JPS5950180A - 機械的マスクを用いたエツチング法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は例えばアルミ蒸着あるいはアルミクラッド複合
金）１〈条からアルミ不要部を除去する場合に適用して
イコ利な機械的マスクエツチング法に関するものである
。

ｒｔ来、トラノ／スタや集積回路（ＩＣ）あるいは７ｆ
、；、、６を的、ｌｌ：ｉ、１子の製造には、ベース金
属条の一部に異種金（（をクラットあるいは蒸着等によ
り被覆した複合金属条が用いられる。異１止金属として
は、主に金、銀、銅、アルミ等の金属が用いら−Ｉする
が、これらは貴金属高１珠の折から金、銀から銅、アル
ミ等へと安いものに変わる傾向にあり、その被イａ部位
も機能部あるいは必要部に限る傾向にある。

このことから、この種複合金属条としてベース金属条に
異種金属をストライプあるいは２ボット状に被層したも
のが多く用いられ、しかもこの場合被護された異種金属
の寸、失精度について厚さを含めてきわめてシビアな値
が要求される状況にある。

しかるに、ベース金属条に異種金属を高精度にスポット
状に被覆することは、メッキの場合はともかく、クラッ
トあるいは蒸着雪の場合は困ψ１１であり、したがって
クラットあるいは蒸着等の場合はベース金属条に異種金
属を全面被覆した後、印刷、エツチング法により、異種
金属の不要部を除去することが行なわれる。

印刷、エツチング法では、印刷及びエツチング工程と共
に印刷塗料の焼付さらに剥離工程が心安であり、工程が
複雑となると共に、印刷に使用される塗わＩにもＪ、る
がマスクが不完全であり、しがし印刷境界か不鮮明であ
ることがらＭ！、！種金属の寸法粘度をシビアに二Ｊン
トロールすることは一般に回動である。

このことから、出願人は先に特開ｎｆ、＋　５７−９９
７　Ｃ３３￥′ｉ公報に見られるように、アルミ蒸着あ
るいはアルミクラッド複合金属条（二ついＣ同公報第４
図のような（幾械的マスクエツチング法ににリアルミ不
要部を除去することを提案した。この機械的マスクエツ
チング法は、印刷を省略できる右利イｒ方法であるが、
この場合アルミ必要部に当接されるマスク体にＪ、って
はエツチングの際アルミ必要部の断面−ｂｔ、＜は側面
に侵食し、その形状及Ｏ−＼１法７八度を悪くする問題
がある。

本発明の目的（、Ｌ、上記問題を解消し、エツチングの
際複合金属条に設（Ｊられた被覆金属層の必要部の断面
もしくは側面を侵食さけることなくその形状及び刈ｄ、
精１哀を上【ｙることができる機械的マスク−■−ツブ
ング法を提供りることにある。

すなわら、本発明の要旨は、７＼−ス金属条の一部もし
くは全面に被覆金属層を設（ノ（なる複合３属条の前記
被覆全屈ｈηの不要部をエツチング液により除去Ｊる方
法において、エツチングの際前記被覆金属層の必要部を
耐薬品性の軟質５’ｌｌ　ｔノ１１木からなるマスク体
をもって抑圧被覆し、このどきマスク体の一部を露出し
た被覆金属層の必要部の断面もしくは側面に食い込ませ
ることを特徴と刀る機械的マスキング法にある。

本発明におい（、耐薬品性の軟質弾性体どしこは、例え
ばシリコーンゴム、デフ【コン、ポリエチレン、・欺Ｍ
塩化ビニル等が使用される。これら１．１一種ししくけ
数種相み合Ｕて使用りることが（・きる。

以下、本発明を図面に示づ実施例にしたかつ（−ざらに
説明Ｊる。

第１図は、ｌ二ｅ−／１２％Ｎ１合金からなるｌ＼−ス
金屈条１の片側仝而にアルミをクララ１−りることによ
り被覆金属層２を９々りでなる複合金ＢＥ条３の１む１
面を承り−ものである。

第２図は、この複合金属条３３を・用いて、その被覆金
属層の不要部４を機械的マスクエツヂフグ法ににり除入
りる状況を示ず。５は機械的マスクエツチング装置にし
で、中空室６、二［ツヂング液導入ロア、エツチング液
＋１ｊｌ出 なる。中空室６は、エツチング液導入に１７から矢印に
治つＣ送られてきたエツチング液１０を満たし、この二
１ツヂンダ液１０は噴出口８を経て被覆金属層の不要部
４に衝突し、不要部４をエツチングする。このどさ、マ
スク体９はシリコーンゴム９′及びデフロン９７′を組
み合わせた耐薬品性の軟質弾性体から４ｆす、第３図の
ようにエツチングの進１ｊどともに露出される被覆金属
層の必要部１１の…１而１２に食い込むように押圧され
る。このＪζうにづることによー）Ｃ１■ツヂング液１
０による必要部′１１の断面１２の侵食は防止され、こ
の結果第４図のにうに被覆金属層の必要部１１のみを勺
ｄ．粕ＩαＪ、ろしく十分に残存さ１１高品賀の部分被
覆複合金属条１３を得ることができた。

因みに、従来の機械的マスク丁ツヂング法では、マスク
体か剛体−Ｃ℃さ一Ｃいることから、第５図のＪこうに
被覆金属層の必要部のＷ１面がＩ　ｔ　′）ング液にＪ
、り侵食され、所望の形状及び＼Ｊ７）、積電を確保り
ることができない。

以上説明したにうに、本発明によれ（３丁．、／スク体
としＵ　ＦＪ４桑品性の軟質弾性体を用い、これをノリ
みに押圧づることから、エツチングの際複合金属条に設
置）られた被覆金属層の必要部の断面ｂｂ＜は側面をエ
ツチング液により侵食ざμること４１＜、したがっＣ］
−ツブレグ後の製品の形状及び寸法精度を茗しく向上ざ
け、製品１ｌＩｌｉ１１１Ｊを高めることができる効果
がある。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例にかかる複合金属条の断面図
、第２図は同機械的マスク」−ツチング法の実／７１状
況を承り断面図、第３図（Ｊ第２図の要部拡大断面図、
ａ′５４図は同エツチング後の製品の断面図、Ｎｉ　５
図は従来例にかかる−［ツヂング後の製品の断Ｗｊ図を
示す。 １：ペース金属条、２：被覆金属層、 ３：複合金属条、４：被覆金属層の手裏ｙＸ１１、５、
（浅域的マスクエツチング装置、 ９：−ンスク体、９−：シリコーンゴム、９／／：デフ
［１ン、１１．被覆金属層の必要部、１２：断面。 大３図 第５霞　　　　　　　　オ仔図

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １　ベース金属条の一部もしくは全面に被覆金属層を設
   けてなる複合金属条の前記被覆金属層の不要部をエツチ
   ング液により除去する方法において、エツチングの際前
   記被覆金属層の必要部を１１１Ｉ薬品性の軟質弾性１本
   からなるマスク体をもって抑圧被覆し、このときマスク
   体の一部を露出した被覆金属層の必要部の断面もしくは
   １す１］面に食い込丑せることを特徴とする機樟的マス
   クエノチンダ法。