JPS5952246A - 露光制御装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、感光材を塗布したウェハ又はフォトマスク上
にパターンを露光する装置に関し、特に、その露光量の
制御装置に関する。

近年、半導体素子、特にＩＣ製造においては、回路パタ
ーンの微細化が要求され、ウェハ上に１μｍ以下の線幅
を有するパターンを焼き付ける装置、いわゆる露光装置
も高精度な露光制御が望まれてきた。

一般に、ウェハ又はフォトマスクに回路パターンの信金
露光する露光装置では、ウエノ・上に塗布された感光材
料（フォトレジスト）に、常に一定の露光量を与えるこ
とが望ましい。このような露光装置の概略全第１図に示
す。

第１図においては、露光用の光源、例えば水銀ランプ１
の光が集光レンズ２によって集光された後、シャッタと
なる回転板３を介して、コンデンサーレンズ５、投影レ
ンズ８をへて、２次元移動可能なステージ１０に載置さ
れたウェハ９（フォトマスクでもよい。）に至るような
、投影式の露光装置を示す。回転板３は、例えば４分割
して、遮光部（図中の斜線部）と透過部を交互に設け、
回転駆動機構、例えばパルスモータ４によって一方向（
図中、時計回り）に回転され、ロータリーシャッタとし
て働く。回路パターンを有するガラス基板７（レティク
ルやフォトマスク）は、コンデンサーレンズ５と投影レ
ンズ８の間に配置され、ガラス基板７のパターン領域７
ａがウニ／％９の上に結像する。又、光電検出器６は、
光源の光強度を測定するような光電変換素子であり、シ
ャッタを経た光を測光するように、ガラス基板７の上方
に領域７ａを遮光しないように設けられ、その出力は露
光制御のために使われる。このような装置では、機構上
シャッタの開閉動作時間が長く、数ｍ　ｓｅｃ。

〜数１０ｍＢｅＣ，に及ぶ。また、露光動作に伴う光強
度（検出器６で検出した値、又はウェハ９上で測定した
値）の変化を第２図に示す。第２図で、横軸に露光時間
、縦軸に光強度を取シ、台形状の折線ＡとＢけ、光源の
ランプの劣化によるちがいを表わす。ランプが新しく、
光強度が太きいと、折線Ａのように、またランプが劣化
して光強度が小さいと折線Ｂのようになる。尚、台形の
上底部すなわちシャッタの全開時の光強度’ｅ　”Ｎ　
ＸＬ□とする。このように、台形状の光強度特性を有す
るのは、シャッタの開閉動作時間に基づいている。これ
は、第１図で示したような回転板３が１／４回転する時
間によって生じるものである。回転板乙の遮光部が光を
さえぎっている状態から、回転板３が１７４回転して、
光を完全に透過する状態までにかかる時間（シャッタ開
放時間）は、第２図では時間１ａ−１ｏである。尚、回
転板乙の回転開始時ヲｔ。とじである。そして、時間ｔ
ａ−ｔ□カ経過後、回転板３を光が完全に透過する（こ
のことを、以後シャッタ全開と呼ぶ。）ので、光強度Ｌ
Ｎ％又はり、とじて安定する。そして、所定の露光時間
後、すなわち時刻ｔｂ又は時刻ｔｄから回転板３がさら
に１７４回転して、濾光部によって光がさえぎられる。

光が完全に遮光される時刻は、時刻ｔｃ１又はｔｅであ
る。尚、シャッタの構造上、開放動作時間と、閉成動作
時間はほぼ等しいので、時間ｔｃ−ｔｂと時間ｔ。−ｔ
ｄは共に等しく、かつ時間１ａ−１ｏともほぼ等しくな
る。

この光強度特性に示したように、普通このような装置で
は、フォトレジストへの総曝光量を一定にするため、ラ
ンプの明るさに応じて露光時間を変えている。そこで、
従来の露光制御について、第３図により説明する。第３
図において、光電検出器６の光電出力は増幅器１１によ
って増幅された後、抵抗１２、コンデンサ１４、増幅器
１３による積分器に入力する。積分器の出力が、露光量
に比例した値、いわゆる光量積分値である。この積分器
の出力は、比較器１５によって、あらかじめ定めた適正
露光量としての目標値（基準電圧）Ｅｓと比較される。

一方、フリップフロップ回路１６は、露光動作の開始時
点でセットされ、シャッタ駆動回路１７によって、モー
タ等を駆動してシャッタを開く。

シャッタが開いた後、上述の如く光量積分値が基準電圧
Ｅ８に達すると、比較器１５の出力が反転してフリップ
フロップ回路１６がリセットされる。このリセットによ
り、駆動回路１７は、モータ等をさらに回転して、シャ
ッタを閉じる。こうして、ランプの明るさが変わっても
光量積分値が、一定値に々るように、シャッタは制御さ
れる。ここで、その時の露光量を第４図のグラフに示す
。第４図のグラフで横軸に第２図と同一の時間軸を取シ
、縦軸に露光量、すなわち光量積分値を取る。露光開始
時ｔ。から時刻ｔ、Ｌまでは、第２図のように、シャッ
タの開放動作時間であシ、露光量はなだらかに上昇して
いくつ時刻ｔａから時刻ｔｂｓ又は時刻ｔｄまでは、シ
ャッタ全開期間である。尚、露光量ＡとＢは第２図で示
したように、光源の光強度が大きいときと、小さいとき
を示す。そして曙光量Ａ１又はＢが目標値Ｅｓに達する
と、シャッタ閉じ動作が始まる。しかしながら、シャッ
タが完全に閉じるまでの時間ｔ。−ｊｂｓ又はｔ８−　
ｔｄにも、露光されることになり、その結果総露光量は
Ｅ。、又はＥ。／となシ、所定の目標値Ｅ８よりもＥ。

−Ｅｓ又はＥ。′−Ｅｓだけ超過することになる。

光源の光強度が常に一定であれば超過分を予測して、総
露光量を決定できるが、実際には、ランプの劣化に伴い
光源の明るさは大きく変化する。

従って、第４図に示したように、時間ｔｃ−ｔｂと時間
ｔｅ−ｔ、１は同じでも、超過分は変化してしまう。

この超過分の変化（ＥＯ−ＥＯ’）は、光源の光強度が
小さく、露光時間が十分に長い場合には無視できる。し
かし、光源の光強度が大きくなり、全露光量中に占める
、シャッタの閉じ動作時間中の露光量の割合が大きくな
った場合、超過分の変化（Ｅ。

−Ｅｏ’）によるａ露光量の変動は重要な問題となる。

一般に、露光量の制御として、総露光量の変動は数多以
下が必要とされるが、上述の場合、従来のような装置で
は、超過分に対する配慮がなされていないので、長期間
に渡って、安定した露光量を得ることができない欠点を
有していた。

そこで本発明は、従来の欠点を解決し、光源の光強度に
かかわらず常に総露光量を一定にするように制御する露
光装置を提供することを目的としている。

すなわち、このような目的を達成するための本発明の露
光制御装置は、光源から被露光物への光の通過と遮断の
ために開閉するシャッタと、前記シャッタを通過した光
の強度を検出する光電検出器と、この光電検出器の出力
信号に基づいて前記シャッタの開放動作開始時点から被
露光物への露光量を測定する測光回路と、この測定され
た曙光量が予じめ設定された値になったとき前記シャッ
タの閉成動作を開始する駆動手段と、前記シャッタの開
放動作開始時点から開放完了１での間の前記測光回路に
よる露光量測定値が前記シャッタの閉成動作開始時点か
ら閉成完了までの間の超過露光ｆを重畳した値に相当す
るものとなるように前記シャッタの開放動作開始時点か
ら開放完了までの間にわたり前記測光回路の測光感度を
制御する制御手段とを備えてなるもので、シャッタの開
放動作開始から開放完了までの間に、そのシャッタが閉
成動作を開始してから閉成完了するまでの間に予測され
る超過露光量を予じめ重畳した形で露光量を測定できる
ので、正確な露光制御が果されると共にシャッタをその
最高速にまで制御し得るものである。

前記測光回路は、ひとつの態様において前記光電検出器
の出力信号を増幅する増幅回路を備え、前記シャッタの
開放動作開始時点から開放完了までの間にわたり前記制
御手段によって前記増幅回路の増幅率が変更されるよう
になされている。

また別の態様によれば、前記測光回路は、前記光電検出
器の出力信号を増幅する増幅回路と、この増幅回路で増
幅された信号を積分して露光量を測定する積分回路とを
有し、前記シャッタの開放動作開始時点から開放完了ま
での間にわたり前記制御手段によって前記積分回路の時
定数が変更されるようになされている。

本発明を実施例図面と共に詳述すれば以下の通りである
。

第５図において、第１図ないし第６図と同一符号は同効
のものを示し、光電検出器６からの光強度信号を増幅す
る増幅器１１に直列に補正用増幅器２０が接続され、画
壇幅器１１と２０の各出力は、半導体アナログスイッチ
等のスイッチ２１で選択的に切換えられて電圧・周波数
コンバータ２３に入力され、露光量として測定されるよ
うになっている。

カウンタ２４は、このコンバータ２３の出力パルス数を
計数し、露光量設定器２６に予じめ設定された適正露光
値に対応する値と前記カウンタ２４の計数結果とが比較
器２５で比較され、両者が一致したときに比較器２５が
シャッタ閉成信号Ｓｌを出力するように愈されている。

このシャッタ閉成信号Ｓｌと、別に図示しない操作手段
からのシャッタ開放信号Ｓ２とけ、シャッタの開閉駆動
制御回路２７に入力され、駆動制御回路２７はこれら信
号Ｓｌか８２かのいずれか一方が入力されたときにシャ
ツタ３’ｅ１／４回転させるために所定のパルス数の駆
動信号Ｓｓｋパルスモータ４に出力すると共に、少なく
ともシャッタ開放信号Ｓ２が入力されたときにはその入
力時点すなわちシャッタの開放動作開始時点から、予じ
めシャッタ機構上定まっている開放完了に達するまでの
時間にわたり、スイッチ２１を接点Ａ側つまり増幅器２
０側に切替えておくための切替信号Ｓ４をも出力する。

すなわちこの駆動制御回路２７は、増幅器１１と２０お
よびコンバータ２３ヲ含む測光回路に対し、カウンタ２
４および比較器２５と共に測定露光量が設定値に等しく
なったときにシャッタ３の閉成動作を開始する駆動手段
を構成すると同時に、スイッチ２１と共に前記シャッタ
の開放動作開始時点から開放完了１での間の測光回路の
露光量測定値が前記シャッタの閉成動作開始時点から閉
成完了までの間の超過露光量を重畳した値に相当するも
のとなるように前記シャッタの開放動作開始時点から開
放完了までの間にわたり測光回路の測光感度を制御する
制御手段を構成している。そして、この実施例では測光
感度の制御を前記スイッチ２１が接点Ａ側に切替ってい
る間にわたり測光回路の総合増幅度を高くすることで果
している。

駆動制御回路２７は例えば第６図に示す回路構成を備え
ている。第６図において、シャッタ閉成信号Ｓ１と開放
信号Ｓ２はフリップフロップ１００に入力されると共に
オアゲート１０１に入力されている。

尚、以下の説明においては信号Ｓ１．Ｓ２ともに論理レ
ベルｒＨＪｅ正論理として扱う。シャッタ閉成信号Ｓ１
はフリップフロップ１００のリセット入力端に、シャッ
タ開放信号Ｓ２はフリップフロップ１００のセット入力
端にそれぞれ入力され、オアゲート１０１の出力はもう
ひとつのフリップフロップ１０２のセット入力端に接続
されている。フリップフロップ１０２の出力は、発振器
１０４の出力パルスをゲートするためのアンドゲート１
０３に接続され、アンドゲート１０３の出力信号はバッ
ファアンプ１０５を介してパルスモータ４の駆動信号Ｓ
３となる。このアンドゲート１０３の出力信号はまたカ
ウンタ１０６で計数され、シャッタ３が１／４回転する
のに必要なパルス数に等しいデジタル値が予じめ設定さ
れているレジスタ１０７の出力と比較器１０８で比較さ
れるようになっている。比較器１０８はカウンタ１０６
の計数値がレジスタ１０７の設定デジタル値と一致した
ときに一致パルスを出力してフリップフロップ１０２の
出力状態を反転させるものである。またフリップフロッ
プ１００と１０２の出力はそれぞれアンドゲート１０９
に入力され、これらが共にｒＨＪのときのみ切替信号Ｓ
４　’ｃ　ｒ　ＨＪにする。スイッチ２１はこの切替信
号Ｓ４がｒＨＪのときに接点Ａ側に、またｒＬＪのとき
に接点Ｂ側に切替えられる。

第５図と第６図に示した実施例の動作を説明すると、ま
ず始めにシャッタ３は閉じているものとし、フリップフ
ロップ１００および１０２ともにその出力は「Ｌ」、カ
ウンタ２４と１０６はともに計数値が零であるとする。

この状態においてシャッタ開放信号Ｓｓ　ｋ　ｒ　ＨＪ
にすると、フリップフロップ１００および１０２の各出
力がｒＨＪになる。このためアンドゲート１０９の出力
すなわち切替信号Ｓ４が同時にｒＨＪとなシ、スイッチ
２１は接点Ａ側に切替って増幅器１１と２０が直列に挿
入されることで測光感度が高められる。

増幅器２０の利得については、シャッタ６の特性が例え
ば第４図に示したように開放動作時間（ｔａ−１ｏ）と
閉成動作時間（ｔｃ　　ｔｂ）又！”１（ｔ６−ｔ（１
）とほぼ等しく、且つシャッタ開放の立上シとシャッタ
閉成の降下の傾きが同じなら増幅器２０の利得は２倍で
よい。一般的には時間（ｔａ　　ｔｏ）の露光量と（ｔ
ｃ　　ｔｂ）又は（ｔｅ　　ｔａ）の露光量との比に応
じて増幅器２０の利得が定められ、この比が前述のよう
に１：１なら利得は２、比が１：ｎなら増幅器２０の利
得は（１＋ｎ）である。従って実際には、前記開放動作
時間と閉成動作時間の比やシャッタ立上りの傾き（シャ
ッタ開放動作速度）と降下の傾き（シャッタ閉成動作速
度）との比など、個々のシャッタの機構上の特性に応じ
て増幅器２０の利得を定めればよく、これはシステムに
個有の定数として定まるものである。

さて、フリップフロップ１０２の出力がｒ　ＨＪ　Ｋな
ると、アンドゲート１０３はゲートを開き、発振器１０
４の出力パルスがバッファアンプ１０５ヲ介し駆動信号
Ｓ３として出力され、これによりパルスモータ４がその
パルスに対応して回転する。同時にカウンタ２４はシャ
ッタ３の開放動作開始時点からの露光量全計数し、カウ
ンタ１０６も発振器出力パルスの計数を開始する。その
後、時間ｔａでシャッタ６が開放完了となり、比較器１
０８が一致パルスを出力し、フリップフロップ１０２の
出力がｒＬＪに反転すると共に切替信号Ｓ４もｒＬＪに
なる。従って時点１ａ以降はスイッチ２１が接点Ｂ側に
切替られた状態となる。

このようにしてカウンタ２４は、時間ｔ。からｔａまで
の間に、増幅器２０で高ゲインにされた状態で、つまり
シャッタ閉成動作時間内での超過露光量を予じめ重畳し
た形で露光量の計数にしてしまい、そして時点ｔａ以降
は増幅器２０ヲ通さずに露光量の計数を続ける。設定器
２６の適正露光量設定値とその計数値とが一致する時点
ｔｂで比較器２５の出力すなわちシャッタ閉成信号Ｓ１
がｒ　ＨＪとなシ、これによって７リツプフロツプ１０
０がリセットされて出力がｒＬＪとなる。またフリップ
フロップ１０２はこのｒＨＪレベルの閉成信号Ｓｌによ
って再び反転してその出力ｅｒＨＪとし、従って前述と
同様Ｋしてパルスモータ４を駆動してシャッタ３をさら
に１／４回転させる。このときは、フリップフロップ１
００の出力がｒＬＪとなっているからアンドゲート１０
９の出力すなわち切替信号Ｓ４はｒＬＪのままである。

第７図は以上に述べた第５図と第６図の実施例による露
光制御特性図で、特性ＸとＸ′は光源の光強度が高い場
合、ＹとＹ′は光強度が低下した場合でおる。また特性
ＸとＹはカウンタ２４によって測定される露光量変化を
示し、特性Ｘ′とＹ′はガラス基板７（レティクルやマ
スク）に実際に到達する露光量変化を示している。第７
図で横軸はシャッタ開放動作開始時点ｔ。からの時間経
過を、縦軸は露光量を示し、Ｅｓは適正露光量である。

第７図に明らかなように、時点ｔ。から開放完了時点ｔ
ａまでの間は、前述の如く超過露光量の重畳測定のため
の高ゲイン化により、特性ＸとＸ′或いはＹとＹ′で傾
きが異なっている。第７図において特性ＸとＸ′に関し
て超過露光量に相当する分は（Ｅｓ　　’　Ｅｓｇ）で
あり、この（Ｅｓ−Ｅ８３）とｔａ時点での嵩上げ分（
Ｅ３２Ｅｓ１）とが等しくなるように増幅器２０の利得
が定められているわけである。勿論特性ＹとＹ′に関し
ても同じである。

このように時点ｔ。からｔａまでの間に、予じめ超過露
光量に相当する分を嵩上げして測光してしまうので、シ
ャッタ６が開放完了後は、設定した適正露光量との単純
な比較だけで正確な露出制御が達成され、回路構成の複
雑化を避けることができる。

また第７図において特性ＸまたはＹが適正露出量Ｅ８に
達したのち、カウンタ２４はシャッタの閉成動作中の露
光量を計数して出力を増加するが、この閉成動作の開始
時点ｔｂ又はｔｄ以降のカウンタ２４の計数値は露出制
御に関しては意味をもたない。

そこで第６図の回路においてフリップフロップ１０２の
出力を直接切替信号Ｓ４として取出し、フリップフロッ
プ１００とアンドゲート１０９とを省いた形に変形して
もよい。このようにするとシャッタ３の開放動作時間中
（ｔｏからｔａｆで）と閉成動作時間中（ｔｂからｔｃ
まで、またはｔ（１からｔ８マで）との双方でスイッチ
２１が接点Ａ側に切替えられて測光感度が高まるが、閉
成動作時間中の測光感度の上昇は前述の如く露出制御に
何等影響を与えることはなく、フリップフロップ１００
とアンドゲート１０９が省略できるという回路構成の簡
略化の利点を享受できることになる。

第８図は本発明のもうひとつの実施例を示すもので、第
５図と同一符号のものは同効のものを示す。この実施例
では露光量の測定をアナログ方式で行なうようにしてあ
り、スイッチ２１の出力をアンプ３０とコンデンサ３１
による積分回路に入力している。この積分回路のアンプ
３０からの出力は、いわゆる光量積分値である。この積
分値はアナログコンパレータ３２によって適正露光値に
対応した設定電圧ｖｒと比較され、両者が一致したとき
にコンパレータ３２から前述と同様のシャッタ閉成信号
Ｓ！全出力させるようにしである。その他については第
５図の場合と同様であるのでこれ以上の説明は省略する
。

このように露光量の測定をアナログ方式で行なうことに
より、デジタル方式の場合に比べて回路構成Ｋｌめて小
さくコンパクトにすることができる。

第９図は第８図の実施例に対する変形を示す部分回路図
で、増幅器２０ヲ用いてゲインを変える代シに、増幅器
１１の直後に抵抗Ｒ１とＲ２全接続してこれら抵抗のい
ずれか全スイッチ２１で切替えて積分回路に接続するよ
うにしである。これら２つの抵抗の抵抗値はＲ１＞Ｒ２
に定められており、スイッチ２１がＡ接点側にあるとき
の抵抗Ｒ２とコンデンサ６１とで定まる時定数が、スイ
ッチ２１がＢ接点側にあるときの抵抗Ｒ１とコンデンサ
６１とで定まる時定数よりも小さくなシその結集積分の
感度が高くなるようＫされている。前述したようにシャ
ッタ３の開放動作時の立上り特性と閉成動作時の降下特
性とが等しい場合、すなわち（ｔａ　　ｔｏ）時間での
露光量と（ｔｃｔｂ）又は（ｔ（、−ｔｄ善間での露光
量とが等しい場合は、Ｒ１／Ｒ２＝２になるように定め
られていることはもはや詳述するまでも彦い。

このようにアナログ方式の場合に積分回路の時定数を切
替えるようにすることによって増幅器２゜が省略でき、
回路はさらに小規模のものですむようになる。

尚、以上に述べた各実施例では、シャッタ３の駆動用の
パルスモータ４は等速度で回転するものとしており、こ
のため、シャッタ３の開放動作時と閉成動作時の露光強
度特性の立上りと降下は第１０図（ａ）に示すように直
線的である。ところでパルスモータ４を、高い周波数の
パルス信号で急に回転させようとしても正常な始動は果
されず、いわゆる脱調を起すなど、応答性の問題が懸念
されるが、これはパルスモータ４の駆動音例えばマイク
ロコンピュータ等によって可変速制御して、第１０図（
ｂ）に示すようにシャッタ開放開始時のｔ。時点からｔ
ａ時ａｔで立上シを滑らかにしくスローアップ）、また
シャッタ閉成開始時のｔｂ時点からｔｃ時点まで降下全
溝らかにする（スローダウン）ことで解決できる。この
場合、（ｔａ　　ｔｏ）＝（ｔｃ　　ｊｂ　）であって
も、開放動作中の露光量（ｔｏからｔａまでの間の斜線
部面Ｍ）と、閉成動作中の露光量（ｔｂからｔｃまでの
間の斜線部面積）との比が１：１ではなくなってしまう
が、その比’ｚｌ：ｎとすると、この比自体は前述の如
くシステム定数として固有の一定値となるから、例えば
前述第５図又は第８図の実施例では増幅器２０の利得ｋ
　（１＋ｎ　）に設定しておけばよく、また前述第９図
の例では抵抗Ｒ＋とＲ２の比”／＆　ｋ　（１＋　ｎ　
）に設定しておけばよく、さらには（ｔａ−ｔ。）＼（
ｔｃｔｂ）であっても同様にその比（ｔＢ　　ｔＯ）／
　（ｔｃ−ｔｂ）がシャッタ３の駆動時に常に一定値で
あるなら増幅器２０の利得や抵抗Ｒ１とＲ２の比によっ
て補正が可能である。

また本発明においてシャッタ駆動用のモータは実施例に
挙げたパルスモータに限るものではなく、例えば直流モ
ータ全周いるように変形してもよい。

この場合、駆動制御回路２７では発振器１０４の代りに
直流電源を設け、カウンタ１０６とレジスタ１０７およ
び比較器１０８の代シにシャツタ開閉状態を検出するフ
ォトカブラ等の出力信号を用いればよい。

さらに本発明は露光装置であれば投影式に限らず利用し
得るものである。

本発明は叙上のようであり、シャッタの開放動作中すな
わち開放開始時点から開放完了までの間に、シャッタの
閉成動作中すなわち閉成開始時点から閉成完了までの間
の超過露光量相当分を予じめ嵩上げして重畳測定するの
で、シャッタの開放完了直後に適正露光値に達した場合
でも直ちにシャッタ閉成動作が開始されるなど、極めて
正確な露光制御が可能であり、また例えばシャッタの開
放完了直前に適正露光値を越えるような場合であっても
、シャッタは開放完了状態で停止することなくそのまま
直ちに閉成動作に移行することができるようになり、シ
ャッタがその駆動系を含む機構自体の特性で定まる最高
速まで制御され得るという利点も得られるものである。

【図面の簡単な説明】

第１図は、露光装置の概略構成を示す斜視図、第２図は
、光源による露光強度の特性を示す線図、第３図は、従
来の露光制御装置の回路ブロック図、第４図は、従来の
露光制御特性を示す線図、第５図は、本発明の一実施例
に係る露光制御装置の回路ブロック図、第６図は、その
一部の駆動制御回路の得成例金示す回路ブロック図、第
７図は、本発明による露光制御特性を示す線図、第８図
は、本発明のもうひとつの実施例を示す回路ブロック図
、第９図は前回の例の変形例を示す要部の回路ブロック
図、第１０図（ａ）　（ｂ）は等速駆動の場合と可変速
駆動の場合のシャツタ開閉動作による露光強度特性を示
す線図である。 ３：シャッタ、４：パルスモータ、６：光電検出器、１
１．２０・・・増幅器、２１：スイッチ、２６：電圧・
周波数コンバータ、２４：カウンタ、２５：比較器、２
６：露光量設定器、２７：駆動制御回路、３０：アンプ
、３１：コンデンサ、３２：アナログコンパレータ、Ｒ
１，Ｒ２：抵抗、１００　、１０２　：フリツプフロツ
プ、釦１ニオアゲ−）　、１０３．１０９　：アンドゲ
ート、１０４：発振器、１０５：バッファアンプ、１０
６：カウンタ、１０７：レジスタ、１０８：比較器。 代理人　弁理士　　木　村　三　朗 ２７謹 オ８図 オ９図 １ 才ｌＯ図 ３４３−

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 （リ　光源から被露光物への光の通過と遮断のために開
   閉するシャッタと、前記シャッタを通過した光の強度を
   検出する光電検出器と、この光電検出器の出力信号に基
   づいて前記シャッタの開放動作開始時点から被露光物へ
   の露光量全測定する測光回路と、この測定された露光量
   が予じめ設定された値に彦ったとき前記シャッタの閉成
   動作を開始する駆動手段と、前記シャッタの開放動作開
   始時点から開放完了までの間の前記測光回路による露光
   量測定値が前記シャッタの閉成動作開始時点から閉成完
   了までの間の超過露光量を重畳した値に相当するものと
   なるように前記シャッタの開放動作開始時点から開放完
   了までの間にわたり前記測光回路の測光感度を制御する
   制御手段とを備えたことを特徴とする露光制御装置。 （２）前記測光回路は、前記光電検出器の出力信号を増
   幅する増幅回路を備え、前記シャッタの開放動作開始時
   点から開放完了１での間にわたり前記制御手段によって
   前記増幅回路の増幅率が変更されるようになされている
   ことを特徴とする特許請求の範囲第１項に記載の露光制
   御装置。 （３）前記測光回路は、前記光電検出器の出力信号を増
   幅する増幅回路と、この増幅回路で増幅された信号を積
   分して露光量を測定する積分回路とを有し、前記シャッ
   タの開放動作開始時点から開放完了までの間にわたり前
   記制御手段によって前記積分回路の時定数が変更される
   ようになされていることを特徴とする特許請求の範囲第
   １項に記載の露光制御装置。