JPS59230472A

JPS59230472A - 駆動装置

Info

Publication number: JPS59230472A
Application number: JP58104124A
Authority: JP
Inventors: Kenji Mori; 健次森; Toshio Ogiso; 敏夫小木曽
Original assignee: Hitachi Ltd
Current assignee: Hitachi Ltd
Priority date: 1983-06-13
Filing date: 1983-06-13
Publication date: 1984-12-25

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】〔発明の利用分野〕　　　　□ 本発明は被駆動体に駆動カミ与える駆動装置に関し、さ
らに詳しくは圧電効果を示す圧電体を用いて被駆動体に
駆動力を与える駆動装置に関するものである。

〔発明の背景〕

被駆動体に駆動力を与える駆動装置としては、一般的に
電気入力を用いるものと流体入力を用いるものとに大別
できる。前者の駆動装置の代表的なものはモータであり
、また後者の駆動装置の代表的なものは油圧ポンプモー
タ、油圧シリンダ等がある。一方、近年では圧電素子の
開発に伴ない、この圧電素子を用いた駆動装置が種々提
案されている。この圧電素子は電圧をかけると、ひずみ
が生じる現象、新開圧電効果を発揮するもので、古くか
ら知られているものである。この圧電素子を用いた駆動
装置の例としては特開昭５３−８２２８６号公報および
特開昭５７−７８３７８号公報に記載のものがある。こ
れらの駆動装置は被駆動体に接触による駆動力を与える
ために、一種のみのひずみ形態を有する圧電体を直交方
向に組み合わせる構造となっている。また、この直交方
向に組み合わされた圧電体のひずみ形態を、２次元運動
を生起するように合成する柔機構を備える構成となって
いる。

この種の駆動装置は従来の電磁力から回転トルクを得る
モータに比べて小形、軽量であるので、各種の精密機械
、ロボットおよびＯＡ機器などの駆動源に使用すること
が可能である。

しかし、この種の駆動装置には上述した小形軽量を維持
しながら、さらに高効率で駆動力を伝達し得ることが要
求されているが、前述した柔構造のために、駆動力を高
効率で伝達し得ないのが現状である。

〔発明の目的〕

本発明は上述の事柄にもとづいてなされたもので、高効
率で手動幸噂駆動力を伝達することができる駆動装置を
提供することを目的とするｔものである。

〔発明の概要〕

本発明は上記の目的を達成するために、被駆動体を駆動
する駆動装置において、圧電体に対の電極を設け、この
対の電極に電源手段からの電圧を印加して、圧電体を縦
効果または横効果とせん断効果との合成によシひすみ変
形させて、その圧電体に周回移動軌跡をもつ移動部全構
成し、この移動部を前記駆動体に対する駆動力伝達部と
したこと全特徴とするものである。

〔発明の実施例〕

以下本発明の実施例を図面を参照して説明する。

第１図および第２図は本発明の駆動装置の一実施例を示
すもので、図において１は本発明の装置によって駆動さ
れる被駆動体を示す。２は直方体形状の圧電体で、この
圧電体は例えばチタン酸ジルコン酸鉛（Ｐｂ　（Ｚｒ、
　Ｔｉ）０３）　（略称ＰＺＴ）で構成されている。ま
たこの圧電体２は矢印Ａで示すように分極処理されてい
る。この分極処理は事前に行なってもよいし、また圧電
体２０組付は後に行なうことも可能である。この圧電体
２０分極Ａと直角な対向表面および分極Ａと平行な対向
表面には、それぞれ対の電極３Ａ、３Ｂおよび４Ａ。

４Ｂが設けられている。対の電極３Ａ、３Ｂは電源５に
接続し、また対の電極４Ａ、４Ｂは電源６に接続してい
る。前述した電極３Ａ、３Ｂ、４Ａ。

４Ｂには例えば電極板、蒸着された電極などが用いられ
る。そして、電極３Ａ、３Ｂ、４Ａ、４Ｂは電極間の絶
縁性を確保するために、圧電体１の各対向表面の全面に
設けるのではなく、隣設する表面の角部から微小距離能
れたところまで設けることが望ましい。上述のように電
極３Ａ、３Ｂ。

４Ａ、４Ｂを備えた圧電体２は電極３Ｂを介して固定板
７に固定されている。固定板７は例えばアルミナセラミ
ックス等の電気絶縁材料で構成されている。圧電体２の
電極３Ａ部分は被駆動体１に接触し被駆動体１に駆動力
を与える移動部となるので、この部分の摩耗を防ぐため
に耐摩耗部材８が設けられている。この部材８の取付け
は必須のものではない。この耐摩耗部材８は例えばアル
ミナセラミックス等の電気絶縁材料で構成することがよ
い。固定板７および耐摩耗部材８を導電性材料で製作し
た場合には、電極３Ｂと固定板７との間および電極３Ａ
と耐摩耗部材８との間に、例えば絶縁塗料の塗布などに
よる電気絶縁処理を施すことがよい。前述した電源５，
６は例えば正弦波、矩形波、三角波、台形波等の任意周
波数の任意波形を発生することができる。

次に上述した本発明の装置の一実施例の動作を説明する
。

いま、電源５によって正弦波の電圧を電極３Ａ。

３Ｂに印加すると、圧電体１は第３図の２点鎖線で示す
ように分極Ａ方向と同方向（所謂圧電ひずみの縦効果）
の振動モードを生じる。また電源６によって正弦波の電
圧を電極４Ａ、４Ｂに印加すの振動モードを生じる。こ
のため、電源５，６から等周波数で９０度位相ずれをも
った正弦波の電圧をそれぞれ電極３Ａ、３Ｂおよび電極
４Ａ。

４Ｂに印加すると、圧電体１の移動部側となる耐摩耗部
材８は圧電ひずみの縦効果とせん断効果との・合成によ
シ第１図および第２図に示すように直交座標系のＸ、Ｚ
軸の面内で矢印Ｂで示すだ円の周回軌跡運動を生じる。

そして耐摩耗部材８はだ円運動の上部で被駆動体１に接
触しつつ被駆動体１ｔｌ−移動させる。これにより、被
駆動体１はＸ軸と平行な方向Ｃに駆動される。このとき
、被駆動体１が直線動可能に支持されている場合には、
直線動し、また回転可能に支持されている場合には回転
動することになる。

上述した圧電体２の移動部における分極入方向に対して
直角な方向Ｘの変位量および分極入方向Ｙの変位量を、
参考までに示す。

圧電体２をその横断面における縦および横の長さがそれ
ぞれ２ｗｘ、横断面に直角な方向の長さがｉｏ、とじて
構成し、この圧電体２の縦効果を示す圧電定数に、を６
００　Ｘ　１０−”　（ｍ／Ｖ）、せん断効果を示す圧
電定数に、６９ｏｏｘｔｏ−ｔ”（ｒｎ／ｖ）とし、さ
らに電極３Ａ、３Ｂと電極４Ａ、４Ｂとに位相差が９０
度で周波数がともに１０ＫＩＩｚであ＃）１ｋＶの正弦
波電圧を印加した場合、圧電体２の移動部におけるＸ方
向の最大変位量Ｄ８は＝０．９（μｍ〕と々る。また２方向の最大変位量Ｄアは＝０．６Ｃμｍ
〕となる。さらに、Ｘ方向の最大送シ速度■８はＶ、＝０
．９［μｍ］Ｘ１０’［：］＝９〔闘／Ｓ〕となる。

なお、上述の一実施例は被駆動体１を第１図においてＸ
方向に移動させる場合を示したが、電源５．６からの電
圧の位相を逆向きでしかも９０度位相差を与えれば、圧
電体２の移動部となる耐摩耗部材８ｆｃ第１図に示す矢
印Ｂと逆方向のだ円軌跡運動させることができる。これ
によシ、被駆動体１は上述とは逆方向に移動する。

また、上述の一実施例においては、圧電体２の移動部に
設けられ被駆動体１ｔ−接触駆動する耐摩耗部材８をだ
円軌跡運動させたが、電源５．６から等位相で異なる周
波数の正弦波１ル圧會出力することによシ、第５図に示
すように耐摩耗部材８をリサージュ波形の周回軌跡をも
って運動させるこ　　　　□とができる。この場合には
被駆動体１は図面上左−右一左の繰返しの移動を行なう
。また、電源５゜６から等周波数の矩形波電圧ｔ−９０
度位相差をもって出力すると、第６図に示すように耐摩
耗部材８は角形の周回軌跡をもって運動する。この場合
には被駆動体１は図面上左方向に移動する。さらに、電
源５，６から等周波数の三角波電圧に９０度位相差をも
って出力すると、第７図に示すように耐摩耗部材８は菱
形の周回軌跡をもって運動する。Ｊまた、電源５，６か
ら等周波数で９０度位相差をもつ台形波電圧を出力する
と、第８図に示すように、耐摩耗部材８は六角形状の周
回軌跡をもって運動する。このように、震源５，６がら
出力する電圧の波形、位相および周波数を種々変えるこ
とによシ、被駆動体１を接触駆動するための耐摩耗部材
８の移動軌跡を任意に選定することができる。

以上述べたように、本発明の一実施例によれば、被駆動
体１への接触駆動力を、圧電体自体の移動によって付与
することができるので、構造をさらに小形にすることが
できると共に、動力を効率良く被駆動体１に伝達するこ
とができる。さらに、この実施例によれば、圧電体２に
その分極方向にも電極４Ａ、４Ｂを設けて電界をかけて
いるので、圧電体２のせん断効果を起す際に生じやすい
分極劣化を防ぐことができ、また分極劣化が仮に生じた
場合には、分極方向の電極４Ａ、４Ｂに高電圧をかける
ことによって、分極を強化することができるＯ第９図は本発明の駆動装置の他の実施例を示すもので、
この図において第１図および第２図中の符号と同符号の
ものは同一部分を示す。この実施例は第１図に示す実施
例との比較において、圧電体２の分極Ａの方向が横向き
となるように圧電体２を固定板７に取付けて構成したも
のである。この構成に伴ない耐摩耗部材８は電極４Ａの
部分に設けられている。これ以外の構成は第１図に示す
実施例と同様であるので、その詳細な構成の説明は省略
する。

次にこの本発明の装置の他の実施例の動作を説明する。

圧電体２に設けた電極３Ａ、３Ｂに電源６によシ交番電
圧を印加すると、圧電体２は第１０図の２点鎖線で示す
ように圧電体１のひずみ形態の一種である横効果によっ
て分極Ａの方向と直交する方向に縮み変位する。また、
電極３Ａ、３Ｂに電源５によシミ圧を印加すると、圧電
体２は第１１図の２点鎖線で示すようにせん断効果によ
シ分極Ａの方向に変位する。このため、電源５．６によ
シ各対の電極３Ａ、３Ｂおよび４Ａ、４Ｂに任意の電圧
差、周波数差および位相差をもつ電圧を同時に印加する
ことによって、第１図に示す実施例と同様に耐摩耗部材
８を任意の周回移動軌跡金もって運動させることができ
る。この耐摩耗部材８の被駆動体１への接触移動によっ
て被駆動体１を駆動することができる。

この実施例においては第１図に示す実施例と同様な条件
において被駆動体１　ｆ　ａ　（ｔｒａｎ／　ｓ　）の
速度で移動させることができる。

第１２図は本発明の駆動装置のさらに他の実施例を示す
もので、この図において第１図および第゛２図中の符号
と同符号のものは同一部分である。

この実施例は第１図に示す実施例において、圧電体２０
分極Ａの方向に直角なもう１つの対向表面に対の電極９
Ａ、９Ｂを設け、この対の電極９Ａ。

９１３’ｉ電源１０に接続して構成したものである。

この実施例によれば、第１３図の２点鎖線で示すように
、対の電極３Ａ、３Ｂによる電圧印加によって生じる圧
電体２の縦効果と、第１４図および第１５図の２点鎖線
で示すように対の電極４Ａ。

４Ｂおよび対の電極９Ａ、９Ｂによる電圧印加によって
それぞれ生じる圧電体２０２つのせん断効果との３つの
振動モードの組み合わせによって、圧電体２の移動部と
なる耐摩耗部材８ｔ−Ｘ軸に対しである角度θ全もつ面
内での周回移動軌跡をもって運動させることができる。

この圧電体２の３次元内での周回移動軌跡運動により、
第１図の実施例に示す被駆動体１のＸ方向の移動に対し
である角度θをもって被駆動体１を矢印Ｃ方向に移動さ
せることができる。

第１６図〜第２３図は本発明の駆動装置の各他の実施例
を示すもので、これらの図において第１図および第９図
と同符号のものは同一部分である。

また、これらの図面および以下の図面には電源手段の接
続は省略しである。

第１６図〜第１９図に示す本発明の駆動装置の各実施例
は２個の圧電体２を積層して１次元的な配列に構成した
ものである。

第１６図に示す実施例は各圧電体２の分（促へ方向が同
一方向に向くように２個の圧電体２を積層している。こ
の場合、隣接する一方の圧電体２の電極３Ｂと他方の圧
電体２の電極３Ａとの間には絶縁体１１が介在されてい
る。

第１７図に示す実施例は各圧電体２０分極八へ向が逆方
向となるように２個の圧電体２を積層している。この場
合、一方の圧電体２と他方の圧電体２との隣接部の電極
は、圧電体のひずみ方向の関係によシ一方の圧電体２の
電極３Ｂと他方の圧電体２の電極３Ｂとを１つ共有の電
極１２で構成することが可能である。これにより、第１
６図に示す実施例にくらべて電極への配線数を少なくす
ることかできる。

上述した第１６図および第１７図に示す実施例は２個の
圧電体２の縦効果とせん断効果との合成により、移動部
となる耐摩耗部材８をＸ、ｚ軸面内で周回移動軌跡Ｃｅ
もって運動させることができる。

第１８図に示す実施例は各圧電体２０分極八へ向が横向
き同方向となるように圧電体２を積層して構成したもの
である。また、第１９図に示す実施例は各圧電体２０分
極八へ向が横向き逆方向となるように圧電体２を積層し
て構成したものである。これらの実施例は２個の圧電体
の横効果とせん断効果との合成効果によシ、移動部とな
る耐摩耗部材８を、Ｘ、Ｚ軸面内で周回移動軌跡Ｃ金も
って運動させることができる。

」二連した第１６図〜第１９図に示す実施例においては
、２個の圧電体２を積層して構成したので、その積層方
向の変位量を大きくすることができる。

圧電体２の移動部と被駆動体１との間の空間が大きい個
所に適用することができる。

第２０図〜第２３図に示す本発明の駆動装置の各実施例
は、２個の圧電体２を並設して構成したものであシ、第
２０図に示す実施例は６圧・進体２の分極Ａ方向が互い
に同方向で平行になるように並設したものである。第２
１図に示す実施例は各圧電体２の分極入方向が互に逆方
向で平行になるように並設した一例を示すものであ口。

また第２２図に示す実施例は各圧電体２０分極八へ向が
横向きで同方向になるように並設したものである。

さらに第２３図に示す実施例は各圧電体２０分極八へ向
が横向きで逆方向になるように並設した一例を示すもの
である。第２１図および第２３図に示す実施例において
は、各圧電体２のひずみ方向の関係から、２個の圧電体
２の瞬接する部分の電極金、１つの共有の電極１２にす
ることができる。

これにより第２０図および第２２図に示す実施例に比べ
て電極への配線数を簡素化することができる。第２０図
および第２１図に示す実施例は圧電体２の縦効果とせん
断効果との合成により、移動部となる耐摩耗部材８をＸ
、Ｚ軸面内で周回の移動軌跡Ｃをもって運動させること
ができる。また、第２２図および第２３図に示す実施例
は圧電体２の横効果とせん断効果との合成により、上述
と同様に移動部となる耐摩耗部材８をＸ、　Ｚ４１１面
内で周回の移動軌跡（１−もって運動させることができ
る。この第２０図〜第２３図に示す実施例においては２
個の圧電体２の移動部となる２個の耐摩耗部材８が被駆
動体１に接触してこれを駆動するので、第１６図〜第１
９図に示す実施例にくらべて被駆動体１への駆動力を倍
加することができる。

第２４図〜第２７図の各図は不発明の駆動装置のさらに
他の実施例を示すもので、仁れらの図に示す本発明の駆
動装置の実施例は４個の圧電体２を横２行、縦２列に積
層して２次元的な配列に構成したものであり、第１６図
〜第２３図に示す各実施例の組み合せにより構成可能で
ちる。すなわち、第２４図に示す実施例は第１６図に示
す実施例の駆動装置を、縦列における分極入方向が逆方
向となるように並設結合したものである。第２５図に示
す実施例は第１７図に示す実施例およびその変形の結合
によシ隣接する圧電体２の分極Ａ方向が互に逆向きにな
るように構成したものである。

また、第２６図に示す実施例は第２２図に示す実施例を
横列における分＆Ａの方向が逆方向となるように引責ｊ
―結合したものである。さらに、第２７図に示す実施例
は第２３図に示す実施例およびその変形の組合せによυ
隣接する圧電体２の分極入方向が互いに逆向きになるよ
うに構成したものである。第２４図および第２６図に示
す実施例においては、縦列および横列における各圧電体
２０分極八へ向であるため、これらの隣接ｒる圧電体２
の空間には各電極間を絶鋭する絶縁物材１１が設けられ
ている。

上述した第２４図およ、び第２５図に示す実施例は、各
圧電体２への電圧印加により、各圧布１体２の縦効果と
せん断効果との合成により、すべての圧電体２が同期し
て同方向に変位し、その移動部となる耐摩耗部材ｆｌ−
Ｘ、Ｚ軸面内で周回の移動軌跡Ｃｔもって運動させるこ
とができる。また、第２６図およ一り″第２７図に示す
実施例は、上述と同様各圧電体２への電圧印加にＬシ、
各圧電体２の横効果とせん断効果との合成によりすべて
の圧電体２が同期して同方向に変位し、その移動部とな
る耐摩耗部材８を、周回の移動軌跡（ｆもって運動させ
ることができる。この圧電体２の移動部の周回運動の一
部の被駆動体１への接触により、被駆動体１を駆動する
ことができる。この第２４図〜第２７図に示す実施例は
変位量が犬きく被駆動体１への駆動力も大きいものであ
る。

上述した第２４図〜第２７図に示す各実施例を４組結合
すれば、それぞれ第２８図〜第３１図に示すように縦列
４個、横列４個合計１６個の圧電体の２次元的な配列の
駆動装置を構成するととができる。このように構成すれ
ば、第１図および第１２図に示す単一の圧電体２の実施
例にくらべて被駆動体１への駆動力および変位量をそれ
ぞれ４倍に増加させることができる。

また、第２８図〜第３１図に示す実施例を奥行方向に複
数列設ければ、３次元的な配列に構成することも可能で
あシ、その例として奥行方向に４列に構成したものを第
３２図〜第３５図にそれぞれ示す。このように構成すれ
ば、第１図および第１２図に示す単一の圧電体２にくら
べて変位量を４倍にまた被駆動体１への駆動力を１６倍
に増加させることができる。

なお、前述した第１６図〜第３５図に示す実施例におい
ては、各圧電体２に２対の電極を設けて各圧電体２を縦
効果または横効果とせん断効果との合成により、その移
動部を２次元的に周回運動させるように構成したが、第
１２図の実施例に示すように、各圧電体２に３対の電極
を設け、各圧電体２を縦効果または横効果と２つのせん
断効果との３つの効果の合成によシその移動部全３次元
的に周回運動させることができる。

次に本発明の駆動装置の代表的な各適用例を各第３６図
〜第３８図を用いて説明する。

第３６図に示す本発明の駆動装置Ｔの適用例は、被駆動
体１を直線または平面内で移動させるようにしたもので
ある。すなわち、ベース１３上に軸受１４によって被駆
動体１を直線または平面内で移動可能に支持し、この被
駆動体１に対向する部分に本発明の駆動装置Ｔを複数個
並設し、これらの本発明の駆動装置Ｔに交番電圧を印加
して、その被駆動体側部を交互に２次元もしくは３次元
の移動軌跡をもつ周回運動させる。この駆動装置の被駆
動体側部の周回運動によシ、この駆動装置Ｔの被駆動体
側部は被駆動体１の表面に接離を繰υ返す。これによυ
被駆動体１は直線動または平面内における一方向および
平面内における一方向に対しである角度をもった平面内
で移動することができる。

第３７図に示す本発明の駆動装置の適用例は、被駆動体
を回転動させるようにしたものである。

すなわち、ケーシング１５内に軸受１６によって被駆動
体となる軸１７を回転可能に支持し、この＠１１７の外
周に対向するケーシング１５の内面に本発明の駆動装置
Ｔを複数個周方向に設け、この本発明の駆動装置Ｔに交
番電圧を印加することによシ、本発明の駆動装置Ｔは軸
外周に対向する部分の周回運動によシ軸１７の外周に接
＊１−繰シ返す。これによシ、軸１７は回転動すること
ができる。

第３８図に示す本発明の駆動装置Ｔの適用例は、第３７
図に示す適用例と同様に被駆動体金回転勤させるもので
あり、この適用例は軸１７に設けた円板体１８の表面に
対向するように本発明の駆動装置Ｔを配置したものであ
る。このように構成することにより、上述の適用例と同
様に円板体１８の回転を通して軸１７を回転動させるこ
とができる。

なお、第３７図および第３８図に示す適用例は軸１７を
回転動させる場合について説明しｌこが、軸１７を固定
し、ケーシング１５を回転可能に支持すれば、ケーシン
グ１５を軸１７の回υに回転動させることができる。

以上述べたように、本発明の駆動装置は被駆動体を直線
動および回転動可能なアクチュエータを提供することが
できる。

また、上述した各実施例は周回運動する移動部を被駆動
体に接触させて、被駆動体を駆動するように構成されて
いる。このように構成したことにより、従来にくらべて
駆動力を高剛性をもって被駆動体に伝達できるので、効
率が良好であると共に、駆動力伝達の信頼性が高いもの
である。さらに駆動力伝達を良好にするために、本発明
の駆動本発明においては上述したような駆動装置の移動
部と被駆動体との接触駆動以外に、磁気力を用いた反撥
、吸引による非接触駆動も可能である。また、上述した
各実施例において、圧電体２は直方体の形状として説明
したが、この形状に限られるものでない。

〔発明の効果〕

以上詳述したように、本発明によれば、被駆動体に駆動
力を正確に伝達することができ、効率の良い駆動装置を
提供することができるものである。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の駆動装置の一実施例を示す正面図、第
２図はその斜視図、第３図および第４図は第１図に示す
本発明の駆動装置の一実施例の動作を説明する正面図、
第５図〜第８図は第１図に示す本発明の駆動装置を構成
する圧電体の移動部の周回移動軌跡の他の例を示す図、
第９図は本発明の駆動装置の他の実施例を示す斜視図、
第１０図および第１１図は第９図に示す本発明の駆！ｉ
ＩＩ＋装置の他の実施例の動作を説明する正面図、第１
２図は本発明の駆動装置のさらに他の実施例を示す斜視
図、第１３図〜第１５図はその動作を説明する正面図、
第１６図〜第１９図は２個の圧電体全上下方向に１次元
的に配列した本発明の駆動装置の他の実施例を示す斜視
図、第２０図〜第２３図は２個の圧電体を左右横に１次
元的に配列した本発明の駆動装置の他の実施例を示す斜
視図、第２４図〜第２７図は４個の圧電体を２次元的に
配列した本発明の駆動装置の他の実施例を示す斜視図、
第２８図〜第３１図は１６個の圧電体を２次元的に配列
した本発明の駆動装置の他の実施例を示す斜視図、第３
２図〜第３５図は圧を体を３次元的に配列した本発明の
駆動装置の他の実施例を示す斜視図、第３６図は本発明
の駆動装置を直線駆動器に適用した例を示す図、第３７
図および第３８図はそれぞれ本発明の駆動装置を回転駆
動器に適用した例を示す図である。１・・・被駆動体、２・・・圧電体、３Ａ、３Ｂ、４Ａ
。４Ｂ、９Ａ、９Ｂ・・・電極、５，６．１０・・・電源
手段、７・・・回転板、８・・・耐摩耗部材、１１・・
・絶縁部Ｊ°目　　　　　　第４図第５　図第６　口第　７　図ｆＩ３１２１ＹＩ　９　口１″関　　　　茅１．９第　１２　目輩１３図　　第１４目　　・￥’ｉ　１５図第２４　　
図第２５図ｋｆＪ２４図２第２７図茅２ｇ図第２９　口￥ｉ　　Ｂｏ　図／ｆ１３１　　図舅３２図第　３４　図第３５６Ｙ３乙　回ｌ卆第　３７　　図５

Claims

【特許請求の範囲】１、被駆動体を駆動する駆動装置において、圧電体に、
複数対の電極を設け、この対の電極に電源手段からの電
圧を印加して、圧電体を縦効果または横効果上せん断効
果との合成によりひずみ変形させて、その圧電体に周回
移動軌跡をもつ移動部を構成し、この移動部を前記被駆
動体に対する駆動力伝達部としたことを特徴とする駆動
装置。２、特許請求の範囲第１項記載の駆動装置において、圧
電体は１個の圧電体であることを特徴とする駆動装置。３゜特許請求の範囲第１項記載の駆動装置において、圧
電体は複数個備え、１次元的に配列したことを特徴とす
る駆動装置。４、特許請求の範囲第１項記載の駆動装置において、圧
電体は複数個備え、２次元的に配列したことを特徴とす
る駆動装置。５、特許請求の範囲第１項記載の駆動装置において、圧
電体は複数個備え、３次元的に配列したことを特徴とす
る駆動装置。６、特許請求の範囲第３項〜第５項のいずれかに記載の
駆動装置において、各圧電体の分極方向が同一方向であ
ることを特徴とする駆動装置。７、特許請求の範囲第３項〜第５項のいずれかに記載の
駆動装置において、各圧電体の分極方向が互いに逆向き
であることを特徴とする駆動装置。８、特許請求の範囲第２項、第６項および第７項のいず
れかに記載の駆動装置において、複数対の電極は、圧電
体に縦効果のひずみを与える一対の電極と、せん断効果
のひずみを与える一対の電極とを備えることを特徴とす
る駆動装置。９４　　特許請求の範囲第２項、第６項および第７項の
いずれかに記載の駆動装置において、複数対の電極は、
圧電体に横効果のひずみを与える一対の電極と、せん断
効果のひずみを与える一対の電極とを備えることを特徴
とする駆動装置。１０、％許請求の範囲第８項または第９項記載の駆動装
置において、複数対の電極は圧電体にもう一方のせん断
効果のひずみを与える一対の電極を備えることを特＠：
とする駆動装置。１１、特許請求の範囲第８項〜第１０項のいずれかに記
載の駆動装置において、分極方向が逆向きである隣接す
る圧電体の電極を共有の電極としたことｅ％徴とする駆
動装置。１２、特許請求の範囲第１項〜第１１項のいずれかに記
載の駆動装置において、圧電体の移動部に耐摩耗部材を
設けたことを特徴とする駆動装置。