマーシート、そ
の他紙類、ガラスシート等にも適用できろ。
か様にして作成された感光部材は画像状に露光され、次
いでアルカリ性現像液により現像される。その結果、露
光部が洗去され支持体上にポジ型レリーフ像が形成され
る。
いでアルカリ性現像液により現像される。その結果、露
光部が洗去され支持体上にポジ型レリーフ像が形成され
る。
本発明の組成物に適用し得る露光光源としてはカーボン
アーク、高圧水鋼溶、キセノンランプ、メタルハライド
ランプ、螢光ランプ、タングステンランプ、アルゴンイ
オンレーザ−、ヘリウムカドミウムレーザー、クリプト
ンレーザー等/ t Onm 以上の紫外線、可視光銀
を含む汎用の光源を好適に使用し得る。
アーク、高圧水鋼溶、キセノンランプ、メタルハライド
ランプ、螢光ランプ、タングステンランプ、アルゴンイ
オンレーザ−、ヘリウムカドミウムレーザー、クリプト
ンレーザー等/ t Onm 以上の紫外線、可視光銀
を含む汎用の光源を好適に使用し得る。
本発明の光重合性組成物は広範囲な応用分野に有用であ
って例えば平版、凹版、凸版等の印刷版の作成、プリン
ト配線やICの作成の為のフォトレジストや、ドライフ
ィルム、レリーフ像、非銀塩リスフィルム、画像複製な
どの画像形成等に利用できろ。
って例えば平版、凹版、凸版等の印刷版の作成、プリン
ト配線やICの作成の為のフォトレジストや、ドライフ
ィルム、レリーフ像、非銀塩リスフィルム、画像複製な
どの画像形成等に利用できろ。
以下、本発明を実施例ならびに比較例により具体的に説
明するが、本発明はこれら実施例に限定されるものでは
ない。
明するが、本発明はこれら実施例に限定されるものでは
ない。
実施例1
ポリメチルメタクリレートBR−ff、?(三菱レーヨ
ン社製)を常法に従い2 !r mo1%部分加水分解
して得られるメタクリレート/メタクリ/’酸共重合体
lO1、ユ、2′−ビス(0−クロロフェニル) 4
(、til、 s 、 slテトラフェニルビイミタゾ
ール/ ! Om9および気ビクトリアピュアブルー〃
ROH(保土谷イヒ学社製>gmyをメチルエチルケト
ン/ 9 fVc溶解し、更にトリエタノールアミン2
00 m9を添加溶解し感光液を一製した。前記感光液
を砂目立て後陽極酸化処理を施したアルミシートに乾燥
膜厚14t pm となる様塗布し、試料を作製した
。次いで真空焼き枠中にて試料上にステップタブレット
(イーストマンコダック社製)と陽画マスクフィルムを
配して露光した。露光条件は高圧水鋼溶(光強度10
my/cIIt)、S分間照射であった。次にブチルセ
ロソルブ9j重−骨茶、ケイ酸ソーダλS重it易を含
む水溶液に2分間浸漬したところ、露光部の感光層が溶
解除去され優れた陽画像を得た。またステップ感度は9
段クリアーを示した。
ン社製)を常法に従い2 !r mo1%部分加水分解
して得られるメタクリレート/メタクリ/’酸共重合体
lO1、ユ、2′−ビス(0−クロロフェニル) 4
(、til、 s 、 slテトラフェニルビイミタゾ
ール/ ! Om9および気ビクトリアピュアブルー〃
ROH(保土谷イヒ学社製>gmyをメチルエチルケト
ン/ 9 fVc溶解し、更にトリエタノールアミン2
00 m9を添加溶解し感光液を一製した。前記感光液
を砂目立て後陽極酸化処理を施したアルミシートに乾燥
膜厚14t pm となる様塗布し、試料を作製した
。次いで真空焼き枠中にて試料上にステップタブレット
(イーストマンコダック社製)と陽画マスクフィルムを
配して露光した。露光条件は高圧水鋼溶(光強度10
my/cIIt)、S分間照射であった。次にブチルセ
ロソルブ9j重−骨茶、ケイ酸ソーダλS重it易を含
む水溶液に2分間浸漬したところ、露光部の感光層が溶
解除去され優れた陽画像を得た。またステップ感度は9
段クリアーを示した。
実施例コおよび3
実施例1で用いたトリエタノールアミンに代え、ジエタ
ノールアミノ及びN−フェニルジエタノールアミンを用
いた他は実施例1と同様条件で行なった結果、優れた陽
画像が得られ、各々ダ段クリアー及び3段クリアーのス
テップ感度を示した。
ノールアミノ及びN−フェニルジエタノールアミンを用
いた他は実施例1と同様条件で行なった結果、優れた陽
画像が得られ、各々ダ段クリアー及び3段クリアーのス
テップ感度を示した。
実施例ダ〜9
実施例/においてトリエタノールアミンに代え、p−ジ
エチルアミンベンズアルデヒドを用いた以外は実施例/
と同様な条件下で検討を行なった。その結果、優れた陽
画像が得られ、3段りリアー感度を示した。更に、p−
ジエチルアミノベンズアルデヒドを他の置換ベンズアル
11− デヒド、即ち、テレフタルアルデヒド、m−ニトロベン
ズアルデヒド、p−アセトアミトヘンズアルデヒド、3
.q−ジメトキシベンズアルデヒド、p−クロロベンズ
アルデヒドに代えたところほぼ同様の感度を示した。
エチルアミンベンズアルデヒドを用いた以外は実施例/
と同様な条件下で検討を行なった。その結果、優れた陽
画像が得られ、3段りリアー感度を示した。更に、p−
ジエチルアミノベンズアルデヒドを他の置換ベンズアル
11− デヒド、即ち、テレフタルアルデヒド、m−ニトロベン
ズアルデヒド、p−アセトアミトヘンズアルデヒド、3
.q−ジメトキシベンズアルデヒド、p−クロロベンズ
アルデヒドに代えたところほぼ同様の感度を示した。
実施例10−12
実施例/においてトリエタノールアミンに代え、塩化ベ
ンゾイル/ピリジン等モル付加物を用いた以外は実施例
1と同様な条件下で検討を行なった。その結果、優れた
陽画像が得られ3段りリアー感度を示した。更に、塩化
ベンゾイル/ピリジン等モル付加物に代え、塩化オクタ
ノイル/ピリジン等モル付加物、塩化アクリロイル/ピ
リジン等モル付加物を用いた場合もほぼ同様な感度を示
した。
ンゾイル/ピリジン等モル付加物を用いた以外は実施例
1と同様な条件下で検討を行なった。その結果、優れた
陽画像が得られ3段りリアー感度を示した。更に、塩化
ベンゾイル/ピリジン等モル付加物に代え、塩化オクタ
ノイル/ピリジン等モル付加物、塩化アクリロイル/ピ
リジン等モル付加物を用いた場合もほぼ同様な感度を示
した。
実施例13〜tS
実施例1のトリエタノールアミンに代工、無水コハク酸
を用いた以外は実施例1と同様な条件下で検討を行なっ
た。その結果、陽画像が得られコ段クリアー感度を示し
た。更に無水コバ 12− り酸に代え、無水マレイン酸、無水フタル酸を用いた場
合もほぼ同様な感度を示した。
を用いた以外は実施例1と同様な条件下で検討を行なっ
た。その結果、陽画像が得られコ段クリアー感度を示し
た。更に無水コバ 12− り酸に代え、無水マレイン酸、無水フタル酸を用いた場
合もほぼ同様な感度を示した。
実施例/A
ノボラック樹脂SK−コ(住友シュレス社製)/f、o
−ニトロベンズアルデヒド0sf!−、コ、2′−ビス
(0−クロロフェニル) −q、q’、s、s’−テト
ラフェニルビイミダゾール02ψおよび亀ビクトリアピ
ュアブルー#BOHざ■をメチルエチルケトン/99−
に溶解し実施例1と同様に試料を作成し、露光を行なっ
た。次いで、水酸化ナトリウム1重量係、ケイ酸ソーダ
3重量%を含む水溶液により2分間の浸漬現像を行なっ
た結果、優れた陽画像を得た。ステップ感度は2段クリ
アーであった。
−ニトロベンズアルデヒド0sf!−、コ、2′−ビス
(0−クロロフェニル) −q、q’、s、s’−テト
ラフェニルビイミダゾール02ψおよび亀ビクトリアピ
ュアブルー#BOHざ■をメチルエチルケトン/99−
に溶解し実施例1と同様に試料を作成し、露光を行なっ
た。次いで、水酸化ナトリウム1重量係、ケイ酸ソーダ
3重量%を含む水溶液により2分間の浸漬現像を行なっ
た結果、優れた陽画像を得た。ステップ感度は2段クリ
アーであった。
比較例1
実施例16においてビイミダゾールを除いた以外は同一
の条件下で評価を行なった。得られた画像は画線部が剥
離し劣悪な画像特性を示した。
の条件下で評価を行なった。得られた画像は画線部が剥
離し劣悪な画像特性を示した。
実施例17
実施例1で用いたものと同一の感光液に更に増感剤とし
て2−p−ジエチルアミノスチリルベンゾテアゾール1
0■を添加した以外は実施例1と同様な条件下で検討し
た。その結果、優れた陽画像が得られ、ステップ感度は
g段りリアーであった。
て2−p−ジエチルアミノスチリルベンゾテアゾール1
0■を添加した以外は実施例1と同様な条件下で検討し
た。その結果、優れた陽画像が得られ、ステップ感度は
g段りリアーであった。
実施例tir
実施例17で用いた増感剤に代え、表1記載の増感剤を
使用し、同様に試料を作成した。キセノン燈分光照射装
置(ナルミ社製)を用いて分光g開時性を調べた。結果
を表1に示−fがいずれも良好な分光感度を有すること
が分った。
使用し、同様に試料を作成した。キセノン燈分光照射装
置(ナルミ社製)を用いて分光g開時性を調べた。結果
を表1に示−fがいずれも良好な分光感度を有すること
が分った。
表 l
実施例19およびコ0
実施例77に於て用いた2、2′−ビス(0−クロo7
xニル) ” + ”+ ! + 、t’−テトラフ
ェニルビ 15− イミダゾールに代え、 2.2’−ビス(0−ブロモフ
ェニル) −<t、<<’、、t、t’−テトラフェニ
ルビイミダゾール及ヒ21−2’−ビス(’+p−ジク
ロロフェニル)” + ”+ ’ + ”−テトラフェ
ニルビイミダゾールを用いた以外は実施例/7と同一条
件下で検討した。その結果、共に優れた陽画像が得られ
、クリアー感度は各々g5段及び3段を示した。
xニル) ” + ”+ ! + 、t’−テトラフ
ェニルビ 15− イミダゾールに代え、 2.2’−ビス(0−ブロモフ
ェニル) −<t、<<’、、t、t’−テトラフェニ
ルビイミダゾール及ヒ21−2’−ビス(’+p−ジク
ロロフェニル)” + ”+ ’ + ”−テトラフェ
ニルビイミダゾールを用いた以外は実施例/7と同一条
件下で検討した。その結果、共に優れた陽画像が得られ
、クリアー感度は各々g5段及び3段を示した。
出願人 三菱化成工業株式会社
代理人 弁理士 長谷用 −
ほか1名
−16=
Claims (1)
- (1) (、)エタノールアミン誘導体、ベンズアル
デヒド誘導体、酸クロライドとピリジンとの付加物また
は二塩基性カルボン酸無水物、(b)ヘキサアリールビ
イミダゾール、および、(c)アルカリ可溶性有機重合
体を含有することを特徴とする感光性組成物。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP17517782A JPS5964840A (ja) | 1982-10-05 | 1982-10-05 | 感光性組成物 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP17517782A JPS5964840A (ja) | 1982-10-05 | 1982-10-05 | 感光性組成物 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS5964840A true JPS5964840A (ja) | 1984-04-12 |
Family
ID=15991610
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP17517782A Pending JPS5964840A (ja) | 1982-10-05 | 1982-10-05 | 感光性組成物 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS5964840A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7709519B2 (en) | 2004-06-04 | 2010-05-04 | Astellas Pharma Inc. | Benzimidazolylidene propane-1,3 dione derivative or salt thereof |
US7960562B2 (en) | 2005-03-31 | 2011-06-14 | Astellas Pharma Inc. | Propane-1,3-dione derivative or salt thereof |
-
1982
- 1982-10-05 JP JP17517782A patent/JPS5964840A/ja active Pending
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7709519B2 (en) | 2004-06-04 | 2010-05-04 | Astellas Pharma Inc. | Benzimidazolylidene propane-1,3 dione derivative or salt thereof |
US8076367B2 (en) | 2004-06-04 | 2011-12-13 | Astellas Pharma Inc. | Benzimidazolylidene propane-1,3-dione derivative or salt thereof |
US7960562B2 (en) | 2005-03-31 | 2011-06-14 | Astellas Pharma Inc. | Propane-1,3-dione derivative or salt thereof |
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