JPS596245B2 - 窒化チタンの製造法 - Google Patents

窒化チタンの製造法

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JPS596245B2
JPS596245B2 JP5430780A JP5430780A JPS596245B2 JP S596245 B2 JPS596245 B2 JP S596245B2 JP 5430780 A JP5430780 A JP 5430780A JP 5430780 A JP5430780 A JP 5430780A JP S596245 B2 JPS596245 B2 JP S596245B2
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JP
Japan
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ammonia
titanium
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titanium nitride
pressure
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JP5430780A
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JPS56155006A (en
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一 鈴木
則正 杉山
隆明 月館
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Tosoh Corp
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Toyo Soda Manufacturing Co Ltd
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Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、窒化チタンの製造法に関するものである。
周知の如く窒化チタンは高融点で耐熱性、耐食性に優れ
、高硬度で、かつ軽くて美麗な光沢を有しており、又、
化学的にも安定で、電気の良導体である等々の優れた性
質を持っている。
これらの諸性質を利用して、窒化チタンは超硬材料、耐
熱材料、装飾材料として使用されており、又、金属m解
坩堝や超伝導材料としての用途も開発されつつある。
窒化チタンは、TiN0.24〜TiN1.16の広い
範囲にわたる不定比性化合物であって、窒素含有率や不
純物、粒度特性によって諸性質が大巾に変化することが
知られている。
従来、知られている窒化チタンの製造方法としては、 ■ 金属チタン粉末を窒素又はアンモニア雰囲気中にて
800〜1400℃に加熱し窒化する方法。
■ 水素化チタンを窒素又はアンモニア雰囲気中にて1
000℃以上に加熱する方法。
■ 酸化チタンを炭素の存在下で1000〜1300℃
で窒素と反応させる方法。
等がある。
しかし、これらの製造法には以下に述べるような欠点が
あり、満足できる製造法は確立されていない。
即ち、■の方法ではチタン粒子の内部まで窒化しに<<
、高温度と長時間の加熱を必要とし、得られる窒化チタ
ン粒子が太きいと云う欠点がある。
■の方法では、水素化チタンが反応性に富み、高温でH
2を発生して発熱するため、反応の制御がむずかしく、
操作上の危険度が高い欠点がある。
■の方法では、得られる窒化チタンにTiO,TiCが
固溶し易く、従って純度が低いという大きな欠点がある
一方、高品質の窒化チタンを得る方法として、四ハロゲ
ン化チタンとアンモニアの反応生成物を出発物質とする
試みがなされており、その一例として四塩化チタンとア
ンモニアの反応生成物を分解温度まで加熱昇温するさい
、少なくとも成る温度範囲に於いてアンモニア又はアン
モニア、水素混合ガス雰囲気下常圧にて加熱分解する方
法が知られている。
このような四ハロゲン化チタンとアンモニアの反応生成
物を出発物質とする常圧加熱の方法では、微粒で高純度
の窒化チタンは得られるが、収率が低い欠点がある。
即ち、四ハロゲン化チタンとアンモニアの反応生成物を
大気圧でアンモニア又はアンモニア、水素の混合ガス雰
囲気下に加熱すると、熱分解時に前記した反応生成物が
、逆反応によって四ハロゲン化チタンとなり、一部の四
ハロゲン化チタンは反応に関与せず、系列に流出してチ
タンの収率を大巾に低下させる。
即ち、出発物質に含まれているチタンに対するチタンの
損失は、通常25〜35%であり、極端な場合には50
%以上にも達する。
本発明者らは、四ハロゲン化チタンとアンモニアとの反
応生成物を原料とする方法でのチタン損失の軽減につい
て鋭意研究の結果、四ハロゲン化チタンとアンモニアの
反応生成物をアンモニアを含むガス加圧雰囲気下にて加
熱昇温し、これを熱分解することにより、はぼ理論値に
近い収率で窒化チタンが得られることを見出した。
以下、本発明による製造方法について詳細に説明する。
出発原料として用いる四ハロゲン化チタンとアンモニア
の反応生成物は、 ■ 四ハロゲン化チタンを不活性ガス雰囲気下にてトリ
クロロエチレン等の溶媒に溶解し、約−70℃に冷却し
てアンモニア(ガス又は液)をこれに吹き込むか滴下し
、反応終了後に溶媒を除去して得た生成物。
■ 液体アンモニア中に四ハロゲン化チタン(液)を滴
下反応させ、反応終了後に残余の液体アンモニアを蒸発
又は沢過して除去し、必要に応じて液体アンモニアによ
る洗浄、f過を繰り返して得た生成物。
以上■〜■で得られる反応生成物は、勿論のこと、一般
に約300℃以下で四ハロゲン化チタン(液又はガス)
とアンモニア(液又はガス)とを反応させて得た生成物
をも含むものである。
この反応生成物は、一般式TiX、・yNH3で表わさ
れ(ここでXはハロゲン元素を示し、yは2〜16であ
る)。
この反応生成物をアンモニアガスを含むガス雰囲気下で
加熱分解させるが、本発明では、前記生成物の分解温度
までの昇温の際、少なくとも成る温度範囲即ち、150
〜400℃の範囲で加圧状態とすることが特徴である。
この際の圧力は1.5気圧以上が必要であり、好ましく
は5気圧以上である。
圧力が1.5気圧より低い場合にはチタンの損失を充分
に抑えることができない。
圧力が20気圧より高くても本発明の効果に支障はない
が、装置の安全性から高々30気圧が限度である。
窒化チタンを得るための加熱温度は、450℃以上に加
熱する必要があるが、この全温度範囲にわたって加圧雰
囲気下である必要はなく、本発明が加圧が必要な温度範
囲は、約150〜400℃で、少なくともこの温度範囲
の温度で前記した範囲の加圧状態であれば良い。
勿論、150℃より低い温度又は400℃より高い温度
においても加圧状態となることは何ら差し支えない。
本発明で用いるアンモニアを含むガスは、アンモニア単
独、アンモニアと水素又は窒素との混合ガスである。
本発明での、加熱、分解系は、流通系、密閉系いずれで
も良い。
流通系で行なう場合は、生成物の系列への飛散を最少限
に止める意味で、流通ガス流量を適宜調節する必要があ
る。
本発明の方法でのチタンの損失は、通常10%以下であ
り、常圧のアンモニア雰囲気下で加熱した場合のチタン
損失25%以上となる方法に比較して本発明は有利であ
る。
本発明で得られる窒化チタンは、通常化学組成T iN
olgo ”T iN 1.05 、不純物1%以下、
粒子径10μm以下の茶ないし茶褐色の粉体である。
次に本発明を実施例にて詳述する。
実施例 1 四塩化チタン約100m/をガラス製のボールを士数個
と共にアルミナ製の反応器に入れ振動ミルを作動(50
〜200 r/m)させながら、アンモニアガスを約5
00 m17’m i nで反応器内に導入して大気圧
下、室温にて反応させた。
4時間後アンモニアの消費が停止した後、アンモニアガ
スの導入を停止し、生成物を取出した。
この際、生成物は空気に触れないように窒素ボックス中
に保存した。
生成物は約2501で、組成式T 1Ct4・5NH3
なる黄色の粉末であった。
上記生成物の51を空気に触れぬようにして石英ボート
に取り、これをオートクレーブ内にてアンモニアガスを
流通させながら大気圧下で150℃に昇温した。
ここでオートクレーブ内の圧力が3気圧となるまで更に
アンモニアガスを送入し、400℃まで昇温した。
この時オートクレーブ内の圧力は5気圧であった。
次いでオートクレーブの圧力を大気圧まで下げた後、更
に600℃まで大気圧下で昇温し、この温度で1時間保
持してから室温まで冷却し生成物(1,0El)を得た
生成物は化学分析の結果、T1No、9sの組成の窒化
チタンであった。
又、収支計算の結果、チタンの損失は5%であった。
実施例 2 実施例1で得た四塩化チタンとアンモニアの反応生成物
5vを実施例1と同様の装置及び方法でオートクレーブ
に入れ、室温にてアンモニアガスを送入して2気圧とし
500℃まで昇温した。
その時の圧力は9気圧であった。
次いで圧力を大気圧まで下げた後、更に600℃まで大
気圧下で昇温し、この温度で1時間保持してから室温ま
で冷却し生成物(1,05f)を得た。
生成物はT1No、g7の・組成の窒化チタンであった
このときのチタンの損失は6%であった。比較例 1 実施例1で得た四塩化チタンとアンモニアの反応生成物
5vを、実施例1と同様の装置及び方法でオートクレー
ブに入れ、室温にてアンモニアガスを2気圧になるまで
送太し、145℃まで昇温した。
この時の圧力は3気圧であった。次いで圧力を大気圧ま
で下げた後、アンモニアガスを流通させながら大気圧下
で600℃まで昇温し、この温度で1時間保持してから
室温まで冷却して生成物0.71を得た。
生成物はT1No、a7の組成の窒化チタンであった。
このときのチタンの損失は37%であった。
比較例 2 実施例1で得た四塩化チタンとアンモニアの反応生成物
5ftを、実施例1と同様の装置及び方法でオートクレ
ーブに入れ、アンモニアガスを流通させながら大気圧下
で室温から410℃まで昇温した。
次に、アンモニアガスを5気圧になるまで送入して60
0℃まで昇温した。
この時の圧力はIO気圧であった。
次に、圧力を大気圧まで下げて、この温度で1時間保持
した後、室温まで冷却して生成物0.8y−を得た。
得られた生成物はTiN0.gB の組成の窒化チタン
であった。
この時のチタンの損失は29%であった。

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1 四ハロゲン化チタンとアンモニアの反応により得ら
    れる含窒素ハロゲン化チタンをアンモニアを含むガス雰
    囲気下にて加熱分解し窒化チタンを製造する際、少なく
    とも150〜400℃の温度範囲を加圧雰囲気として加
    熱昇温しこれを行なうことを特徴とする窒化チタンの製
    造法。 21.5気圧以上30気圧の加圧雰囲気下にて加熱する
    特許請求の範囲第1項記載の製造法。
JP5430780A 1980-04-25 1980-04-25 窒化チタンの製造法 Expired JPS596245B2 (ja)

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JPS56155006A JPS56155006A (en) 1981-12-01
JPS596245B2 true JPS596245B2 (ja) 1984-02-09

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS61223932A (ja) * 1985-03-25 1986-10-04 アメリカン テレフォン アンド テレグラフ カムパニー 順応形かぶせ装置

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* Cited by examiner, † Cited by third party
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JPS61223932A (ja) * 1985-03-25 1986-10-04 アメリカン テレフォン アンド テレグラフ カムパニー 順応形かぶせ装置

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JPS56155006A (en) 1981-12-01

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