JPS59229109A - シランガス燃焼装置 - Google Patents

シランガス燃焼装置

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JPS59229109A
JPS59229109A JP58096792A JP9679283A JPS59229109A JP S59229109 A JPS59229109 A JP S59229109A JP 58096792 A JP58096792 A JP 58096792A JP 9679283 A JP9679283 A JP 9679283A JP S59229109 A JPS59229109 A JP S59229109A
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silane gas
oxygen
gas
silane
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Takashi Tomii
隆 富井
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Rohm Co Ltd
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    • F23N5/003—Systems for controlling combustion using detectors sensitive to combustion gas properties
    • F23N5/006—Systems for controlling combustion using detectors sensitive to combustion gas properties the detector being sensitive to oxygen
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F23—COMBUSTION APPARATUS; COMBUSTION PROCESSES
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 この発明はシランガス燃焼装置に係り、特に化学的気相
蒸着（ｃｈｅｍｉｃａｌ　ｖａｐｏｕｒ　ｄｅｐｏｓｉ
ｔｉｏｎ；　ＣＶＤ）装置が排出するシランガスの燃焼
処理装置に関する。
従来、ＣＶＤ装置等で使用されたシランガス（Ｓ　ｉ　
Ｈ４）の排ガス処理には、Ｎ２ガス等の不活性ガスで希
釈し、排ガス中のシランガス濃度を下げて燃焼領域外に
する方法（ダイリュート方式）と、排ガスを空気と混合
して燃焼させる方法とがある。
前者の方法は、大量の希釈ガスを必要とするため、ラン
ニングコストが高い。また、後者の方法は、前者のよう
な欠点は解消されるが、従来の燃焼方法は、シランガス
の燃焼状況を管理していないため、とランガスが完全燃
焼していない場合には危険があり、特に、シランガスの
燃焼とＣＶＤ装置の制御等、異常監視についての対策が
施されていなかった。
この発明はシランガスの燃焼を安全かつ能率的に行うよ
うにしたシランガス燃焼装置の提供を目的とする。
この発明は、蒸着装置から排出するシランガスに酸素を
混合させシランガスを燃焼させる燃焼室と、この燃焼室
が排出する排ガス中の酸素濃度を検出して酸素供給量を
制御する制御手段とを具備したことを特徴とする。
以下、この発明を図面に示した実施例を参照して詳細に
説明する。
図はこの発明のシランガス燃焼装置の実施例を示してい
る。図において、ＣＶＤ装置２から排出されたシランガ
スを含む排ガスは、パイプ４を介して燃焼室６に導かれ
る。この燃焼室６にはシランガスに大気から酸素を取り
込むための吸気パイプ８が形成され、この吸気パイプ８
には酸素を圧送する圧送装置とともに、その吸気量を調
整する制御弁１０が設置され、その開度は弁開度調整用
モータ１２で調整されるように成っている。即ち、この
モータ１２の制御は、酸素量演算装置１４の演算結果に
基づいて行われる。酸素量演算装置１４には必要な酸素
量を設定するため、ＣＶＤ装置２から排出されるシラン
ガスの量が演算情報として与えられ、必要な酸素量が演
算される。
また、燃焼室６には燃焼後の排ガスを外気に放出するた
めに排気パイプ１６が形成され、この排気パイプ１６の
内部には排ガス中の酸素濃度を検出する酸素センサ１８
が設置されている。この酸素センサ１８には、例えばジ
ルコニア酸素センサを用いる。この酸素センサ１８の検
出出力は、酸素判定装置２０に与えられ、燃焼ガス中に
酸素が残留する場合には正常と判断し、前記モータ１２
に調整信号を与えて制御し、酸素量を調整する。
一方、燃焼ガス中に酸素が含まれていない場合には、吸
気パイプ８からの酸素の吸入遮断のため、異常と判断し
、非常停止装置２２に非常制御信号を与える。即ち、Ｃ
ＶＤ装置２の動作を非常停止装置２２によって解除させ
る。また、酸素判定装置２０の異常検出出力は、燃焼室
６に付加されている非常用希釈ガス（Ｎ２等）の供給パ
イプ２４の制御弁２６を開くための駆動装置２８に駆動
信号を与えるように成っている。この場合、燃焼異常に
よるシランガスは、希釈ガスにより薄められて外気に排
出されることになる。
また、燃焼室６にはシランガスの燃焼による温度の異常
上昇を抑制するため、その外壁部又は内壁部には冷却パ
イプ３０が設置されている。この冷却パイプ３０には、
冷却水３１を常に通流させるとともに、温度センサ３２
が設置され、温度センサ３２の検出出力は温度異常判定
装置３４に与えられる。この温度異常判定装置３４が異
常を検知した場合には、その検出出力は前記酸素判定装
置２０と同様に、前記非常停止装置２２の停止制御信号
となる。
以上の構成によれば、ＣＶＤ装置２から矢印ａで示すよ
うに排ガスが燃焼室に導入されるとともに、吸気パイプ
から所定量の酸素０２が矢印すで示すように導入される
と、シランガスは酸素と混合して燃焼し、燃焼ガスは矢
印Ｃで示すように排気パイプ１６から外気に放出される
。
この場合、酸素濃度が所定値以上、冷却水３１の温度が
一定値以下の場合には、排出されるシランガスの量及び
排気中の酸素濃度に従って完全燃焼が生じるように制御
弁１０が調整される。
また、排ガス中の酸素濃度が所定値以下に低下した場合
には、非常停止装置２２によりＣＶＤ装置２の動作を停
止させると同時に、非常用希釈ガスを燃焼室内に導き、
残留しているシランガスを希釈化し、安全を確保する。
さらに、酸素濃度が正常の場合でも、冷却水３１の温度
が異常に上昇した場合には、爆発の危険を回避するため
、非常停止装置２２によりＣＶＤ装置２の動作を停止さ
せ、燃焼停止により燃焼室６を冷却する。この場合、完
全燃焼が生じているので、非常用希釈ガスの注入は行わ
れない。
このようにシランガスを燃焼させれば、従来の希釈方式
のような大量のＮ２ガスは不要となる。
しかも、常に燃焼状態、排ガスを監視しているので、燃
焼を完全かつ安全に行うことができ、異常時にはＣＶＤ
装置の動作を停止させるので、安全をより高めることが
できる。
以上説明したようにこの発明によれば、蒸着装置の排ガ
スを安全かつ能率的に処理することができる。
【図面の簡単な説明】 図はこの発明のシランガス燃焼装置の実施例を示す説明
図である。 ２・・・ＣＶＤ装置、６・・・燃焼室、１０・・・制御
弁、１２・・・弁開度調整用モータ、１８・・・酸素セ
ンサ、２０・・・酸素判定装置。 代理人　弁理士　畝　本　正　−

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 蒸着装置から排出するシランガスに酸素を混合させシラ
    ンガスを燃焼させる燃焼室と、この燃焼室が排出する排
    ガス中の酸素濃度を検出して酸素供給量を制御する制御
    手段とを具備したことを特徴とするシランガス燃焼装置
    。
JP58096792A 1983-05-31 1983-05-31 シランガス燃焼装置 Granted JPS59229109A (ja)

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JP58096792A JPS59229109A (ja) 1983-05-31 1983-05-31 シランガス燃焼装置

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JPS59229109A true JPS59229109A (ja) 1984-12-22
JPH0214606B2 JPH0214606B2 (ja) 1990-04-09

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