JPS59232969A - SiC焼結体の製造方法 - Google Patents
SiC焼結体の製造方法Info
- Publication number
- JPS59232969A JPS59232969A JP58109767A JP10976783A JPS59232969A JP S59232969 A JPS59232969 A JP S59232969A JP 58109767 A JP58109767 A JP 58109767A JP 10976783 A JP10976783 A JP 10976783A JP S59232969 A JPS59232969 A JP S59232969A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- molded body
- sintered body
- graphite
- sic
- tomotochi
- Prior art date
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- Pending
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明ばSiC焼結体の製造方法に関するものである。
8iC焼結体は近年ホットプレス法を使用せず無加圧で
焼成できるようになり、その優れた熱的性質。
焼成できるようになり、その優れた熱的性質。
化学的性質、耐摩耗性等からエンジニアリングセラミッ
クスとして脚光をあびている。このようなSiC焼結体
は通常、サブミクロンのSiC粉にB、AI、BeC(
炭素)やそれらの化合物からなる焼結助剤とバインダー
等の添加物を加えた成形体を不活性雰囲気中で1900
−2500℃で焼成して得られる。この焼成は高温であ
るので焼成炉の高温部分には通常黒鉛材料が用いられ、
この成形体は黒鉛製台の上に載せて焼成される。この焼
成体の焼成による線収縮率は18〜20%である。焼結
体は焼成中、黒鉛製台の上をすべり、焼結体と黒鉛製台
の間には摩擦が生じる。特にリング状の成形体では摩擦
の大きいところと小さいところが生じるため均一に収縮
せず、真円度の良い焼結体が得られず変形が生じる。こ
のような現象はSiC焼結体のみでなく一般のセラミッ
クスでも起こる。従来からこのような変形防止の対策と
して同一材質の板状の成形体(通常トモトチと称する)
を敷くことにより変形を防止する方法が知られている。
クスとして脚光をあびている。このようなSiC焼結体
は通常、サブミクロンのSiC粉にB、AI、BeC(
炭素)やそれらの化合物からなる焼結助剤とバインダー
等の添加物を加えた成形体を不活性雰囲気中で1900
−2500℃で焼成して得られる。この焼成は高温であ
るので焼成炉の高温部分には通常黒鉛材料が用いられ、
この成形体は黒鉛製台の上に載せて焼成される。この焼
成体の焼成による線収縮率は18〜20%である。焼結
体は焼成中、黒鉛製台の上をすべり、焼結体と黒鉛製台
の間には摩擦が生じる。特にリング状の成形体では摩擦
の大きいところと小さいところが生じるため均一に収縮
せず、真円度の良い焼結体が得られず変形が生じる。こ
のような現象はSiC焼結体のみでなく一般のセラミッ
クスでも起こる。従来からこのような変形防止の対策と
して同一材質の板状の成形体(通常トモトチと称する)
を敷くことにより変形を防止する方法が知られている。
しかしトモトチを用いる方法は通常のセラミックスのよ
うに安宿原料を用い、大きな炉で比較的低温(isoo
℃以下)で焼成する場合にはあまり問題がなくとも8i
C焼結体ではトモトチを用いることは極めて不経済であ
る。
うに安宿原料を用い、大きな炉で比較的低温(isoo
℃以下)で焼成する場合にはあまり問題がなくとも8i
C焼結体ではトモトチを用いることは極めて不経済であ
る。
本発明はこのような従来の問題点を解決し、安価で変形
のないSiC焼結体の製造方法を提供することを目的と
するものである。
のないSiC焼結体の製造方法を提供することを目的と
するものである。
本発明者はトモトチに替わるものKついて研究を重ねた
結果、トモトチの替わりにSiC,C又はそれらの複合
体からなる球状粒子を用いることにより変形せずSiC
焼結体を製造できることを見い出した。
結果、トモトチの替わりにSiC,C又はそれらの複合
体からなる球状粒子を用いることにより変形せずSiC
焼結体を製造できることを見い出した。
本発明けSiC粉、焼結助剤及びその他の添加物からな
る成形体を焼成して8iC焼結体を得る場合に成形体と
成形体を載せる台との間にSiC,C(炭素′)又はそ
れらの複合体からなる球状粒子を配置するSiC焼結体
の製造方法に関する。
る成形体を焼成して8iC焼結体を得る場合に成形体と
成形体を載せる台との間にSiC,C(炭素′)又はそ
れらの複合体からなる球状粒子を配置するSiC焼結体
の製造方法に関する。
本発明において用いられる球状粒子は第1に本質的にS
iCからなる球状粒子、たとえば通常の8iCの粉砕粒
を摩砕によシ丸くしたもの、サブミクロンのSiC粉に
焼結助剤とその他の添加物を加えて球状に造粒し、焼結
したもの等をあげることができる。第2は本質的にCか
らなる球状粒子でたとえば黒鉛粉を有機物バインダーで
造粒し、焼成黒鉛化したものをあげることができる。第
3は8iCとCの複合体で、たとえば8iC粉を有機物
バインダーで造粒し、焼成したもの、 8iC球状粒子
にCをコーティングしたもの等をあげることができる。
iCからなる球状粒子、たとえば通常の8iCの粉砕粒
を摩砕によシ丸くしたもの、サブミクロンのSiC粉に
焼結助剤とその他の添加物を加えて球状に造粒し、焼結
したもの等をあげることができる。第2は本質的にCか
らなる球状粒子でたとえば黒鉛粉を有機物バインダーで
造粒し、焼成黒鉛化したものをあげることができる。第
3は8iCとCの複合体で、たとえば8iC粉を有機物
バインダーで造粒し、焼成したもの、 8iC球状粒子
にCをコーティングしたもの等をあげることができる。
粒径は焼成する成形体の大きさにもよるが。
通常は0.1〜1.Omが好ましい。しかし1mgをこ
えるものやo、 i at未満でも条件によっては使用
可能である。
えるものやo、 i at未満でも条件によっては使用
可能である。
次に実施例により本発明の詳細な説明する。
実施例
平均粒径0.7μmのα−8iC粉100重量部に平均
粒径1μmの炭化硼素(B4C)粉1重量部。
粒径1μmの炭化硼素(B4C)粉1重量部。
ノボラックフェノールレジン6 fKt部、アセトン1
0重量部を添加して混合し乾燥後、ポリビニルアルコー
ル水溶液(固形分で1重量部)を加えて造粒し、外径1
90.0m、内径170.0m、高さ20.0flaL
の成形体を得た。この成形体2をAr雰囲気中で第1図
のように黒鉛製台1の上に載せて毎時100℃で昇温し
、2000℃で1時間焼成した。
0重量部を添加して混合し乾燥後、ポリビニルアルコー
ル水溶液(固形分で1重量部)を加えて造粒し、外径1
90.0m、内径170.0m、高さ20.0flaL
の成形体を得た。この成形体2をAr雰囲気中で第1図
のように黒鉛製台1の上に載せて毎時100℃で昇温し
、2000℃で1時間焼成した。
図において(a)は炉内の黒鉛製台1の上に直接成形体
2を置いた場合(比較例1 ) 、 (b)は黒鉛製台
1と成形体20間に+30 GCSiC粉3を置いた場
合(比較例2 ) 、 (C)は黒鉛製台1と成形体2
の間に厚さ4mで成形体2と同一材料で同一外径のトモ
トチ4今置いた場合(比較例3 ) 、 (d)は黒鉛
製台1と成形体20間に厚さ201111のトモトチ4
aを置いた場合(比較例4 ) 、 (e)は黒鉛製台
1と成形体2の間に成形体2と同一の材料を造粒し焼成
して得た平均粒径0.51EIの球状8.i C粒子5
を均一に敷いた場合(実施例1)、(f)は黒鉛製台1
と成形体2の間に厚さ4鴎で成形体2と同一材料、同一
外径のトモトチ4b、トモトチ4bの上に黒鉛微粉をフ
ェノールレジンで造粒し焼成して得た平均粒径0.5f
iの球状黒鉛粒子6を均一に敷いた場合(実施例2)で
ある。この場合の焼結体の密度はいずれも3.15 ?
/cm”であった。またその変形量を外径の最大最小の
差から測定し第1表に示した。
2を置いた場合(比較例1 ) 、 (b)は黒鉛製台
1と成形体20間に+30 GCSiC粉3を置いた場
合(比較例2 ) 、 (C)は黒鉛製台1と成形体2
の間に厚さ4mで成形体2と同一材料で同一外径のトモ
トチ4今置いた場合(比較例3 ) 、 (d)は黒鉛
製台1と成形体20間に厚さ201111のトモトチ4
aを置いた場合(比較例4 ) 、 (e)は黒鉛製台
1と成形体2の間に成形体2と同一の材料を造粒し焼成
して得た平均粒径0.51EIの球状8.i C粒子5
を均一に敷いた場合(実施例1)、(f)は黒鉛製台1
と成形体2の間に厚さ4鴎で成形体2と同一材料、同一
外径のトモトチ4b、トモトチ4bの上に黒鉛微粉をフ
ェノールレジンで造粒し焼成して得た平均粒径0.5f
iの球状黒鉛粒子6を均一に敷いた場合(実施例2)で
ある。この場合の焼結体の密度はいずれも3.15 ?
/cm”であった。またその変形量を外径の最大最小の
差から測定し第1表に示した。
5−
第1表
従来のトモトチを使用するSiC焼結体の製造方法はト
モトチが薄いと焼結体の変形防止効果が小さく厚いこと
が必要であるが9本発明になる球状粒子を使用する製造
方法によれば少量の材料、低摩なコストで優れた変形防
止効果がある。また従来のトモトチと本発明の球状粒子
を併用すれば変形防止効果は極めて大である。
モトチが薄いと焼結体の変形防止効果が小さく厚いこと
が必要であるが9本発明になる球状粒子を使用する製造
方法によれば少量の材料、低摩なコストで優れた変形防
止効果がある。また従来のトモトチと本発明の球状粒子
を併用すれば変形防止効果は極めて大である。
第1図は成形体を黒鉛製台の上に載せて製造する状態を
示す断面図である。 符号の説明 6− 1・・・黒鉛製台 2・・・成形体3 ・
・・+30GCSiC粉砕粉 4.4a、 4b−・
・トモトチ5・・・平均0.5 flの球状SiC粒子
6・・・平均0.511IIIの球状黒鉛粒子7一
示す断面図である。 符号の説明 6− 1・・・黒鉛製台 2・・・成形体3 ・
・・+30GCSiC粉砕粉 4.4a、 4b−・
・トモトチ5・・・平均0.5 flの球状SiC粒子
6・・・平均0.511IIIの球状黒鉛粒子7一
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1、 8iC粉、焼結助剤及びその他の添加物からなる
成形体を焼成してSiC焼結体を得る場合に。 成形体と成形体を載せる台との間に8iC,C(炭素)
又はそれらの複合体からなる球状粒子を配置することを
特徴とする8iC焼結体の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP58109767A JPS59232969A (ja) | 1983-06-17 | 1983-06-17 | SiC焼結体の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP58109767A JPS59232969A (ja) | 1983-06-17 | 1983-06-17 | SiC焼結体の製造方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS59232969A true JPS59232969A (ja) | 1984-12-27 |
Family
ID=14518710
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP58109767A Pending JPS59232969A (ja) | 1983-06-17 | 1983-06-17 | SiC焼結体の製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS59232969A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2004058663A1 (ja) * | 2002-12-26 | 2004-07-15 | Ngk Insulators, Ltd. | セラミックス構造体の製造方法 |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5480305A (en) * | 1977-12-08 | 1979-06-27 | Tanto Kk | Tile firing in box and bottom laid bowl for use in same process |
JPS56160380A (en) * | 1980-05-06 | 1981-12-10 | Ngk Spark Plug Co | Method of baking ceramics |
-
1983
- 1983-06-17 JP JP58109767A patent/JPS59232969A/ja active Pending
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5480305A (en) * | 1977-12-08 | 1979-06-27 | Tanto Kk | Tile firing in box and bottom laid bowl for use in same process |
JPS56160380A (en) * | 1980-05-06 | 1981-12-10 | Ngk Spark Plug Co | Method of baking ceramics |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2004058663A1 (ja) * | 2002-12-26 | 2004-07-15 | Ngk Insulators, Ltd. | セラミックス構造体の製造方法 |
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