JPS594543U - レジスト塗布装置 - Google Patents
レジスト塗布装置Info
- Publication number
- JPS594543U JPS594543U JP9887282U JP9887282U JPS594543U JP S594543 U JPS594543 U JP S594543U JP 9887282 U JP9887282 U JP 9887282U JP 9887282 U JP9887282 U JP 9887282U JP S594543 U JPS594543 U JP S594543U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- resist coating
- coating equipment
- resist
- coating
- resist solution
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図は従来のレジスト塗布装置を示す構成図、第２図
は本考案の一実施例であるレジスト塗布装置の構成図で
ある。 図中、１１・・・ノズル、１２・・・ウェハ、１３・・
・エアシリンダ、１４・・・シリンダー軸、１５・・・
継手、１６・・・アーム。
は本考案の一実施例であるレジスト塗布装置の構成図で
ある。 図中、１１・・・ノズル、１２・・・ウェハ、１３・・
・エアシリンダ、１４・・・シリンダー軸、１５・・・
継手、１６・・・アーム。
Claims (1)
- 試料上にレジスト液を供給し、塗布するレジスト塗布装
置であって、該装置のレジスト液滴下ノズルを圧気調整
バルブ及びエアシリンダーで構成される位置調節機構に
係着させてなることを特徴とするレジスト塗布装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9887282U JPS594543U (ja) | 1982-06-30 | 1982-06-30 | レジスト塗布装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9887282U JPS594543U (ja) | 1982-06-30 | 1982-06-30 | レジスト塗布装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS594543U true JPS594543U (ja) | 1984-01-12 |
Family
ID=30234556
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9887282U Pending JPS594543U (ja) | 1982-06-30 | 1982-06-30 | レジスト塗布装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS594543U (ja) |
-
1982
- 1982-06-30 JP JP9887282U patent/JPS594543U/ja active Pending
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPS594543U (ja) | レジスト塗布装置 | |
| JPS58180630U (ja) | レジスト塗布装置 | |
| JPS5950438U (ja) | レジスト塗布装置 | |
| JPS609012U (ja) | カ−トリツジ式磁気ヘツドクリ−ナ | |
| JPS6112653U (ja) | バキユ−ムチヤツク | |
| JPS59131275U (ja) | レジスト塗布装置 | |
| JPS6078899U (ja) | ドクタ装置 | |
| JPS6119245U (ja) | フオトエツチング用露光装置 | |
| JPS5996830U (ja) | コ−テイング装置 | |
| JPS6051061U (ja) | 印刷版胴における刷版装着装置 | |
| JPS5877050U (ja) | 基板吸着装置 | |
| JPS6089198U (ja) | 液体搬送システム | |
| JPS5921091U (ja) | 圧縮機の振動防止装置 | |
| JPS59130056U (ja) | Ｅｇｒ圧力制御バルブ | |
| JPS594635U (ja) | ボンデイング装置 | |
| JPS5816147U (ja) | 酸素テント用酸素供給装置 | |
| JPS5831068U (ja) | 塗装装置 | |
| JPS606149U (ja) | 半導体露光装置 | |
| JPS59128154U (ja) | けい光ランプの製造装置 | |
| JPS594542U (ja) | レジスト塗布装置 | |
| JPS6039372U (ja) | 倣い式高粘度材塗布装置 | |
| JPS5995629U (ja) | レジスト塗布装置 | |
| JPS6018500U (ja) | プレヒ−タ−内コ−チングの除去装置 | |
| JPS5894162U (ja) | スレツデイングシユ−ト | |
| JPS59146076U (ja) | 塗布装置 |