JPS59224139A - 半導体基板移し替え装置 - Google Patents
半導体基板移し替え装置Info
- Publication number
- JPS59224139A JPS59224139A JP9911883A JP9911883A JPS59224139A JP S59224139 A JPS59224139 A JP S59224139A JP 9911883 A JP9911883 A JP 9911883A JP 9911883 A JP9911883 A JP 9911883A JP S59224139 A JPS59224139 A JP S59224139A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- separator
- substrates
- semiconductor substrate
- receiving
- sliding surface
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- Pending
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L22/00—Testing or measuring during manufacture or treatment; Reliability measurements, i.e. testing of parts without further processing to modify the parts as such; Structural arrangements therefor
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は半導体基板の移し替え装置に関し、特に減圧気
相成長装置などの工程において、気相成長後裏“面同志
を突き合せて重ねた２枚の半導体基板を各々１枚に分離
する必要のある場合に使用する半導体基板移し替え装置
に関するものである。
相成長装置などの工程において、気相成長後裏“面同志
を突き合せて重ねた２枚の半導体基板を各々１枚に分離
する必要のある場合に使用する半導体基板移し替え装置
に関するものである。
従来より減圧気相成長装置等では反応ガスの有効利用と
処理能力の向上を目的として２枚の半導体基板を裏面同
志を向き合せに重ねだ状態で気相成長させているだめ、
気相成長後において重ねだ半導体基板を各々１枚に分離
する必要がある。その作業はピンセット等を使用した手
作業で行われていた。この方法においては、ピンセット
による半導体基板へのキズ、作業ミスによる落下、割れ
等の損傷による半導体素子への歩留低下を招き、尚かつ
作業に熟練を要し、その作業の能率は作業者の固有技能
に左右されるため、量産工程として不向きであるという
欠点を有していた。
処理能力の向上を目的として２枚の半導体基板を裏面同
志を向き合せに重ねだ状態で気相成長させているだめ、
気相成長後において重ねだ半導体基板を各々１枚に分離
する必要がある。その作業はピンセット等を使用した手
作業で行われていた。この方法においては、ピンセット
による半導体基板へのキズ、作業ミスによる落下、割れ
等の損傷による半導体素子への歩留低下を招き、尚かつ
作業に熟練を要し、その作業の能率は作業者の固有技能
に左右されるため、量産工程として不向きであるという
欠点を有していた。
本発明は、前記欠点を解消するもので、裏面同志を向き
合せて重ねた複数組の半導体基板を半導体基板収納箱か
ら半導体基板の厚す分の段差を備えた分離器へ移動し、
該分離器を一方に傾斜さぜることにより上段の半導体基
板を重力により一方の半導体基板収納箱に収納し、丑だ
逆方向に傾斜−させることより分離器に残った下段の半
導体を他方の半導体基板収納箱に収納し、それぞれ１枚
ずつに分離した状態で半導体基板を収納箱に収納するよ
うにしたことを特徴とするものである。
合せて重ねた複数組の半導体基板を半導体基板収納箱か
ら半導体基板の厚す分の段差を備えた分離器へ移動し、
該分離器を一方に傾斜さぜることにより上段の半導体基
板を重力により一方の半導体基板収納箱に収納し、丑だ
逆方向に傾斜−させることより分離器に残った下段の半
導体を他方の半導体基板収納箱に収納し、それぞれ１枚
ずつに分離した状態で半導体基板を収納箱に収納するよ
うにしたことを特徴とするものである。
以下本発明の一実施例を図によって詳細１に説明する・
第１図において、設置台１を中央の軸２を中心として左
右に傾動可能に設置し、該台１のほぼ中央に分離器３を
設置すると共に、該分離器３を挾んで第１及び第２の半
導体基オリ収納箱４，５を着脱可能に設置する。
右に傾動可能に設置し、該台１のほぼ中央に分離器３を
設置すると共に、該分離器３を挾んで第１及び第２の半
導体基オリ収納箱４，５を着脱可能に設置する。
第２図（イ）、（ロ）に示すように分離器３は腹敬段の
棚３′、・・・から構成され、各欄３′に上段の半導体
基板８ａを第２の収納箱５に向けて滑走させる滑走面３
ａを形成すると共に、該滑走面３ａの両側に、基板の端
縁を受は入れてその端縁を支え、浮き上りを阻止して基
板を収納箱５に誘導する収納溝３ｂを設ける。さらに滑
走面３ａより基板の厚さ分だけ下げた位置に、下段の基
板８ｂを第１の収納箱４に向けて滑走させる滑走面３Ｃ
を形成すると共に、該滑走面３ｃの両側に、基板の端縁
を受は入れ該端縁を支え浮き上りを阻止して基板を第１
の収納箱４に誘導する収納溝３ｄを設ける。また両滑走
面３ａ 、 ３ｃの境界に下段の基板８ｂの端縁を当接
さぜ第２の収納箱５に向けて滑走するのを阻止する衝壁
３ｅを形成する。−また、第１の収納箱４の後方に、上
下に重ねた半導体基板の組を核箱４から分離器３に向け
て押出す押出し機構６を設置する。また、各収納箱４，
５の基板収納溝４ａ、５ａのピッチと、分離器３の基板
収納溝３ｂ 、 ３ｄのピッチとを一致さぜる。７は移
し替え時収納箱５が転倒するのを防止すると共に、基板
々く抜は出るのを阻止するストッパである。
棚３′、・・・から構成され、各欄３′に上段の半導体
基板８ａを第２の収納箱５に向けて滑走させる滑走面３
ａを形成すると共に、該滑走面３ａの両側に、基板の端
縁を受は入れてその端縁を支え、浮き上りを阻止して基
板を収納箱５に誘導する収納溝３ｂを設ける。さらに滑
走面３ａより基板の厚さ分だけ下げた位置に、下段の基
板８ｂを第１の収納箱４に向けて滑走させる滑走面３Ｃ
を形成すると共に、該滑走面３ｃの両側に、基板の端縁
を受は入れ該端縁を支え浮き上りを阻止して基板を第１
の収納箱４に誘導する収納溝３ｄを設ける。また両滑走
面３ａ 、 ３ｃの境界に下段の基板８ｂの端縁を当接
さぜ第２の収納箱５に向けて滑走するのを阻止する衝壁
３ｅを形成する。−また、第１の収納箱４の後方に、上
下に重ねた半導体基板の組を核箱４から分離器３に向け
て押出す押出し機構６を設置する。また、各収納箱４，
５の基板収納溝４ａ、５ａのピッチと、分離器３の基板
収納溝３ｂ 、 ３ｄのピッチとを一致さぜる。７は移
し替え時収納箱５が転倒するのを防止すると共に、基板
々く抜は出るのを阻止するストッパである。
実施例において、二枚重ねの基板を分離して収納するに
は、捷ず裏面同志を向き合せに重ねて複数組の基板を収
納した半導体収・軸箱４を水平に保たせた設置台１にセ
ットし、設置台１に取はけられた半導体基板押出し機構
６の押棒６ａを押出すことにより、半導体基板収納箱２
に収納された複数組の半導体基板を設置台１（取「・１
けられた分離器３へ移動させ、下段基板８ｂの端縁を収
納溝３ｄに、上段基板８ａの端縁を収納溝３ｂに支えて
両基板を分離器３に一旦収納する。次に設置台１に半導
体基板収納脩５ｅセットしておき、台１の収納箱４側を
矢視Ｃ方向へ持ち上げると、設置台１は軸６を支点に傾
斜し、第２図（ロ）のごとく、上段の半導体基板８ａは
、矢視Ａ方向に重力により滑走面３ａ上を滑走し半導体
基板収納箱５に収納される。この場合、下段の半導体基
板８ｂは分離器３の少なくても半導体基板の厚ザ分の段
差を有している衝壁３ｅに当接しその動きが規１ｔｊｌ
Ｊされているため、収納箱５に向けての滑走がストップ
されている。次に上段の半導体基板８ａを収納した半導
体基板収納筒５を取はずし、設置台１を矢視り方向に下
げ傾斜させると、第２図のごとく下段の半導体基板８ｂ
は矢視Ｂ方向へ滑走面３ｄを滑走し、半導体基板収納箱
４に収納される。
は、捷ず裏面同志を向き合せに重ねて複数組の基板を収
納した半導体収・軸箱４を水平に保たせた設置台１にセ
ットし、設置台１に取はけられた半導体基板押出し機構
６の押棒６ａを押出すことにより、半導体基板収納箱２
に収納された複数組の半導体基板を設置台１（取「・１
けられた分離器３へ移動させ、下段基板８ｂの端縁を収
納溝３ｄに、上段基板８ａの端縁を収納溝３ｂに支えて
両基板を分離器３に一旦収納する。次に設置台１に半導
体基板収納脩５ｅセットしておき、台１の収納箱４側を
矢視Ｃ方向へ持ち上げると、設置台１は軸６を支点に傾
斜し、第２図（ロ）のごとく、上段の半導体基板８ａは
、矢視Ａ方向に重力により滑走面３ａ上を滑走し半導体
基板収納箱５に収納される。この場合、下段の半導体基
板８ｂは分離器３の少なくても半導体基板の厚ザ分の段
差を有している衝壁３ｅに当接しその動きが規１ｔｊｌ
Ｊされているため、収納箱５に向けての滑走がストップ
されている。次に上段の半導体基板８ａを収納した半導
体基板収納筒５を取はずし、設置台１を矢視り方向に下
げ傾斜させると、第２図のごとく下段の半導体基板８ｂ
は矢視Ｂ方向へ滑走面３ｄを滑走し、半導体基板収納箱
４に収納される。
以上の説明から明らかのように本発明による半導体基板
移し替え装置によれば、上下に重−）Ｗだ半導体基板を
分離器に一旦収納し、該分離器を左右に傾動させて基板
を左右に振り分けて収納箱に分。
移し替え装置によれば、上下に重−）Ｗだ半導体基板を
分離器に一旦収納し、該分離器を左右に傾動させて基板
を左右に振り分けて収納箱に分。
離収納するようにしただめ′、複数組の半導体基４反の
分離を容易に行なうことかでき、しかもピンセットなど
使用する必要がないため、キズ、割れ等の損傷を基板に
１−１けることがなく歩留を向」二できる効果を有する
ものである。
分離を容易に行なうことかでき、しかもピンセットなど
使用する必要がないため、キズ、割れ等の損傷を基板に
１−１けることがなく歩留を向」二できる効果を有する
ものである。
第１図は本発明の実施例を示す斜視図、第２１ン１（イ
）、（ロ）は本発明の動作原理の詳細図である。 １・・・設置台、３・・・分離器、３ａ、３ｃ・・・滑
走面、３ｂ。 ３ｄ・・・収納溝、４，５・・・半導体基板収納箱、６
・・・押１ｉｉし機構 特許出願人 九州日本電気株式会社
）、（ロ）は本発明の動作原理の詳細図である。 １・・・設置台、３・・・分離器、３ａ、３ｃ・・・滑
走面、３ｂ。 ３ｄ・・・収納溝、４，５・・・半導体基板収納箱、６
・・・押１ｉｉし機構 特許出願人 九州日本電気株式会社
Claims (1)
- （１）左右に傾動可能に支持させた設置台と、裏面同志
を向き合せに重ねて上下に積層した半導体基板の組を収
納し、設置台の左右動による各組の基板を振り分けて分
離させる分離器と、該分離器を挾んで互いに向き合せて
設置する第１及び第２の半導体基板収納箱と、第１の半
導体基板収納箱から分離器に上下に積層した前記基板の
組を押出す機構とを有し、前記分離器に各組の上段の半
導体基板を第２の半導体基板収納箱に向けて滑走させる
滑走面と、下段の半導体基板を第１の半導体基板収納箱
に向けて滑走させる滑走面とを上下にずらして形成し、
該各滑走面に隣接させて半導体基板の収納溝を上下二段
に配設したことを特徴とする半導体基板移し替え装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9911883A JPS59224139A (ja) | 1983-06-03 | 1983-06-03 | 半導体基板移し替え装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9911883A JPS59224139A (ja) | 1983-06-03 | 1983-06-03 | 半導体基板移し替え装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59224139A true JPS59224139A (ja) | 1984-12-17 |
Family
ID=14238870
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9911883A Pending JPS59224139A (ja) | 1983-06-03 | 1983-06-03 | 半導体基板移し替え装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59224139A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6333630U (ja) * | 1986-08-20 | 1988-03-04 |
-
1983
- 1983-06-03 JP JP9911883A patent/JPS59224139A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6333630U (ja) * | 1986-08-20 | 1988-03-04 |
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