JPH05251527A - 電子プローブ微小分析装置 - Google Patents
電子プローブ微小分析装置Info
- Publication number
- JPH05251527A JPH05251527A JP4049239A JP4923992A JPH05251527A JP H05251527 A JPH05251527 A JP H05251527A JP 4049239 A JP4049239 A JP 4049239A JP 4923992 A JP4923992 A JP 4923992A JP H05251527 A JPH05251527 A JP H05251527A
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- JP
- Japan
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- analytical
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 異物の発生源を容易に精度よく特定する。
【構成】 検出部１で検出した異物からの特性Ｘ線を中
央処理装置２で処理し、構成元素を分析ピークとして表
す。得られた分析ピークから異物の発生源を特定するた
めに、分析ピークに関する情報（測定条件（加速電圧、
ビーム電流など）、試料作製に使用した材料、試料作製
に使用した装置の材料、異物の分布の仕方など）をキー
ボード５から入力する。これらの情報と分析データの記
憶装置３に蓄積された特定結果（分析ピーク毎の関する
データと発生源の特定データ）とをファジィ制御回路４
で組み合わせ処理し、確率が高いと思われるものから発
生源を推論し、結果をＣＲＴ６に表示する。
央処理装置２で処理し、構成元素を分析ピークとして表
す。得られた分析ピークから異物の発生源を特定するた
めに、分析ピークに関する情報（測定条件（加速電圧、
ビーム電流など）、試料作製に使用した材料、試料作製
に使用した装置の材料、異物の分布の仕方など）をキー
ボード５から入力する。これらの情報と分析データの記
憶装置３に蓄積された特定結果（分析ピーク毎の関する
データと発生源の特定データ）とをファジィ制御回路４
で組み合わせ処理し、確率が高いと思われるものから発
生源を推論し、結果をＣＲＴ６に表示する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は高精度で容易に異物の発
生源をつきとめる電子プローブ微小分析装置に関するも
のである。
生源をつきとめる電子プローブ微小分析装置に関するも
のである。
【０００２】
【従来の技術】近年、半導体装置の工程途中で発生する
異物の分析用途に、異物検査装置とリンクした電子プロ
ーブ微小分析装置が利用されるようになってきた。
異物の分析用途に、異物検査装置とリンクした電子プロ
ーブ微小分析装置が利用されるようになってきた。
【０００３】しかし、電子プローブ微小分析装置を用い
て異物を分析し、構成する元素の同定を行っても、実際
に異物の発生源を特定することは容易ではない。なぜな
ら、分析を行っている異物が、現サンプルにだけ特有な
装置や材料から発生しているものか、他にも検出される
人間や環境から発生しているものかが区別できないため
である。また、異物分析時の測定条件すなわち電子ビー
ムの加速電圧やビーム電流によっても、検出される分析
ピークの波形が異なるためである。
て異物を分析し、構成する元素の同定を行っても、実際
に異物の発生源を特定することは容易ではない。なぜな
ら、分析を行っている異物が、現サンプルにだけ特有な
装置や材料から発生しているものか、他にも検出される
人間や環境から発生しているものかが区別できないため
である。また、異物分析時の測定条件すなわち電子ビー
ムの加速電圧やビーム電流によっても、検出される分析
ピークの波形が異なるためである。
【０００４】そのため発生源を特定するには、分析デー
タの蓄積と分析者の熟練度が必要とされている。
タの蓄積と分析者の熟練度が必要とされている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】従来技術は、異物の発
生源を特定しようとすると、蓄積した分析データの解析
に膨大な時間と手間を要していた。また、分析者の判断
によって、分析ピークの解釈が異なるという問題があっ
た。
生源を特定しようとすると、蓄積した分析データの解析
に膨大な時間と手間を要していた。また、分析者の判断
によって、分析ピークの解釈が異なるという問題があっ
た。
【０００６】本発明は上記従来の問題点を解決するもの
で、容易に、個人差無く、信頼性の高い異物発生源の特
定ができる電子プローブ微小分析装置を提供することを
目的とする。
で、容易に、個人差無く、信頼性の高い異物発生源の特
定ができる電子プローブ微小分析装置を提供することを
目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】この目的を達成するため
に本発明の電子プローブ微小分析装置は、特定結果を格
納する記憶装置と、分析ピークと分析ピークに関する情
報を組み合わせ処理し異物の発生源を推論するファジィ
制御回路から構成されている。
に本発明の電子プローブ微小分析装置は、特定結果を格
納する記憶装置と、分析ピークと分析ピークに関する情
報を組み合わせ処理し異物の発生源を推論するファジィ
制御回路から構成されている。
【０００８】
【作用】この構成によって、検出された分析ピークから
の異物発生源の特定は、記憶装置に蓄積された特定結果
と組み合わせてファジィ制御回路で処理し、決定される
ため、容易に、個人差無く、信頼性の高い異物発生源の
特定ができる。
の異物発生源の特定は、記憶装置に蓄積された特定結果
と組み合わせてファジィ制御回路で処理し、決定される
ため、容易に、個人差無く、信頼性の高い異物発生源の
特定ができる。
【０００９】
【実施例】以下、本発明の一実施例について、図面を参
照しながら説明する。
照しながら説明する。
【００１０】図１は、本発明の一実施例における電子プ
ローブ微小分析装置の全体構成図である。図１におい
て、１は異物からの特性Ｘ線の検出部、２は中央処理装
置、３は特定結果を格納する記憶装置、４はファジィ制
御回路、５は分析ピークに関する情報を入力するキーボ
ード、６はＣＲＴ、７は電子プローブ微小分析装置であ
る。
ローブ微小分析装置の全体構成図である。図１におい
て、１は異物からの特性Ｘ線の検出部、２は中央処理装
置、３は特定結果を格納する記憶装置、４はファジィ制
御回路、５は分析ピークに関する情報を入力するキーボ
ード、６はＣＲＴ、７は電子プローブ微小分析装置であ
る。
【００１１】以上のように構成された本実施例の電子プ
ローブ微小分析装置について、以下その動作を説明す
る。
ローブ微小分析装置について、以下その動作を説明す
る。
【００１２】まず、検出部１で検出した異物からの特性
Ｘ線を中央処理装置２で処理し、構成元素を分析ピーク
として表す。次に、得られた分析ピークから異物の発生
源を特定するために、分析ピークに関する情報たとえば
測定条件である加速電圧、ビーム電流など、試料作製に
使用した材料、試料作製に使用した装置の材質、異物の
分布の仕方などをキーボード５から入力する。
Ｘ線を中央処理装置２で処理し、構成元素を分析ピーク
として表す。次に、得られた分析ピークから異物の発生
源を特定するために、分析ピークに関する情報たとえば
測定条件である加速電圧、ビーム電流など、試料作製に
使用した材料、試料作製に使用した装置の材質、異物の
分布の仕方などをキーボード５から入力する。
【００１３】これらの情報と分析データの記憶装置３に
蓄積された特定結果、たとえば分析ピーク毎の関するデ
ータと発生源の特定データとをファジィ制御回路４で組
み合わせ処理し、確率が高いと思われるものから発生源
を推論し、結果をＣＲＴ６に表示する。
蓄積された特定結果、たとえば分析ピーク毎の関するデ
ータと発生源の特定データとをファジィ制御回路４で組
み合わせ処理し、確率が高いと思われるものから発生源
を推論し、結果をＣＲＴ６に表示する。
【００１４】推論した結果が正しければ、この分析ピー
クの情報を、分析ピークに関する情報と発生源の特定結
果と共に記憶装置３に格納する。推論がまちがっている
場合は、次に確率が高いと思われる発生源の特定を行
う。
クの情報を、分析ピークに関する情報と発生源の特定結
果と共に記憶装置３に格納する。推論がまちがっている
場合は、次に確率が高いと思われる発生源の特定を行
う。
【００１５】以上のように本実施例によれば、異物の発
生源の特定結果を収集、推論することにより、誰でもが
高精度に容易に、自動で異物の発生源の特定を行うこと
ができる。
生源の特定結果を収集、推論することにより、誰でもが
高精度に容易に、自動で異物の発生源の特定を行うこと
ができる。
【００１６】
【発明の効果】本発明は電子プローブ微小分析装置に、
特定結果を格納する記憶装置と、分析ピークと分析ピー
クに関する情報を組み合わせ処理し物質の発生源を推論
するファジィ制御回路を設けることにより、誰でもが高
精度に容易に、自動で異物の発生源の特定を行うことが
できる電子プローブ微小分析装置を実現できるものであ
る。
特定結果を格納する記憶装置と、分析ピークと分析ピー
クに関する情報を組み合わせ処理し物質の発生源を推論
するファジィ制御回路を設けることにより、誰でもが高
精度に容易に、自動で異物の発生源の特定を行うことが
できる電子プローブ微小分析装置を実現できるものであ
る。
【図１】本発明の一実施例における電子プローブ微小分
析装置の構成を示すブロック図
析装置の構成を示すブロック図
【図２】本発明の一実施例における電子プローブ微小分
析装置の異物特定の流れ図
析装置の異物特定の流れ図
１ 検出部 ２ 中央処理装置 ３ 記憶装置 ４ ファジィ制御回路 ５ キーボード ６ ＣＲＴ ７ 電子プローブ微小分析装置
Claims (1)
- 【請求項１】元素の特性Ｘ線を検出する検出手段と、前
記検出手段で検出された信号を処理し分析情報を作る中
央処理手段と、前記分析情報を格納する記憶手段と、前
記検出手段で検出した信号に関する情報を入力する入力
手段と、前記情報と前記分析情報とからファジィ制御に
よって前記元素の発生源を推論するファジィ制御回路を
備えたことを特徴とする電子プローブ微小分析装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4049239A JPH05251527A (ja) | 1992-03-06 | 1992-03-06 | 電子プローブ微小分析装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4049239A JPH05251527A (ja) | 1992-03-06 | 1992-03-06 | 電子プローブ微小分析装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05251527A true JPH05251527A (ja) | 1993-09-28 |
Family
ID=12825326
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4049239A Pending JPH05251527A (ja) | 1992-03-06 | 1992-03-06 | 電子プローブ微小分析装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05251527A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2019225590A1 (ja) * | 2018-05-22 | 2019-11-28 | 株式会社堀場製作所 | 分析システム及び分析方法 |
| WO2019225591A1 (ja) * | 2018-05-22 | 2019-11-28 | 株式会社堀場製作所 | 分析システム及び分析方法 |
-
1992
- 1992-03-06 JP JP4049239A patent/JPH05251527A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2019225590A1 (ja) * | 2018-05-22 | 2019-11-28 | 株式会社堀場製作所 | 分析システム及び分析方法 |
| WO2019225591A1 (ja) * | 2018-05-22 | 2019-11-28 | 株式会社堀場製作所 | 分析システム及び分析方法 |
| JPWO2019225591A1 (ja) * | 2018-05-22 | 2021-05-27 | 株式会社堀場製作所 | 分析システム及び分析方法 |
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