JPS6235822B2 - - Google Patents
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- JPS6235822B2 JPS6235822B2 JP5250779A JP5250779A JPS6235822B2 JP S6235822 B2 JPS6235822 B2 JP S6235822B2 JP 5250779 A JP5250779 A JP 5250779A JP 5250779 A JP5250779 A JP 5250779A JP S6235822 B2 JPS6235822 B2 JP S6235822B2
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- Expired
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- 230000003014 reinforcing effect Effects 0.000 claims description 17
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims description 12
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 12
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 12
- 238000002347 injection Methods 0.000 claims description 4
- 239000007924 injection Substances 0.000 claims description 4
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 21
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 12
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 11
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 description 10
- 238000005260 corrosion Methods 0.000 description 6
- 230000007797 corrosion Effects 0.000 description 6
- 238000007747 plating Methods 0.000 description 6
- 229910000881 Cu alloy Inorganic materials 0.000 description 4
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 4
- KWYUFKZDYYNOTN-UHFFFAOYSA-M Potassium hydroxide Chemical compound [OH-].[K+] KWYUFKZDYYNOTN-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 3
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 3
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 3
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 2
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- ROOXNKNUYICQNP-UHFFFAOYSA-N ammonium persulfate Chemical compound [NH4+].[NH4+].[O-]S(=O)(=O)OOS([O-])(=O)=O ROOXNKNUYICQNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 2
- VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N Chromium Chemical compound [Cr] VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000005299 abrasion Methods 0.000 description 1
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 1
- 229910001870 ammonium persulfate Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 238000001465 metallisation Methods 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 150000002815 nickel Chemical class 0.000 description 1
- 235000011118 potassium hydroxide Nutrition 0.000 description 1
- 230000002787 reinforcement Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Nozzles (AREA)
- Laminated Bodies (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、改良された液体噴射用ノズル板に関
するものである。
するものである。
この種のノズル板、例えばインク噴射ヘツドの
ノズル板においては、ノズルの穿孔状態や耐食
性、耐摩耗性が印写品質に与える影響が極めて大
きいため、過去、種々の材料や方法を用いてこの
ノズル板の開発が行なわれてきたが、そのいずれ
も、それぞれ欠点を有していた。例えば、メツキ
基板上にノズルの内径にほぼ等しい外形を有する
ホトレジスト体を形成し、このメツキ基板上にニ
ツケルまたはクローム等の耐食性、耐摩耗性の金
属をメツキ等の手段により析出させ、次に、この
金属のホトレジスト体の対面部に、インクがノズ
ル部に到達するまでの導入部となる開口部をエツ
チングで形成した後、メツキ基板とホトレジスト
体を除去して得られるノズル板では、全体がメツ
キ等によつて析出した金属のみによつて形成され
ているから、十分な厚さが得られず、機械的強度
に難点があり、また、エツチングで開口部を形成
する際、このノズル部の長さを一定に保つことが
困難で、製造の再現性に乏しく、孔の大きさが均
一なノズルを得られないという欠点があつた。ま
た、他の例として、比較的軟かい、伸延性を有す
る銅合金と、表面に硬質酸化皮膜を形成すること
ができるアルミニウムとのクラツド材を用い、過
硫酸アンモニウムで銅合金をエツチングして開口
部を形成し、一方、苛性カリでアルミニウムをエ
ツチングしてノズル部を形成したノズル板が知ら
れているが、このノズル板では、ノズル部をエツ
チングで加工しているため、孔の直角性や孔径の
均一性などにおいて、希望する精度が得られない
という欠点があつた。
ノズル板においては、ノズルの穿孔状態や耐食
性、耐摩耗性が印写品質に与える影響が極めて大
きいため、過去、種々の材料や方法を用いてこの
ノズル板の開発が行なわれてきたが、そのいずれ
も、それぞれ欠点を有していた。例えば、メツキ
基板上にノズルの内径にほぼ等しい外形を有する
ホトレジスト体を形成し、このメツキ基板上にニ
ツケルまたはクローム等の耐食性、耐摩耗性の金
属をメツキ等の手段により析出させ、次に、この
金属のホトレジスト体の対面部に、インクがノズ
ル部に到達するまでの導入部となる開口部をエツ
チングで形成した後、メツキ基板とホトレジスト
体を除去して得られるノズル板では、全体がメツ
キ等によつて析出した金属のみによつて形成され
ているから、十分な厚さが得られず、機械的強度
に難点があり、また、エツチングで開口部を形成
する際、このノズル部の長さを一定に保つことが
困難で、製造の再現性に乏しく、孔の大きさが均
一なノズルを得られないという欠点があつた。ま
た、他の例として、比較的軟かい、伸延性を有す
る銅合金と、表面に硬質酸化皮膜を形成すること
ができるアルミニウムとのクラツド材を用い、過
硫酸アンモニウムで銅合金をエツチングして開口
部を形成し、一方、苛性カリでアルミニウムをエ
ツチングしてノズル部を形成したノズル板が知ら
れているが、このノズル板では、ノズル部をエツ
チングで加工しているため、孔の直角性や孔径の
均一性などにおいて、希望する精度が得られない
という欠点があつた。
本発明は、上記従来例の欠点を解消するため
に、補強板の一方の面に金属層を析出させてノズ
ル部を設け、補強板の一部をエツチングして開口
部を設け、さらに補強板とノズル部の表面に耐食
性、耐摩耗性金属層を被覆することにより、必要
な機械的強度を有し、再現性のある、均一で精度
の高い液体噴射用ノズル板を提供するものであ
る。以下、図面により実施例を詳細に説明する。
に、補強板の一方の面に金属層を析出させてノズ
ル部を設け、補強板の一部をエツチングして開口
部を設け、さらに補強板とノズル部の表面に耐食
性、耐摩耗性金属層を被覆することにより、必要
な機械的強度を有し、再現性のある、均一で精度
の高い液体噴射用ノズル板を提供するものであ
る。以下、図面により実施例を詳細に説明する。
第１図は、本発明の１実施例の製造工程を示し
たもので、１は比較的エツチングしやすい銅合金
から成る0.2〜0.3mmの補強板であり、この補強板
１の一方の面に、ノズル部の内径（30μｍ）とほ
ぼ等しい外形を有するホトレジスト体２を希望す
るノズル部の長さよりやや厚く、例えば30μｍの
厚さに形成し、他面は全面に同じホトレジスト膜
２′を形成するか、または他の被膜を形成する。
次に、補強板１の露出している部分に、銅合金に
比較してエツチング速度の遅い、例えばニツケル
層３をメツキにより形成する。このニツケル層３
の厚さは、希望するノズル部の長さにほぼ等し
く、ホトレジスト体２の厚さよりやや薄くする。
そして、他面のホトレジスト膜２′を除去する。
次に、析出したニツケル層３の表面と、他面の開
口部となる部分を除いた全面にエツチレジスト４
を塗布した後、補強板１をエツチングして開口部
５を形成する。この場合、エツチング液として、
ニツケルに対して殆んどエツチング作用のない
CrO3のようなエツチング液を使用するのでニツ
ケル層３の厚さを減ずることなく、開口部５を形
成することができる。そして、エツチレジスト４
およびホトレジスト２を除去することによりノズ
ル部６が形成され、さらに、このノズル部６およ
び補強板１の表面に、耐食性、耐摩耗性金属、例
えばニツケル層７を、メツキ等の方法により析出
させる。
たもので、１は比較的エツチングしやすい銅合金
から成る0.2〜0.3mmの補強板であり、この補強板
１の一方の面に、ノズル部の内径（30μｍ）とほ
ぼ等しい外形を有するホトレジスト体２を希望す
るノズル部の長さよりやや厚く、例えば30μｍの
厚さに形成し、他面は全面に同じホトレジスト膜
２′を形成するか、または他の被膜を形成する。
次に、補強板１の露出している部分に、銅合金に
比較してエツチング速度の遅い、例えばニツケル
層３をメツキにより形成する。このニツケル層３
の厚さは、希望するノズル部の長さにほぼ等し
く、ホトレジスト体２の厚さよりやや薄くする。
そして、他面のホトレジスト膜２′を除去する。
次に、析出したニツケル層３の表面と、他面の開
口部となる部分を除いた全面にエツチレジスト４
を塗布した後、補強板１をエツチングして開口部
５を形成する。この場合、エツチング液として、
ニツケルに対して殆んどエツチング作用のない
CrO3のようなエツチング液を使用するのでニツ
ケル層３の厚さを減ずることなく、開口部５を形
成することができる。そして、エツチレジスト４
およびホトレジスト２を除去することによりノズ
ル部６が形成され、さらに、このノズル部６およ
び補強板１の表面に、耐食性、耐摩耗性金属、例
えばニツケル層７を、メツキ等の方法により析出
させる。
以上のように構成された本実施例では、ノズル
部６は、ホトレジストを使用したメツキによる金
属析出によつて高精度に形成され、また、開口部
５をエツチングによつて形成しても、銅合金とニ
ツケルとのエツチング速度の違いを利用している
ので、ニツケル層３の厚さを減ずることがなく、
ノズル部６の長さを一定に保つことができるの
で、均一で精度の高いノズルを得ることができ
る。さらに、ノズル部６を形成するニツケル層３
と補強板１とが一体に構成されており、またこの
補強板１とノズル部６の表面を耐食性、耐摩耗性
のニツケル層７で被覆しているので、十分な機械
的強度と耐久性を有するという効果がある。
部６は、ホトレジストを使用したメツキによる金
属析出によつて高精度に形成され、また、開口部
５をエツチングによつて形成しても、銅合金とニ
ツケルとのエツチング速度の違いを利用している
ので、ニツケル層３の厚さを減ずることがなく、
ノズル部６の長さを一定に保つことができるの
で、均一で精度の高いノズルを得ることができ
る。さらに、ノズル部６を形成するニツケル層３
と補強板１とが一体に構成されており、またこの
補強板１とノズル部６の表面を耐食性、耐摩耗性
のニツケル層７で被覆しているので、十分な機械
的強度と耐久性を有するという効果がある。
このようにして得た液体噴射用ノズル板８は、
第２図に示したように、液体噴射ヘツド１０の液
室９の先端に固着し、使用時は液室９内に液が充
填され、図示しない加圧手段により液圧がかけら
れ、ノズル部６より液が噴射する。
第２図に示したように、液体噴射ヘツド１０の液
室９の先端に固着し、使用時は液室９内に液が充
填され、図示しない加圧手段により液圧がかけら
れ、ノズル部６より液が噴射する。
以上説明したように、本発明によれば、補強板
の一方の面に金属層を析出させてノズル部を設
け、前記補強板の一部をエツチングして前記ノズ
ル部に連通する開口部を設け、さらに補強板とノ
ズル部の表面に耐食性、耐摩耗性の金属層を被覆
することにより、十分な機械的強度と耐久性を有
する均一で高精度の液体噴射用ノズル板を提供す
ることができる利点がある。
の一方の面に金属層を析出させてノズル部を設
け、前記補強板の一部をエツチングして前記ノズ
ル部に連通する開口部を設け、さらに補強板とノ
ズル部の表面に耐食性、耐摩耗性の金属層を被覆
することにより、十分な機械的強度と耐久性を有
する均一で高精度の液体噴射用ノズル板を提供す
ることができる利点がある。
第１図は、本発明の１実施例の製造工程を説明
するための断面図であり、第２図は、本発明によ
るノズル板を結合した液体噴射ヘツドの一部断面
図である。 １……補強板、３……金属層、５……開口部、
６……ノズル部、７……耐摩耗性金属層。
するための断面図であり、第２図は、本発明によ
るノズル板を結合した液体噴射ヘツドの一部断面
図である。 １……補強板、３……金属層、５……開口部、
６……ノズル部、７……耐摩耗性金属層。
Claims (1)
- １ 補強板と、この補強板の一方の面にノズルを
あけて積層した金属層と、前記ノズルに対向して
前記補強板に設けた開口部とからなり、前記ノズ
ルと前記開口部および前記補強板の他方の面に耐
摩耗性金属を被覆したことを特徴とする液体噴射
用ノズル板。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5250779A JPS55145558A (en) | 1979-05-01 | 1979-05-01 | Nozzle plate for liquid injection |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5250779A JPS55145558A (en) | 1979-05-01 | 1979-05-01 | Nozzle plate for liquid injection |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS55145558A JPS55145558A (en) | 1980-11-13 |
| JPS6235822B2 true JPS6235822B2 (ja) | 1987-08-04 |
Family
ID=12916637
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5250779A Granted JPS55145558A (en) | 1979-05-01 | 1979-05-01 | Nozzle plate for liquid injection |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS55145558A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02223438A (ja) * | 1989-02-27 | 1990-09-05 | Yoshida Kogyo Kk <Ykk> | 表裏面加飾成形品及びその成形品の製造方法並びに加飾用シート |
| JPH0388733U (ja) * | 1989-12-27 | 1991-09-10 |
-
1979
- 1979-05-01 JP JP5250779A patent/JPS55145558A/ja active Granted
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02223438A (ja) * | 1989-02-27 | 1990-09-05 | Yoshida Kogyo Kk <Ykk> | 表裏面加飾成形品及びその成形品の製造方法並びに加飾用シート |
| JPH0388733U (ja) * | 1989-12-27 | 1991-09-10 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS55145558A (en) | 1980-11-13 |
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