JPS5963973A - ステツピングモ−タ - Google Patents
ステツピングモ−タInfo
- Publication number
- JPS5963973A JPS5963973A JP17398382A JP17398382A JPS5963973A JP S5963973 A JPS5963973 A JP S5963973A JP 17398382 A JP17398382 A JP 17398382A JP 17398382 A JP17398382 A JP 17398382A JP S5963973 A JPS5963973 A JP S5963973A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- stator
- movable element
- phase
- stepping motor
- cylindrical
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02K—DYNAMO-ELECTRIC MACHINES
- H02K41/00—Propulsion systems in which a rigid body is moved along a path due to dynamo-electric interaction between the body and a magnetic field travelling along the path
- H02K41/02—Linear motors; Sectional motors
- H02K41/03—Synchronous motors; Motors moving step by step; Reluctance motors
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23Q—DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
- B23Q1/00—Members which are comprised in the general build-up of a form of machine, particularly relatively large fixed members
- B23Q1/25—Movable or adjustable work or tool supports
- B23Q1/44—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms
- B23Q1/48—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms with sliding pairs and rotating pairs
- B23Q1/4828—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms with sliding pairs and rotating pairs a single rotating pair followed parallelly by a single sliding pair
-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02K—DYNAMO-ELECTRIC MACHINES
- H02K2201/00—Specific aspects not provided for in the other groups of this subclass relating to the magnetic circuits
- H02K2201/18—Machines moving with multiple degrees of freedom
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Combustion & Propulsion (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Linear Motors (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の技術分野〕
本発明は、直線運動と回転運動とを同時に行うことので
きるステッピングモータに関する。
きるステッピングモータに関する。
ステッピングモータは、アクチュエータとしての働きに
加えて、パルス量で与えられるディジタ ・ル量を、機
械的位置に変換するＤ−Ａ変換器としての機能をもち数
値制御に適［７ている。この他に、■オーテンループ制
御が可能であるので、サーボｉ構を簡単に構成すること
ができる、（２）可逆運転が容易である、■広範囲の速
度制御が可能である、■位置決めにおける誤差が累積さ
れない等の数々の利点を有している。このステッピング
モータの一釉に自動製図機に用いら引、ているサーフェ
ス・ステッピングモータ（Ｓｕｒｆａｃｅ Ｓｔｅｐｐ
ｉｎｇ Ｍｏｔｏｒ）がある。これは、Ｙ軸、Ｙ軸のそ
れぞれに移動できる可動子を組合わせて１個の可動子と
することにより、平面上の自由な運動を可能としたもの
である。また、１次元的な直線運動のみがｏＪ能なりニ
ア・ステッピングモータ（Ｌｉｎｅａｒ Ｓｔｅｐｐｉ
ｎｇ Ｍｏｔｏｒ）も−発され、例えばプリンタのキャ
リッジ送り等に応用されている。しかるに、これらサー
フェス・ステッピングモータ及びリニア・ステッピング
モータは、１次元的又は２次元的直線運ｉ＃ｂｅ行いつ
るのみであり、直線運動と回転運動の両者を組合わせた
運動に１個のステッピングモータにより行わせることは
できなかった。従来は、これら二つの運動を合成するに
は、２個のモータを抽々の機械要素と組合わせて行わね
ばならず、その結果、装置が大型化し、高精度駆動が困
殖となっていも〔発明の目的〕 本発明け、上記事情を参酌Ｌ７てなされたもので、回転
連動と回転軸方向の直線運動とを同時かつ独立にディジ
タル制御にょシ駆動させることのできるステッピングモ
ータを提供する・ことを目的とする。
加えて、パルス量で与えられるディジタ ・ル量を、機
械的位置に変換するＤ−Ａ変換器としての機能をもち数
値制御に適［７ている。この他に、■オーテンループ制
御が可能であるので、サーボｉ構を簡単に構成すること
ができる、（２）可逆運転が容易である、■広範囲の速
度制御が可能である、■位置決めにおける誤差が累積さ
れない等の数々の利点を有している。このステッピング
モータの一釉に自動製図機に用いら引、ているサーフェ
ス・ステッピングモータ（Ｓｕｒｆａｃｅ Ｓｔｅｐｐ
ｉｎｇ Ｍｏｔｏｒ）がある。これは、Ｙ軸、Ｙ軸のそ
れぞれに移動できる可動子を組合わせて１個の可動子と
することにより、平面上の自由な運動を可能としたもの
である。また、１次元的な直線運動のみがｏＪ能なりニ
ア・ステッピングモータ（Ｌｉｎｅａｒ Ｓｔｅｐｐｉ
ｎｇ Ｍｏｔｏｒ）も−発され、例えばプリンタのキャ
リッジ送り等に応用されている。しかるに、これらサー
フェス・ステッピングモータ及びリニア・ステッピング
モータは、１次元的又は２次元的直線運ｉ＃ｂｅ行いつ
るのみであり、直線運動と回転運動の両者を組合わせた
運動に１個のステッピングモータにより行わせることは
できなかった。従来は、これら二つの運動を合成するに
は、２個のモータを抽々の機械要素と組合わせて行わね
ばならず、その結果、装置が大型化し、高精度駆動が困
殖となっていも〔発明の目的〕 本発明け、上記事情を参酌Ｌ７てなされたもので、回転
連動と回転軸方向の直線運動とを同時かつ独立にディジ
タル制御にょシ駆動させることのできるステッピングモ
ータを提供する・ことを目的とする。
円柱状若しくは円筒状に形成さｔした固定子と、上記円
柱状の固定子を包含する円筒状若しくは上記円筒状の固
定子に内接する円柱状に形成さり、た可動子とから材成
し、固定子と可動子との間隙に気体を流して静圧気体軸
受を形成するとともに、上記固定子に励磁を可能とする
巻線が巻装されたおける直線運動と回転運動とを同時に
行わせるようにしたものである。
柱状の固定子を包含する円筒状若しくは上記円筒状の固
定子に内接する円柱状に形成さり、た可動子とから材成
し、固定子と可動子との間隙に気体を流して静圧気体軸
受を形成するとともに、上記固定子に励磁を可能とする
巻線が巻装されたおける直線運動と回転運動とを同時に
行わせるようにしたものである。
以上本発明を図面を参照し７て実施例に基づいて詳述す
る。
る。
第１図は、本実施例のステッピングモータを示すもので
、このステッピングモータは、例えば珪素鋼板の積層か
らなる円柱状の固定子（１）と、この固定子（１）を包
含する例えば珪素銅板、４Ｌ状軟鉄、焼結側斜などから
なる円筒状の可動子（２）とから構成されている。上記
固定子（１＞の両端部は、支柱（３ａ）、（３ｂ）によ
り固定されている。上記固定子（１）の最大外径は、上
、３Ｃ可動子（２）の最小内径よりもわずか忙小さく設
定されていて、両者間に非常にわずかな間隙（４）が形
成されるようになっている。そして円柱状固定子（１）
の外周面には、第２図に示すよう一定のピッチで円周方
向の円環状６“４が多段に刻設されているとともに、軸
方向の直線状溝が一定のピッチになるように４４配して
刻設されている。
、このステッピングモータは、例えば珪素鋼板の積層か
らなる円柱状の固定子（１）と、この固定子（１）を包
含する例えば珪素銅板、４Ｌ状軟鉄、焼結側斜などから
なる円筒状の可動子（２）とから構成されている。上記
固定子（１＞の両端部は、支柱（３ａ）、（３ｂ）によ
り固定されている。上記固定子（１）の最大外径は、上
、３Ｃ可動子（２）の最小内径よりもわずか忙小さく設
定されていて、両者間に非常にわずかな間隙（４）が形
成されるようになっている。そして円柱状固定子（１）
の外周面には、第２図に示すよう一定のピッチで円周方
向の円環状６“４が多段に刻設されているとともに、軸
方向の直線状溝が一定のピッチになるように４４配して
刻設されている。
このように格子状の溝が刻設されている結果、円、周方
向に等配して突設された複数の極歯（５）・・・が軸方
向に一定のピッチで多段に形成されている。これら＋ｉ
歯（５）・・・間の溝部分には、第３図に示すように、
例えば合成樹脂などからなる樹脂部（６）が、極歯（５
）・・・と面一になるように充填されている。これら極
歯（５）・・には、巻線（７）・・・が、巻装され電磁
石を構成するようになっている／（第１図及び＠３図の
異なるｎ個の励磁相及び軸方向の異な−るＮ個の励磁相
からなっていて、これらｎＸＮ個の相の巻線（７）・・
・が、固定子（１）を構成する積層板間を経て、固定子
（１）内部軸方向に設けられた支柱（３０）を介しイバ
に接続されている。このドライバは駆動制御を行うｊン
トローラ（図示せず）に接続されている。さらに、上記
気体管路（９）からは、溝部に充填された檎脂部（６）
の外周面に開口する給気孔（１＋ｌｌ・・・が分岐して
いる。上記窩圧空気源、気体管路（９）及び給気孔（１
０）・・・は高圧気体供給機構を構成している。
向に等配して突設された複数の極歯（５）・・・が軸方
向に一定のピッチで多段に形成されている。これら＋ｉ
歯（５）・・・間の溝部分には、第３図に示すように、
例えば合成樹脂などからなる樹脂部（６）が、極歯（５
）・・・と面一になるように充填されている。これら極
歯（５）・・には、巻線（７）・・・が、巻装され電磁
石を構成するようになっている／（第１図及び＠３図の
異なるｎ個の励磁相及び軸方向の異な−るＮ個の励磁相
からなっていて、これらｎＸＮ個の相の巻線（７）・・
・が、固定子（１）を構成する積層板間を経て、固定子
（１）内部軸方向に設けられた支柱（３０）を介しイバ
に接続されている。このドライバは駆動制御を行うｊン
トローラ（図示せず）に接続されている。さらに、上記
気体管路（９）からは、溝部に充填された檎脂部（６）
の外周面に開口する給気孔（１＋ｌｌ・・・が分岐して
いる。上記窩圧空気源、気体管路（９）及び給気孔（１
０）・・・は高圧気体供給機構を構成している。
一方、上記可動子（２）の内周面には、同一のピ１．・
チで、円周方向の円環状溝が多段に刻設されているとと
もに、１ｍ！１方向の直線状のｒ〜Ｉが同一のピッチで
等配して刻設されている。このように格子状のＦ／（ｔ
が刻設されている結果、円周方向に等配して突設さ自た
検数の突起歯（ｌυ・・・が軸方向に一定のピッチで多
段に形成され極歯１５１・・に対向し、ている。これら
突起歯（１１）・・間のｎ部分には、第３図に示すよう
に、例えば合成（樹脂などからなるｉ′Ｉ４脂部（ｌり
が突起歯（【］）・・と同一のなめらかな面になるよう
に充填されている。かくして、本実施例のステッピング
モータは、ＶＲ［Ｖａｒｉａｂｌｅ Ｒｅ１ｕｃｔａｎ
ｃｅ）形のステッピングモータとなっている。
チで、円周方向の円環状溝が多段に刻設されているとと
もに、１ｍ！１方向の直線状のｒ〜Ｉが同一のピッチで
等配して刻設されている。このように格子状のＦ／（ｔ
が刻設されている結果、円周方向に等配して突設さ自た
検数の突起歯（ｌυ・・・が軸方向に一定のピッチで多
段に形成され極歯１５１・・に対向し、ている。これら
突起歯（１１）・・間のｎ部分には、第３図に示すよう
に、例えば合成（樹脂などからなるｉ′Ｉ４脂部（ｌり
が突起歯（【］）・・と同一のなめらかな面になるよう
に充填されている。かくして、本実施例のステッピング
モータは、ＶＲ［Ｖａｒｉａｂｌｅ Ｒｅ１ｕｃｔａｎ
ｃｅ）形のステッピングモータとなっている。
つぎに、上記構成のステッピングモータの作動にりいて
説明する。
説明する。
まｒ１高圧窒気源から、気体管路（９）を経由［７て、
給気孔（１１ト・・から固定子（１）と５Ｊ動子（２）
との間隙に高圧空気を供給する。その結果、可動子（２
）は静圧気体１ｉｉｊｌｌ受作用によりに１定子（１）
に非接触で支持される。
給気孔（１１ト・・から固定子（１）と５Ｊ動子（２）
との間隙に高圧空気を供給する。その結果、可動子（２
）は静圧気体１ｉｉｊｌｌ受作用によりに１定子（１）
に非接触で支持される。
Ｕカ・して、前記コントローラからのパルス信号に基づ
き、前記ドライバから励磁相が切り換わるようにｌ ’
ｉｉｌ：流を巻線（カ・・・に流【７極歯（５）・・・
を励磁する。
き、前記ドライバから励磁相が切り換わるようにｌ ’
ｉｉｌ：流を巻線（カ・・・に流【７極歯（５）・・・
を励磁する。
すると、パルス信号の状態により可動子（２）は、１ス
テツプ角ずつ第１図矢印θ方向に回転するとともに矢印
Ｚ方向に直線的に移動する。この場合、ステップモータ
として動作させるためには、次式■、（２）を渦足さぜ
ねばならない。
テツプ角ずつ第１図矢印θ方向に回転するとともに矢印
Ｚ方向に直線的に移動する。この場合、ステップモータ
として動作させるためには、次式■、（２）を渦足さぜ
ねばならない。
ΔＺｐ ＝ ΔＺＴ （１± “！二 ）
・・・■ただ〔７、Δθｐは、極歯（５）・・・の円
周方向のピッチ（第２図参照）、６０丁は、突起歯αυ
・・・の円周方向のピッチ、ΔＺ＋）は、極歯（５）・
・・の軸方向のピッチ（第２図参照ハΔＺＴは、突起歯
圓・・・の軸方向のピッチ、ｎ及びＮは、Ｍ述したよう
に、それぞれ円周方向の相数及び軸方向の相数でルるっ
式■、■の条件下において、円周方向の１ステツプ川θ
。は、次式（うで示される。
・・・■ただ〔７、Δθｐは、極歯（５）・・・の円
周方向のピッチ（第２図参照）、６０丁は、突起歯αυ
・・・の円周方向のピッチ、ΔＺ＋）は、極歯（５）・
・・の軸方向のピッチ（第２図参照ハΔＺＴは、突起歯
圓・・・の軸方向のピッチ、ｎ及びＮは、Ｍ述したよう
に、それぞれ円周方向の相数及び軸方向の相数でルるっ
式■、■の条件下において、円周方向の１ステツプ川θ
。は、次式（うで示される。
ｏ １ １
θ。＝３ｂ ０１ ｒ 、 ｌ ・・・■
ただし、ｒは、可動子（２）の円周方向の突起歯数で、
次式■で表わされる。
ただし、ｒは、可動子（２）の円周方向の突起歯数で、
次式■で表わされる。
６０
γ＝６．Ｔ ・・・■また、Ｓは
、固定子（１）の円周方向の突起歯数で、次式■で表わ
される。
、固定子（１）の円周方向の突起歯数で、次式■で表わ
される。
６０
ｔｓＯｐ ”’■さらに、軸方
向の１ステツプ角Ｚ。は、次式〇で示される。
向の１ステツプ角Ｚ。は、次式〇で示される。
Ｚｏ ＝ ｌ ΔＺｐ −△ＺＴＩ ＝−
Ｈしかして、本実施例のステッピングモータは、例えば
次表のように１円周方向の相基文ｎが３ （ｉｌｌ ｓ
軸方向の相数Ｎが３個の場合、主として３植類の異なる
駆動方法がある。その一つとして、可動子（２）の単な
る矢印θ方向の回転連動のみを得たい場合衣 は、相ｌ→相２→相３（相４→相５→相６又は相７→相
８→相９でもよい。）というように励磁相を切換えれば
よい。つぎに、可動子（２）の単なる矢印Ｚ方向の直線
運動のみを得たい場合は、相１→相４→相７（相２→相
５→相８又は相３→相６→相９でもよい。）というよう
に励磁相を切換える。
Ｈしかして、本実施例のステッピングモータは、例えば
次表のように１円周方向の相基文ｎが３ （ｉｌｌ ｓ
軸方向の相数Ｎが３個の場合、主として３植類の異なる
駆動方法がある。その一つとして、可動子（２）の単な
る矢印θ方向の回転連動のみを得たい場合衣 は、相ｌ→相２→相３（相４→相５→相６又は相７→相
８→相９でもよい。）というように励磁相を切換えれば
よい。つぎに、可動子（２）の単なる矢印Ｚ方向の直線
運動のみを得たい場合は、相１→相４→相７（相２→相
５→相８又は相３→相６→相９でもよい。）というよう
に励磁相を切換える。
場合すなわち可動子（２）に螺旋運動を行わせる場合は
１．相ｌ→相５→相９→相２→相６→相７→相３→相４
→相８という具合に励磁相を切換えればよい。以上の各
運動を逆方向に行わせる場合は、励磁順序を逆行させれ
ばよい。以上のように、本実施例のステッピングモータ
は、円筒座標系における直線運動と回転運動とを同時に
１台のモータで行わせるもので、装置の小型化及び高梢
度の制御が可能となる。
１．相ｌ→相５→相９→相２→相６→相７→相３→相４
→相８という具合に励磁相を切換えればよい。以上の各
運動を逆方向に行わせる場合は、励磁順序を逆行させれ
ばよい。以上のように、本実施例のステッピングモータ
は、円筒座標系における直線運動と回転運動とを同時に
１台のモータで行わせるもので、装置の小型化及び高梢
度の制御が可能となる。
なお、上記実施例に制約されることなく、固定子が円筒
形状をなし、かつ可動子か円柱形状をなすように構成し
７、同定子の内周面に巻線が巻装される極歯を形成し、
可動子の外周面に突起歯を形成して、可動子と固定子と
の間に高圧気体を供給し、固定子に可動子を、軸方向か
つ円周方向に円滑に移動自在に支持するようにＥ７ても
よい。また、上記実施例においては、ＶＲ形のステッピ
ングモータを例示しているが、これに拘泥することなく
、Ｐ Ｍ （Ｐ ｅｒｍａｎｅｎｔ Ｍａｇｎｌｅｔ
）形又はハイブリット形のステッピングモータにも本発
明を通用できる。
形状をなし、かつ可動子か円柱形状をなすように構成し
７、同定子の内周面に巻線が巻装される極歯を形成し、
可動子の外周面に突起歯を形成して、可動子と固定子と
の間に高圧気体を供給し、固定子に可動子を、軸方向か
つ円周方向に円滑に移動自在に支持するようにＥ７ても
よい。また、上記実施例においては、ＶＲ形のステッピ
ングモータを例示しているが、これに拘泥することなく
、Ｐ Ｍ （Ｐ ｅｒｍａｎｅｎｔ Ｍａｇｎｌｅｔ
）形又はハイブリット形のステッピングモータにも本発
明を通用できる。
本発明は、可動子を固定子に非接触に支持するとともに
、軸方向及び円周方向に可動子を移動自在に構成したの
で、被数のモータの組合せと釉々の機械要素とによるこ
となく、直線運動と回獣運動とを同時かつ独立に行わせ
ることができる。したがって、装置の小型化を推進する
ことができるとともに、位置制御を高精度で行うことが
できる利点を有する。
、軸方向及び円周方向に可動子を移動自在に構成したの
で、被数のモータの組合せと釉々の機械要素とによるこ
となく、直線運動と回獣運動とを同時かつ独立に行わせ
ることができる。したがって、装置の小型化を推進する
ことができるとともに、位置制御を高精度で行うことが
できる利点を有する。
第１図は本発明の一実施例のステッピングモータの構成
図、第２図は第１図のステッピングモータの固定子の要
部を示す斜視図、第３図は第１図のステッピングモータ
の固定子及び可動子の要部断面図である。 （１）：固定子、（２）：可動子、（４）二間隙、（５
）二極 歯、（カニ巻 線、αυ：突起歯。 代理人弁理士 則 近 憲 佑 （ほか１名）第１図 策２図 １３図
図、第２図は第１図のステッピングモータの固定子の要
部を示す斜視図、第３図は第１図のステッピングモータ
の固定子及び可動子の要部断面図である。 （１）：固定子、（２）：可動子、（４）二間隙、（５
）二極 歯、（カニ巻 線、αυ：突起歯。 代理人弁理士 則 近 憲 佑 （ほか１名）第１図 策２図 １３図
Claims (1)
- 円筒状又は円筒状に形成された固定子と、この固定子に
遊嵌された円柱状又は円筒状の可動子と、上記固定子と
上記可動子との間隙に気体を供給して上記固楚子に上記
可動子を非接触で支持させる高圧気体供給機構と、上記
固定子の上記可動子に対向する周面上の軸方向及び円周
方向に一定のピッチで突設された複数の極歯とり上記可
動子の上記固定子に対向する周面上の軸方向及び円周方
向に一定のピッチで突設された複数の突起歯と、上とに
周期的に設けられた複数の異なる励磁相からなることを
特徴とするステッピングモータ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17398382A JPS5963973A (ja) | 1982-10-05 | 1982-10-05 | ステツピングモ−タ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17398382A JPS5963973A (ja) | 1982-10-05 | 1982-10-05 | ステツピングモ−タ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5963973A true JPS5963973A (ja) | 1984-04-11 |
Family
ID=15970614
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17398382A Pending JPS5963973A (ja) | 1982-10-05 | 1982-10-05 | ステツピングモ−タ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5963973A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6240052A (ja) * | 1985-08-14 | 1987-02-21 | Tokyo R & D:Kk | 回転及び軸直線運動両用型の電動機 |
| EP0875981A1 (de) * | 1997-04-29 | 1998-11-04 | Sulzer Electronics AG | Elektromagnetischer Linearantrieb |
| US6765318B2 (en) | 2001-03-26 | 2004-07-20 | Fanuc Ltd. | Linear driving device |
| WO2009041185A1 (ja) * | 2007-09-25 | 2009-04-02 | Kabushiki Kaisha Yaskawa Denki | 円筒形リニアモータとその固定子製造方法 |
-
1982
- 1982-10-05 JP JP17398382A patent/JPS5963973A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6240052A (ja) * | 1985-08-14 | 1987-02-21 | Tokyo R & D:Kk | 回転及び軸直線運動両用型の電動機 |
| EP0875981A1 (de) * | 1997-04-29 | 1998-11-04 | Sulzer Electronics AG | Elektromagnetischer Linearantrieb |
| US6765318B2 (en) | 2001-03-26 | 2004-07-20 | Fanuc Ltd. | Linear driving device |
| WO2009041185A1 (ja) * | 2007-09-25 | 2009-04-02 | Kabushiki Kaisha Yaskawa Denki | 円筒形リニアモータとその固定子製造方法 |
| JPWO2009041185A1 (ja) * | 2007-09-25 | 2011-01-20 | 株式会社安川電機 | 円筒形リニアモータとその固定子製造方法 |
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