JPS59221626A - バツクグラウンド除去装置 - Google Patents

バツクグラウンド除去装置

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JPS59221626A
JPS59221626A JP58097457A JP9745783A JPS59221626A JP S59221626 A JPS59221626 A JP S59221626A JP 58097457 A JP58097457 A JP 58097457A JP 9745783 A JP9745783 A JP 9745783A JP S59221626 A JPS59221626 A JP S59221626A
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JP
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JP58097457A
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JPH0415409B2 (ja
Inventor
Eiichi Hiraoka
平岡 栄一
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Shimadzu Corp
Shimazu Seisakusho KK
Original Assignee
Shimadzu Corp
Shimazu Seisakusho KK
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Publication date
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    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01JMEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
    • G01J3/00Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
    • G01J3/28Investigating the spectrum

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  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
  • Spectrometry And Color Measurement (AREA)
  • Investigating, Analyzing Materials By Fluorescence Or Luminescence (AREA)
  • Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 (イ)産業上の利用分野 本発明は光電子分光分析2発光分光分析、X線分析等で
得られるスペクトルデータに含まれるバックグラウンド
を除去するのに好適なバックグラウンド除去装置に関す
る。
(ロ)従来技術 一般に、光電子分光分析2発光分光分析、X線分析など
で得られるスペクトルデータには測定中の散乱因子等に
起因してバックグラウンドが含まれる。このようなバッ
クグラウンドの存在はスペクトルデータに基づいて物質
の同定、定量を行う場合には好ましくない。このため、
従来よりスペクトルデータ内に含まれるバックグラウン
ドを除去するようにしている。このバックグラウンドの
除去は、たとえば、直線近似式を選定し、これをスペク
トルパターンにマツチングさせ、マツチングした直線近
似式を先のスペクトルデータから減算するような手法が
採られている。ところが、従来のこのようなバックグラ
ウンドの除去はスペクトルデータと直線近似式の両パタ
ーンについてマツチングの良否を判断しながら、しかも
手動で行なわれている。このためパターンのマツチング
に個人差が生じ最終的に求まる物質の同定、定量結果の
精度や信頼性が損なわれるという問題がある。
まり、両パターンのマツチングのためには多くのスイッ
チやツマミ操作が必要となり、ノ(ツクグラウンドの除
去が煩雑であるという問題もある。
(ハ) 目的 本発明は上述の問題点に鑑みてなされたものであって、
スペクトルデータに含まれるノくツクグラウンドを自動
的に、かつ、効率良く短時間に除去することができるバ
ックグラウンド除去装置を得んとするものである。
に) 構成 本発明はこのような目的を達成するため、測定されたス
ペクトルデータを記憶する記憶部と、この記憶部で記憶
された前記スペクトルデータを一定間隔でサンプリング
してこのサンプリングデータにおける傾き値を算出する
傾き算出部と、この傾き算出部で算出された各傾き値の
頻度を積算してヒストグラムを作成するカウンタ部と、
このカウンタ部で作成されたヒストグラムから所定頻度
以上にある傾き値を選出しこの選出された傾き値に対応
する前記サンプリングデータを読み出すデータ選出部と
、このデータ選出部で選出されたサンプリングデータ・
を基にバックグラウンド線を算出するバックグラウンド
線算出部と、前記記憶部のスペクトルデータからこのノ
くツクグラウンド線算出部で算出されたバックグラウン
ド線を減算する減算部とを設けている。
(ホ)実施例 以下、本発明を実施例について、図面に基づいて詳細に
説明する。
第1図はこの実施例のバックグラウンド除去装置のブロ
ック構成図である。同図において、1はバックグラウン
ド除去装置、2は光電子分光器。
発光分光器、X線分光器などで得られるたとえば第2図
(a)に示すようなスペクトルデータと後述ノ傾き算出
部3で求めた傾き値を記憶する記憶部である。3は記憶
部2に記憶されたスペクトルデータを一定間隔でサンプ
リングして、この各サンプリングデータにおける傾き値
(すなわち、第2図(a)に示す曲線S。の接線の勾配
に相当する)を算出する傾き算出部である。4は傾き算
出部3で算出された各サンプリングデータD1に対応し
た傾き値の頻度を積算してたとえば第2図(C)に示す
ようなヒストグラムを作成するカウンタ部である。また
5はカウンタ部4で求めたヒストグラムかう所定頻度以
上にある傾き値を選出し、この選出した傾き値に対応す
るサンプリングデータを記憶部2から読み出すデータ選
出部である。6はデータ選出部5で選出したサンプリン
グデータを基に7(ツクグラウンド線を算出するバック
グラウンド線算出部である。また7は記憶部2に記憶さ
れたスペクトルデータからバックグラウンド線算出部6
で算出したバックグラウンド線を減算する減算部である
次に上記構成を有するバックグラウンド除去装置1の各
部の動作について説明する。
図示省略した光電子分光器等で測定されたスペクトルデ
ータD。はまず記憶部2に取り込まれて記憶される。つ
まり、第2図(a)の曲線S。で示すようなスペクトル
データが記憶される。傾き算出部3はこの記憶s2に記
憶されたスペクトルデータを一定間隔でサンプリングし
てこの各サンプリングデータにおける傾き値を算出する
。すなわち、第2図(a)の曲線S。についてみればサ
ンプリングデータに対応した位置の接線の勾配を求める
ことに相当する。これは微分計算により算出される。こ
の傾き値を結べば同図(b)のような曲線S1となる。
従って、この曲線S、はスペクトルデータD。のピーク
P、、  P2の各変曲点Q2+  Q4+  Q6+
  への対応位置においてピークを示し、またスペクト
ルデータの曲線Soの勾配か一定のときには当然水平で
一定値となる。傾き算出部3で算出された各傾き値はカ
ウンタ部4に取り込まれる。カウンタ部4は各傾き値の
頻度を積算し第2図(C)に示すようなヒストグラムS
3を作成する。このヒストグラムS、は傾き値が一定値
を示す部分が長いとこれに対応した所がピークとなる分
布曲線S3である。このヒストグラムS3が作成される
と、次にデータ選出部5がヒストグラムS3から所定頻
度(同図中13点)以上の範囲内に存在する傾き値つま
りヒストグラムS3のピーク位置での分布幅x1を設定
しこの分布幅x1内にある傾き値を選出する。従って、
第2図(b)に示す曲線S1についてみれば、区間A1
〜A5における傾き値に3が選出される。さらに、デー
タ選出部5は各区間A1〜A5の幅を予じめ設定したエ
ネルギー幅と比較し、所定のエネルギー幅以下の区間〜
、A4についてはスペクトルデータの選出対象から外す
。従って、結局、区間A、、  A3. A5内におけ
る傾き値が選出されることになる。そして、データ選出
部5は最終的に選出された区間A1.A3.へに存在す
る傾き値に対応するサンプリングデータを記憶部2から
読み出し、この各サンプリングデータをバックグラウン
ド線算出部6に送出する。バックグラウンド線算出部6
はデータ選出部5で選出されたサンプリングデータの各
間を順次直線的に結ぶことにより同図(a)の二点鎖線
で示すようなバックグラウンド線B。を算出する。引き
続いて減算部7は、記憶部2のスペクトルデータと、バ
ックグラウンド算出部6で算出されたバックグラウンド
線B。のデータとを取り込み、スペクトルデータから算
出したバックグラウンド線B。を減算する。これにより
、第2図(d)に示すように、バックグラウンドが除去
されたスペクトルデータが得られることになる。
上記の説明では、スペクトルデータの曲線S。のバック
グラウンドが測定対象区間内において比較的一定の勾配
で推移する場合を示したが、たとえば第3図(a)のよ
うに、バックグラウンドの勾配が途中で変化する場合に
はカウンタ部4で得られるヒストグラムには同図(C)
に示すような複数のピークが表われる。このような場合
には各ピークごとに、所定頻度721 73以上にある
傾き値を選出すれば、これは同図(b)に示すよう忙、
必要な区間AI01AII’ AI□内にある傾き値を
選出することになるので、上述と同様にして必要なバッ
クグラウンド線を算出することができる。
なお、記憶部2のスペクトルデータを傾き算出部3でサ
ンプリングする場合、サンプリングの間隔によって、カ
ウンタ部4で作成されるヒストグラムの分布形状が若干
具なってくる。このためバックグラウンド線算出部6で
得られるバックグラ//ト線の形状も変化するので、ス
ペクトルデータのサンプリング間隔についてはデータの
特性に応じて設定することが好ましい。
(へ)効果 以上のように本発明によれば、スペクトルデータからバ
ックグラウンド線を自動的に算出して、スペクトルデー
タからこのバックグラウンド線を除去するので、従来手
動で行表われていた場合に比べて短時間に処理ができる
。しかもスペクトルデータの特性に応じてサンプリング
間隔等の条件を設定しておけば個人差を生じることもな
いので同定、定量結果の精度ならびに信頼性が向上する
という優れた効果が得られる。
【図面の簡単な説明】
図面は本発明の実施例を示し、第1図はバックグラウン
ド除去装置の全体を示すブロック構成図、第2図および
第3図はバックグラウンド除去装置の動作の説明図であ
る。 1・・バックグラウンド除去装置、2・・記憶部、3・
・傾き算出部、4・・カウンタ部、5・・データ選出部
、6・・バックグラウンド線算出部、7・・減算部。 出 願 人  株式会社島津製作所 代 理 人 弁理士岡田和秀

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. +1)  測定されたスペクトルデータを記憶する記憶
    部と、この記憶部で記憶された前記スペクトルデータを
    一定間隔でサンプリングしてこのサンプリングデータに
    おける傾き値を算出する傾き算出部と、この傾き算出部
    で算出された各傾き値の頻度を積算してヒストグラムを
    作成するカウンタ部と、このカウンタ部で作成されたヒ
    ストグラムから所定頻度以上にある傾き値を選出しこの
    選出された傾き値に対応する前記サンプリングデータを
    読み出すデータ選出部と、このデータ選出部で選出され
    たサンプリングデータを基にバックグラウンド線を算出
    するバックグラウンド線算出部と、前記記憶部のスペク
    トルデータからこのバックグラウンド線算出部で算出さ
    れたバックグラウンド線を減算する減算部とを備えてい
    ることを特徴とするバックグラウンド除去装置。
JP58097457A 1983-05-31 1983-05-31 バツクグラウンド除去装置 Granted JPS59221626A (ja)

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JPH0415409B2 JPH0415409B2 (ja) 1992-03-17

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