JPS59225318A - ロ−タリパルスエンコ−ダの同心度自動調整装置 - Google Patents
ロ−タリパルスエンコ−ダの同心度自動調整装置Info
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- JPS59225318A JPS59225318A JP10029883A JP10029883A JPS59225318A JP S59225318 A JPS59225318 A JP S59225318A JP 10029883 A JP10029883 A JP 10029883A JP 10029883 A JP10029883 A JP 10029883A JP S59225318 A JPS59225318 A JP S59225318A
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
- G01D5/26—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light
- G01D5/32—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light
- G01D5/34—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells
- G01D5/347—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells using displacement encoding scales
- G01D5/34707—Scales; Discs, e.g. fixation, fabrication, compensation
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
技術分野
本発明はロータリパルスエンコーダの同心度自動調整装
置に関し、更に詳しくは、ロータリパルスエンコーダの
回転軸に支持された透光性回転板上の非透光性放射状パ
ルス符号集合パターンが該回転軸の軸線に対して同心と
なるように前記回転軸に対する前記透光性回転板の支持
位置を自動的に調整するための装置に関する。
置に関し、更に詳しくは、ロータリパルスエンコーダの
回転軸に支持された透光性回転板上の非透光性放射状パ
ルス符号集合パターンが該回転軸の軸線に対して同心と
なるように前記回転軸に対する前記透光性回転板の支持
位置を自動的に調整するための装置に関する。
従来技術
一般に、ロータリパルスエンコーダは、第１図ないし第
３図に示すように、回転軸１に支持された透光性回転板
としての回転ガラス円板２と、透光性固定板としての固
定ガラス板３と、発光装置４と、受光装置５とを備えて
おり、回転ガラス円板２には非透光性放射状パルス符号
集合パターン６が蒸着等により環状に設けられ、固定ガ
ラス板３には、非透光性放射状パルス符号集合パターン
７が蒸着等により弧状に設けられている。
３図に示すように、回転軸１に支持された透光性回転板
としての回転ガラス円板２と、透光性固定板としての固
定ガラス板３と、発光装置４と、受光装置５とを備えて
おり、回転ガラス円板２には非透光性放射状パルス符号
集合パターン６が蒸着等により環状に設けられ、固定ガ
ラス板３には、非透光性放射状パルス符号集合パターン
７が蒸着等により弧状に設けられている。
このようなロータリパルスエンコーダにおいては、発光
装置４から発っせられた光が回転ガラス円板２の回転に
伴って交互にパルス符号集合パターン６．７の間を通過
したりパルス符号集合パターン６．７により遮られたり
することにより、光のパルス波が形成せしめられる。こ
の光のパルス波は受光装置５によって電気パルス信号に
変換せしめられる。
装置４から発っせられた光が回転ガラス円板２の回転に
伴って交互にパルス符号集合パターン６．７の間を通過
したりパルス符号集合パターン６．７により遮られたり
することにより、光のパルス波が形成せしめられる。こ
の光のパルス波は受光装置５によって電気パルス信号に
変換せしめられる。
上記ロータリパルスエンコーダにおいては、回転軸の軸
線に対して放射状パルス符号集合パターン６が偏心して
いると、パルス符号集合パターン６．７の間を通過する
光量が第４図に示すように回転ガラス円板２の１回転の
範囲内の回転角に応じて周期的に変化することとなり、
パルス信号の検出精度を低下させる原因となる。
線に対して放射状パルス符号集合パターン６が偏心して
いると、パルス符号集合パターン６．７の間を通過する
光量が第４図に示すように回転ガラス円板２の１回転の
範囲内の回転角に応じて周期的に変化することとなり、
パルス信号の検出精度を低下させる原因となる。
このため、従来は、作業者が顕微鏡等を用いて回転軸の
軸線に対する放射状パルス符号集合パターン６の偏心量
を確認し、回転ガラス円板２の外周にハンマのような形
状の工具を当ててその工具を手に持った木製ハンマによ
り叩いて偏心を修正するという手段をとっていたが、多
くの労力と熟練が必要となっていた。
軸線に対する放射状パルス符号集合パターン６の偏心量
を確認し、回転ガラス円板２の外周にハンマのような形
状の工具を当ててその工具を手に持った木製ハンマによ
り叩いて偏心を修正するという手段をとっていたが、多
くの労力と熟練が必要となっていた。
発明の目的
上記従来技術の問題点に鑑み、本発明は、回転軸の軸線
に対する放射状パルス符号集合パターンの偏心を正確且
つ容易に自動修正することができるロータリパルスエン
コーダの同心度自動調整装置を提供することを目的とす
る。
に対する放射状パルス符号集合パターンの偏心を正確且
つ容易に自動修正することができるロータリパルスエン
コーダの同心度自動調整装置を提供することを目的とす
る。
発明の構成
上記目的は、本発明によれば、ロークリパルスエンコー
ダの回転軸に支持された透光性回転板上の非透光性放射
状パルス符号集合パターンが該回転軸の軸線に対して同
心となるように前記回転軸に対する前記透光性回転板の
支持位置を自動的に調整するためのロータリパルスエン
コーダの同心度自動調整装置であって、前記非透光性放
射状パルス符号集合パターンに対し同心となるように前
記透光性回転板の外周縁に沿って該透光性回転板上に設
けられた非透光性環状パターンと、前記非透光性環状パ
ターンの外周半径よりも半径が大きく且つ前記回転軸の
軸線に対して同心に配置された凹状円弧縁部を有する遮
蔽板と、前記非透光性環状パターンと前記遮蔽板の凹状
円弧縁部との間に前記回転軸の軸線と平行な光線を照射
せしめる発光装置と、前記非透光性環状パターンと前記
遮蔽板の凹状円弧縁部との間を通過した光量を検出する
受光装置と、前記受光装置により検出される光量に応じ
て前記非透光性板の外周部に外力を加えることにより回
転軸の軸線に対する前記非透光性放射状パルス符号集合
パターンの偏心を修正する外力付与装置とを備えている
ことを特徴とするロータリパルスエンコーダの同心度自
動調整装置により達成される。
ダの回転軸に支持された透光性回転板上の非透光性放射
状パルス符号集合パターンが該回転軸の軸線に対して同
心となるように前記回転軸に対する前記透光性回転板の
支持位置を自動的に調整するためのロータリパルスエン
コーダの同心度自動調整装置であって、前記非透光性放
射状パルス符号集合パターンに対し同心となるように前
記透光性回転板の外周縁に沿って該透光性回転板上に設
けられた非透光性環状パターンと、前記非透光性環状パ
ターンの外周半径よりも半径が大きく且つ前記回転軸の
軸線に対して同心に配置された凹状円弧縁部を有する遮
蔽板と、前記非透光性環状パターンと前記遮蔽板の凹状
円弧縁部との間に前記回転軸の軸線と平行な光線を照射
せしめる発光装置と、前記非透光性環状パターンと前記
遮蔽板の凹状円弧縁部との間を通過した光量を検出する
受光装置と、前記受光装置により検出される光量に応じ
て前記非透光性板の外周部に外力を加えることにより回
転軸の軸線に対する前記非透光性放射状パルス符号集合
パターンの偏心を修正する外力付与装置とを備えている
ことを特徴とするロータリパルスエンコーダの同心度自
動調整装置により達成される。
実施例
以下、図面を参照して、本発明の詳細な説明する。
第５図ないし第７図は本発明の一実施例を示すものであ
る。これらの図を参照すると、透光性回転板としての回
転ガラス円板１１は回転軸１２の小径軸部１２ａに遊嵌
されている。そして、回転ガラス円板１１は回転軸１２
の段部１２ｂに対して板ばねリング１３により押し付け
られている。
る。これらの図を参照すると、透光性回転板としての回
転ガラス円板１１は回転軸１２の小径軸部１２ａに遊嵌
されている。そして、回転ガラス円板１１は回転軸１２
の段部１２ｂに対して板ばねリング１３により押し付け
られている。
回転ガラス円板１１には非透光性の放射状パルス符号集
合パターン１４が蒸着等により環状に設けられている。
合パターン１４が蒸着等により環状に設けられている。
また、回転ガラス円板１１には放射状パルス符号集合パ
ターン１４と同心の非透光性環状パターン１５が回転ガ
ラス円板１１の外周に沿って蒸着等により設けられてい
る。放射状パルス符号集合パターン１４及び非透光性環
状パターン１５は回転ガラス円板１１上に同時一体に蒸
着形成させることができるので、両パターン１４゜１５
を正確に同心にすることは容易になし得る。
ターン１４と同心の非透光性環状パターン１５が回転ガ
ラス円板１１の外周に沿って蒸着等により設けられてい
る。放射状パルス符号集合パターン１４及び非透光性環
状パターン１５は回転ガラス円板１１上に同時一体に蒸
着形成させることができるので、両パターン１４゜１５
を正確に同心にすることは容易になし得る。
一方、回転ガラス円板１１とこれらパターン１４゜１５
を正確に同心にする必要はな（、回転軸１２の軸線に対
してパターン１４．１５が同心であればよい。
を正確に同心にする必要はな（、回転軸１２の軸線に対
してパターン１４．１５が同心であればよい。
１６は遮蔽板である。この遮蔽板１６は、非透光性環状
パターン１５の外周半径よりも半径が太き（且つ回転軸
１２の軸線に対して同心に配置された凹状円弧縁部１６
ａを有している。この遮蔽板１６は、非透光性環状パタ
ーン１５と凹状円弧縁部１６ａとの間に弧状の透光領域
が規定されるように回転ガラス円板１１の半径方向外方
に固定配置されている。
パターン１５の外周半径よりも半径が太き（且つ回転軸
１２の軸線に対して同心に配置された凹状円弧縁部１６
ａを有している。この遮蔽板１６は、非透光性環状パタ
ーン１５と凹状円弧縁部１６ａとの間に弧状の透光領域
が規定されるように回転ガラス円板１１の半径方向外方
に固定配置されている。
１７は、非透光性環状パターン１５と遮蔽板１６の凹状
円弧縁部１６ａとの間に回転軸１２の軸線と平行な光線
りを照射せしめる発光装置である。
円弧縁部１６ａとの間に回転軸１２の軸線と平行な光線
りを照射せしめる発光装置である。
使用光線としては平行光線が好ましい。
１８は、非透光性環状パターン１５と遮蔽板１６の凹状
円弧縁部１６ａとの間を通過した光量を検出する受光装
置である。回転軸１２の軸線に対して非透光性環状パタ
ーン１５が偏心していると非透光性環状パターン１５と
凹状円弧縁部１６ａとの間隔が回転ガラス円板１１の回
転角度に応じて変化するため、受光装置１８に照射され
る光量が変化する。
円弧縁部１６ａとの間を通過した光量を検出する受光装
置である。回転軸１２の軸線に対して非透光性環状パタ
ーン１５が偏心していると非透光性環状パターン１５と
凹状円弧縁部１６ａとの間隔が回転ガラス円板１１の回
転角度に応じて変化するため、受光装置１８に照射され
る光量が変化する。
１９は外力付与装置である。この外力付与装置１９は、
受光装置１８により検出される光量に応じて回転ガラス
円板１１の外周部に外力を加えることにより回転軸１２
の軸線に対する非透光性放射状パルス符号集合パターン
１４及び非透光性環状パターン１５の偏心を修正する役
割りを果たす。
受光装置１８により検出される光量に応じて回転ガラス
円板１１の外周部に外力を加えることにより回転軸１２
の軸線に対する非透光性放射状パルス符号集合パターン
１４及び非透光性環状パターン１５の偏心を修正する役
割りを果たす。
第７図は本発明装置における制御回路のブロック図であ
る。第７図において、２０は記憶部、２゛ １は演算部
、２２はインターフェース、２３は回転軸１２を駆動す
る回転軸駆動部である。
る。第７図において、２０は記憶部、２゛ １は演算部
、２２はインターフェース、２３は回転軸１２を駆動す
る回転軸駆動部である。
次に、上記構成装置の自動同心度調整作用を説明する。
発光装置１７から発っせられた光は、非透光性環状パタ
ーン１５と遮蔽板１６の凹状円弧縁部１６ａとの間を通
過して受光装置１８に照射される。
ーン１５と遮蔽板１６の凹状円弧縁部１６ａとの間を通
過して受光装置１８に照射される。
非透光性環状パターン１５が回転軸１２の軸線に対して
偏心していると、回転ガラス円板１１を回転軸１２によ
り回転させたときにパターン１５と凹状円弧縁部１６ａ
との間を通過する光量が変化するため、受光装置１８が
感知する光量は第８図に示すようにｓｉｎ曲線状のうね
りを生ずる。
偏心していると、回転ガラス円板１１を回転軸１２によ
り回転させたときにパターン１５と凹状円弧縁部１６ａ
との間を通過する光量が変化するため、受光装置１８が
感知する光量は第８図に示すようにｓｉｎ曲線状のうね
りを生ずる。
今、回転軸１２の任意位置からの回転角をθとし、光量
が最大に成るまでの回転角度をαとし、光量の最大値を
Ｉａとし、光量の最小値をＩｂとすると、受光装置１８
により検出される光量曲線は次式のようになる。
が最大に成るまでの回転角度をαとし、光量の最大値を
Ｉａとし、光量の最小値をＩｂとすると、受光装置１８
により検出される光量曲線は次式のようになる。
従って、Ｉａ、ｌｂ及びαの値を記憶部２０に読み込ま
せることにより、演算部２１で上式を計算することがで
きる。
せることにより、演算部２１で上式を計算することがで
きる。
上式により、回転軸１２の軸線に対する非透光性環状パ
ターン１５の最大偏心個所の角度位置と最大偏心量が求
まり、該角度位置及び最大偏心量に応じた出力信号がイ
ンターフェース２２を解して回転軸駆動部２３及び外力
付与装置１９に送られる。
ターン１５の最大偏心個所の角度位置と最大偏心量が求
まり、該角度位置及び最大偏心量に応じた出力信号がイ
ンターフェース２２を解して回転軸駆動部２３及び外力
付与装置１９に送られる。
回転軸駆動部２３は偏心量の最大の個所が外力付与装置
１９に対向する位置で回転ガラス円板１１を停止させる
。このとき外力付与装置１９が作動して該外力付与装置
１９のハンマ部１９ａが回転ガラス円板１１の外周部に
押圧若しくは衝突せしめられる。これにより、回転ガラ
ス円板１１が板ばねリング１３の摩擦力に抗して回転軸
１２の軸線に垂直な方向に変位し、非透光性環状パター
ン１５及び非透光性パルス符号集合パターン１４の偏心
が修正される。この修正作業を複数回繰り返すことによ
り、非透光性環状パターン１５及び非透光性パルス符号
集合パターン１４を回転軸１２の軸線に対して正確に同
心にすることができる。
１９に対向する位置で回転ガラス円板１１を停止させる
。このとき外力付与装置１９が作動して該外力付与装置
１９のハンマ部１９ａが回転ガラス円板１１の外周部に
押圧若しくは衝突せしめられる。これにより、回転ガラ
ス円板１１が板ばねリング１３の摩擦力に抗して回転軸
１２の軸線に垂直な方向に変位し、非透光性環状パター
ン１５及び非透光性パルス符号集合パターン１４の偏心
が修正される。この修正作業を複数回繰り返すことによ
り、非透光性環状パターン１５及び非透光性パルス符号
集合パターン１４を回転軸１２の軸線に対して正確に同
心にすることができる。
外力付与装置１９のハンマ部１９ａの先端部には回転ガ
ラス円板１１の破損を防止するための緩衝部材１９ｂ、
例えばゴム部材、合成樹脂部材等を設けることが望まし
い。また、ハンマ部１９ａを駆動する機構としては、第
５図に示すように、ばね１９ｃとソレノイド１９ｄを用
いることができるが、他のいかなる手段を用いてもよい
。
ラス円板１１の破損を防止するための緩衝部材１９ｂ、
例えばゴム部材、合成樹脂部材等を設けることが望まし
い。また、ハンマ部１９ａを駆動する機構としては、第
５図に示すように、ばね１９ｃとソレノイド１９ｄを用
いることができるが、他のいかなる手段を用いてもよい
。
更に、回転ガラス円板１１を回転軸１２に支持させる方
法としては、第９図に示すように、押圧面にゴム、合成
樹脂等の弾性材２４ａを配した押圧部材２４を回転軸１
２のボルト部１２ｃに螺合するナツト２５により回転ガ
ラス円板１１に押し付けるように構成してもよい。
法としては、第９図に示すように、押圧面にゴム、合成
樹脂等の弾性材２４ａを配した押圧部材２４を回転軸１
２のボルト部１２ｃに螺合するナツト２５により回転ガ
ラス円板１１に押し付けるように構成してもよい。
発明の効果
以上の説明から明らかなように、本発明によれば、回転
軸の軸線に対する透光性回転板上の非透光性放射状パル
ス符号集合パターンの偏心を自動的に修正して正確に同
心状態にすることができるので、従来に比して作業効率
の向上を図ることができる。
軸の軸線に対する透光性回転板上の非透光性放射状パル
ス符号集合パターンの偏心を自動的に修正して正確に同
心状態にすることができるので、従来に比して作業効率
の向上を図ることができる。
第１図はロータリパルスエンコーダにおける従来の回転
ガラス円板を示す平面図、第２図はロータリパルスエン
コーダの固定ガラス板の平面図、第３図はロークリパル
スエンコーダの組立て状態を示す側面図、第４図はロー
クリパルスエンコーダの回転ガラス円板上の非透光性放
射状パルス符号パターンが偏心している場合の光パルス
信号の変化特性を示す図、第５図は本発明によるローク
リパルスエンコーダの同心度自動調整装置の一実施例を
示す概略平面図、第６図は第５図に示す装置の概略側面
断面図、第７図は第５図に示す装置の制御回路を示すブ
ロック図、第８図は第５図に示すロータリパルスエンコ
ーダの同心度自動調整装置の受光装置で検出される光量
特性を示す図、第９図は回転軸に対する透光性回転板の
支持構造の変形例を示す断面側面図である。− １１・一回転ガラス円板（透光性回転板）、１２−回転
軸、 １４−非透光性放射状パルス符号集合パターン、１５−
非透光性環状パターン、 １６−遮蔽板、 １６ａ−・−凹状円弧縁部、 １７−発光装置、 １８−・受光装置、 １９−外力付与装置。 特許出願人 ファナック株式会社 特許出願代理人 弁理士 青 木 朗 弁理士西舘 和才 弁理士内聞 部間 弁理士 山 口 昭 之 昭３ツ１ 光４回 回転角→ 第６回
ガラス円板を示す平面図、第２図はロータリパルスエン
コーダの固定ガラス板の平面図、第３図はロークリパル
スエンコーダの組立て状態を示す側面図、第４図はロー
クリパルスエンコーダの回転ガラス円板上の非透光性放
射状パルス符号パターンが偏心している場合の光パルス
信号の変化特性を示す図、第５図は本発明によるローク
リパルスエンコーダの同心度自動調整装置の一実施例を
示す概略平面図、第６図は第５図に示す装置の概略側面
断面図、第７図は第５図に示す装置の制御回路を示すブ
ロック図、第８図は第５図に示すロータリパルスエンコ
ーダの同心度自動調整装置の受光装置で検出される光量
特性を示す図、第９図は回転軸に対する透光性回転板の
支持構造の変形例を示す断面側面図である。− １１・一回転ガラス円板（透光性回転板）、１２−回転
軸、 １４−非透光性放射状パルス符号集合パターン、１５−
非透光性環状パターン、 １６−遮蔽板、 １６ａ−・−凹状円弧縁部、 １７−発光装置、 １８−・受光装置、 １９−外力付与装置。 特許出願人 ファナック株式会社 特許出願代理人 弁理士 青 木 朗 弁理士西舘 和才 弁理士内聞 部間 弁理士 山 口 昭 之 昭３ツ１ 光４回 回転角→ 第６回
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、 ロータリパルスエンコーダの回転軸に支持された
透光性回転板上の非透光性放射状パルス符号集合パター
ンが該回転軸の軸線に対して同心となるように前記回転
軸に対する前記透光性回転板の支持位置を自動的に調整
するためのロークリパルスエンコーダの同心度自動調整
装置であって、前記非透光性放射状パルス符号集合パタ
ーンに対し同心となるように前記透光性回転板の外周縁
に沿って該透光性回転板上に設けられた非透光性環状パ
ターンと、 前記非透光性環状パターンの外周半径よりも半径が大き
く且つ前記回転軸の軸線に対して同心に配置された凹状
円弧縁部を有する遮蔽板と、前記非透光性環状パターン
と前記遮蔽板の凹状円弧縁部との間に前記回転軸の軸線
と平行な光線を照射せしめる発光装置と、 前記非透光性環状パターンと前記遮蔽板の凹状円弧縁部
との間を通過した光量を検出する受光装置と、 前記受光装置により検出される光量に応じて前記非透光
性回転板の外周部に外力を加えることにより回転軸の軸
線に対する前記非透光性放射状パルス符号集合パターン
の偏心を修正する外力付与装置とを備えていることを特
徴とするロークリパルスエンコーダの同心度自動調整装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10029883A JPS59225318A (ja) | 1983-06-07 | 1983-06-07 | ロ−タリパルスエンコ−ダの同心度自動調整装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10029883A JPS59225318A (ja) | 1983-06-07 | 1983-06-07 | ロ−タリパルスエンコ−ダの同心度自動調整装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59225318A true JPS59225318A (ja) | 1984-12-18 |
Family
ID=14270258
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10029883A Pending JPS59225318A (ja) | 1983-06-07 | 1983-06-07 | ロ−タリパルスエンコ−ダの同心度自動調整装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59225318A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61199616U (ja) * | 1985-06-01 | 1986-12-13 | ||
| JPH0213810A (ja) * | 1988-07-01 | 1990-01-18 | Canon Inc | リニアエンコーダ |
| US5486925A (en) * | 1993-06-01 | 1996-01-23 | Rohm Co., Ltd. | Displacement sensing apparatus for a movable member |
| JP2015158401A (ja) * | 2014-02-24 | 2015-09-03 | 三菱電機株式会社 | 偏芯調整装置 |
-
1983
- 1983-06-07 JP JP10029883A patent/JPS59225318A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61199616U (ja) * | 1985-06-01 | 1986-12-13 | ||
| JPH0213810A (ja) * | 1988-07-01 | 1990-01-18 | Canon Inc | リニアエンコーダ |
| US5486925A (en) * | 1993-06-01 | 1996-01-23 | Rohm Co., Ltd. | Displacement sensing apparatus for a movable member |
| JP2015158401A (ja) * | 2014-02-24 | 2015-09-03 | 三菱電機株式会社 | 偏芯調整装置 |
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