JPS59231424A - 赤外線透過窓 - Google Patents
赤外線透過窓Info
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- JPS59231424A JPS59231424A JP58107083A JP10708383A JPS59231424A JP S59231424 A JPS59231424 A JP S59231424A JP 58107083 A JP58107083 A JP 58107083A JP 10708383 A JP10708383 A JP 10708383A JP S59231424 A JPS59231424 A JP S59231424A
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- infrared
- infrared ray
- film
- heating element
- ray transmitting
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- Pending
Links
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L31/00—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
- H01L31/02—Details
- H01L31/0216—Coatings
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は、調理庫内など汚れ易い雰囲気内で使用さり、
る赤外線センサの赤外線透過窓に関するものである。
る赤外線センサの赤外線透過窓に関するものである。
従来例の構成とその問題点
従来、赤外線センサは検出素子1を支持台2に接続した
のち、内部リード線3で検出素子1と外部リード線4と
を電気的に接続し、さらに、赤外線透過性窓5を設けた
保護容器6を支持台2に接続して構成される。
のち、内部リード線3で検出素子1と外部リード線4と
を電気的に接続し、さらに、赤外線透過性窓5を設けた
保護容器6を支持台2に接続して構成される。
このような赤外線センサを調理庫内など汚れ易い雰囲気
内で使用する場合、赤外線透過性窓5の外表面51が調
理物などで汚れるという欠点があった。調理物などの汚
れは赤外線を透過しないので、外部空間から入射する赤
外線が検出素子1に到達しない。このため赤外線を検出
できない。
内で使用する場合、赤外線透過性窓5の外表面51が調
理物などで汚れるという欠点があった。調理物などの汚
れは赤外線を透過しないので、外部空間から入射する赤
外線が検出素子1に到達しない。このため赤外線を検出
できない。
この問題点を解消するだめに、従来、赤外線透過性窓5
の外表面51の前面に、シャッタなどを設けて汚れを防
止していた。しかし、この手段は、構成が煩雑で、価格
が高くなるのみならず、赤外線を検出する場合にはシャ
ッタを開くので、このときに汚れが付着する可能性があ
る。このためシャッタを設けない場合に比べ、汚れの付
着する時間が長くなる効果は得られるが、本質的に汚れ
を防止できない。
の外表面51の前面に、シャッタなどを設けて汚れを防
止していた。しかし、この手段は、構成が煩雑で、価格
が高くなるのみならず、赤外線を検出する場合にはシャ
ッタを開くので、このときに汚れが付着する可能性があ
る。このためシャッタを設けない場合に比べ、汚れの付
着する時間が長くなる効果は得られるが、本質的に汚れ
を防止できない。
発明の目的
本発明は赤外線透過゛性態に付着した汚れを熱的に除去
することにより、本質的に汚れを防止することができる
赤外線透過性窓を提供することを目的とする。
することにより、本質的に汚れを防止することができる
赤外線透過性窓を提供することを目的とする。
発明の構成
本発明の赤外線透過性窓は赤外線透過性基板の一方の表
面に赤外線透過性発熱体膜と電極膜とを形成して構成さ
れる。
面に赤外線透過性発熱体膜と電極膜とを形成して構成さ
れる。
赤外線透過性窓の表面が調理物などで汚れだ場合、本発
明の赤外線透過性窓は赤外線透過性発熱体11ψとIL
電極膜を有1〜でいるので、電極膜を通して赤外線透過
性発熱体膜に電力を印加し、赤外線透過性窓を高温に保
持できる。調理物などの汚りは高温トーで酸化・燃焼さ
せて、赤外線透過性窓から除去される。
明の赤外線透過性窓は赤外線透過性発熱体11ψとIL
電極膜を有1〜でいるので、電極膜を通して赤外線透過
性発熱体膜に電力を印加し、赤外線透過性窓を高温に保
持できる。調理物などの汚りは高温トーで酸化・燃焼さ
せて、赤外線透過性窓から除去される。
実施例の説明
本発明の赤外線透過性窓の一実施例の断面構成を第2図
に小す。赤外線透過性基板7に81を用い、その一方の
表面にAu−Pt電極膜8とSiC膜て溝成さ、ILだ
赤外線透過性発熱体膜9とを形成した。
に小す。赤外線透過性基板7に81を用い、その一方の
表面にAu−Pt電極膜8とSiC膜て溝成さ、ILだ
赤外線透過性発熱体膜9とを形成した。
SiC発熱体膜9はスパッタリング法で膜厚約2μm形
成した。このSiC発熱体膜9の室温での分光赤外線透
過率を第3図に示す。同図に示すように、波長1Qμm
以下の赤外線領域では80′ン。以上の透過率を示した
。他方、調理器などの使用温度範囲は、0℃から300
℃であり、この範囲での赤外線は波長10μm以下の赤
外線が大部分であるので、この波長領域での透過率が重
要である。従って、SiC発熱体膜9が11〜17μm
の波長領域の赤外線に対して不透明であることは、実用
上問題にならない。
成した。このSiC発熱体膜9の室温での分光赤外線透
過率を第3図に示す。同図に示すように、波長1Qμm
以下の赤外線領域では80′ン。以上の透過率を示した
。他方、調理器などの使用温度範囲は、0℃から300
℃であり、この範囲での赤外線は波長10μm以下の赤
外線が大部分であるので、この波長領域での透過率が重
要である。従って、SiC発熱体膜9が11〜17μm
の波長領域の赤外線に対して不透明であることは、実用
上問題にならない。
また、このSiC発熱体膜9にAu−Pt電極膜8を通
して3 ’W/aa の電力を印加17たとき、S1赤
外線透過性基板7は約400℃に加熱さit、調理物な
どの有機物の汚れは酸化・燃焼してSi赤外線透過性基
板7から除去された。
して3 ’W/aa の電力を印加17たとき、S1赤
外線透過性基板7は約400℃に加熱さit、調理物な
どの有機物の汚れは酸化・燃焼してSi赤外線透過性基
板7から除去された。
なお、SiC発熱体膜9の赤外線透過率は温度上昇と共
に低下するが、調理器などは連続的に使用されることは
なかので、不使用時に前述(〜だ加熱による汚れ除去を
実施し、赤外線透過性窓を清浄に保って、次の調理に備
えることができる。従って、加熱時のSiC発熱体膜9
の赤外線透過率の低下は、実用上問題にならなか。
に低下するが、調理器などは連続的に使用されることは
なかので、不使用時に前述(〜だ加熱による汚れ除去を
実施し、赤外線透過性窓を清浄に保って、次の調理に備
えることができる。従って、加熱時のSiC発熱体膜9
の赤外線透過率の低下は、実用上問題にならなか。
また、赤外線透過性基板7として、Siを例にして説明
したが、このほかにもGe、Nacl、KBr。
したが、このほかにもGe、Nacl、KBr。
MgO,CaF2.BaF2などでもよいことは明らか
であろう。
であろう。
発明の効果
本発明の赤外線透過性窓によれば次のような効果が得ら
れる。
れる。
1 赤外線透過性基板の一方の表面に赤外線透過性発熱
体膜と電極膜とを形成しているので、調理物などの汚れ
が付着した場合、この発熱体膜に電力を印加し、赤外線
透過性窓を加熱して、熱的に汚れを除去できる。
体膜と電極膜とを形成しているので、調理物などの汚れ
が付着した場合、この発熱体膜に電力を印加し、赤外線
透過性窓を加熱して、熱的に汚れを除去できる。
2 赤外線透過性基板にNacdなど水溶性材料を用い
た場合でも、赤外線透過性発熱体膜と電極膜とがNac
d基板表面を被覆しているので、耐水性が向上する。
た場合でも、赤外線透過性発熱体膜と電極膜とがNac
d基板表面を被覆しているので、耐水性が向上する。
第1図は赤外線センサの構造を示す断面図、第2図は本
発明の赤外線透過窓の一実施例構造を示す断面図、第3
図はSiC発熱体膜の分光赤外線透過率を示す特性図で
ある。 7−・・・・赤外線透過性基板、8・・・・電極膜、9
・・・・・赤外線透過性発熱体膜。
発明の赤外線透過窓の一実施例構造を示す断面図、第3
図はSiC発熱体膜の分光赤外線透過率を示す特性図で
ある。 7−・・・・赤外線透過性基板、8・・・・電極膜、9
・・・・・赤外線透過性発熱体膜。
Claims (3)
- (1)赤外線透過性基板の一方の表面に赤外線透過性発
熱体膜と電極膜とを形成してなる赤外線透過窓。 - (2)赤外線透過性基板がSi、Ge、Nacl、KB
r。 M g O、Ca F 2 、 B a、 F 2から
選ばれた1種である特許請求の範囲第1項記載の赤外線
透過窓。 - (3)赤外線透過性発熱体膜がSiC膜である特許請求
の範囲第1項記載の赤外線透過窓。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP58107083A JPS59231424A (ja) | 1983-06-15 | 1983-06-15 | 赤外線透過窓 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP58107083A JPS59231424A (ja) | 1983-06-15 | 1983-06-15 | 赤外線透過窓 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS59231424A true JPS59231424A (ja) | 1984-12-26 |
Family
ID=14450041
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP58107083A Pending JPS59231424A (ja) | 1983-06-15 | 1983-06-15 | 赤外線透過窓 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS59231424A (ja) |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS56130621A (en) * | 1980-03-19 | 1981-10-13 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Infrared ray permeating window |
-
1983
- 1983-06-15 JP JP58107083A patent/JPS59231424A/ja active Pending
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS56130621A (en) * | 1980-03-19 | 1981-10-13 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Infrared ray permeating window |
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