JPS595723A - 酸化亜鉛薄膜の電極構造 - Google Patents
酸化亜鉛薄膜の電極構造Info
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- JPS595723A JPS595723A JP11444882A JP11444882A JPS595723A JP S595723 A JPS595723 A JP S595723A JP 11444882 A JP11444882 A JP 11444882A JP 11444882 A JP11444882 A JP 11444882A JP S595723 A JPS595723 A JP S595723A
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- zinc oxide
- oxide film
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- XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N Zinc monoxide Chemical compound [Zn]=O XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N 0.000 title claims abstract description 92
- 239000011787 zinc oxide Substances 0.000 title claims abstract description 46
- 239000010409 thin film Substances 0.000 title claims description 31
- 238000000034 method Methods 0.000 abstract description 8
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/02—Details
- H03H9/125—Driving means, e.g. electrodes, coils
- H03H9/13—Driving means, e.g. electrodes, coils for networks consisting of piezoelectric or electrostrictive materials
- H03H9/131—Driving means, e.g. electrodes, coils for networks consisting of piezoelectric or electrostrictive materials consisting of a multilayered structure
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- Physics & Mathematics (AREA)
- Acoustics & Sound (AREA)
- Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
この発明は安定な特性を示す酸化亜鉛薄膜の電極構造に
関する。
関する。
酸化亜鉛1膜は弾性表面波装置、音叉振動子、音片振動
子などの圧電体として使用されている。
子などの圧電体として使用されている。
この酸化亜鉛薄膜の使用例を音叉振動子にもとづいて説
明する。
明する。
第1図は音叉振動子の一例を示す側面図である。
図において、1は音叉振動子の本体、2.3はこの本体
1の脚部を示し、脚部2.3の側壁2a、3aには酸化
亜鉛薄膜4.5が形成されている。
1の脚部を示し、脚部2.3の側壁2a、3aには酸化
亜鉛薄膜4.5が形成されている。
この酸化亜鉛** 4.5は真空蒸着法、スパッタリン
グ法、イオンブレーティング法などにより形成される。
グ法、イオンブレーティング法などにより形成される。
6.7は酸化亜鉛薄膜4.5の上に形成されたへρ電極
を示す。
を示す。
このAJ2電極6.7は安価でボンディングができるこ
とから選ばれたもので、電子ビーム蒸着法などにより3
000〜100OOAの膜厚の範囲で形成される。
とから選ばれたもので、電子ビーム蒸着法などにより3
000〜100OOAの膜厚の範囲で形成される。
しかしながら、上記したような酸化亜鉛薄膜の電極構造
では次のような欠点が見られる。つまり、Aβ電極その
ものが高い親和性を示まため、酸化亜鉛薄膜中にAβが
拡散し、電気的特性が劣化するという欠点がある。すな
わち、2価の半導体である酸化亜鉛に3価であるAβが
拡散することによって酸化亜鉛薄膜の電気的特性、lc
とえば振動周波数を大きく変化させるという現Φが認め
られた。また高温負荷寿命試験を行うと、さらに上記し
た現象が促進され、電気的特性の劣化が一層大きなもの
となった。
では次のような欠点が見られる。つまり、Aβ電極その
ものが高い親和性を示まため、酸化亜鉛薄膜中にAβが
拡散し、電気的特性が劣化するという欠点がある。すな
わち、2価の半導体である酸化亜鉛に3価であるAβが
拡散することによって酸化亜鉛薄膜の電気的特性、lc
とえば振動周波数を大きく変化させるという現Φが認め
られた。また高温負荷寿命試験を行うと、さらに上記し
た現象が促進され、電気的特性の劣化が一層大きなもの
となった。
したがって、酸化亜鉛薄膜を形成するに当っては、電極
を含めた構成全体について考慮する必要があり、従来の
電極構成にさらに改良を施さなければならなかった。
を含めた構成全体について考慮する必要があり、従来の
電極構成にさらに改良を施さなければならなかった。
この発明はかかる背景からなされたものであり、安定な
特性を示す酸化亜鉛i膜の電極構造を提供することを目
的とする。
特性を示す酸化亜鉛i膜の電極構造を提供することを目
的とする。
以下この発明を実施例にもとづいて詳細に説明する。
第2図はこの発明にかかる酸化亜鉛薄膜の電極構造を音
叉振動子に適用した例を示す側面図である。
叉振動子に適用した例を示す側面図である。
11はエリンバなどからなる金属音叉、12は酸化亜鉛
薄膜、13はV層、14は電極である。このうちV層1
3は電子ビーム法、スパッタリング法、イオンビーム法
、抵抗加熱蒸着法などによって形成される。
薄膜、13はV層、14は電極である。このうちV層1
3は電子ビーム法、スパッタリング法、イオンビーム法
、抵抗加熱蒸着法などによって形成される。
第3図は屈曲振動モードの音片振動子にこの発明にかか
る酸化亜鉛薄膜の電極構造を適用した例を示した斜視図
である。
る酸化亜鉛薄膜の電極構造を適用した例を示した斜視図
である。
図において、21は振動子本体を示し、振動子22とこ
れを支持部24で支持している枠体23から構成されて
いる。25は酸化亜鉛薄膜で振動子22の表面に形成さ
れている。26は酸化亜鉛薄膜25の上に形成されたV
層、27はV層26の上に形成されたAp。
れを支持部24で支持している枠体23から構成されて
いる。25は酸化亜鉛薄膜で振動子22の表面に形成さ
れている。26は酸化亜鉛薄膜25の上に形成されたV
層、27はV層26の上に形成されたAp。
電極である。
第4図は同じくこの発明を弛の屈曲振動モードの振動子
に適用した例の側面図である。
に適用した例の側面図である。
図において、31はセラミクス、プラスチック、極36
が順次形成されている。
が順次形成されている。
第5図は同じくこの発明を拡がり振動モードの振動子に
適用した例を示す側面図である。
適用した例を示す側面図である。
図において、41は酸化亜鉛薄膜、42は酸化亜鉛簿膜
41の両面に形成されたV層、43はV層42の上に形
成されたへρ電極である。
41の両面に形成されたV層、43はV層42の上に形
成されたへρ電極である。
第6図は同じくこの発明を厚み振動モードの振動子に適
用した例を示(側面図である。
用した例を示(側面図である。
図において、51はSi、3i02などからなる基板、
基板51の上にはAN電極52、V層53が順次形成さ
れている。さらにV層53の上には酸化亜鉛薄膜54が
形成されている。この酸化亜鉛薄NtA54が形成され
Cいる位置に相当する基板51には空部51aが形成さ
れている。酸化亜鉛薄膜54の上にはV層55、および
A 、Q電極56が順次積層して形成されている。
基板51の上にはAN電極52、V層53が順次形成さ
れている。さらにV層53の上には酸化亜鉛薄膜54が
形成されている。この酸化亜鉛薄NtA54が形成され
Cいる位置に相当する基板51には空部51aが形成さ
れている。酸化亜鉛薄膜54の上にはV層55、および
A 、Q電極56が順次積層して形成されている。
次に具体的な実施例として、第2図に示した音叉振動子
についてこの発明にかかる酸化亜鉛薄膜、の電極構造を
適用した例を説明覆る。
についてこの発明にかかる酸化亜鉛薄膜、の電極構造を
適用した例を説明覆る。
第2図を参照して説明すれば、振動子11の上にスパッ
タリング法により酸化亜鉛薄膜12を形成上、その上に
Vを層13を抵抗加熱蒸着法により43.i入の厚みに
形成し、さらにその上に厚みが1μからなるAρ電極1
4を電子ビーム法により形成した。
タリング法により酸化亜鉛薄膜12を形成上、その上に
Vを層13を抵抗加熱蒸着法により43.i入の厚みに
形成し、さらにその上に厚みが1μからなるAρ電極1
4を電子ビーム法により形成した。
このようにして撮動周波数32Kllの振動子を作成し
た。
た。
この振動子に直流電圧20Vを印加し、120℃の温度
に 10000時間放置した。このときの振動周波数の
経時変化特性を試料数20個について測定したところ第
7図に示すような結果が得られた。図中実線はこの実施
例によるものである。まl〔破線は従来例のAf/、電
極のみからなるものについて、同様にして測定した結果
を示したものである。この振動周波数の経時変化特性(
△F、/Fo)は次式より求めた。
に 10000時間放置した。このときの振動周波数の
経時変化特性を試料数20個について測定したところ第
7図に示すような結果が得られた。図中実線はこの実施
例によるものである。まl〔破線は従来例のAf/、電
極のみからなるものについて、同様にして測定した結果
を示したものである。この振動周波数の経時変化特性(
△F、/Fo)は次式より求めた。
また、直列共振抵抗(Ro)についても同様に
4測定し、その結果を第8図にそれぞれ示した。
4測定し、その結果を第8図にそれぞれ示した。
第7図〜第8図から明らかなように、この発明にががる
ものは、従来例にくらべて、振動周波数の経時変化が小
さく、またRoの経時変化が小さくかつその値も小さい
などの効果が得られている。
ものは、従来例にくらべて、振動周波数の経時変化が小
さく、またRoの経時変化が小さくかつその値も小さい
などの効果が得られている。
ここで、Roを測定したのは次のような理由による。
まず、酸化亜鉛薄膜についてその等何回路を示せば第9
図のようになる。図中、cdは並列容拾を示し、酸化亜
鉛薄膜をコンデンサとして考えた場・合の静電容量に近
い値である。Roは直列共振抵抗、Coは等価容量、L
oは等価インダクタンスである。
図のようになる。図中、cdは並列容拾を示し、酸化亜
鉛薄膜をコンデンサとして考えた場・合の静電容量に近
い値である。Roは直列共振抵抗、Coは等価容量、L
oは等価インダクタンスである。
Roは第10図に示したインピーダンスと周波数の関係
から、直列共振周波数(fo)に対応し、このRoが大
きくなれば発振に大ぎな増幅度が必要となり、発振条件
の低下をわたらずことになることが伺える。
から、直列共振周波数(fo)に対応し、このRoが大
きくなれば発振に大ぎな増幅度が必要となり、発振条件
の低下をわたらずことになることが伺える。
第8図から明らかなように、この発明の実施例によれば
、従来例のAρ電極のものにくらべR。
、従来例のAρ電極のものにくらべR。
の経時変化が小さく、このことからこの発明にかかる酸
化亜鉛薄膜の電極構造は安定な電気的特性を有するとと
もに、高温負荷寿命試験に対しても安定した特性を示す
ものであると叩解することができ、安定した発振を期待
することができるか否かの目安となる。
化亜鉛薄膜の電極構造は安定な電気的特性を有するとと
もに、高温負荷寿命試験に対しても安定した特性を示す
ものであると叩解することができ、安定した発振を期待
することができるか否かの目安となる。
以上この発明によれば、酸化亜鉛薄膜とA 、Q電極と
の間に八ρの拡散防止層としUV層を介在させたもので
あり、従来のものにくらべ−C実用上十分な特性を示す
酸化亜鉛薄膜を提供することができる。特にこの発明に
よれば、高温負荷寿命試験に対してRoの変化が小さく
、周波数変化が少ないなど信頼性の高い酸化亜鉛Ml!
!Jが得られる。
の間に八ρの拡散防止層としUV層を介在させたもので
あり、従来のものにくらべ−C実用上十分な特性を示す
酸化亜鉛薄膜を提供することができる。特にこの発明に
よれば、高温負荷寿命試験に対してRoの変化が小さく
、周波数変化が少ないなど信頼性の高い酸化亜鉛Ml!
!Jが得られる。
第1図は音叉!!動子の一例を示1側面図、第2図は音
叉振動子にこの発明にかかる酸化亜鉛薄膜の電極構造を
適用した例を示す側面図、第3図は音片振動子にこの発
明にかかる酸化亜鉛薄膜の電極構造を適用した例の斜視
図、第4図〜第6図は同じくこの発明にかかる酸化亜鉛
薄膜の電極構造を各振動子に適用した例の側面図、第7
図はこの発明の具体的実施例にもとづく振動周波数の経
時変化特性図、第8図は同じ<Roの経時変化特性図、
第9図は酸化亜鉛薄膜の等両回略図、第10図はインピ
ーダンスと周波数の関係特性図である。 11・・・・・・基板、12・・・・・・酸化亜鉛薄膜
、13・・・・・・V層、14・・・・・・A 、Q電
極。 特 許 出 願 人 株式会社村田製作所 袷/ 図 著z図 115 納4 図 躬5図 @2図 !l!58m
叉振動子にこの発明にかかる酸化亜鉛薄膜の電極構造を
適用した例を示す側面図、第3図は音片振動子にこの発
明にかかる酸化亜鉛薄膜の電極構造を適用した例の斜視
図、第4図〜第6図は同じくこの発明にかかる酸化亜鉛
薄膜の電極構造を各振動子に適用した例の側面図、第7
図はこの発明の具体的実施例にもとづく振動周波数の経
時変化特性図、第8図は同じ<Roの経時変化特性図、
第9図は酸化亜鉛薄膜の等両回略図、第10図はインピ
ーダンスと周波数の関係特性図である。 11・・・・・・基板、12・・・・・・酸化亜鉛薄膜
、13・・・・・・V層、14・・・・・・A 、Q電
極。 特 許 出 願 人 株式会社村田製作所 袷/ 図 著z図 115 納4 図 躬5図 @2図 !l!58m
Claims (1)
- 酸化亜鉛薄明表面とへρ電極との間にV層を介在させた
ことを特徴とする酸化亜鉛薄膜の電極構造。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP11444882A JPS595723A (ja) | 1982-06-30 | 1982-06-30 | 酸化亜鉛薄膜の電極構造 |
US06/509,028 US4445066A (en) | 1982-06-30 | 1983-06-29 | Electrode structure for a zinc oxide thin film transducer |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP11444882A JPS595723A (ja) | 1982-06-30 | 1982-06-30 | 酸化亜鉛薄膜の電極構造 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS595723A true JPS595723A (ja) | 1984-01-12 |
JPH0115208B2 JPH0115208B2 (ja) | 1989-03-16 |
Family
ID=14637982
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP11444882A Granted JPS595723A (ja) | 1982-06-30 | 1982-06-30 | 酸化亜鉛薄膜の電極構造 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS595723A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS62289124A (ja) * | 1986-06-05 | 1987-12-16 | 溝田工業株式会社 | 減圧弁による耕地水位制御装置 |
JPS6342634A (ja) * | 1986-08-06 | 1988-02-23 | 溝田工業株式会社 | 減圧弁による耕地水位制御装置 |
-
1982
- 1982-06-30 JP JP11444882A patent/JPS595723A/ja active Granted
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS62289124A (ja) * | 1986-06-05 | 1987-12-16 | 溝田工業株式会社 | 減圧弁による耕地水位制御装置 |
JPH0448125B2 (ja) * | 1986-06-05 | 1992-08-05 | Mizota Kogyo Kk | |
JPS6342634A (ja) * | 1986-08-06 | 1988-02-23 | 溝田工業株式会社 | 減圧弁による耕地水位制御装置 |
JPH0448126B2 (ja) * | 1986-08-06 | 1992-08-05 | Mizota Kogyo Kk |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH0115208B2 (ja) | 1989-03-16 |
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