JPS5942284B2 - 熱線反射透明体 - Google Patents
熱線反射透明体Info
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- JPS5942284B2 JPS5942284B2 JP15768080A JP15768080A JPS5942284B2 JP S5942284 B2 JPS5942284 B2 JP S5942284B2 JP 15768080 A JP15768080 A JP 15768080A JP 15768080 A JP15768080 A JP 15768080A JP S5942284 B2 JPS5942284 B2 JP S5942284B2
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-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B5/00—Optical elements other than lenses
- G02B5/08—Mirrors
- G02B5/0816—Multilayer mirrors, i.e. having two or more reflecting layers
- G02B5/085—Multilayer mirrors, i.e. having two or more reflecting layers at least one of the reflecting layers comprising metal
- G02B5/0875—Multilayer mirrors, i.e. having two or more reflecting layers at least one of the reflecting layers comprising metal the reflecting layers comprising two or more metallic layers
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Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、ビル、住宅等の建築物の窓に使用するのに適
した高性能熱線反射透明体に関するものである。
した高性能熱線反射透明体に関するものである。
近年省エネルギーの観点からビル等の建築物の窓ガラス
に対して断熱性の高い特性が要求されるようになり、対
流、熱伝導による熱損失に対しては複層ガラスの構成に
よりまた輻射による熱損失に対しては熱線反射膜の被覆
によつて熱貫流率の低い窓ガラスが作られている。
に対して断熱性の高い特性が要求されるようになり、対
流、熱伝導による熱損失に対しては複層ガラスの構成に
よりまた輻射による熱損失に対しては熱線反射膜の被覆
によつて熱貫流率の低い窓ガラスが作られている。
この熱線反射膜に対しては、可視光線を適当量透過させ
、近赤外線以上の波長の光を反射させる目的でＡｕ、Ａ
ｆｌ、Ａｌ、Ｃｕ等の１００〜３００オングストローム
程度の薄膜が用いられる。このような金属重層の膜は、
使用下において、金属原子のマイグレーション酸化等が
生じ易く、耐候性の点で十分でなく、また付着力、引つ
掻き強度等の機械強度も十分でない。またより安定とな
る膜厚の厚い領域では反射率が高く、ビル等に使用され
た場合には反射光公害が発生するおそれがある。かかる
問題点の対策として、付着力増大、外気雰囲気からの保
護色調調整、反射防止の目的のため、上記、赤外反射性
の高い、Ａｕ、Ａｇ、Ｃｕ、Ａｌ等の金属層に各種の誘
電体膜あるいは誘電体層と金属膜とを組み合せた多層構
成が考案されている。
、近赤外線以上の波長の光を反射させる目的でＡｕ、Ａ
ｆｌ、Ａｌ、Ｃｕ等の１００〜３００オングストローム
程度の薄膜が用いられる。このような金属重層の膜は、
使用下において、金属原子のマイグレーション酸化等が
生じ易く、耐候性の点で十分でなく、また付着力、引つ
掻き強度等の機械強度も十分でない。またより安定とな
る膜厚の厚い領域では反射率が高く、ビル等に使用され
た場合には反射光公害が発生するおそれがある。かかる
問題点の対策として、付着力増大、外気雰囲気からの保
護色調調整、反射防止の目的のため、上記、赤外反射性
の高い、Ａｕ、Ａｇ、Ｃｕ、Ａｌ等の金属層に各種の誘
電体膜あるいは誘電体層と金属膜とを組み合せた多層構
成が考案されている。
しかしながら、このような多層構成を真空蒸着法スパツ
タ一法により連続あるいは半連続生産する場合には、製
造上誘電体層を含む構成は好ましくない０何故ならば、
通常使用される誘電体層の膜厚は、該金属層の膜厚に比
べて２倍以上の値が必要とされ、また該誘電体の付着速
度は該金属に対する付着速度よりも遅い場合が多いため
、流電体層を含む多層構成の熱線反射膜形成のために必
要な時間が著しく長くなるという欠点がある。また該誘
電体としては多くは酸化物が用いられ、多くは酸素雰囲
気下で膜形成が行なわれるのに対し、該金属膜は高真空
下あるいは不活性ガス下での膜形成であるためかかる誘
電体層と金属層の多層構成の熱線反射膜を形成する場合
には真空槽内の雰囲気の切り換えが必要となり、誘電層
と金属膜とを連続して形成することは困難であるｏこの
発明は、上記のような従来のものの欠点を除去するため
になされたもので、熱線反射膜を上記Ａｕ，Ａｇ，Ｃｕ
，Ａｌ等の高反射金属膜の上下を耐蝕性の高い金属膜で
挟んだ３層構成にすることにより耐候性、機械的強度力
塙く、可視光線反射率が５０％以下、可視光線透過率が
１０％以上であり、かつ赤外線反射率、たとえば波長１
０μｍの光に対する反射率が６０％以上ある熱線反射ガ
ラスを提供することができる〇特に本発明による熱線反
射膜は、従来の多層熱線反射膜と異なり、いずれも金属
で構成されている関係上、真空槽の雰囲気の切換えが不
要であり、又各層の形成条件の差異は少なく、スパツタ
一、蒸着による半連続、あるいは連続生産に特に有利で
ある。
タ一法により連続あるいは半連続生産する場合には、製
造上誘電体層を含む構成は好ましくない０何故ならば、
通常使用される誘電体層の膜厚は、該金属層の膜厚に比
べて２倍以上の値が必要とされ、また該誘電体の付着速
度は該金属に対する付着速度よりも遅い場合が多いため
、流電体層を含む多層構成の熱線反射膜形成のために必
要な時間が著しく長くなるという欠点がある。また該誘
電体としては多くは酸化物が用いられ、多くは酸素雰囲
気下で膜形成が行なわれるのに対し、該金属膜は高真空
下あるいは不活性ガス下での膜形成であるためかかる誘
電体層と金属層の多層構成の熱線反射膜を形成する場合
には真空槽内の雰囲気の切り換えが必要となり、誘電層
と金属膜とを連続して形成することは困難であるｏこの
発明は、上記のような従来のものの欠点を除去するため
になされたもので、熱線反射膜を上記Ａｕ，Ａｇ，Ｃｕ
，Ａｌ等の高反射金属膜の上下を耐蝕性の高い金属膜で
挟んだ３層構成にすることにより耐候性、機械的強度力
塙く、可視光線反射率が５０％以下、可視光線透過率が
１０％以上であり、かつ赤外線反射率、たとえば波長１
０μｍの光に対する反射率が６０％以上ある熱線反射ガ
ラスを提供することができる〇特に本発明による熱線反
射膜は、従来の多層熱線反射膜と異なり、いずれも金属
で構成されている関係上、真空槽の雰囲気の切換えが不
要であり、又各層の形成条件の差異は少なく、スパツタ
一、蒸着による半連続、あるいは連続生産に特に有利で
ある。
以下、本発明について更に詳細に説明する０第１図にお
いて、１は熱線反射膜を形成する基体となるガラス板、
プラスチツク板、プラスチツクフイルム等の透明基体で
あり、２は該透明基体１上に形成された第１耐蝕金属膜
、３は該第１耐蝕金属膜２上に形成された高反射性の第
２金属膜、４は該第２金属膜上に形成され、第２金属膜
に対する外気からの保護を主にする第３耐蝕金属膜であ
るＯこの第１及び第３の耐蝕金属膜は、この耐蝕金属膜
２，４間に形成される金属層３のマイグレーシヨン防止
、付着力増大、可視光線反射低下、着色等の役割を持つ
ものである〇かかる第１及び第３の耐蝕金属膜の膜厚は
、５λ〜７０入更に好ましくは１０λ〜７０λが適当で
ある。
いて、１は熱線反射膜を形成する基体となるガラス板、
プラスチツク板、プラスチツクフイルム等の透明基体で
あり、２は該透明基体１上に形成された第１耐蝕金属膜
、３は該第１耐蝕金属膜２上に形成された高反射性の第
２金属膜、４は該第２金属膜上に形成され、第２金属膜
に対する外気からの保護を主にする第３耐蝕金属膜であ
るＯこの第１及び第３の耐蝕金属膜は、この耐蝕金属膜
２，４間に形成される金属層３のマイグレーシヨン防止
、付着力増大、可視光線反射低下、着色等の役割を持つ
ものである〇かかる第１及び第３の耐蝕金属膜の膜厚は
、５λ〜７０入更に好ましくは１０λ〜７０λが適当で
ある。
膜厚が５Ａより小であるとマイグレーシヨン防止、付着
力増大の効果が減少し好ましくなく、又７０Ａより大で
あるとその吸収率力塙いところから可視光線透過率が１
０％以下となり好ましくない。かかる第１及び第３の耐
蝕金属膜の膜材料としては、耐蝕性、機械的強度が高く
て耐久性に優れ、かつ透明基体及び第２金属膜との付着
性が高く、更に吸収性の高い金属、例えば、Ｎｉ，Ｆｅ
，Ｃｒ，ＣＯのいずれか１種以上の金属を少くとも６０
％以上含む耐蝕性金属ならば、目的達しうるが、特に、
インコネル（Ｎｉ−Ｃｒ系合金）、モネル（Ｎｉ−Ｃｕ
系合金）、ハステロイ（Ｎｉ−ＭＯ−Ｃｒ−Ｆｅ系合金
）等のニツケル基耐蝕合金あるいはステンレス鋼からな
る耐蝕金属膜が最適である０例えば、インコネルとして
は、８０Ｎｉ−２０Ｃｒ，７６Ｎｉ−１６Ｃｒ−８Ｆｅ
，７２Ｎｉ−１６Ｃｒ−８Ｆｅ−２Ｓｉ，７８Ｎｉ−１
５Ｃｒ−７Ｆｅ，７３Ｎｉ−１５Ｃｒ−７Ｆｅ−２．５
Ｔｉ−１Ａ′−１Ｍｎ１などが例示され、又モネルとし
ては、６７Ｎｉ−３０Ｃｕ，６６Ｎｉ−２９Ｃｕ−３Ａ
１，６３Ｎｉ−３０Ｃｕ−３Ｓｉ，６３Ｎｉ−３０Ｃｕ
−４Ｓｉなどが例示され、又、ハステロイとしては、６
２Ｎｉ−２８Ｍ０−５Ｆｅ，８５Ｎｉ−１０Ｓｉ−３Ｃ
ｕ，７０Ｎｉ−１７Ｍ０−７Ｃｒ−５Ｆｅ，６２Ｎｉ−
２４，５Ｍ０−５Ｃｒ−５．５Ｆｅ１などが例示される
。
力増大の効果が減少し好ましくなく、又７０Ａより大で
あるとその吸収率力塙いところから可視光線透過率が１
０％以下となり好ましくない。かかる第１及び第３の耐
蝕金属膜の膜材料としては、耐蝕性、機械的強度が高く
て耐久性に優れ、かつ透明基体及び第２金属膜との付着
性が高く、更に吸収性の高い金属、例えば、Ｎｉ，Ｆｅ
，Ｃｒ，ＣＯのいずれか１種以上の金属を少くとも６０
％以上含む耐蝕性金属ならば、目的達しうるが、特に、
インコネル（Ｎｉ−Ｃｒ系合金）、モネル（Ｎｉ−Ｃｕ
系合金）、ハステロイ（Ｎｉ−ＭＯ−Ｃｒ−Ｆｅ系合金
）等のニツケル基耐蝕合金あるいはステンレス鋼からな
る耐蝕金属膜が最適である０例えば、インコネルとして
は、８０Ｎｉ−２０Ｃｒ，７６Ｎｉ−１６Ｃｒ−８Ｆｅ
，７２Ｎｉ−１６Ｃｒ−８Ｆｅ−２Ｓｉ，７８Ｎｉ−１
５Ｃｒ−７Ｆｅ，７３Ｎｉ−１５Ｃｒ−７Ｆｅ−２．５
Ｔｉ−１Ａ′−１Ｍｎ１などが例示され、又モネルとし
ては、６７Ｎｉ−３０Ｃｕ，６６Ｎｉ−２９Ｃｕ−３Ａ
１，６３Ｎｉ−３０Ｃｕ−３Ｓｉ，６３Ｎｉ−３０Ｃｕ
−４Ｓｉなどが例示され、又、ハステロイとしては、６
２Ｎｉ−２８Ｍ０−５Ｆｅ，８５Ｎｉ−１０Ｓｉ−３Ｃ
ｕ，７０Ｎｉ−１７Ｍ０−７Ｃｒ−５Ｆｅ，６２Ｎｉ−
２４，５Ｍ０−５Ｃｒ−５．５Ｆｅ１などが例示される
。
又、ステンレス鋼としては、７２Ｆｅ−１８Ｃｒ−８Ｎ
ｉ，５３Ｆｅ−２０Ｎｉ−２５Ｃｒなどが例示される。
中でも、インコネルはスパツタ一法、真空蒸着法等によ
り被膜を形成するのが容易であり、しかも第２金属膜、
透明基体との付着性が良好で、耐久性の高い被膜が得ら
れるので、特に最適である〇又、第２金属膜は、高い熱
線反射性能を付与させるものであり、Ａｕ，Ａｆ！，Ｃ
ｕ，Ａ２のいずれか１種を少くとも５０％以上含んだ熱
線反射性能の高い金属が選ばれるｏこの金属層の厚みは
５０〜３００Ａにすることが望ましい。
ｉ，５３Ｆｅ−２０Ｎｉ−２５Ｃｒなどが例示される。
中でも、インコネルはスパツタ一法、真空蒸着法等によ
り被膜を形成するのが容易であり、しかも第２金属膜、
透明基体との付着性が良好で、耐久性の高い被膜が得ら
れるので、特に最適である〇又、第２金属膜は、高い熱
線反射性能を付与させるものであり、Ａｕ，Ａｆ！，Ｃ
ｕ，Ａ２のいずれか１種を少くとも５０％以上含んだ熱
線反射性能の高い金属が選ばれるｏこの金属層の厚みは
５０〜３００Ａにすることが望ましい。
５０Ａより小の場合には、その熱線反射特性が充分でな
く、また３００Ａより大では、可視光線反射率が高くな
りすぎ、反射光公害の観点から好ましくなく、同時に透
過率も低下し、窓ガラスとしての機能が損なわれるｏ本
発明の熱線反射透明体は、単板として、建築物の窓に利
用してもよいが、かかる熱線反射透明体の熱線反射膜が
複層ガラスの中空部側に位置する様な構成で使用するの
が、耐候性、機械的耐久性の点から好ましい〇以下本発
明の実施例について説明する〇 実施例 １ 清浄にされた２．５ｍｍ厚ソーダライムガラス基板を真
空槽内に入れ、油拡散ポンプで２×１０−６Ｔ０ｒｒま
で真空に引いた後、Ａｒガスを導入し、１０−２Ｔ０ｒ
ｒのオーダーに圧力を調節する０対向する陰極に、ＲＦ
パワーをかけ、放電を生じさせた後、所定の真空度にＡ
ｒ圧力を調節する０本実施例で使用したマグネトロンス
パツタ一装置では４Ｘ１０−３Ｔ０ｒｒとした０陰極上
においたインコネル（Ｎｉ（８０ｗｔ％）−Ｃｒ（２０
ｗｔ％））の円板ターゲツトを３０分間プレスパツタ一
した後、シヤツタ一を開き、膜厚２０Ａのインコネル（
ＮｌＣｒ合金）第１耐蝕金属膜をＮｉ−Ｃｒ形成する。
く、また３００Ａより大では、可視光線反射率が高くな
りすぎ、反射光公害の観点から好ましくなく、同時に透
過率も低下し、窓ガラスとしての機能が損なわれるｏ本
発明の熱線反射透明体は、単板として、建築物の窓に利
用してもよいが、かかる熱線反射透明体の熱線反射膜が
複層ガラスの中空部側に位置する様な構成で使用するの
が、耐候性、機械的耐久性の点から好ましい〇以下本発
明の実施例について説明する〇 実施例 １ 清浄にされた２．５ｍｍ厚ソーダライムガラス基板を真
空槽内に入れ、油拡散ポンプで２×１０−６Ｔ０ｒｒま
で真空に引いた後、Ａｒガスを導入し、１０−２Ｔ０ｒ
ｒのオーダーに圧力を調節する０対向する陰極に、ＲＦ
パワーをかけ、放電を生じさせた後、所定の真空度にＡ
ｒ圧力を調節する０本実施例で使用したマグネトロンス
パツタ一装置では４Ｘ１０−３Ｔ０ｒｒとした０陰極上
においたインコネル（Ｎｉ（８０ｗｔ％）−Ｃｒ（２０
ｗｔ％））の円板ターゲツトを３０分間プレスパツタ一
した後、シヤツタ一を開き、膜厚２０Ａのインコネル（
ＮｌＣｒ合金）第１耐蝕金属膜をＮｉ−Ｃｒ形成する。
次いで、Ｎｉ−Ｃｒ合金（インコネル）の第１耐蝕金属
膜上に、Ａ９のターゲツトを用いてスパツタ一し、膜厚
８０λのＡ９からなる第２金属膜を形成した〇次いで、
Ａ９からなる第２金属膜上に、同上のインコネルのター
ゲツトを用いてスパツタ一し膜厚２０Ａのインコネル（
Ｎｉ−Ｃｒ合金）の第３耐蝕金属膜を形成し、３層構造
の熱線反射被膜付きガラス板を得た０この３層コートは
、同一真空槽内に設けられたＮｉ−Ｃｒターゲツト、Ａ
９ターゲツトを使用し、真空を破壊することなく実施さ
れた。
膜上に、Ａ９のターゲツトを用いてスパツタ一し、膜厚
８０λのＡ９からなる第２金属膜を形成した〇次いで、
Ａ９からなる第２金属膜上に、同上のインコネルのター
ゲツトを用いてスパツタ一し膜厚２０Ａのインコネル（
Ｎｉ−Ｃｒ合金）の第３耐蝕金属膜を形成し、３層構造
の熱線反射被膜付きガラス板を得た０この３層コートは
、同一真空槽内に設けられたＮｉ−Ｃｒターゲツト、Ａ
９ターゲツトを使用し、真空を破壊することなく実施さ
れた。
またＮｉ−Ｃｒスパツタ一条件と、Ａ９スパツタ一条件
は、スパツタ一時間を除けば同一条件であり、容易に各
々のスパツタ一条件に移行することができた。この試料
を大気中に取り出した後光学特性を測定したところ、ガ
ラス側での可視光平均反射率は３３．１Ｃｆ１）でシル
バ一色の反射色調であり、可視光平均透過率は２０．１
％のわずかに青つぼい透過色調を示す膜で太陽エネルギ
ー平均透過率は１５．３％、太陽エネルギー平均反射率
は３７．４％であつた０又この膜の１０μＭＯ）波長の
光に対する反射率は８．７％であり良好な赤外反射特性
を示した０この膜は大気中に１週間放置後も、ピンホー
ル等外観上の変化は現われず、耐久性の良好な膜である
ことがわかつた。かかる熱線反射ガラスの分光特性図を
第２図に示す０なお、第２図において６は上記熱線反射
ガラス板の膜面の分光反射率であり、７は上記ガラス板
と普通ガラス板（２．５ｍｍ厚）とを上記熱線反射ガラ
ス板の熱線反射層が内面となる様に複層ガラス化した状
態での分光透過率を示し、８は同状態での分光反射率を
示す〇実施例 ２ 実施例１と同様な手順で３０ＡのＮｉ−Ｃｒ合金層１５
０Ａ０Ｃｕ層、３０Ａ（７）Ｎｉ−Ｃｒ合金層の３層膜
を２．５龍厚のソーダライムガラス板上に形成した。
は、スパツタ一時間を除けば同一条件であり、容易に各
々のスパツタ一条件に移行することができた。この試料
を大気中に取り出した後光学特性を測定したところ、ガ
ラス側での可視光平均反射率は３３．１Ｃｆ１）でシル
バ一色の反射色調であり、可視光平均透過率は２０．１
％のわずかに青つぼい透過色調を示す膜で太陽エネルギ
ー平均透過率は１５．３％、太陽エネルギー平均反射率
は３７．４％であつた０又この膜の１０μＭＯ）波長の
光に対する反射率は８．７％であり良好な赤外反射特性
を示した０この膜は大気中に１週間放置後も、ピンホー
ル等外観上の変化は現われず、耐久性の良好な膜である
ことがわかつた。かかる熱線反射ガラスの分光特性図を
第２図に示す０なお、第２図において６は上記熱線反射
ガラス板の膜面の分光反射率であり、７は上記ガラス板
と普通ガラス板（２．５ｍｍ厚）とを上記熱線反射ガラ
ス板の熱線反射層が内面となる様に複層ガラス化した状
態での分光透過率を示し、８は同状態での分光反射率を
示す〇実施例 ２ 実施例１と同様な手順で３０ＡのＮｉ−Ｃｒ合金層１５
０Ａ０Ｃｕ層、３０Ａ（７）Ｎｉ−Ｃｒ合金層の３層膜
を２．５龍厚のソーダライムガラス板上に形成した。
この膜の光学特性は、ガラス側での可視光平均反射率は
３３．１％でシルバ一色の反射色調であり、可視光平均
透過率１２．６（：Ｆｆ）のブロンズ色の透過色調を持
つた膜であつた０又、太陽エネルギー平均透過率は９．
１％太陽エネルギー平均反射率は３７．４（Ｉ）であつ
たこの膜の１０μｍの波長の光に対する反射率は８９％
であり、良好な赤外反射特性を示した。この膜は大気中
に１週間放置後もピンホール等外観上の変化は現われず
耐久性の良好な膜であることがわかつた〇かかる熱線反
射ガラスの分光特性図を第３図に示す。
３３．１％でシルバ一色の反射色調であり、可視光平均
透過率１２．６（：Ｆｆ）のブロンズ色の透過色調を持
つた膜であつた０又、太陽エネルギー平均透過率は９．
１％太陽エネルギー平均反射率は３７．４（Ｉ）であつ
たこの膜の１０μｍの波長の光に対する反射率は８９％
であり、良好な赤外反射特性を示した。この膜は大気中
に１週間放置後もピンホール等外観上の変化は現われず
耐久性の良好な膜であることがわかつた〇かかる熱線反
射ガラスの分光特性図を第３図に示す。
なお、第３図において、９は、上記熱線反射ガラス板の
膜面の分光反射率であり、１０は、上記ガラス板と普通
ガラス板（２．５闘厚）とを、上記熱線反射ガラス板の
熱線反射層が内面となる様に複層ガラス化した状態での
分光透過率を示し、１１は、同状態での分光反射率を示
す。比較例 １ 清浄にされた３騙厚のソーダライムガラス基板を真空槽
内に入れ、油拡散ポンプで２×１０−６Ｔ０ｒｒまで真
空に引いた後、Ａｒガスを導入し、１０−２Ｔ０ｒｒの
オーダーに圧力を調節する。
膜面の分光反射率であり、１０は、上記ガラス板と普通
ガラス板（２．５闘厚）とを、上記熱線反射ガラス板の
熱線反射層が内面となる様に複層ガラス化した状態での
分光透過率を示し、１１は、同状態での分光反射率を示
す。比較例 １ 清浄にされた３騙厚のソーダライムガラス基板を真空槽
内に入れ、油拡散ポンプで２×１０−６Ｔ０ｒｒまで真
空に引いた後、Ａｒガスを導入し、１０−２Ｔ０ｒｒの
オーダーに圧力を調節する。
対向する陰極に、ＲＦパワーをかけ、放電を生じさせた
後、所定の真空度にＡｒ圧力を調節する０本実施例で使
用したマグネトロンスパツタ一装置では４Ｘ１０−３Ｔ
０ｒｒとした０陰極上においたＮｉ（８０ｗｔ％）−Ｃ
ｒ（２０ｗｔ％）の円板ターゲツトを３０分間プレスパ
ツタ一した後、シヤツタ一を開き、Ｎｉ−Ｃｒ全層単層
膜を６０Ａ形成する〇このＮｌ−Ｃｒ膜を被覆したガラ
スを大気中に取り出した後、光学特性を測定したところ
、ガラス側での可視光反射率２１％、可視光透過率２２
％の灰色の透過色調の膜であつた。一方波長１０μｍの
光に対するこの膜の反射率は４７％であり、赤外反射特
性は低かつた。なお、大気中に１週間放置後も膜に特に
変化が見られず、耐久性の高い膜であつた。比較例 ２ 比較例１と同様の手順で膜厚８０Ａ０）Ａｙの単層膜を
３ｍｍ厚のソーダライムガラス基板上に形成した０光学
特性を測定したところ、ガラス側での可視光反射率５５
Ｃｆ）、可視光透過率３９（Ｆｆ）の青色の透過色を示
した反射率の高い膜であつた０この膜の波長１０μｍの
光に対する反射率は９６０Ｉ）であり、赤外反射特性の
極めて優れた膜であつた〇しかしながらこの膜の耐久性
は弱く、大気中に約１日放置した後には、無数の斑点が
膜に観察されたＯ実施例 ３ 清浄にされた３ｍ７ｎ厚ガラス基板を真空槽内に入れ、
油拡散ポンプで２Ｘ１０−６Ｔ０ｒｒまで真空に引いた
後、Ａｒガスを導入し、１０−２Ｔ０ｒｒのオーダーに
圧力を調節する。
後、所定の真空度にＡｒ圧力を調節する０本実施例で使
用したマグネトロンスパツタ一装置では４Ｘ１０−３Ｔ
０ｒｒとした０陰極上においたＮｉ（８０ｗｔ％）−Ｃ
ｒ（２０ｗｔ％）の円板ターゲツトを３０分間プレスパ
ツタ一した後、シヤツタ一を開き、Ｎｉ−Ｃｒ全層単層
膜を６０Ａ形成する〇このＮｌ−Ｃｒ膜を被覆したガラ
スを大気中に取り出した後、光学特性を測定したところ
、ガラス側での可視光反射率２１％、可視光透過率２２
％の灰色の透過色調の膜であつた。一方波長１０μｍの
光に対するこの膜の反射率は４７％であり、赤外反射特
性は低かつた。なお、大気中に１週間放置後も膜に特に
変化が見られず、耐久性の高い膜であつた。比較例 ２ 比較例１と同様の手順で膜厚８０Ａ０）Ａｙの単層膜を
３ｍｍ厚のソーダライムガラス基板上に形成した０光学
特性を測定したところ、ガラス側での可視光反射率５５
Ｃｆ）、可視光透過率３９（Ｆｆ）の青色の透過色を示
した反射率の高い膜であつた０この膜の波長１０μｍの
光に対する反射率は９６０Ｉ）であり、赤外反射特性の
極めて優れた膜であつた〇しかしながらこの膜の耐久性
は弱く、大気中に約１日放置した後には、無数の斑点が
膜に観察されたＯ実施例 ３ 清浄にされた３ｍ７ｎ厚ガラス基板を真空槽内に入れ、
油拡散ポンプで２Ｘ１０−６Ｔ０ｒｒまで真空に引いた
後、Ａｒガスを導入し、１０−２Ｔ０ｒｒのオーダーに
圧力を調節する。
対向する陰極に、ＲＦパワーをかけ、放電を生じさせた
後、所定の真空度にＡｒ圧力を調節する０本実施例で使
用したマグネトロンスパツタ一装置では４×１０−３Ｔ
０ｒｒとした。陰極上においたＳＵＳ３Ｏ４Ｆｅ７Ｏ（
！）、−Ｃｒｌ９％−Ｎｉ９％の円板ターゲツトを３０
分間プレスパツタ一した後、シヤツタ一を開き膜厚２０
入のＳＵＳ３Ｏ４第１耐蝕金属膜を形成する〇次いで、
上記ＳＵＳ３Ｏ４の第１耐蝕金属膜上に、Ａ９のターゲ
ツトを用いてスパツタ一し、膜厚８０入のＡ９からなる
第２金属膜を形成した。次いで、Ａ９からなる第２金属
膜上に、同上のＳＵＳ３Ｏ４のターゲツトを用いてスパ
ツタ一し膜厚２０Ａ０ＳＵＳ３０４の第３耐蝕金属膜を
形成し、３層構造の熱線反射被膜付きガラス板を得た０
この３層コートは、同一真空槽内に設けられたＳＵＳ３
Ｏ４ターゲツト、Ａｆｌターゲツトを使用し、真空を破
壊することなく実施された０またＳＵＳスパツタ一条件
と、Ａ９スパツタ一条件は、スパツタ一時間を除けば同
一条件であり、容易に各々のスパツタ一条件に移行する
ことができた。この試料を大気中に取り出した後光学特
性を測定したところ、ガラス側での可視光平均反射率は
３１％で反射色調はシルバ一色であり、可視光平均透過
率は１８％で、わずかに灰色の透過色調を示す膜であつ
た０この膜の１０μｍの波長の光に対する反射率は８７
％であり良好な赤外反射特性を示した。この膜は大気中
に１週間放置後も、ピンホール等外観上の変化は現われ
ず、耐久性の良好な膜であることがわかつた。実施例
４ 実施例１と同様な手順で２０Ａ０ＳＵＳ３０４層１４０
Ａ０）Ｃｕ層、２０Ａ０ＳＵＳ層の３層膜を３ｍｍ板ガ
ラス上に形成した。
後、所定の真空度にＡｒ圧力を調節する０本実施例で使
用したマグネトロンスパツタ一装置では４×１０−３Ｔ
０ｒｒとした。陰極上においたＳＵＳ３Ｏ４Ｆｅ７Ｏ（
！）、−Ｃｒｌ９％−Ｎｉ９％の円板ターゲツトを３０
分間プレスパツタ一した後、シヤツタ一を開き膜厚２０
入のＳＵＳ３Ｏ４第１耐蝕金属膜を形成する〇次いで、
上記ＳＵＳ３Ｏ４の第１耐蝕金属膜上に、Ａ９のターゲ
ツトを用いてスパツタ一し、膜厚８０入のＡ９からなる
第２金属膜を形成した。次いで、Ａ９からなる第２金属
膜上に、同上のＳＵＳ３Ｏ４のターゲツトを用いてスパ
ツタ一し膜厚２０Ａ０ＳＵＳ３０４の第３耐蝕金属膜を
形成し、３層構造の熱線反射被膜付きガラス板を得た０
この３層コートは、同一真空槽内に設けられたＳＵＳ３
Ｏ４ターゲツト、Ａｆｌターゲツトを使用し、真空を破
壊することなく実施された０またＳＵＳスパツタ一条件
と、Ａ９スパツタ一条件は、スパツタ一時間を除けば同
一条件であり、容易に各々のスパツタ一条件に移行する
ことができた。この試料を大気中に取り出した後光学特
性を測定したところ、ガラス側での可視光平均反射率は
３１％で反射色調はシルバ一色であり、可視光平均透過
率は１８％で、わずかに灰色の透過色調を示す膜であつ
た０この膜の１０μｍの波長の光に対する反射率は８７
％であり良好な赤外反射特性を示した。この膜は大気中
に１週間放置後も、ピンホール等外観上の変化は現われ
ず、耐久性の良好な膜であることがわかつた。実施例
４ 実施例１と同様な手順で２０Ａ０ＳＵＳ３０４層１４０
Ａ０）Ｃｕ層、２０Ａ０ＳＵＳ層の３層膜を３ｍｍ板ガ
ラス上に形成した。
この膜の光学特性は、ガラス側での可視光反射率２７％
、可視光透過率１８％のブロンズ色の透過色調を持つた
膜であつた。この膜の１０μｍの波長の光に対する反射
率は８５％であり、良好な赤外反射特性を示した〇この
膜は大気中に１週間放置後もピンホール等外観上の変化
は現われず耐久性の良好な膜であることがわかつたｏ実
施例 ５ 清浄にされた３ｍｍ厚ガラス基板を真空槽内に入れ、油
拡散ポンプで２×１０−６Ｔ０ｒｒまで真空に引いた後
、Ａｒガスを導入し、１０−２Ｔ０ｒｒのオーダーに圧
力を調節する０対向する陰極に、ＲＦパワーをかけ、放
電を生じさせた後、所定の真空度にＡｒ圧力を調節する
０本実施例で使用したマグネトロンスパツタ一装置では
４×１０−３Ｔ０ｒｒとした０陰極上においたモネルＮ
ｉ６７％、Ｃｕ３Ｏ％、Ｆｅｌ．４（ｆｌ）、Ｍｎｌ！
）の円板ターゲツトを３０分間プレスバツタ一した後、
シヤツタ一を開き、膜厚３０へのモネル第１耐蝕金属膜
を形成する。
、可視光透過率１８％のブロンズ色の透過色調を持つた
膜であつた。この膜の１０μｍの波長の光に対する反射
率は８５％であり、良好な赤外反射特性を示した〇この
膜は大気中に１週間放置後もピンホール等外観上の変化
は現われず耐久性の良好な膜であることがわかつたｏ実
施例 ５ 清浄にされた３ｍｍ厚ガラス基板を真空槽内に入れ、油
拡散ポンプで２×１０−６Ｔ０ｒｒまで真空に引いた後
、Ａｒガスを導入し、１０−２Ｔ０ｒｒのオーダーに圧
力を調節する０対向する陰極に、ＲＦパワーをかけ、放
電を生じさせた後、所定の真空度にＡｒ圧力を調節する
０本実施例で使用したマグネトロンスパツタ一装置では
４×１０−３Ｔ０ｒｒとした０陰極上においたモネルＮ
ｉ６７％、Ｃｕ３Ｏ％、Ｆｅｌ．４（ｆｌ）、Ｍｎｌ！
）の円板ターゲツトを３０分間プレスバツタ一した後、
シヤツタ一を開き、膜厚３０へのモネル第１耐蝕金属膜
を形成する。
次いで、モネルの第１耐蝕金属膜上に、Ａ９のターゲツ
トを用いてスパツタ一し、膜厚８０ＡのＡ９からなる第
２金属膜を形成した〇次いで、Ａ９からなる第２金属膜
上に、同上のモネルのターゲツトを用いてスパツタ一し
、膜厚３０Ａのモネルの第３耐蝕金属膜を形成し、３層
構造の熱線反射被膜付きガラス板を得た０この３層コー
トは同一真空槽内に設けられたモネルターゲツト、Ａｆ
！ターゲツトを使用し、真空を破壊することなく実施さ
れた０またモネルスパツタ一条件と、Ａ９スパツタ一条
件は、スパツタ一時間を除けば同一条件であり、容易に
各々のスパツタ一条件に移行することができた０この試
料を大気中に取り出した後光学特性を測定したところ、
ガラス側での可視光平均反射率は３２％で反射色調はシ
ルバ一色であり、可祝元平均透過率は１８％で、わずか
に灰色の透過色調を示す膜であつた０この膜の１０μｍ
の波長の光に対する反射率は８８％であり良好な赤外反
射特性を示した０この膜は大気中に１週間放置後も、ピ
ンホール等外観上の変化は現われず、耐久性の良好な膜
であることがわかつた。
トを用いてスパツタ一し、膜厚８０ＡのＡ９からなる第
２金属膜を形成した〇次いで、Ａ９からなる第２金属膜
上に、同上のモネルのターゲツトを用いてスパツタ一し
、膜厚３０Ａのモネルの第３耐蝕金属膜を形成し、３層
構造の熱線反射被膜付きガラス板を得た０この３層コー
トは同一真空槽内に設けられたモネルターゲツト、Ａｆ
！ターゲツトを使用し、真空を破壊することなく実施さ
れた０またモネルスパツタ一条件と、Ａ９スパツタ一条
件は、スパツタ一時間を除けば同一条件であり、容易に
各々のスパツタ一条件に移行することができた０この試
料を大気中に取り出した後光学特性を測定したところ、
ガラス側での可視光平均反射率は３２％で反射色調はシ
ルバ一色であり、可祝元平均透過率は１８％で、わずか
に灰色の透過色調を示す膜であつた０この膜の１０μｍ
の波長の光に対する反射率は８８％であり良好な赤外反
射特性を示した０この膜は大気中に１週間放置後も、ピ
ンホール等外観上の変化は現われず、耐久性の良好な膜
であることがわかつた。
実施例 ６
清浄にされた３Ｗ！７７！厚ガラス基板を真空槽内に入
れ、油拡散ポンプで２Ｘ１０−６Ｔ０ｒｒまで真空に引
いた後、Ａｒガスを導入し、１０−２Ｔ０ｒｒのオーダ
ーに圧力を調節する。
れ、油拡散ポンプで２Ｘ１０−６Ｔ０ｒｒまで真空に引
いた後、Ａｒガスを導入し、１０−２Ｔ０ｒｒのオーダ
ーに圧力を調節する。
対向する陰極に、ＲＦパワーをかけ、放電を生じさせた
後、所定の真空度にＡｒ圧力を調節する０本実施例で使
用したマグネトロンスパツタ一装置では４×１０−３Ｔ
０ｒｒとした０陰極上においたハステロイＢ（Ｎｉ６５
％−ＭＯ２６％−Ｆｅ５％）の円板ターゲ゛ツトを３０
分間プレスパツタ一した後、シヤツタ一を開き、膜厚２
０ＡのハステロイＮｌＣｒ第１耐蝕金属膜を形成する〇
次いで、ハステロイＢの第１耐蝕金属膜上に、Ａ９のタ
ーゲツトを用いてスパツタ一し、膜厚８０Ａ０）Ａ９か
らなる第２金属膜を形成した。
後、所定の真空度にＡｒ圧力を調節する０本実施例で使
用したマグネトロンスパツタ一装置では４×１０−３Ｔ
０ｒｒとした０陰極上においたハステロイＢ（Ｎｉ６５
％−ＭＯ２６％−Ｆｅ５％）の円板ターゲ゛ツトを３０
分間プレスパツタ一した後、シヤツタ一を開き、膜厚２
０ＡのハステロイＮｌＣｒ第１耐蝕金属膜を形成する〇
次いで、ハステロイＢの第１耐蝕金属膜上に、Ａ９のタ
ーゲツトを用いてスパツタ一し、膜厚８０Ａ０）Ａ９か
らなる第２金属膜を形成した。
次いで、Ａ９からなる第２金属膜上に、同上のハステロ
イＢのターゲツトを用いてスパツタ一し膜厚２０Ａのハ
ステロイＢの第３耐蝕金属膜を形成し、３層構造の熱線
反射被膜付きガラス板を得た。この３層コートは、同一
真空槽内に設けられたハステロイＢターゲツト、Ａ９タ
ーゲツトを使用し、真空を破壊することなく実施された
０またハステロイスパッタ一条件と、Ａｇスパッタ一条
件は、スパツタ一時間を除けば同一条件であり、容易に
各々のスパツタ一条件に移行することができた０この試
料を大気中に取り出した後光学特性を測定したところ、
ガラス側での可視光反射率は３２％で反射色調はシルバ
一色であり、可視光透過率は１９０／）で、わずかに灰
色の透過色調を示す膜であつた０この膜の１０μｍの波
長の光に対する反射率は８６％であり良好な赤外反射特
性を示した。この膜は大気中に１週間放置後も、ピンホ
ール等外観上の変化は現われず、耐久性の良好な膜であ
ることがわかつた〇以上のようにこの発明によれば、Ａ
ｕ，Ａ９，Ｃｕ，Ａｌ等の熱線反射性の高い金属薄膜を
、Ｎｉ−Ｃｒ合金のような耐蝕性に富み、光学的吸収の
高い金属ではさんだ３層構造にすることにより、可視光
反射率は適度低く、赤外線反射率は高く、かつ耐久性に
富んだ熱線反射膜が得られる０またこの発明によれば、
各層の作製条件が大きく異なることがないため、３層化
することが容易であり、量産装置には好ましい構成を提
供する〇
イＢのターゲツトを用いてスパツタ一し膜厚２０Ａのハ
ステロイＢの第３耐蝕金属膜を形成し、３層構造の熱線
反射被膜付きガラス板を得た。この３層コートは、同一
真空槽内に設けられたハステロイＢターゲツト、Ａ９タ
ーゲツトを使用し、真空を破壊することなく実施された
０またハステロイスパッタ一条件と、Ａｇスパッタ一条
件は、スパツタ一時間を除けば同一条件であり、容易に
各々のスパツタ一条件に移行することができた０この試
料を大気中に取り出した後光学特性を測定したところ、
ガラス側での可視光反射率は３２％で反射色調はシルバ
一色であり、可視光透過率は１９０／）で、わずかに灰
色の透過色調を示す膜であつた０この膜の１０μｍの波
長の光に対する反射率は８６％であり良好な赤外反射特
性を示した。この膜は大気中に１週間放置後も、ピンホ
ール等外観上の変化は現われず、耐久性の良好な膜であ
ることがわかつた〇以上のようにこの発明によれば、Ａ
ｕ，Ａ９，Ｃｕ，Ａｌ等の熱線反射性の高い金属薄膜を
、Ｎｉ−Ｃｒ合金のような耐蝕性に富み、光学的吸収の
高い金属ではさんだ３層構造にすることにより、可視光
反射率は適度低く、赤外線反射率は高く、かつ耐久性に
富んだ熱線反射膜が得られる０またこの発明によれば、
各層の作製条件が大きく異なることがないため、３層化
することが容易であり、量産装置には好ましい構成を提
供する〇
【図面の簡単な説明】
第１図は、本発明による熱線反射透明板を模式的に示す
断面図であり、第２〜３図は、本発明の実施例に係る熱
線反射透明板の分光特性図を示す。
断面図であり、第２〜３図は、本発明の実施例に係る熱
線反射透明板の分光特性図を示す。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 透明基体面上にＮｉ、Ｆｅ、Ｃｒ、Ｃｏのいずれか
１種以上の金属を少くとも６０％以上含む第１耐蝕金属
膜と、Ａｕ、Ａｇ、Ｃｕ、Ａｌのいずれかを少くとも５
０％以上含む第２金属膜と、Ｎｉ、Ｆｅ、Ｃｒ、Ｃｏの
いずれか１種以上の金属を少くとも６０％以上含む第３
耐蝕金属膜とを順次積層してなる３層構造の熱線反射膜
を形成したことを特徴とする熱線反射透明体。 ２ 第１耐蝕金属膜の膜厚が５Å〜７０Åであることを
特徴とする特許請求の範囲第１項記載の熱線反射透明体
。 ３ 第２金属膜の膜厚が５０Å〜３００Åであることを
特徴とする特許請求の範囲第１項記載の熱線反射透明体
。 ４ 第３耐蝕金属膜の膜厚が５Å〜７０Åであることを
特徴とする特許請求の範囲第１項記載の熱線反射透明体
。 ５ 熱線反射膜を形成した側からの可視光線透過率が１
０％以上で、その反対側からの可視光線反射率が５０％
以上であることを特徴とする特許請求の範囲第１項記載
の熱線反射透明体。 ６ 第１耐蝕金属膜及び第３耐蝕金属膜がニッケル系耐
蝕合金からなることを特徴とする特許請求の範囲第１項
記載の熱線反射透明体。 ７ ニッケル系耐蝕合金がインコネル、ハステロイ、モ
ネルのいずれかであることを特徴とする特許請求の範囲
第６項記載の熱線反射透明体。 ８ 第１耐蝕金属膜及び第３耐蝕金属膜がステンレス鋼
からなることを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の
熱線反射透明体。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15768080A JPS5942284B2 (ja) | 1980-11-11 | 1980-11-11 | 熱線反射透明体 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15768080A JPS5942284B2 (ja) | 1980-11-11 | 1980-11-11 | 熱線反射透明体 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5781215A JPS5781215A (en) | 1982-05-21 |
| JPS5942284B2 true JPS5942284B2 (ja) | 1984-10-13 |
Family
ID=15655031
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15768080A Expired JPS5942284B2 (ja) | 1980-11-11 | 1980-11-11 | 熱線反射透明体 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5942284B2 (ja) |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5962196U (ja) * | 1982-10-19 | 1984-04-24 | 東レ株式会社 | ロ−ルブラインド |
| JPS59174805A (ja) * | 1983-03-24 | 1984-10-03 | Reiko Co Ltd | 光線調整フイルム |
| JPH0797161B2 (ja) * | 1987-09-16 | 1995-10-18 | 住友化学工業株式会社 | 光透過制御フィルムまたはシート |
| JPH04253001A (ja) * | 1991-01-30 | 1992-09-08 | Seikosha Co Ltd | 赤外線反射ミラー |
-
1980
- 1980-11-11 JP JP15768080A patent/JPS5942284B2/ja not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5781215A (en) | 1982-05-21 |
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