JPS5921505B2 - 微量ガス流検出器 - Google Patents
微量ガス流検出器Info
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- JPS5921505B2 JPS5921505B2 JP52150413A JP15041377A JPS5921505B2 JP S5921505 B2 JPS5921505 B2 JP S5921505B2 JP 52150413 A JP52150413 A JP 52150413A JP 15041377 A JP15041377 A JP 15041377A JP S5921505 B2 JPS5921505 B2 JP S5921505B2
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- G01F—MEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
- G01F1/00—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow
- G01F1/68—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using thermal effects
- G01F1/684—Structural arrangements; Mounting of elements, e.g. in relation to fluid flow
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- G—PHYSICS
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- G01M—TESTING STATIC OR DYNAMIC BALANCE OF MACHINES OR STRUCTURES; TESTING OF STRUCTURES OR APPARATUS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
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- G—PHYSICS
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- G01M—TESTING STATIC OR DYNAMIC BALANCE OF MACHINES OR STRUCTURES; TESTING OF STRUCTURES OR APPARATUS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
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- G01M3/04—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point
- G01M3/16—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point using electric detection means
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- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/17—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
- G01N21/25—Colour; Spectral properties, i.e. comparison of effect of material on the light at two or more different wavelengths or wavelength bands
- G01N21/31—Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry
- G01N21/35—Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry using infrared light
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Description
【発明の詳細な説明】
本発明は特に赤外線ガス分析器用の微量ガス流検出器で
あつて熱導体と、熱導体の作用範囲内に配置され、細い
線材から成杉かつ太い接続線の間に保持されている抵抗
温度計とから成る形式のものに関する。
あつて熱導体と、熱導体の作用範囲内に配置され、細い
線材から成杉かつ太い接続線の間に保持されている抵抗
温度計とから成る形式のものに関する。
若干の物理的測定法においては、極めて微細に脈動する
圧力又は流量を測定することが問題になる。
圧力又は流量を測定することが問題になる。
このためには、例えば赤外線ガス分析、低い感度範囲の
漏れ測定、医療における呼吸測定又は工程に基づく極僅
少量のガス消費を伴う他の測定が該当する。ガス流の流
れを測定するためには熱線風速計とも称される、冒頭に
述べた形式の微量ガス流検出器を使用することができる
。
漏れ測定、医療における呼吸測定又は工程に基づく極僅
少量のガス消費を伴う他の測定が該当する。ガス流の流
れを測定するためには熱線風速計とも称される、冒頭に
述べた形式の微量ガス流検出器を使用することができる
。
高速微量ガス流検出器とは、機能構成素子がガス区分を
介して温度連結され、一部が質量の小さい２個以上の固
体成形体である極微量ガス流の測定系であると理解され
るべきである。この場合に、例えば比較的に緩慢な、質
量保有成分であつてもよい加熱された固体成形体によつ
て被測定ガス内に、等温場によつて表わすことができる
熱い雲が形成される。強制された流れが前記ガス雲ない
しは等温場を変形する。ガス雲内に配置された単数又は
複数の質量の少ない温度センサによつて、一定の限界内
で流れに比例した信号を発生させることができる。温度
センサの小さな質量慣性に対する要求により１例えば直
径が約０．５〜５・１０一騙の極めて細い抵抗線から成
る抵抗温度計が必要である。
介して温度連結され、一部が質量の小さい２個以上の固
体成形体である極微量ガス流の測定系であると理解され
るべきである。この場合に、例えば比較的に緩慢な、質
量保有成分であつてもよい加熱された固体成形体によつ
て被測定ガス内に、等温場によつて表わすことができる
熱い雲が形成される。強制された流れが前記ガス雲ない
しは等温場を変形する。ガス雲内に配置された単数又は
複数の質量の少ない温度センサによつて、一定の限界内
で流れに比例した信号を発生させることができる。温度
センサの小さな質量慣性に対する要求により１例えば直
径が約０．５〜５・１０一騙の極めて細い抵抗線から成
る抵抗温度計が必要である。
抵抗温度計が約１０〜５０Ｈｚの大きさの脈動せるガス
流の場合でも十分の解読能を有するようにするためには
小さな質量慣性が必要である。更に、最小流量用の流動
検出器の場合には、検出器内で測定効果の強制的対流に
対して生じるようないかなる自由対流も生じ得ないよう
に配慮すべきである。
流の場合でも十分の解読能を有するようにするためには
小さな質量慣性が必要である。更に、最小流量用の流動
検出器の場合には、検出器内で測定効果の強制的対流に
対して生じるようないかなる自由対流も生じ得ないよう
に配慮すべきである。
従つて、約１肩Ｊ以下である有効検出器容積にする必要
がある。この場合に、抵抗温度計の長さは可能な限１！
）０．４〜１．５ｍにするべきである。上記必要性及び
構造規定により、この種の微流検出器は製作の精度に対
する高い要求を伴う精密機械技術による最高級の製作品
であることを必要とする。このことは、著しく高い賃金
配分を伴の必然的に高い生産コストと結び付いている。
Ｄｒ．ギユンテル・シユンク（Ｄｒ．ＧｕｎｔｅｒＳｃ
ｈｕｒｌｃｋ）著１シユネレ・メスフイーラ・フェア・
クライネ・ガスストレータ（ＳｃｈｎｅｌｌｅＭｅ８ｓ
ｆｕｈｌｅｒｆｕｒＫｌｅｉｎｅＧ＆ＳｓｔｒＯｍｅ）
０１９７４年１２月９日、フアクルテート・フエア・エ
レクトロテヒニツク・デア・ウニベルジテートリカルル
スルーエ（ＦａｋｕｌｔａｔｆｕｒＥｌｅｋｔｒＯｔｅ
ｃｈｎｉｋｄｅｒＵｎｉｖｅｒｓｉｔａｔＫａｒｌｓｒ
ｕｈｅ）出版の学術論文によ虱冒頭に述べた形式の微流
検出器は公知である。公知の微流検出器の場合には、熱
導体及び両抵抗温度計は相互に無関係に接続線に吊され
ておシ、これがその弾性的構成に基づいて熱膨張を起す
。この種の微流検出器はそれに課せられた要求を完全に
満足するが、実際的には、振動に対して敏感でありかつ
製作コストが高いことが判明した。多くの測定装置の場
合に避けられない振動によつて場合により敏感な抵抗温
度計の破壊が生じる。据付けの際にも問題がある、それ
というのも抵抗温度計は個々に溶融された接続線に固定
されねばならないからである、この場合に機械的接続は
不可能である。本発明の課題は、振動を殆んど感じるこ
となくかつ僅かな費用でかつ不合格が少なく製造するこ
とができる、冒頭に述べた形式の微流検出器を提供する
ことである。
がある。この場合に、抵抗温度計の長さは可能な限１！
）０．４〜１．５ｍにするべきである。上記必要性及び
構造規定により、この種の微流検出器は製作の精度に対
する高い要求を伴う精密機械技術による最高級の製作品
であることを必要とする。このことは、著しく高い賃金
配分を伴の必然的に高い生産コストと結び付いている。
Ｄｒ．ギユンテル・シユンク（Ｄｒ．ＧｕｎｔｅｒＳｃ
ｈｕｒｌｃｋ）著１シユネレ・メスフイーラ・フェア・
クライネ・ガスストレータ（ＳｃｈｎｅｌｌｅＭｅ８ｓ
ｆｕｈｌｅｒｆｕｒＫｌｅｉｎｅＧ＆ＳｓｔｒＯｍｅ）
０１９７４年１２月９日、フアクルテート・フエア・エ
レクトロテヒニツク・デア・ウニベルジテートリカルル
スルーエ（ＦａｋｕｌｔａｔｆｕｒＥｌｅｋｔｒＯｔｅ
ｃｈｎｉｋｄｅｒＵｎｉｖｅｒｓｉｔａｔＫａｒｌｓｒ
ｕｈｅ）出版の学術論文によ虱冒頭に述べた形式の微流
検出器は公知である。公知の微流検出器の場合には、熱
導体及び両抵抗温度計は相互に無関係に接続線に吊され
ておシ、これがその弾性的構成に基づいて熱膨張を起す
。この種の微流検出器はそれに課せられた要求を完全に
満足するが、実際的には、振動に対して敏感でありかつ
製作コストが高いことが判明した。多くの測定装置の場
合に避けられない振動によつて場合により敏感な抵抗温
度計の破壊が生じる。据付けの際にも問題がある、それ
というのも抵抗温度計は個々に溶融された接続線に固定
されねばならないからである、この場合に機械的接続は
不可能である。本発明の課題は、振動を殆んど感じるこ
となくかつ僅かな費用でかつ不合格が少なく製造するこ
とができる、冒頭に述べた形式の微流検出器を提供する
ことである。
この課題は本発明により冒頭に述べた形式の微流検出器
に卦いて、抵抗温度計のための接続線を熱導体によつて
支持することによつて解決される。
に卦いて、抵抗温度計のための接続線を熱導体によつて
支持することによつて解決される。
従つて、この抵抗温度計のための支持部材は、通常と同
じく白金から成りかつ約１５〜３０・１０−３？の直径
を有する著しく安定な熱導体である。この熱導体は少な
くとも一方側が、有利には両側が弾性的に吊されておシ
、従つて万一の振動は弾性的に吸収される。接続線を熱
導体に固定することによシ交互の加熱の影響下に同一方
向に膨張する、従つて敏感な抵抗温度計は機械的には殆
んど負荷を受けない。微細な抵抗温度計をまず熱導体に
固定することにより１即ち全装置を基板又はそれに類似
したものに固定する前に熱導体に取付けられた接続線と
結合することにより極めて簡単に製造することができる
。更に、本発明によれば、抵抗温度計の間に配置された
接続線を熱導体と導電結合しかつその他の両接続線を絶
縁体を介して熱導体に固定するのが特に有利である。
じく白金から成りかつ約１５〜３０・１０−３？の直径
を有する著しく安定な熱導体である。この熱導体は少な
くとも一方側が、有利には両側が弾性的に吊されておシ
、従つて万一の振動は弾性的に吸収される。接続線を熱
導体に固定することによシ交互の加熱の影響下に同一方
向に膨張する、従つて敏感な抵抗温度計は機械的には殆
んど負荷を受けない。微細な抵抗温度計をまず熱導体に
固定することにより１即ち全装置を基板又はそれに類似
したものに固定する前に熱導体に取付けられた接続線と
結合することにより極めて簡単に製造することができる
。更に、本発明によれば、抵抗温度計の間に配置された
接続線を熱導体と導電結合しかつその他の両接続線を絶
縁体を介して熱導体に固定するのが特に有利である。
こうすることにより１熱導体は同時に測定電圧のために
取出し個所の１つとして使用される、ひいては１つの接
続部もしくは貫通部が不要になる。絶縁体をガラス球で
形成し、それに熱導体及び接続線の２つを埋込むのが特
に簡単な実施形である。
取出し個所の１つとして使用される、ひいては１つの接
続部もしくは貫通部が不要になる。絶縁体をガラス球で
形成し、それに熱導体及び接続線の２つを埋込むのが特
に簡単な実施形である。
系内に卦ける熱膨張率の相異に起因する抵抗温度計に卦
ける機械的応力に関しては、抵抗温度計をアーチ状に形
成しかつその端部で接線方向で接続線に移行するように
構成すれば特に有利である。
ける機械的応力に関しては、抵抗温度計をアーチ状に形
成しかつその端部で接線方向で接続線に移行するように
構成すれば特に有利である。
幾何学的に図面に詳細に説明されているような構成形式
に基づいて、抵抗温度計の曲率に合わされた接続線の相
応するわん曲度が抵抗温度計のわん曲度を決定すること
ができ、それによつて温度計線材は変化のない空間的な
固定を確実に保持する。次に図示の実施例につき本発明
を詳細に説明する。第１図及び第２図には基板が示され
て卦ｂ１これは固定フランジ１１によつて包囲されてい
る。
に基づいて、抵抗温度計の曲率に合わされた接続線の相
応するわん曲度が抵抗温度計のわん曲度を決定すること
ができ、それによつて温度計線材は変化のない空間的な
固定を確実に保持する。次に図示の実施例につき本発明
を詳細に説明する。第１図及び第２図には基板が示され
て卦ｂ１これは固定フランジ１１によつて包囲されてい
る。
基板には、３つの貫通絶縁体１２，１３及び１４が配置
されており１これらのうち第２図では２つだけを見るこ
とができる。貫通絶縁体には、加熱電流を供給するため
及び測定電圧を取出すための接続ピン１２ａ，１３ａ及
び１４ａが設けられている、これについては第３図の関
係で詳細に説明する。もう１つの接続ピン１５ａはアー
ス接続部として役立ちかつ基板１０と導電結合されてい
る。接続ピン１４ａと、白金／イリジウム合金から成る
ばねわん曲部材１６を介して熱導体１７が接続されてお
シ、この他方端部は支持線１８を介して、基板１０と、
ひいては地面と接続されている。熱導体１７のほぼ中心
には、接続線及び抵抗温度計から成る装置１９が設けら
れている。これに関しては明瞭にするために第３図との
関係において詳細に説明する。ここでは、単に装置１９
の接続部が接続ピン１２ａ及び１３ａと接続されている
ことだけ言及する。装置１９の両側には、２つの室２０
及び２１が設けられて卦ｂ１これらの出口２２及び２３
は対向して訃勺かつ装置１９に向つている。室２０及び
２１並びに出口２２及び２３は適当に成形された、面平
行のセグメント成形体２４及び２５から形成されてお虱
これらは遊びを形成するように配置されている。第１図
及び第２図による装置は上方に向つてケーシング（図示
ぜず）内に続いて、ガスが充填される室及び接続通路が
配置されて卦ｂ１これらは室２０及び２１に通じている
、これらの大きい方の室は、放射エネルギー、例えば赤
外線を交番に周期的に負荷すると室２０及び２１間を往
復脈動する流れが生ごる、この場合に、装置１９に出口
２２及び２３によつて形成されるガス流が衝突する。第
３図には、同一符号で同一部分が示されている。装置１
９は３つの接続線２６，２７及び２８から成り１これら
のうち接続線２６及び２７は図面に示されているように
ほぼクランク状に形成されてお勺かつ熱導体１７と｛に
ガラスか６ら成る絶縁体２９内に埋込まれている。接続
線２６及び２７は両側に向つて絶縁体２９から突出しか
つ中間導線３０及び３１を介して接続ピン１２ａ及び１
３ａと接続されている。熱導体１７と同様に白金から成
る接続線２６及び２７の他方側端部はろう接個所３２及
び３３で抵抗温度計３４及び３５と接続されており１こ
れら抵抗温度計はほぼアーチ状に湾曲した形を有する。
抵抗温度計のもう一方の両側部はろう接個所３６及び３
７を介して接続線２８と接続されており１この接続線は
Ｕ字形にわん曲せしめられて卦勺かつ結合点３８で熱導
体１７と導電結合されている。抵抗温度計３４及び３５
と結合ないしはろう接された接続線２６，２７及び２８
の端部は鋭角を形成して熱導体１７に向つて延びかつ抵
抗温度計３４及び３５は接線方向で接続線に移行してい
ることは明らかである。
されており１これらのうち第２図では２つだけを見るこ
とができる。貫通絶縁体には、加熱電流を供給するため
及び測定電圧を取出すための接続ピン１２ａ，１３ａ及
び１４ａが設けられている、これについては第３図の関
係で詳細に説明する。もう１つの接続ピン１５ａはアー
ス接続部として役立ちかつ基板１０と導電結合されてい
る。接続ピン１４ａと、白金／イリジウム合金から成る
ばねわん曲部材１６を介して熱導体１７が接続されてお
シ、この他方端部は支持線１８を介して、基板１０と、
ひいては地面と接続されている。熱導体１７のほぼ中心
には、接続線及び抵抗温度計から成る装置１９が設けら
れている。これに関しては明瞭にするために第３図との
関係において詳細に説明する。ここでは、単に装置１９
の接続部が接続ピン１２ａ及び１３ａと接続されている
ことだけ言及する。装置１９の両側には、２つの室２０
及び２１が設けられて卦ｂ１これらの出口２２及び２３
は対向して訃勺かつ装置１９に向つている。室２０及び
２１並びに出口２２及び２３は適当に成形された、面平
行のセグメント成形体２４及び２５から形成されてお虱
これらは遊びを形成するように配置されている。第１図
及び第２図による装置は上方に向つてケーシング（図示
ぜず）内に続いて、ガスが充填される室及び接続通路が
配置されて卦ｂ１これらは室２０及び２１に通じている
、これらの大きい方の室は、放射エネルギー、例えば赤
外線を交番に周期的に負荷すると室２０及び２１間を往
復脈動する流れが生ごる、この場合に、装置１９に出口
２２及び２３によつて形成されるガス流が衝突する。第
３図には、同一符号で同一部分が示されている。装置１
９は３つの接続線２６，２７及び２８から成り１これら
のうち接続線２６及び２７は図面に示されているように
ほぼクランク状に形成されてお勺かつ熱導体１７と｛に
ガラスか６ら成る絶縁体２９内に埋込まれている。接続
線２６及び２７は両側に向つて絶縁体２９から突出しか
つ中間導線３０及び３１を介して接続ピン１２ａ及び１
３ａと接続されている。熱導体１７と同様に白金から成
る接続線２６及び２７の他方側端部はろう接個所３２及
び３３で抵抗温度計３４及び３５と接続されており１こ
れら抵抗温度計はほぼアーチ状に湾曲した形を有する。
抵抗温度計のもう一方の両側部はろう接個所３６及び３
７を介して接続線２８と接続されており１この接続線は
Ｕ字形にわん曲せしめられて卦勺かつ結合点３８で熱導
体１７と導電結合されている。抵抗温度計３４及び３５
と結合ないしはろう接された接続線２６，２７及び２８
の端部は鋭角を形成して熱導体１７に向つて延びかつ抵
抗温度計３４及び３５は接線方向で接続線に移行してい
ることは明らかである。
このことは上記作用効果に加えて、接続線の前記わん曲
によつてろう接によつて取付ける際に抵抗温度計の曲率
ないしはアーチ状わん曲が強制的に決定されるという利
点を提供する。その素子が全て１つの面内に存在する装
置１９は、熱導体１７及びばねわん曲部材１６と一緒に
、取付けの際に専ら接続ピン１２ａ，１３ａ及び１４ａ
ないしは基板１０と接続さればねならない自立性のユニ
ツトを形成する。
によつてろう接によつて取付ける際に抵抗温度計の曲率
ないしはアーチ状わん曲が強制的に決定されるという利
点を提供する。その素子が全て１つの面内に存在する装
置１９は、熱導体１７及びばねわん曲部材１６と一緒に
、取付けの際に専ら接続ピン１２ａ，１３ａ及び１４ａ
ないしは基板１０と接続さればねならない自立性のユニ
ツトを形成する。
例えば赤外線ガス分析器の内で微流検出器を作動させる
場合、単線ないしは二重線の矢印で出口２２及び２３内
に第３図に示されている脈動性交番流が形成される。
場合、単線ないしは二重線の矢印で出口２２及び２３内
に第３図に示されている脈動性交番流が形成される。
この流動によつて、静止状態で熱導体１７に対して同軸
的に形成される等温場が、規定された状態で攪乱される
、この場合に最初に流れが衝突する抵抗温度計は冷却さ
れかつ次いで流れが衝突する抵抗温度計は加熱される。
この効果によりブリッジ回路の調整された対称は乱され
る。このブリツジ回路は抵抗温度計３４及び３５、２つ
の抵抗Ｒ。及び対角線導線Ｄから成り１後者Ｄには被測
値を測量する、対角線電圧のための電圧測定器３９が配
置されている。端子４１にはブリツジ電圧Ｕｂが設けら
れ、端子４２には熱導体１７のための加熱電圧Ｕｈがか
けられる。原則として、抵抗Ｒ。は抵抗温度計３４及び
３５の抵抗よりも数倍大きい。抵抗温度計に対する抵抗
変化の測定技術的操作は、詳細には示されていない回路
に基づいて行われる。この回路は公知技術に属する、従
つてここでは説明しない。線材直径に関して言及すれば
、接続線２６，２７及び２８の太さは約１０〜２０・１
０−３ｍであ虱一方抵抗温度計の太さは約０，５〜５・
１『３ｍ１有利には約１・１０−３である。図画の簡単
な説明 第１図は赤外線ガス分析器のための測定装置に組込まれ
た微流検出器の平面図、第２図は第１図の卜］線に沿つ
た断面図及び第３図はブリッジ回路の形で図式測定回路
が配属された第１図の部分的拡大断面図である。
的に形成される等温場が、規定された状態で攪乱される
、この場合に最初に流れが衝突する抵抗温度計は冷却さ
れかつ次いで流れが衝突する抵抗温度計は加熱される。
この効果によりブリッジ回路の調整された対称は乱され
る。このブリツジ回路は抵抗温度計３４及び３５、２つ
の抵抗Ｒ。及び対角線導線Ｄから成り１後者Ｄには被測
値を測量する、対角線電圧のための電圧測定器３９が配
置されている。端子４１にはブリツジ電圧Ｕｂが設けら
れ、端子４２には熱導体１７のための加熱電圧Ｕｈがか
けられる。原則として、抵抗Ｒ。は抵抗温度計３４及び
３５の抵抗よりも数倍大きい。抵抗温度計に対する抵抗
変化の測定技術的操作は、詳細には示されていない回路
に基づいて行われる。この回路は公知技術に属する、従
つてここでは説明しない。線材直径に関して言及すれば
、接続線２６，２７及び２８の太さは約１０〜２０・１
０−３ｍであ虱一方抵抗温度計の太さは約０，５〜５・
１『３ｍ１有利には約１・１０−３である。図画の簡単
な説明 第１図は赤外線ガス分析器のための測定装置に組込まれ
た微流検出器の平面図、第２図は第１図の卜］線に沿つ
た断面図及び第３図はブリッジ回路の形で図式測定回路
が配属された第１図の部分的拡大断面図である。
１７・・・熱導体、２０，２１・・・室、２２，２３・
・・出口、２６，２７，２８・・・接続線、２９・・・
絶縁体、３４・；・３５・・・抵抗温度計。
・・出口、２６，２７，２８・・・接続線、２９・・・
絶縁体、３４・；・３５・・・抵抗温度計。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 流れ方向に対して垂直に張設され、少なくとも一方
側が弾性的に懸吊された細長い貫流される熱導体と、流
れ方向で該熱導体の前後にかつ熱導体の作用範囲に配置
された抵抗温度計とから成り、該抵抗温度計が細い線材
から成り、それらの端部で太い線材間に保持されており
、上記熱導体と同じ面内にあり、該熱導体とほぼ平行に
かつ間隔を置いて延びかつ両端で上記接続線の端部に移
行している形式の微量ガス流検出器において、接続線２
６、２７、２８が熱導体１７によつて支持されているこ
とを特徴とする微量ガス流検出器。 ２ 抵抗温度計３４、３５の間に配置された接続線２８
が熱導体１７と導電接続されておりかつその他の２つの
接続線２６、２７が絶縁体２９を介して熱導体に固定さ
れている特許請求の範囲第１項記載の微量ガス流検出器
。 ３ 絶縁体２９がガラス球であり、この内部に熱導体１
７及び２つの接続線２６、２７が埋込まれている特許請
求の範囲第２項記載の微量ガス流検出器。 ４ 接続線２６、２７、２８及びそれらの間に設けられ
た抵抗温度計３４、３５が熱導体１７に対して対称的に
延びた、ほぼライラ形の輪郭に形成されている特許請求
の範囲第１項〜第３項のいずれか１項に記載の微量ガス
量検出器。 ５ 抵抗温度計３４、３５がアーチ状に形成されており
かつその端部が接線方向で接続線２６、２７、２８に移
行している特許請求の範囲第４項記載の微量ガス流検出
器。 ６ 抵抗温度計３４、３５の範囲内に室２０、２１の出
口２２、２３が配置されている特許請求の範囲第１項記
載の微量ガス流検出器。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE2656487A DE2656487C3 (de) | 1976-12-14 | 1976-12-14 | Mikroströmungsfühler für Gase |
| DE000P26564874 | 1976-12-14 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5374457A JPS5374457A (en) | 1978-07-01 |
| JPS5921505B2 true JPS5921505B2 (ja) | 1984-05-21 |
Family
ID=5995438
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP52150413A Expired JPS5921505B2 (ja) | 1976-12-14 | 1977-12-14 | 微量ガス流検出器 |
Country Status (8)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4154087A (ja) |
| JP (1) | JPS5921505B2 (ja) |
| CH (1) | CH626452A5 (ja) |
| DE (1) | DE2656487C3 (ja) |
| FR (1) | FR2374626A1 (ja) |
| GB (1) | GB1556979A (ja) |
| IT (1) | IT1088026B (ja) |
| NL (1) | NL186406C (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6321057Y2 (ja) * | 1984-10-31 | 1988-06-10 | ||
| JPH0353379Y2 (ja) * | 1984-03-14 | 1991-11-21 |
Families Citing this family (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE2720636C2 (de) * | 1977-05-07 | 1985-01-03 | Leybold-Heraeus GmbH, 5000 Köln | Pneumatischer Infrarot-Strahlungsdetektor mit einer vakuumdichten Kammer und einem strahlungsdurchlässigen Fenster |
| DE2845662A1 (de) * | 1978-10-20 | 1980-05-08 | Bosch Gmbh Robert | Vorrichtung zur messung der masse eines stroemenden mediums |
| JPS57173758A (en) * | 1981-04-20 | 1982-10-26 | Hitachi Ltd | Hot wire type current meter |
| US4523461A (en) * | 1983-05-02 | 1985-06-18 | Air Sensors, Inc. | Hot wire anemometer |
| US4604895A (en) * | 1983-05-02 | 1986-08-12 | Air Sensor Inc. | Hot wire anemometer |
| DE3630427A1 (de) * | 1986-09-06 | 1988-03-10 | Draegerwerk Ag | Hitzdrahtsensor zur integralen messung von stoff- oder volumenstroemen |
| DE3842399C2 (de) * | 1988-12-16 | 1997-07-31 | Fisher Rosemount Gmbh & Co Ges | Mikroströmungsfühler für Gase |
| EP1832865A4 (en) * | 2004-12-28 | 2008-09-10 | Yokogawa Electric Corp | Infrared gas analyzer |
Family Cites Families (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US2509889A (en) * | 1948-01-13 | 1950-05-30 | Bell Telephone Labor Inc | Differential altimeter |
| US2645117A (en) * | 1948-12-30 | 1953-07-14 | Continental Can Co | Leak detector for cans and the like |
| US3621707A (en) * | 1969-07-08 | 1971-11-23 | Hewlett Packard Co | Thermal conductivity detector assembly |
| US4024761A (en) * | 1976-06-11 | 1977-05-24 | Kyma Corporation | Directional hot film anemometer transducer |
-
1976
- 1976-12-14 DE DE2656487A patent/DE2656487C3/de not_active Expired
-
1977
- 1977-10-31 IT IT29204/77A patent/IT1088026B/it active
- 1977-11-28 CH CH1452177A patent/CH626452A5/de not_active IP Right Cessation
- 1977-12-07 NL NLAANVRAGE7713537,A patent/NL186406C/xx not_active IP Right Cessation
- 1977-12-08 GB GB51195/77A patent/GB1556979A/en not_active Expired
- 1977-12-14 US US05/860,477 patent/US4154087A/en not_active Expired - Lifetime
- 1977-12-14 FR FR7737713A patent/FR2374626A1/fr active Granted
- 1977-12-14 JP JP52150413A patent/JPS5921505B2/ja not_active Expired
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0353379Y2 (ja) * | 1984-03-14 | 1991-11-21 | ||
| JPS6321057Y2 (ja) * | 1984-10-31 | 1988-06-10 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5374457A (en) | 1978-07-01 |
| NL186406B (nl) | 1990-06-18 |
| NL7713537A (nl) | 1978-06-16 |
| DE2656487B2 (de) | 1980-04-30 |
| IT1088026B (it) | 1985-06-04 |
| FR2374626A1 (fr) | 1978-07-13 |
| NL186406C (nl) | 1990-11-16 |
| GB1556979A (en) | 1979-12-05 |
| FR2374626B1 (ja) | 1982-11-26 |
| US4154087A (en) | 1979-05-15 |
| DE2656487C3 (de) | 1981-01-29 |
| CH626452A5 (ja) | 1981-11-13 |
| DE2656487A1 (de) | 1978-06-15 |
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