JPH0498109A - 回転角測定装置 - Google Patents
回転角測定装置Info
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- JPH0498109A JPH0498109A JP21671490A JP21671490A JPH0498109A JP H0498109 A JPH0498109 A JP H0498109A JP 21671490 A JP21671490 A JP 21671490A JP 21671490 A JP21671490 A JP 21671490A JP H0498109 A JPH0498109 A JP H0498109A
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- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 claims description 32
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 5
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 claims description 2
- 238000005259 measurement Methods 0.000 abstract description 11
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 abstract description 6
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 241000219112 Cucumis Species 0.000 description 1
- 235000015510 Cucumis melo subsp melo Nutrition 0.000 description 1
- FJJCIZWZNKZHII-UHFFFAOYSA-N [4,6-bis(cyanoamino)-1,3,5-triazin-2-yl]cyanamide Chemical compound N#CNC1=NC(NC#N)=NC(NC#N)=N1 FJJCIZWZNKZHII-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 1
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 1
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 1
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 1
- 230000005415 magnetization Effects 0.000 description 1
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 1
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 1
- 238000007493 shaping process Methods 0.000 description 1
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 1
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Optical Transform (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
[発明の目的]
(産業上の利用分野)
本発明は、回転体の回転位置や角速度の測定に用いられ
る回転角測定装置に関する。
る回転角測定装置に関する。
(従来の技術)
周知のように、回転体の回転位置や角速度を測定する装
置には種々のものがある。これらの中で最も普及してい
るものは、光学式、磁気式等のロータリーエンコーダで
ある。
置には種々のものがある。これらの中で最も普及してい
るものは、光学式、磁気式等のロータリーエンコーダで
ある。
光学式ロータリーエンコーダでは、外周部にスリットを
一定間隔に設けた円板を被測定回転体に取付けるととも
に、円板を挟む形に光源と光検出器を配置し、光源から
出た光かスリットを通して光検出器に入射する瓜に光検
出器から信号を取出すようにしている。すなわち、この
ロータリーエンコーダでは、円周をスリット数で割った
角度を単位として測定できるようにしている。一方、磁
気式ロータリーエンコーダでは、円板の外周に一定間隔
に青磁領域を設けておき、この青磁領域を磁気センサ(
MR素子)で検出するようにしている。この磁気式ロー
タリーエンコーダにおいても円周を着磁数で割った角度
を単位として測定できるようにしている。
一定間隔に設けた円板を被測定回転体に取付けるととも
に、円板を挟む形に光源と光検出器を配置し、光源から
出た光かスリットを通して光検出器に入射する瓜に光検
出器から信号を取出すようにしている。すなわち、この
ロータリーエンコーダでは、円周をスリット数で割った
角度を単位として測定できるようにしている。一方、磁
気式ロータリーエンコーダでは、円板の外周に一定間隔
に青磁領域を設けておき、この青磁領域を磁気センサ(
MR素子)で検出するようにしている。この磁気式ロー
タリーエンコーダにおいても円周を着磁数で割った角度
を単位として測定できるようにしている。
これらロータリーエンコーダでは、通常、スリット(青
磁領域)に対応したインクレメントパルス信号と、1回
転の基準となるホームポジションパルス信号とを取出し
、これら2つの信号を演算処理して回転体の回転角や角
速度を測定するようにしている。
磁領域)に対応したインクレメントパルス信号と、1回
転の基準となるホームポジションパルス信号とを取出し
、これら2つの信号を演算処理して回転体の回転角や角
速度を測定するようにしている。
しかしながら、ロータリーエンコーダにあっても次のよ
うな問題があった。すなわち、測定の分解能を上げるに
はスリット(着磁領域)数を増す必要があり、そのため
には円板の直径を大きくする必要がある。しかし、被測
定回転体によっては、回転体そのものが小さいために、
直径の大きい円板を取付けることができないものもある
。また、円板の直径を大きくすると、円板の質量、慣性
モメントが増加する。被測定回転体の質量、慣性モーメ
ントが円板のそれに比べて大きい場合には影響は少ない
が、同等かそれ以下の場合には影響が大きく現れ、被測
定回転体の回転特性が変化してしまうので、精度の高い
測定が困難となる。さらに、ロータリーエンコーダの場
合、被測定回転体に円板を取り付ける必要があるため、
既設の回転体に取付けようとしても制約を受は易く、設
置できない場合が多い。
うな問題があった。すなわち、測定の分解能を上げるに
はスリット(着磁領域)数を増す必要があり、そのため
には円板の直径を大きくする必要がある。しかし、被測
定回転体によっては、回転体そのものが小さいために、
直径の大きい円板を取付けることができないものもある
。また、円板の直径を大きくすると、円板の質量、慣性
モメントが増加する。被測定回転体の質量、慣性モーメ
ントが円板のそれに比べて大きい場合には影響は少ない
が、同等かそれ以下の場合には影響が大きく現れ、被測
定回転体の回転特性が変化してしまうので、精度の高い
測定が困難となる。さらに、ロータリーエンコーダの場
合、被測定回転体に円板を取り付ける必要があるため、
既設の回転体に取付けようとしても制約を受は易く、設
置できない場合が多い。
(発明が解決しようとする課題)
上述の如く、ロータリエンコーダは、測定の分解能を上
げようとすると、被測定回転体に取付ける部分の質量、
慣性モーメントの影響を除くことが困難となり、適応可
能な被測定回転体の範囲が狭い欠点があった。また、既
設の回転体に取付けることも困難であった。
げようとすると、被測定回転体に取付ける部分の質量、
慣性モーメントの影響を除くことが困難となり、適応可
能な被測定回転体の範囲が狭い欠点があった。また、既
設の回転体に取付けることも困難であった。
そこで本発明は、被測定回転体に設けなければならない
部分の質量、慣性モーメントを十分小さくてきるととも
に、測定分解能を容易に上げることができ、しかも既設
の回転体にも容易に対応できる回転角測定装置を提供す
ることを目的としている。
部分の質量、慣性モーメントを十分小さくてきるととも
に、測定分解能を容易に上げることができ、しかも既設
の回転体にも容易に対応できる回転角測定装置を提供す
ることを目的としている。
[発明の構成]
(課題を解決するための手段)
上記目的を達成するために、本発明に係る回転角測定装
置は、平面状の反射面を備え、上記反射面を被測定回転
体の軸心線に対して傾斜させて上記被測定回転体の端部
に設けられた光反射要素と、この光反射要素の前記反射
面に向けて光を照射し、その照射光を前記被測定回転体
の回転に伴わせで上記反射面で円形軌跡上に反射させる
光照射手段と、前記反射面からの反射光の前記円形軌跡
上における位置を検■する位置検出手段とを備えている
。
置は、平面状の反射面を備え、上記反射面を被測定回転
体の軸心線に対して傾斜させて上記被測定回転体の端部
に設けられた光反射要素と、この光反射要素の前記反射
面に向けて光を照射し、その照射光を前記被測定回転体
の回転に伴わせで上記反射面で円形軌跡上に反射させる
光照射手段と、前記反射面からの反射光の前記円形軌跡
上における位置を検■する位置検出手段とを備えている
。
(作 用)
光反射要素は、その平面状の反射面が被測定回転体の軸
心線に対して傾斜するように被測定回転体の端部に設け
られている。光照射手段で上記反射面に向けて光を照射
すると、その照射光は上記反射面を介して円形軌跡上に
向けて反射される。
心線に対して傾斜するように被測定回転体の端部に設け
られている。光照射手段で上記反射面に向けて光を照射
すると、その照射光は上記反射面を介して円形軌跡上に
向けて反射される。
被alll定回転体が回転すると、この回転に伴って上
記反射光の上記円形軌跡上の位置が移動することになる
。反射光の円形軌跡上の位置は、位置検出手段によって
検出される。したがって、位置検出手段の出力から被測
定回転体の回転角を測定でき、また測定された回転角と
単位角移動する時間とから角速度を測定できることにな
る。
記反射光の上記円形軌跡上の位置が移動することになる
。反射光の円形軌跡上の位置は、位置検出手段によって
検出される。したがって、位置検出手段の出力から被測
定回転体の回転角を測定でき、また測定された回転角と
単位角移動する時間とから角速度を測定できることにな
る。
この場合、被測定回転体に設けなければならないものは
、甲面状の反射面を備えた光反射要素だけである。この
ような形状の光反射要素は一般に十分に小型、かつ軽量
に形成することが可能である。したがって、光反射要素
の存在が被1TIII定回転体の回転特性に与える影響
を少なくできる。また、被測定回転体には前記関係に光
反射要素だけを設ければよいので、既設の回転体にも容
易に設けることができ、結局、既設の回転体に対しても
対応できる。さらに、被測定回転体側には無関係に上述
した反射光の円形軌跡の直径を大きくすることができの
で、測定分解能を高くすることもできる。
、甲面状の反射面を備えた光反射要素だけである。この
ような形状の光反射要素は一般に十分に小型、かつ軽量
に形成することが可能である。したがって、光反射要素
の存在が被1TIII定回転体の回転特性に与える影響
を少なくできる。また、被測定回転体には前記関係に光
反射要素だけを設ければよいので、既設の回転体にも容
易に設けることができ、結局、既設の回転体に対しても
対応できる。さらに、被測定回転体側には無関係に上述
した反射光の円形軌跡の直径を大きくすることができの
で、測定分解能を高くすることもできる。
(実施例)
以下、図面を参照しながら実施例を説明する。
第1図には本発明の一実施例に係る回転角測定装置の概
略構成か示されている。
略構成か示されている。
同図において、1は被測定回転体の軸を示している。軸
1の端面2には光反射要素、この例ではミラー3が固定
されている。
1の端面2には光反射要素、この例ではミラー3が固定
されている。
ミラー3は、第2図および第3図に示すように、軽量な
樹脂等で模型に形成されている。そして、一方の面に平
面状の反射面4がスパッタや蒸着などによって形成され
ている。このように形成されたミラー3が反射面4と反
対側に位置する面を介して接着材等によって軸1の端面
2に固定されている。したがって、ミラー3は軸1の軸
心線Pに対して反射面4を傾斜させた状態に端面2に固
定されていることになる。なお、ミラー3は、完全な模
型に限らず、第4図に示すように、平面状で、かつ円形
の反射面4aを備えたミラー3aに置き代えることもで
きるし、また軸1の端面2を同等な形状に加工して得た
ものであってもよい。
樹脂等で模型に形成されている。そして、一方の面に平
面状の反射面4がスパッタや蒸着などによって形成され
ている。このように形成されたミラー3が反射面4と反
対側に位置する面を介して接着材等によって軸1の端面
2に固定されている。したがって、ミラー3は軸1の軸
心線Pに対して反射面4を傾斜させた状態に端面2に固
定されていることになる。なお、ミラー3は、完全な模
型に限らず、第4図に示すように、平面状で、かつ円形
の反射面4aを備えたミラー3aに置き代えることもで
きるし、また軸1の端面2を同等な形状に加工して得た
ものであってもよい。
端面2の近傍には、反射面4に向けて光を照射する光照
射装置5が配置されている。この光照射装置5は、発光
素子6と、この発光素子6から放射された光を細い平行
ビームQに変換して反射面4に照射するレンズ7とで構
成されている。なお、反射面4への平行ビームQの照射
角は、軸1が回転しても反射面4に垂直に入射しない角
度範囲に設定されている。したがって、上記構成である
と、軸1の同転に伴って反射面4への平行ビームQの入
射角が変化するので、反射面4で反射された反射光Rは
入射角の変化で決まる円形軌跡上に照射されることにな
る。そして、反射光Rの円形軌跡上での位置は、軸1の
回転角に対応したものとなる。
射装置5が配置されている。この光照射装置5は、発光
素子6と、この発光素子6から放射された光を細い平行
ビームQに変換して反射面4に照射するレンズ7とで構
成されている。なお、反射面4への平行ビームQの照射
角は、軸1が回転しても反射面4に垂直に入射しない角
度範囲に設定されている。したがって、上記構成である
と、軸1の同転に伴って反射面4への平行ビームQの入
射角が変化するので、反射面4で反射された反射光Rは
入射角の変化で決まる円形軌跡上に照射されることにな
る。そして、反射光Rの円形軌跡上での位置は、軸1の
回転角に対応したものとなる。
この例では、反射面4で反射された反射光Rを円錐ミラ
ー9、レンズ10.11を介して光電変換装置12に導
いている。光電変換装置12は、第5図に示すように、
光電変換素子13を複数個、X軸およびy軸に沿って二
次元的に配置したものとなっている。したがって、反射
面4からの反射光Rは、第5図中に2点鎖線14で示す
円形軌跡の上に照射される。光電変換装置12を構成し
ている各光電変換素子13の出力は、X軸上およびy軸
上においてそれぞれ読み出され、これら出力は増幅器1
5a、15b、波形整形回路16a。
ー9、レンズ10.11を介して光電変換装置12に導
いている。光電変換装置12は、第5図に示すように、
光電変換素子13を複数個、X軸およびy軸に沿って二
次元的に配置したものとなっている。したがって、反射
面4からの反射光Rは、第5図中に2点鎖線14で示す
円形軌跡の上に照射される。光電変換装置12を構成し
ている各光電変換素子13の出力は、X軸上およびy軸
上においてそれぞれ読み出され、これら出力は増幅器1
5a、15b、波形整形回路16a。
16bを介して変換装置17へ送られる。変換装置17
は入力信号が光電変換装置12上のどの位置から送られ
たものかを判定して回転角を導き出すように構成されて
いる。この結果は、一方においては表示装置18に表示
され、他方においては演算装置19に送られる。演算装
置19は、得られた回転角の時間変化特性から角速度を
求めている。そして、求められた角速度は表示装置]8
に表示される。
は入力信号が光電変換装置12上のどの位置から送られ
たものかを判定して回転角を導き出すように構成されて
いる。この結果は、一方においては表示装置18に表示
され、他方においては演算装置19に送られる。演算装
置19は、得られた回転角の時間変化特性から角速度を
求めている。そして、求められた角速度は表示装置]8
に表示される。
このような構成であると、軸1の回転に伴って、光電変
換装置12に照射される反射面4からの反射光Rの位置
が円形軌跡14上を移動する。この実施例では、反射光
Rの円形軌跡14上の位置を検出しており、この位置は
軸1の回転角に対応しているので、結局、軸1の回転角
を測定できることになる。
換装置12に照射される反射面4からの反射光Rの位置
が円形軌跡14上を移動する。この実施例では、反射光
Rの円形軌跡14上の位置を検出しており、この位置は
軸1の回転角に対応しているので、結局、軸1の回転角
を測定できることになる。
そして、この場合には被測定回転体、つまり軸1に取付
けなければならない要素は、平面状の反射面4を備えた
ミラー3たけである。このようなミラー3は、たとえば
縦横がfa■%厚みが0.5 nun程度でも十分て、
スリット付き円板や着磁領域付き円板に比べてはるかに
小型、かつ軽量に形成することが可能である。したがっ
て、ミラー3の存在が被測定回転体の回転特性に与える
影響を少なくできる。また、既設の回転体にも容易に取
付けることができる。さらに、上記構造であると、反射
光Rを導く光学系を選択するたけて被測定回転体側とは
無関係に上述した円形軌跡14の直径を大きくすること
ができる。したがって、測定分解能を高くすることがで
きる。
けなければならない要素は、平面状の反射面4を備えた
ミラー3たけである。このようなミラー3は、たとえば
縦横がfa■%厚みが0.5 nun程度でも十分て、
スリット付き円板や着磁領域付き円板に比べてはるかに
小型、かつ軽量に形成することが可能である。したがっ
て、ミラー3の存在が被測定回転体の回転特性に与える
影響を少なくできる。また、既設の回転体にも容易に取
付けることができる。さらに、上記構造であると、反射
光Rを導く光学系を選択するたけて被測定回転体側とは
無関係に上述した円形軌跡14の直径を大きくすること
ができる。したがって、測定分解能を高くすることがで
きる。
なお、本発明は上述した実施例に限定されるものではな
い。すなわち、上述した実施例では、反射面4で反射さ
れた光を円錐ミラー9、レンズ1011を介して光電変
換装置12に入射させているが、円錐ミラー9の設けら
れている位置に光電変換装置12を配置することもてき
る。また、光電変換装置も光電変換素子13をX軸およ
びy軸に沿って二次元的に複数配置したものに限らず、
第6図に示すように円形軌跡14に沿って光電変換素子
13を複数環状に配置した光電変換装置12aを用いる
こともできる。第5図に示すように、光電変換素子13
をX軸およびy軸に沿って二次元的に複数配置したもの
では、回転角のほかに軸1のスラスト方向の移動量また
は軸]の偏心量も測定可能であるが、回転角の測定に主
眼をおく場合には、第6図に示すように光電変換素子1
3を複数環状に配置した光電変換装置1.2 aの方が
各光電変換素子13と角度との対応関係が明白であるた
め、信号処理を容易化できる。勿論、この場合も半径方
向に二重、三重に光電変換素子を環状配置すれば、回転
角のほかに軸のスラスト方向の移動量または軸の偏心量
も測定可能である。
い。すなわち、上述した実施例では、反射面4で反射さ
れた光を円錐ミラー9、レンズ1011を介して光電変
換装置12に入射させているが、円錐ミラー9の設けら
れている位置に光電変換装置12を配置することもてき
る。また、光電変換装置も光電変換素子13をX軸およ
びy軸に沿って二次元的に複数配置したものに限らず、
第6図に示すように円形軌跡14に沿って光電変換素子
13を複数環状に配置した光電変換装置12aを用いる
こともできる。第5図に示すように、光電変換素子13
をX軸およびy軸に沿って二次元的に複数配置したもの
では、回転角のほかに軸1のスラスト方向の移動量また
は軸]の偏心量も測定可能であるが、回転角の測定に主
眼をおく場合には、第6図に示すように光電変換素子1
3を複数環状に配置した光電変換装置1.2 aの方が
各光電変換素子13と角度との対応関係が明白であるた
め、信号処理を容易化できる。勿論、この場合も半径方
向に二重、三重に光電変換素子を環状配置すれば、回転
角のほかに軸のスラスト方向の移動量または軸の偏心量
も測定可能である。
また、光学系の配置も第1図に示す例に限定されるもの
ではない。すなわち、第7図に示すように、軸1に端面
2に設けられるミラー3bの反射面4を軸1の軸心線P
に対して45°傾けるとともに、軸心線P上にレンズ1
0.11、環状の光電変換装置1.2 bおよび発光素
子6を同軸的に配置し、発光素子6から出た光を光電変
換装置12bの中央部に存在する空洞、レンズ1110
の中央部を介して反射面4に照射するようにしてもよい
。
ではない。すなわち、第7図に示すように、軸1に端面
2に設けられるミラー3bの反射面4を軸1の軸心線P
に対して45°傾けるとともに、軸心線P上にレンズ1
0.11、環状の光電変換装置1.2 bおよび発光素
子6を同軸的に配置し、発光素子6から出た光を光電変
換装置12bの中央部に存在する空洞、レンズ1110
の中央部を介して反射面4に照射するようにしてもよい
。
さらに第8図に示すように、レンズ10aの中央部で反
射面4に対向する位置に軸心線Pに対して45°傾斜し
た反射面20を有するミラー21を固定し、発光素子6
から出た光をミラー21の反射面20を介して反射面4
へ照射するようにし、さらに照射光Qの光軸と軸心線P
との軸合せ作業を容易にするためにレンズ10aにミラ
ー21の位置調整機構22を取付けてもよい。
射面4に対向する位置に軸心線Pに対して45°傾斜し
た反射面20を有するミラー21を固定し、発光素子6
から出た光をミラー21の反射面20を介して反射面4
へ照射するようにし、さらに照射光Qの光軸と軸心線P
との軸合せ作業を容易にするためにレンズ10aにミラ
ー21の位置調整機構22を取付けてもよい。
[発明の効果]
以上のように、本発明によれば、被測定回転体の回転特
性に影響を与えることが少なく、しかも分解能の高い測
定が行え、そのうえ既設の回転体へも容易に対応できる
回転角+111定装置を提供できる。
性に影響を与えることが少なく、しかも分解能の高い測
定が行え、そのうえ既設の回転体へも容易に対応できる
回転角+111定装置を提供できる。
第1図は本発明の一実施例に係る回転角測定装置 2
置の概略構成図、第2図は同装置の構成要件であるミラ
ーの拡大側面図、第3図は同ミラーの斜視図、第4図は
ミラーの変形例を示す斜視図、第5図は同装置に組込ま
れた光電変換装置の平面図、第6図は光電変換装置の変
形例を示す平面図、第7図は本発明の別の実施例に係る
回転角測定装置における要部の概略構成図、第8図は本
発明のさらに別の実施例に係る回転角測定装置における
要部の概略構成図である。 1・・・軸、2・・・端面、3+ 3a、3b・・・
ミラー4・・反射面、5・・・光照射装置、6・・・発
光素子、9・円錐ミラー ] 0.FOa、1.1・・
・レンズ、12;’ 12a、12b・・・光電変換装
置、17・・・変換装置、18・・・表示装置、19・
・演算装置、2トミラー 22・・・位置調整機構、P
・・・軸心線、Q・・・平行ビーム、R・・・反射光。 出願人代理人 弁理士 鈴江武彦
ーの拡大側面図、第3図は同ミラーの斜視図、第4図は
ミラーの変形例を示す斜視図、第5図は同装置に組込ま
れた光電変換装置の平面図、第6図は光電変換装置の変
形例を示す平面図、第7図は本発明の別の実施例に係る
回転角測定装置における要部の概略構成図、第8図は本
発明のさらに別の実施例に係る回転角測定装置における
要部の概略構成図である。 1・・・軸、2・・・端面、3+ 3a、3b・・・
ミラー4・・反射面、5・・・光照射装置、6・・・発
光素子、9・円錐ミラー ] 0.FOa、1.1・・
・レンズ、12;’ 12a、12b・・・光電変換装
置、17・・・変換装置、18・・・表示装置、19・
・演算装置、2トミラー 22・・・位置調整機構、P
・・・軸心線、Q・・・平行ビーム、R・・・反射光。 出願人代理人 弁理士 鈴江武彦
Claims (3)
- (1)平面状の反射面を備え、上記反射面を被測定回転
体の軸心線に対して傾斜させて上記被測定回転体の端部
に設けられた光反射要素と、この光反射要素の前記反射
面に向けて光を照射し、その照射光を前記被測定回転体
の回転に伴わせて上記反射面で円形軌跡上に反射させる
光照射手段と、前記反射面からの反射光の前記円形軌跡
上における位置を検出する位置検出手段とを具備してな
ることを特徴とする回転角測定装置。 - (2)前記位置検出手段は、複数の光電変換素子を二次
元的に配置した光電変換装置を備えてなることを特徴と
する請求項1に記載の回転角測定装置。 - (3)前記位置検出手段は、複数の光電変換素子を環状
に配置した光電変換装置を備えてなることを特徴とする
請求項1に記載の回転角測定装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP21671490A JPH0498109A (ja) | 1990-08-17 | 1990-08-17 | 回転角測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP21671490A JPH0498109A (ja) | 1990-08-17 | 1990-08-17 | 回転角測定装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0498109A true JPH0498109A (ja) | 1992-03-30 |
Family
ID=16692770
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP21671490A Pending JPH0498109A (ja) | 1990-08-17 | 1990-08-17 | 回転角測定装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0498109A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO1998030869A1 (fr) * | 1997-01-08 | 1998-07-16 | Citizen Watch Co., Ltd. | Procede de mesure d'information portant sur la rotation d'un corps rotatif et instrument de mesure de l'information portant sur la rotation |
US8178272B2 (en) | 2007-09-12 | 2012-05-15 | Ricoh Company Limited | External additive, method of manufacturing same and toner |
-
1990
- 1990-08-17 JP JP21671490A patent/JPH0498109A/ja active Pending
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO1998030869A1 (fr) * | 1997-01-08 | 1998-07-16 | Citizen Watch Co., Ltd. | Procede de mesure d'information portant sur la rotation d'un corps rotatif et instrument de mesure de l'information portant sur la rotation |
US8178272B2 (en) | 2007-09-12 | 2012-05-15 | Ricoh Company Limited | External additive, method of manufacturing same and toner |
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