JPS5946091B2 - 電子線露光装置 - Google Patents
電子線露光装置Info
- Publication number
- JPS5946091B2 JPS5946091B2 JP52015769A JP1576977A JPS5946091B2 JP S5946091 B2 JPS5946091 B2 JP S5946091B2 JP 52015769 A JP52015769 A JP 52015769A JP 1576977 A JP1576977 A JP 1576977A JP S5946091 B2 JPS5946091 B2 JP S5946091B2
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- JP
- Japan
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- electron beam
- signal
- sent
- register
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- Projection-Type Copiers In General (AREA)
- Electron Beam Exposure (AREA)
- Printers Or Recording Devices Using Electromagnetic And Radiation Means (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は電子線露光装置に関し、特に基準の直交軸に対
し傾きを持たせて電子線を走査する場合２でもムラなく
露光することのできる上記装置に関する。
し傾きを持たせて電子線を走査する場合２でもムラなく
露光することのできる上記装置に関する。
電子線露光装置は細く集束された電子線を露光材料上に
照射すると共にその照射位置を電子線偏向手段によつて
変化させることにより上記材料上３に図形を描く。
照射すると共にその照射位置を電子線偏向手段によつて
変化させることにより上記材料上３に図形を描く。
斯かる装置において第１図に示す如く露光材料上に仮想
された基準となるＸ軸あるいはＹ軸に対してある角度傾
いた辺を持つ図形Ａを露光しようとする場合、例えば第
２図に示す様にＸ方向あるいはＹ方向の偏向信号の一方
を他方３に重畳させることが行われている。即ち第２図
においてＸ偏向器１及びＹ偏向器２には夫々増巾器３、
４を介して第３図ａ、ｂで示される様な偏向信号Ｄｘ、
ＤＹが供給されるが、上記増巾器３の出力はＸ偏向器１
へ送られると共に可変減衰回路５を介して増巾器４の入
力端子へも送られる。そのためＹ偏向器２へ送られる偏
向信号ＤＹ’は第３図Ｃに示される様に偏向信号Ｄｘ、
ＤＹを合成した信号となる。従つて露光材料６に投射さ
れる電子線Ｔは第１図に矢印で示される様にＸ、Ｙ軸に
対して傾いた方向を持つて一定間隔をおいて繰返し走査
され、図形Ａが露光されることとなる。又減衰回路５の
減衰率を変化させることにより傾きを可変することがで
きる。ところが上記の様な従来装置では第１図において
をで示される様にＸ軸に平行な直線を露光するのに要す
る時間もＸ軸に対して傾いた直線Ｌを露光するのに要す
る時間も等しい。
された基準となるＸ軸あるいはＹ軸に対してある角度傾
いた辺を持つ図形Ａを露光しようとする場合、例えば第
２図に示す様にＸ方向あるいはＹ方向の偏向信号の一方
を他方３に重畳させることが行われている。即ち第２図
においてＸ偏向器１及びＹ偏向器２には夫々増巾器３、
４を介して第３図ａ、ｂで示される様な偏向信号Ｄｘ、
ＤＹが供給されるが、上記増巾器３の出力はＸ偏向器１
へ送られると共に可変減衰回路５を介して増巾器４の入
力端子へも送られる。そのためＹ偏向器２へ送られる偏
向信号ＤＹ’は第３図Ｃに示される様に偏向信号Ｄｘ、
ＤＹを合成した信号となる。従つて露光材料６に投射さ
れる電子線Ｔは第１図に矢印で示される様にＸ、Ｙ軸に
対して傾いた方向を持つて一定間隔をおいて繰返し走査
され、図形Ａが露光されることとなる。又減衰回路５の
減衰率を変化させることにより傾きを可変することがで
きる。ところが上記の様な従来装置では第１図において
をで示される様にＸ軸に平行な直線を露光するのに要す
る時間もＸ軸に対して傾いた直線Ｌを露光するのに要す
る時間も等しい。
従つて直線Ｌを露光する際の電子線の移動速度υの方が
直線Ｌを露光する際の移動速度υ′よりも大きくなつて
しまい、例えば直線ＬがＸ軸に対して４５０傾いた場合
υはυｂ約１．４倍にもなつてしまう。この様に電子線
の移動速度が軸に対する傾きによつて大きく変化すると
露光材料への単位面積あたわの電子線照射量が大きく変
化してしまい、図形によつては十分に露光されないもの
が発生し露光ムラとなつてしまう。本発明は上述した点
に鑑みてなされたものであわ、電子線の走査速度を常に
一定に保つことによυムラのない適正な露光を行い得る
様にした電子線露光装置を提供することを目的とする。
直線Ｌを露光する際の移動速度υ′よりも大きくなつて
しまい、例えば直線ＬがＸ軸に対して４５０傾いた場合
υはυｂ約１．４倍にもなつてしまう。この様に電子線
の移動速度が軸に対する傾きによつて大きく変化すると
露光材料への単位面積あたわの電子線照射量が大きく変
化してしまい、図形によつては十分に露光されないもの
が発生し露光ムラとなつてしまう。本発明は上述した点
に鑑みてなされたものであわ、電子線の走査速度を常に
一定に保つことによυムラのない適正な露光を行い得る
様にした電子線露光装置を提供することを目的とする。
以下図面を用いて本発明を詳説する。第４図は本発明の
一実施例を示す構成図であり、同図において１１は図示
しない発生源より発生され露光材料１２上に照射される
電子線である。
一実施例を示す構成図であり、同図において１１は図示
しない発生源より発生され露光材料１２上に照射される
電子線である。
該電子線１１の通路上にはＸ偏向器１３及びＹ偏向器１
４が配置され、該偏向器１３、１４には夫々増巾器１５
、１６によつて増巾された偏向信号が供給される。上記
増巾器１５は２つの入力端子を持ち、一方の入力端子に
はＸＯレジスタ１７に保持されている露光開始位置指定
信号がＤ−Ａ変換器１８を介して送られる。該露光開始
位置指定信号は予め露光すべき図形に関するデータが収
められた記憶装置及びデジタルコンピユータ等より構成
される制御装置１９から送られる。又前記増巾器１５の
他方の入力端子にはＸカウンタ２０からの出力信号がＤ
−Ａ変換器２１を介して送られる。該Ｘカウンタ２０は
電圧制御発振器２２より発生したクロツクパルスによつ
て歩進される。該Ｘカウンタ２０のカウント値はレジス
タ２５に保持されているＸ方向長さ指定信号と一致検出
回路２４に卦いて常に比較され、両者が一致した時一致
検出回路２４は一致信号を発し上記Ｘカウンタ２０をり
セツトすると共に、該一致信号をＹカウンタ２６に送り
該Ｙカウンタ２６を歩進させる。該Ｙカウンタ２６から
の出力信号はＤ−Ａ変換器２７を介して前記増巾器１６
の第１の入力端子に送られる。該Ｙカウンタ２６のカウ
ント値は上記ｘカウンタ２０の場合と全く同様に、Ｙレ
ジスタ２８に保持されているＹ方向長さ指定信号と一致
検出回路２９にシいて常に比較され、該検出回路２９は
両者が一致した時一致信号を発しＹカウンタ２０をりセ
ツトすると共に、該一致信号を制御装置１９へ終了信号
として送る。前記増巾器１６の第２の入力端子には前記
Ｄ一Ａ変換器２１から増巾器１５へ送られる偏向信号が
可変減衰回路３０によつて減衰されて供給される。
４が配置され、該偏向器１３、１４には夫々増巾器１５
、１６によつて増巾された偏向信号が供給される。上記
増巾器１５は２つの入力端子を持ち、一方の入力端子に
はＸＯレジスタ１７に保持されている露光開始位置指定
信号がＤ−Ａ変換器１８を介して送られる。該露光開始
位置指定信号は予め露光すべき図形に関するデータが収
められた記憶装置及びデジタルコンピユータ等より構成
される制御装置１９から送られる。又前記増巾器１５の
他方の入力端子にはＸカウンタ２０からの出力信号がＤ
−Ａ変換器２１を介して送られる。該Ｘカウンタ２０は
電圧制御発振器２２より発生したクロツクパルスによつ
て歩進される。該Ｘカウンタ２０のカウント値はレジス
タ２５に保持されているＸ方向長さ指定信号と一致検出
回路２４に卦いて常に比較され、両者が一致した時一致
検出回路２４は一致信号を発し上記Ｘカウンタ２０をり
セツトすると共に、該一致信号をＹカウンタ２６に送り
該Ｙカウンタ２６を歩進させる。該Ｙカウンタ２６から
の出力信号はＤ−Ａ変換器２７を介して前記増巾器１６
の第１の入力端子に送られる。該Ｙカウンタ２６のカウ
ント値は上記ｘカウンタ２０の場合と全く同様に、Ｙレ
ジスタ２８に保持されているＹ方向長さ指定信号と一致
検出回路２９にシいて常に比較され、該検出回路２９は
両者が一致した時一致信号を発しＹカウンタ２０をりセ
ツトすると共に、該一致信号を制御装置１９へ終了信号
として送る。前記増巾器１６の第２の入力端子には前記
Ｄ一Ａ変換器２１から増巾器１５へ送られる偏向信号が
可変減衰回路３０によつて減衰されて供給される。
該減衰回路３０に卦ける減衰率はθレジスタ３１に保持
されている傾き指示信号に応じて変化する。又該傾き指
示信号はＤ−Ａ変換器３２を介して前記電圧制御発振器
２２の制御端子にも送られる。更に前記増巾器１６の第
３の入力端子にはＹ。
されている傾き指示信号に応じて変化する。又該傾き指
示信号はＤ−Ａ変換器３２を介して前記電圧制御発振器
２２の制御端子にも送られる。更に前記増巾器１６の第
３の入力端子にはＹ。
レジスタ３３に保持されている露光開始位置指定信号が
Ｄ−Ａ変換器３４を介して送られている。尚上記Ｘ。レ
ジスタ１７，Ｘレジスタ２５，Ｙ０レジスタ３３，Ｙレ
ジスタ２８及びθレジスタ３１に保持されている各種指
定信号は制御装置１９から送られたものである。上述の
如き構成に訃いて例えば第５図に示される様な図形Ｂを
露光するとすれば、制御装置１９内の記憶装置には予め
図形Ｂに関するデータとして、走査開始点Ｐの位置をあ
られす座標（ＸＯ，′ＹＯ），図形ＢＯ）Ｘ方向の長さ
が電子線のＸ方向最小単位移動ステツプ△Ｘの何倍にあ
たるかを示す倍数ｎ１同じく図形Ｂ（７）Ｙ方向の長さ
が電子線のＹ方向最小単位移動ステツプΔＹの何倍にあ
たるかを示す倍数ｍ及び図形Ｂの辺がＸ軸どなす角度θ
ｏが記憶されている。
Ｄ−Ａ変換器３４を介して送られている。尚上記Ｘ。レ
ジスタ１７，Ｘレジスタ２５，Ｙ０レジスタ３３，Ｙレ
ジスタ２８及びθレジスタ３１に保持されている各種指
定信号は制御装置１９から送られたものである。上述の
如き構成に訃いて例えば第５図に示される様な図形Ｂを
露光するとすれば、制御装置１９内の記憶装置には予め
図形Ｂに関するデータとして、走査開始点Ｐの位置をあ
られす座標（ＸＯ，′ＹＯ），図形ＢＯ）Ｘ方向の長さ
が電子線のＸ方向最小単位移動ステツプ△Ｘの何倍にあ
たるかを示す倍数ｎ１同じく図形Ｂ（７）Ｙ方向の長さ
が電子線のＹ方向最小単位移動ステツプΔＹの何倍にあ
たるかを示す倍数ｍ及び図形Ｂの辺がＸ軸どなす角度θ
ｏが記憶されている。
そして制御装置１９は図形Ｂの露光に先だち露光開始位
置指定信号としてＸ。をＸＯレジスタ１７へＹＯをＹＯ
レジスタ３３へ、又傾き指定信号としてθｏをθレジス
タ３１へ、更に長さ指定信号としてｎをＸレジスタ２５
へｍをＹレジスタ２８へ夫々送り保持させる。この時Ｘ
カウンタ２０及びＹカウンタ２６は共に零にりセツトさ
れているためＤ−Ａ変換器２１，２７からは出力が発生
せず、結局Ｘ偏向器１３にはＸ。レジスタ１７に保持さ
れたＸＯに対応する偏向信号ＤｘＯが、又Ｙ偏向器１４
にはＹＯレジスタ３３に保持されたＹＯに対応する偏向
信号ＤｙＯが夫々送られ、電子線は露光開始点Ｐに照射
される。次に第６図ａに示される様なクロツクパルスが
発生しはじめると、Ｘカウンタ２０は該クロツクパルス
を順次カウントするためＤ−Ａ変換器２１の出力信号は
カウント毎に電子線を△Ｘ移動させるための偏向信号の
変化分Ｄ△Ｘずつ増加し、Ｘカムンタ２０のカウント値
がｎに達した時再び零にりセツトされる。そして該Ｄ−
Ａ変換器の出力信号は増巾器１５に訃いて偏向信号Ｄｘ
Ｏに重畳されるため、結局Ｘ偏向器１３に送られる偏向
信号は第６図ｂに示される様にｎ段の階段状波形となる
。更にＤ−Ａ変換器２１から得られるＤΔｘずつ変化す
る出力信号は可変減衰回路３０によつてθレジスタ３１
に保持されている傾きθｏに応じた割合αの減衰を受け
て増巾器１６の入力端子に加えられるため、Ｙ偏向器１
４に供給される偏向信号は第６図ｃに示される様にＤＯ
を始点としてクロツクパルｙスに同期してαＤ△Ｘずつ
増加することとなる。
置指定信号としてＸ。をＸＯレジスタ１７へＹＯをＹＯ
レジスタ３３へ、又傾き指定信号としてθｏをθレジス
タ３１へ、更に長さ指定信号としてｎをＸレジスタ２５
へｍをＹレジスタ２８へ夫々送り保持させる。この時Ｘ
カウンタ２０及びＹカウンタ２６は共に零にりセツトさ
れているためＤ−Ａ変換器２１，２７からは出力が発生
せず、結局Ｘ偏向器１３にはＸ。レジスタ１７に保持さ
れたＸＯに対応する偏向信号ＤｘＯが、又Ｙ偏向器１４
にはＹＯレジスタ３３に保持されたＹＯに対応する偏向
信号ＤｙＯが夫々送られ、電子線は露光開始点Ｐに照射
される。次に第６図ａに示される様なクロツクパルスが
発生しはじめると、Ｘカウンタ２０は該クロツクパルス
を順次カウントするためＤ−Ａ変換器２１の出力信号は
カウント毎に電子線を△Ｘ移動させるための偏向信号の
変化分Ｄ△Ｘずつ増加し、Ｘカムンタ２０のカウント値
がｎに達した時再び零にりセツトされる。そして該Ｄ−
Ａ変換器の出力信号は増巾器１５に訃いて偏向信号Ｄｘ
Ｏに重畳されるため、結局Ｘ偏向器１３に送られる偏向
信号は第６図ｂに示される様にｎ段の階段状波形となる
。更にＤ−Ａ変換器２１から得られるＤΔｘずつ変化す
る出力信号は可変減衰回路３０によつてθレジスタ３１
に保持されている傾きθｏに応じた割合αの減衰を受け
て増巾器１６の入力端子に加えられるため、Ｙ偏向器１
４に供給される偏向信号は第６図ｃに示される様にＤＯ
を始点としてクロツクパルｙスに同期してαＤ△Ｘずつ
増加することとなる。
従つて電子線は点Ｐを始点として傾きθｏを持つ直線Ｌ
１に沿つて走査される。ところでこの時発振器２２から
発生するクロツクパルスの周期はＤ−Ａ変換器３２を介
して送られてくるθｏの値に応じて変化する。
１に沿つて走査される。ところでこの時発振器２２から
発生するクロツクパルスの周期はＤ−Ａ変換器３２を介
して送られてくるθｏの値に応じて変化する。
具体的にはθ。の値が大きくなるのに応じて周期を長く
することによつて直線Ｌ，に沿つて移動する電子線の移
動速度を低下させる方向に補正している。従つて本来傾
きが増加するのに応じて増大する電子線の移動速度は傾
きによらず一定となる。そしてｎ個のクロツクパルスに
よつて直線ＬＩに沿つた電子線の走査が終了すると、Ｙ
カウンタ２６は一致検出回路２４から送られる一致信号
によつて歩進されるため、Ｙカウンタ２６のカウント値
が供給されたＤ−Ａ変換器２７の出力信号はカウンタ２
６が歩進される毎に電子線を△Ｙ移動させるための偏向
信号の変化分Ｄ△Ｙずつ増加する。
することによつて直線Ｌ，に沿つて移動する電子線の移
動速度を低下させる方向に補正している。従つて本来傾
きが増加するのに応じて増大する電子線の移動速度は傾
きによらず一定となる。そしてｎ個のクロツクパルスに
よつて直線ＬＩに沿つた電子線の走査が終了すると、Ｙ
カウンタ２６は一致検出回路２４から送られる一致信号
によつて歩進されるため、Ｙカウンタ２６のカウント値
が供給されたＤ−Ａ変換器２７の出力信号はカウンタ２
６が歩進される毎に電子線を△Ｙ移動させるための偏向
信号の変化分Ｄ△Ｙずつ増加する。
そのため結局Ｙ偏向器１４に供給される偏向信号は第６
図ｃに示される様にクロツクパルスｎ個毎にＤ△Ｙずつ
増加することとなる。従つて電子線は第５図に示される
様に直線Ｌ１をＹ方向にΔＹ平行移動した直線Ｌ２に沿
つて走査され、以下全く同様にＹカウンタ２６のカウン
ト値がｍとなりＹレジスタ２８に保持された値と一致す
るまでｍ本の直線に沿つて走査される。
図ｃに示される様にクロツクパルスｎ個毎にＤ△Ｙずつ
増加することとなる。従つて電子線は第５図に示される
様に直線Ｌ１をＹ方向にΔＹ平行移動した直線Ｌ２に沿
つて走査され、以下全く同様にＹカウンタ２６のカウン
ト値がｍとなりＹレジスタ２８に保持された値と一致す
るまでｍ本の直線に沿つて走査される。
その結果図形Ｂが適正な電子線照射量にて露光される。
ところで上述した実施例ではθレジスタ３１に保持され
ている傾き指定信号をＤ−Ａ変換器３２を介して電圧制
御発振器２２に送ることによりクロツクパルスの周期を
多段階にわたつてほぼ連続的に変化させて電子線の移動
速度を常に一定に保つようにしたが、移動速度を常に一
定に保つ必要は必ずしもない。
ところで上述した実施例ではθレジスタ３１に保持され
ている傾き指定信号をＤ−Ａ変換器３２を介して電圧制
御発振器２２に送ることによりクロツクパルスの周期を
多段階にわたつてほぼ連続的に変化させて電子線の移動
速度を常に一定に保つようにしたが、移動速度を常に一
定に保つ必要は必ずしもない。
即ち例えば第７図に要部を示す様にθレジスタ３１に保
持されている傾き指定信号をその傾きの大きさに応じて
予め定められた数段階のランクに分類し、該分類された
ランクをあられすコード信号を発生するθランクづけ回
路３５を設け、クロツクパルス発振器３６から一定周期
で発生するクロツクパルスを分周する可変分周回路３７
の分周比を上記コード信号に応じて数段階に変化させれ
ば、Ｘカウンタ２０へ送られるクロツクパルスの周期を
数段階に変化させることができる。この場合ある範囲（
あるランク）に属する傾き指定信号に対して同一周期の
クロツクパルスがｘカウンタ２０へ送られるため、その
範囲（そのランク）の中で多少の電子線移動速度の変化
が発生する。しかしながら露光材料に塗布される電子線
レジストには電子線の移動速度の変化、正確に言えば単
位面積あたｂの電子線照射量の変化に対しある程度の許
容範囲があり、移動速度の変化がその範囲内であれば適
正な露光を行い得る。従つて各々のランクの中での電子
線移動速度の変化を上記許容範囲内に訃さめるようにす
ればよい。以上詳述した如く本発明によれば基準の直交
軸に対し傾きを持たせて電子線を走査する場合でもムラ
なく露光することができ、その効果は極めて大きい。
持されている傾き指定信号をその傾きの大きさに応じて
予め定められた数段階のランクに分類し、該分類された
ランクをあられすコード信号を発生するθランクづけ回
路３５を設け、クロツクパルス発振器３６から一定周期
で発生するクロツクパルスを分周する可変分周回路３７
の分周比を上記コード信号に応じて数段階に変化させれ
ば、Ｘカウンタ２０へ送られるクロツクパルスの周期を
数段階に変化させることができる。この場合ある範囲（
あるランク）に属する傾き指定信号に対して同一周期の
クロツクパルスがｘカウンタ２０へ送られるため、その
範囲（そのランク）の中で多少の電子線移動速度の変化
が発生する。しかしながら露光材料に塗布される電子線
レジストには電子線の移動速度の変化、正確に言えば単
位面積あたｂの電子線照射量の変化に対しある程度の許
容範囲があり、移動速度の変化がその範囲内であれば適
正な露光を行い得る。従つて各々のランクの中での電子
線移動速度の変化を上記許容範囲内に訃さめるようにす
ればよい。以上詳述した如く本発明によれば基準の直交
軸に対し傾きを持たせて電子線を走査する場合でもムラ
なく露光することができ、その効果は極めて大きい。
第１図、第２図及び第３図は従来の欠点を説明するため
の図であり、第４図は本発明の一実施例を示す構成図で
ある。 第５図及び第６図は上記実施例の動作を説明するための
図である。又、第７図は本発明の他の実施例の要部を示
す図である。１２・・・・・・露光材料、１３・・・・
・・Ｘ偏向器、１４・・・・・・Ｙ偏向器、１７，２５
，２８，３１，３３・・・・・・レジスタ、１８，２１
・，２７，３２，３４・・・・・Ｄ−Ａ変換器、１９・
・・・・・制御装置、２０，２６・・・・・・カウンタ
、２２・・・・・・電圧制御発振器、３０・・・・・・
可変減衰回路、３５・・・・・・θランクづけ回路、３
６・・・・・・可変分周回路、３７・・・・・・クロツ
クパルス発振器。
の図であり、第４図は本発明の一実施例を示す構成図で
ある。 第５図及び第６図は上記実施例の動作を説明するための
図である。又、第７図は本発明の他の実施例の要部を示
す図である。１２・・・・・・露光材料、１３・・・・
・・Ｘ偏向器、１４・・・・・・Ｙ偏向器、１７，２５
，２８，３１，３３・・・・・・レジスタ、１８，２１
・，２７，３２，３４・・・・・Ｄ−Ａ変換器、１９・
・・・・・制御装置、２０，２６・・・・・・カウンタ
、２２・・・・・・電圧制御発振器、３０・・・・・・
可変減衰回路、３５・・・・・・θランクづけ回路、３
６・・・・・・可変分周回路、３７・・・・・・クロツ
クパルス発振器。
Claims (1)
- １ 露光材料上に照射される電子線を電子線偏向手段に
より偏向走査して図形を抽く電子線露光装置において、
電子線の走査方向と前記露光材料上に仮想された基準座
標軸とのなす角度に応じて前記電子線偏向手段に供給さ
れる走査信号の周期を変化させる様にしたことを特徴と
する露光装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP52015769A JPS5946091B2 (ja) | 1977-02-16 | 1977-02-16 | 電子線露光装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP52015769A JPS5946091B2 (ja) | 1977-02-16 | 1977-02-16 | 電子線露光装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS53101279A JPS53101279A (en) | 1978-09-04 |
| JPS5946091B2 true JPS5946091B2 (ja) | 1984-11-10 |
Family
ID=11897996
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP52015769A Expired JPS5946091B2 (ja) | 1977-02-16 | 1977-02-16 | 電子線露光装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5946091B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5652182Y2 (ja) * | 1978-08-26 | 1981-12-05 |
-
1977
- 1977-02-16 JP JP52015769A patent/JPS5946091B2/ja not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS53101279A (en) | 1978-09-04 |
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