JPS5936498A - スピ−カ用振動板およびその製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】

〔発明の技術分野〕 本発明は、スピーカ用振動板およびその製造方法に関す
る。 〔発明の技術的背景とその間照点〕 従来、スピーカ用振動板としては、たとえば、抄造した
バルブなどの繊維Ｈ料、金属箔などが用いられている。 しかし、繊維＠ｆ）は、繊維間の摩擦による機械的な内
部損失が比較的太であるが、比弾性率が小さく、湿度の
影響を受けやすい。 また、金属箔においては、比＋ＪＮ性率は比較的高いが
、内部損失が小さく、共据の発生、太イ辰幅時の非直線
運動による歪の発生がある。 このようなことから、スピーカ用振動板の材料の適性に
ついてみると、高剛性、高弾１／：４＝、軽量、内部損
失が犬などが挙げられるが、これらの特性は互いに相反
する要素でもある。 これらを満足する、あるいは期待する材料として、たと
えばチタン、ボロンなどがある。 しかし、チタンは、機械的に非常に強く、比較的高い比
弾性率を備えるが、振動板としては内部損失が不足する
。また、ボロンは、非常に軽量で、非常に高い弾性率を
備えるが、振動板としては機械的に弱く、さらには単体
の加工は不可能に近い。 そこで、これらの金属材料の欠点を補うため、複数の村
、、・料を用いることが考えられている。すなわち、−
例として、チタン箔のプレス成形によりドーム状とし、
この片面または両面にボロン層な形成し、ドーム状の振
動板とするものである。 ところが、この振動板はチタン箔とボロン層との密着性
が悪く、ボロン層がはがれやすいため、にあたつＣは、
物理的気相蒸着法、たとえば真空蒸着法、イオンブレー
ティング法、スパッタリング法などによる場合には、基
体としてのチタン箔の片面または両面に、基体の特性を
改良させる拐料としてボロン層を蒸着するものであるが
、その基体としてのチタン箔とボロン層との界面の密着
度が悪く、剥離が生じゃすい。また、基体とじ千のチタ
ン（°イは絞り成形したもので、絞りの際の応力が不均
一で、ｊ９．さも不均一になりゃすく、さらに、材料の
配分の点から、振動板の音響特性をコントロールするこ
とができない。 〔発明の目的〕 木づ６明を゛よ、このような点にかんがみ又なされたも
ので、多１―構遺で、がっ、各ノ曽間の界面を゛梠″成
することなく、高剛性、高ヤング率、各層間の高密着度
のスピーカ用振動板を提供することを目的とし、かつ、
このスピーカ用撮動板を容易に得ることができるように
することを目的とするものである。 〔発明の概要〕 本発明のスピーカ用撮動板は、異なる材料層を、互いの
各材料の構成割合が連続的に変化した混在）脅２介１．
″′Ｃ一体化したことを特徴とするものである。 また、本発明のスピーカ用撮ψ１１版の製造方法は、乱
根上に矛１の材料ＩＡを蒸着形成し、この矛ｌの倒斜層
上に矛１の材料層から矛２の材料Ｊ腎へ各材ネＺ１の’
ＲＱ成割合ン連、続的に変化した混在ｊ−を蒸着形成−
４−ろとともに、この混在層上に矛２の材料層を蒸着形
成１−ることを特徴とするものである。 〔発明の実ｉ角例〕 以下、本発明の実施例を図面を参照して説明する。 ｆ１図において、（１）はペルジャーで、このペルジャ
ー（１）内に２個のエバポレータ（２）　ｔ３１を設け
る。 乙の一方のエバポレータ（２）には、たとえば高ヤング
率を実現させる材料としてのボロン（）３）を入れると
ともに、他方のエバポ１ノータ１３１には、たとえば、
壱Ｆ＝ｌｌＩ性を実現させる材料としてのチタン（Ｔ２
）を入れる。また、上ｔ４’ｒ２ペルジャー（１）内の
上部に所定の形状に成形した銅などのエツチングしやす
い材料からなる４版＋４１を間両する。なお、上記ペル
ジャー（１１の下部に排気口（５）を設けろ。 そして、まず、排気口＋５１から排気し、ベルジャ−（
１１内の十分な真空度を確保する。 そして、一方のエバポレータ（２）のボロン（Ｂ）を加
熱して蒸発させ、基板（４）上に牙１のオ料層としてボ
ロン層（Ｂ、）を蒸着形成する。ついで、とのボロン層
（Ｂ、）が所定の厚さに達したら徐々に一方のエバポレ
ータ（２）からのボロン（８）の蒸発を減少させると同
時圧、他方のエバポレータ（３１のチタン（Ｔ、）の蒸
発を開始させ、その量を徐々に増大させ、上記ボロン層
（Ｂ、）上に、ボロン（Ｂ）を順次減少するとともにチ
タン（ＴＬ）をｊ順次増大した混在層（Ｂ＋Ｔｔ）を蒸
着形成する。ついで、一方のエバポレータ（２）による
蒸発を停止して矛２の材料層としてのチタン層（Ｔｉ、
）を蒸着形成し、これが所定のＪｖさて達したら、上述
と逆の蒸着を行うＣ，す７ｊわち、チタン（ＴＬ）の蒸
発を徐々に減少させるとともにボロン０３）の蒸発を徐
々に増大させて混在Ｍ（Ｔ、＋Ｂ）を蒸着形成し、最後
にボロン（Ｂｌのみを蒸発させてボロン層（Ｂ２）をｆ
Ａ璃影形成、所定の厚さに達したら停止する。 これによって、矛２図に示すように、基板（４）上Ｋ　
Ｂ、−Ｂ−Ｔｉ−Ｔ、、−Ｔｉ・Ｂ−Ｂ２　　の層が一
体に成形される。 そし℃、エツチングなどにより基板（４）を除去し、上
紀冬閾構造の摂動板（６）を得る。なお、基板（４１を
とくに除去する必要がない場合は、そのままでもよい。 また、甲なる１１空蒸着ではな（、月・３し１に示すよ
５に、Ｔ−扱（４１と蒸着材料すなわちボロンの）とチ
タン（１’、）との間に電圧を印加し、蒸着材料をイオ
ン化させたイオンブレーティング法でも同様に行うこと
ができる。 また、上記実施例のように、２個のエバポレータを設け
ずに、歩４区１に示すように、反応性イオンブレーティ
ングにより、１個のエバポレータ（３）を設けてたとえ
ばアルミニウム（ＡＩ）＆入れ、上記ノ高ヤング率材の
入ったエバポレータの代りにペルジャー（１）に反応性
のガスを導く導入口（７）を設け、この導入口（力から
反応性のガスとして酸素（０２）を導入し、そして、前
Ｒｉ３と同様にエバポレータ１３１　Ｋよる蒸発量およ
び反応性のガスの導入晴を制御することにより、基板（
４）上に酸化アルミ（Ａ１２０．）層−（酸化アルミ＋
アルミ混在層〕−アルミ層−（アルミ＋酸化アルミ混在
層）−酸化アルミ層の多層構造を得ることができる。 この例では金属

【賀化物層について説明したが、この外
室化物または炭化物によつ℃も同様の多層構造物、すな
わち、４・１の材料層、矛１の材料層から】１２の材料
層へ矛１の旧料を順次減少するとともに才２の材料を順
次増大するように各材料の構成割合を連続的に変化した
混在層、木２の材料層、木２の材料）今からす１の材料
層へ逆に各Ｉ料の構成割合を連Ａ’ｒ’ｆ的に変化した
混在層、Ｍ・１の材料層を一体に形成することメ〕ζで
きる。 〔発明の効果］ 本発明によれば、屍なる材料層が、互いの各材料の構成
割合を連続的に変化した混在層を介して一体化しである
ので、各材料層との界面が形成されることがなく、した
がって、たとえば基体としての高Ｐ１ｉｌｌ性制料層に
３％ヤング率材料層を密着形成できる。 また、Ｃのスピーカ用’ＪＸＱ　Ｈａ抱を耶１．・≦１
ｆする場合は、蒸着争件を変化させることにより、高［
１１ｊ性層、高ヤング率層、混在層の厚さ、組織などを
コントロールすることにより、音響特性を所望に変化さ
せたものを得ることができる。

【図面の簡単な説明】

］・１図は本発明のスピーカ用振動板の製造方法の一実
施例を示す縦断面図、矛２　Ｍはそのスピーカ用振動板
の断面図、１・３図および１１４図は製造方法の他の実
施例を示す縦断面図である。 （４）・・基板、（６）・・振動板、（Ｂ）−・材料と
してのボロン、（Ｔ、）・・材料としてのチタン、　（
Ｂ、ＸＢ２）・・椙晴層としてのボロン層、（Ｔｉ、）
・・利料層としてのチタンＩｆｌｔ、（Ｂ＋Ｔ７　）（
Ｔ７−１−Ｂ）・・混在層。

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. （１）　　異なる材料層を、互いの各材料の構成割合が
   連続的に変化した混在層を介して一体化したことを特徴
   とするスピーカ用振動板。
2. （２）　　基板上に牙ｌの材料層を蒸着形成し、この２
   ・１の材料層上に矛１の材料層から牙２の材料層へ各材
   料の４１ｑ成割合を連続的に変化した混在層を蒸着形成
   するとともに、この混在層上に矛２の材料層を蒸着形成
   することな特徴とするスピーカ用振動板の製造方法。