JPS59212502A - サ−ボ弁 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 、トー発明は流体動力装置用光学的制御機構、特に、流
体動力系を、中間の電気的又は流体段階を要件とするこ
となく直接に制御−４る光学的制御系に関する。

流体動力装置は機械的部品の制御運動をＬｊえる広い応
用範囲に使用さ・Ｖられζいる。典型的には、か＼る流
体動力装置は、該装；６１の制御部品からり。

えられた電気的制御１４号に応動する電磁的制御装置に
より制御された。しかしながら、か−る流体９ｔｌ＋力
装置の容積及び重量は、多くの応用に対して！ｉましく
ない傾向があった。同様にか＼る装置の電気制御ｌｉｄ
　ｌ洛は１渉と破損を受けるので、遮蔽又は保誰装置を
必要としこれは装置の：１ストを増加し、またその容積
及びｍＮを史に増加した。また、か＼る装置は比較的複
雑であ５．て−刊Ｈ破損を受り易かった。それ故に信頼
性、寸度及び巾Ｐが重要な条件である応用例におい°ζ
は、より１１純、小Ｊ、ｌｉ！Ｊ、軽量な制御装置が望
ましか−２た。

光学的制御信号により動力部品を制御Ｊる光′ｊ３式油
圧制御装置は先行技術において周知である。

しかし、なから、か＼る先行の光学的制御装置は、光学
的信号によっ′ζ油圧装置を直接制御はしない。

例えば、か−る先行光学的制御装置はし、ぽしは光重式
受信器と遠隔電力源を慣用の電磁制御部品とを組合せ使
用する。この光電式受（’Ｍ器は、のせかけの干渉を排
除するため’Ｆ！ｉに設８１された遠ｈ′＾電力供給源
により動力を供給される。か＼る先１１光学的装置は光
学的信号を電気的制御信号に変換する設備を必要とした
ので、実際に流体制御装置１６′の複５！１トさ、寸度
及び重量がさらに何階した。

よっζ、先行技術においＣは、油圧動力装置を直接に光
学的制御系列により制御し、かつ中間の制御モードへの
転換を必要としない光学的制御装置に対するニーズがあ
った。従来は、光学的ｊ−ネルキ１４ｉより得られる動
力では、光学的信号を以゛（該曲用装置の直接制御はな
し得ないものと考えら；ｉ’１．　’　ｉＺ　　い　）
こ。

本発明によれは、制御装置は光”ｉ”的制御信号に応１
１ｕＪシて２個の流体室間の着流体圧を制御する。

該制御装置１５′は該２室にそれぞれ連通”」る流体ボ
ートを通る流体流を制御することにより、該２室内の流
体圧力を決定する制御部材を含む。該制御部材は感ｌｉ
、！ｉビーム構造ヒに、該部材が該ボートを通る流体流
を該ｎ財Ａの該ボー１−に対する相対位置により制御す
るように支持される。光学的手段は光学的制御信号をｌ
：Ｊ、え、これは該ビーム構造を照射し、よって加熱し
゛ζ制御部Ｈの位置を制御する。

特に油圧弁に応用した場合、該流体室間の差圧は弁スプ
ールの位置を制御する。

好ましくは、該ビーム構造は検出ビームに平行な基〆碧
ビームを含み、該基１１１ｊ及び検出ビームは、該制御
部材の一端に連結される。該基７（１ｉ及び検出ビーム
は略々同一の…日ノ１１及び長さを有するので、周囲温
度の変化により該流体ボートにり１ず乙制御部材の移動
は／−１：しない。同様に、好ましくは、検出ビームの
みが該光学的手段により照射され、かつ制御部材は平衡
の位置から遠さかるよす６−バイアスされている。該光
学的」１段は４＆　ｉｌｉ’ｌ　ｈｌｌ１部月の位置を
制御するため＋ｔＲｄ整される。

同様に、好ましくは、油圧弁に１５いこ使用されるよう
に、弁スプール位置′を検出しそＪｌ、にｆｌ−；Ｗ　
１．／て制御部材の位置を制御するためにフィードバッ
ク手段を設ける。フィートハック」一段は、光スプール
の測定された位置に応答して変調された指令信号により
制御部材の位置を制御することがＣきる。代って、この
フィートハック＋段は弁スプールと制御部材との間を機
械的に結合して制御部材の位置を、その平衡４）７　ｉ
ｙ＋’、のカー・、該部材を、押そ−ノとする対向トル
クを加えることに、１り制御−４−る３Ｌうにすること
ができる。

本発明の他の目的、刊点のｉＩＹ細は好適な実施例につ
いての以トの記載により明らかとなろう。

第１し１及び第２Ｎ８くのごとく、不発１１１１　ｌこ
係イ）光学的油圧装置の好適なる実施例は、フラッパ型
弁の内に用いられ、該弁においζはフラ・ツバ制御２ボ
ートノズルが油圧摺動弁に差圧を５．える。しかしなが
ら、本９：、Ｉ９０よ、同様に多くの他の油圧制御に通
しζいる。例えば、当業者には明らかなよつに、本発明
の光学式油圧装置は米国特許第３８６６６２０冒−に記
載された如きシェツト変向型弁及び米国特許第２８８４
！１８６号に記載された如きジ、ｌ・ノＩ−パイプ弁に
４）応用することができる。

第１図及び第２図示のごとく、該弁の作動は、弁スプー
ル（１２）の、弁／１・体（１６ンの中に形成さ１１、
たシリンジ　（１４）内の荀ｉ６′により制御される。

シリンジ（１４）内の弁スプール（１２）の運動口、ｆ
ｒ８辿りζ流れ６流体流を該シリンダ壁中に位置−４る
適当なボー１−を開閉するごとにより制御することがで
きる。

弁スゾール（１２）の運１１す」は、該弁スプール（１
２）のｌＪ＋ｌ　＋ｊｌｉ、ｌ　（１８）　、（２０）
に加えられる差圧により制ｆａｌｌさ才）、る。両端（
１８）　、　　（２０）は、それぞれ連絡（２６）　　
、　　（２８）　ｌこより流体ｊ１−室（２２）　　、
　　（２，ｉ）と連Ｊ−４る。

圧力室（２２）　、　　（２４）はそれぞれノズル（３
０）　。

（３２）と連通ずる。流体は人口室（図ボーｕ１゛）か
らそれぞれ固定オリフィス（２６ａ　）　、　　（２８
ａ　）を通って圧力室（２２）　、　　（２４）へ供給
される。室（２２）と（２４）の差圧、従っ−ＣＣスス
ゾール１２）の両端（１８）と（２０）に加えらト１．
る着用−は、７ノスル（３０）と（３２）を逓る相対的
流体流の制御により決定される。

特に、第２図４にのごとく、ノズル（：；０）と（３２
）を通る流体の相対流は、制御部＋Ａ’　＜３４＞との
接再度により制御される。第２図示のごとく、制御ｒ（
１；＋Ａ’　（３４）は平衡の位置にあると、そこでは
ノズル（３０）及び（３２）と等しい距離にあるのＣ１
両ノズルを通る流量率は咄々Ｈしごあり、室（２２）と
（２４）の間の差圧は略々零である。

制御部＋Ａ’　（３４）と一体に感Ｗ１１ビーム支持構
造（３６）は形成され、どれは基準ヒーＪ、　（３８）
　と検出ビーム（４０）を含む。ビーム（３Ｂ）　、　
　（４０）は１１７行配：６１され、制御ｆｌ目、ｔ（
３４）の一端にイー１着される。その反対端でビーム支
（）構造（３６）はヒー１−シンク（４２）により弁本
体（１６）に連結される。

かくして、ビーム支持構造（３６）は制御部＋４を弁本
体（Ｉ６）から支持し、かつ制御Ｃ（１（材（３４）を
ノズル（３０）　、　　＜３２）の間に維持する。

ソイ−ドパ・７りばね（４４）が、ビーム支持構造（３
６）の反対側で制御部月（３４）に連結される。

ソイードハノクばね（４４）は弁スプール（１２）に連
結されて、制御部、目（３４）を弁スプール（１２）の
動きに応答して制御する。

開ボされた光学的油ｊ３．．装置Ｊ番ま史に、制御部＋
４（３４）の位１６゛を制御するため光１的甫令摺勅を
以ご感温ビーム支持構造（３６）を選択的に照」・１す
る）Ｘ′に′的手段を含む。該好適な実施例に図ボのご
とく、該光学的手段は、該光学的指令信号を導く手段と
して光導波路（４６）　と、光エネルギ源とを含め、こ
れは第３図につい゛ζ一層詳細に記載する。

ご＼においては、用語）°【、学的指令信号及び光学的
エネルギ淘は、波長の広い範囲内であつ−ζ赤外及び紫
外光線並ひに１１Ｊ視スペク１−ラムの光を含む範囲内
を伝播する光のエネルギを含む。

第３図示のごとく、指令制御器又は他の制御装置からの
電気人力信号は、制御増巾器（５０）にＩＪえられる。

制御増巾器（５０）はｉｌ：制御（、’、、　、１．ｊ
の）Ｊ−インを調節し、それは次いで電圧−周波数変換
器（５２）へ送られる。電圧−周波数変換器（５２）は
へ〇伯号を出すがその周波数は人力信°・ラミ圧の大き
さに比例する。電圧−周波数変換器（５２）からの制御
された周波数信号は、１１１４列に接続された。と個の
・ノンショソトマルチハイソレータ（５４）　、　　（
５Ｇ）　’ａ’：含む論理回路（５３）へ送られる。２
個のマルナハイフレーク（５４）　、　　（５６）の出
力は１（を中器（５８）　。

（６０）　、　　（６２）　、　　（６４）に送られ、
これらはそれぞれパルスレーザダイオード（６６）　、
　　（６８）　。

（７０）及び（７２）を駆動する。

レーザダイオード（６６）〜（’／２）から伝播した光
学的エネルギは先導波１洛（７４）　、　　（７６）　
、　　（’７）Ｄ及び（８０）に送られる。光４波路（
７４）−（８０）の列は単一の導波１♂８　、（４ｆｉ
）に結合され１．ｌれは検出ビーム（４０）を照射オペ
き光指令（ｄ号を導く。

該好適な実施例の動作においては、弁スプール（１２）
の位置を変えることにより油圧装置の流れｊ子路を変え
るために、迫ｉＦなる湘令信号が光学ｆ灼発住器（第３
図）内の制御増巾器（５０）に送られ？〕。電圧−周波
数変換器（５２）は増巾器（５０）のＪｄ　’！沓され
ノこ出力？１１圧を文法：（Ｉｔ号に変換し、この出力
信号の周波数は人力信号電圧の大きさＧこ比例Ｊ゛る。

論理回路（５３）及びワンショ・ノトマルチノ＼イブレ
ータ（５４）　、　　（５６）　ＩＪ、周波数変換器（
５２）からの交流信号の１゛昇及び降ト端縁に応答し゛
（狭いパルスをつくる。ワンショツ［・マルチノ＼イブ
レータ　（５４）　　、　　（５６）により・バられた
ノマルス番よノマルスレーザダイオード（６６）〜（７
２）を動作するために増巾器Ｎｉ８）〜（６４）によ、
１．て増巾さｈする。

パルスレーザダイオード（６６）〜（７２）からの光学
的信号は光パｔ°的指令信号を含み、これは光導波路（
７４）〜（８０）により先導波路（４６）の中Ｇこ斧古
１″ｒされる。

１１３１図及び第２図についζ、光導波ＩＩＲ（４６）
を通って伝播された光学的指令信号は検出ビーノ、（４
０）を照射するため導かれる。検出ビーム（４０）の設
計及び材料組成は制御部＋Ａ（４ｏ）に充分な周波数応
答を与えるよ・）に選択する。例えは、検出ビーム（４
０）は、適止な断面積、積さ、弾喧１１係数、熱伝導率
、比熱、温度膨張係数及び密度を自しこ、特殊な用途に
対して充’ｒ３な周波数応答をＩＪえる、１、うにする
。好適なる実施例としで、検出七−ノ、（４０）は選定
された…ｉ而面及びＪＱさ、　Ｇ、：３×１０−’ｃａ
ｌ／　ｓ　／　ｃＪ　／　’Ｃ（１，４ワット／インチ
・”Ｆ）以ドの熱伝導率、少なくと４）５／−ｃ　（！
］／’下）のｆ′ｋ）膨張係数をもち、かつ、ダイオ−
１”　（６６）−・（’／２）　　　　　′により放射
される波長の光エネルギに？ｉ！度的に感応する正方形
ビーム形状の商用張力鋼と−」る。

該好適な実施例においζは、Ｘ、準ビーム（３８）はビ
ーム（４０）と同じ設δ１及び組成であるので、これら
２１１１１１のビームは周囲油ｒＡ！ｌの変−助に応答
して同じ割合で同じ分量だけ伸縮をｆＪ’＋。か＜ＬＣ
１制御部祠（３４）は、周囲浦１／Ｉ１１の変動にも不
拘ノズル（３０）　、　　（３２）間の一定位置を翁１
（、冒する。

しかしながら、光学的指令信号に、Ｌ（〕検検出ビーム
４０）の照射は、ビーム（３）０　と（４ｆ＋）の間に
ｌ晶度差を先住さ−Ｕ、ビーム（４０）を基ｒｐビビー
（３８）より長くする。ビーム（４０）の１，４さの変
化は、制１３１１部祠（３４）を両ノスル（３ｆ１）　
、　　（３２）間の等距離の）１ノ南１１７置から移動
さ−Ｕるので、それはｌｉ１＋ｌノスルを通る流体流に
差を生せしめる。流体流のこの差は室（２２）と（２，
１）の間に月二力差をつくり、これは力“０路（２６）
　、　　（２Ｅ＋）を径て弁スプール（■２）に加えら
れこれを勅か−づ。

１１１４端（１Ｂ）　、　　（２０）の間の差圧に応答
して弁スプール（１２）が運動するとき、それはフィー
ドハックぽね（４４＞ニより制（ａｌｌ　ｉ’ｉｌｆ材
Ｇ１４）　４コ対抗トルクを及ぼｊ。ごの対抗トルクは
、ビーム（３Ｂ）と（４０）　０月ａさの差により制御
部材（３４）に加えられたトルクに対ｉ）’ＣＬ、−に
の大きさは弁スプール（１２）の変’ｌｔ’Ｈに比例し
Ｃｆｌ’１人する。当業者には周知のコｃ”、　（、弁
は、フィートパックばね（４４）により１１置すた対抗
トルクが、ビーム（３８）と（４０）により／−１ニジ
たトルクと等しり７する点で、弁スプール（１２）の変
イ１ンは、１ｌｒｌｌ　ｆａｌｌ増１１増器１Ｊ器１）
への入力信号により指令された油圧流径路内の変化が完
ｒするため必要な変角にり・１応゛４−るよう設置（１
され′（いる。

好適なる実施例においては、単にビーム支持構造（３６
）の１つのビームのめか光′！テ的詣令イ１４号により
照射される。従っ乙ごのビーム娼、１構造の設計は次の
通りである。ビーム構造を）１゛、パｊ１的イ、）４が
照射していないときは、それは制御ｆｊＢ＋、ｌ’　（
３４）をノズル（３２）の乃−へ向う最極端のく）°旨
（′」°にイ何・Ｖ−→る。光学的指令信号による検出
し一ム（４（すの１（（（射は、ビーム（４０）を伸長
せしめ、制御部材（！慴）をイｌｊのノズル（３０）の
ノｆ−１押オトルニ°ノ４発／−１°−４秀）。

ノズル（３０）と（３２）の間の；ｔｉｌ制御部祠（３
４）の１）装置の全範囲は、検出ビーＪ−’　（４［］
）を１（（ｉ射する光’Ｐ階令信号をｌＩ＋Ｉ整するこ
とにより冗成される。尤′ｌ的制御イｔ１号の調整（Ａ
、光学的伯ｊ＋　ｊ、’、）ろ・ノ’１．０）　ｉｌｉ
’ｌ　？１ｉｉｌにより又は導波路（４６）を通、ｖ’
Ｃ伝播伝播光″ｊ！的信号の強度又は継続期間の直接の
調度により間ｔ８的に完成することができる。

代って、照射する光学的信号のないときビーム支持構造
（３６）が、；ｆｌｌｔ　ｉａｎ部＋４’　（３４）を
／　：）（ル（３０）の方・＼の最極端の位置に支持す
る３１−・）に設ｎ目るごと４）できる。この実施例に
おいては、光学的制御装置による検出ビーム（３日）の
照射は、制御部１．４　（３４）をノズル（３２）の方
へ押すトルクを発４を一３゛る。

１−一ノ・支持構造（３６）を照射するだめの、代りの
機構におい゛（は、光′１Ｐ゛的信号は、ビーム構造の
１以」−のビームを照射するため複数個のファイバによ
りうえられる。、′、の場合は、光学的指令信号ｔこよ
る照射がＩ：Ｉｐのときビーム支持構造は、制御部刊（
３４）をノズル（３０）又は（３２）の中の・１つに極
端に接近した旬：６１以外の、あるイ１”ｆ置に支持す
ることができる。例えば零ｊｊｊ４射に対し“ζ制御部
材（３４）をｊｌｔｌ恒例に翁１持“３−ることができ
る。

＋発明は、航空その伯の高信頼性の用途における；（λ
複制御装置の要求に充分に応しくＭるものである。本発
明の光学的制御装置は、特にご＼に開）ＲさＩ・ｔ、　
ｌこ実ｂ）６例」１！びに当業者にと−７て明らかなそ
の他の実施例の件１位のものに係る重複制御装置にコン
パクトに配置゛４゛ることかできる。なお、佳怠のか＼
る１１（複装置は、本来重複制御す十ン不ル間の１１い
１％離度を自“４゛る。これは、Ｕ７はしは容積の高ば
った収納の厄介な制御装置を必要と−４４）市７カ制御
チャンネル間の隔離というｒｉａ１同な間Ａ′！ｔのＪ
）る先行制御装置に対して顕著に優れた改良Ｃある。

本発明の他の多くの実施例は゛１′１業Ｆｆｌこは明ら
がであろう。例えは、機械的フィー１ハツクはね（４４
）は弁スプール（１２）に連結されたイ妬１う°検出変
換器によっ゛ζ補充又は交換゛→ることごきる。ごの場
合、該位置検出変換器の出方は、光パｙ的）ｆＴ　＜’
ｊ倍信号変調するためのフィートハック信号として使用
することができる。同様に、（）“ｌ：　ｊｉ”ｒ′検
出変換器は油圧装置のアクチュエータ又は負（：ｊｌに
結合し′Ｃ３光学的１１を令信号の直接又は間接変６１
ｊ４のだめのフィートハック信号を与えることができる
。

第４図は本発明の変形実施例をボし、それでは流れノズ
ル及び制御部材の配置は、弁スプール（１ン置の恒久的
フィードハックをｔ〕えるように設ｄ１される。第４図
示の光学−サーボ弁におい（は、弁の作動は、弁本体（
４１６）の中Ｑこ形成されノこシリング　（４１４＞　
内の弁スプール（／１１２　）の０置にょり制御される
。シリンダ　（４１４）内の弁スプール（４１２＞の運
動は、該シリンダの壁に位置Ｊる適１１−１なボートを
開閉することにより、弁を通る油圧流体流を制御する。

ｈ−スゾール（４１２＞の連動は、弁スプール（４１２
）の両端（４１Ｂ）　、　　（，１２０＞に力目えられ
る着用二により制御される。これらの両端（４１８）　
、　　（４２０）は流体圧力室（４２２）　、　　（４
２４）の境界を形成する。圧力室（４２２）　、　　（
４２４）はそれぞれノズル（４３０）　、　　（／ｌ：
（２）と連通する。流体は画室（４２２）及び（４２４
）”、入力固定オリフィス（４，４８）及び（４４り）
をヌ１ｎっで（Ｊｌｉ給される。室（４２２）　　と（
４２１１＞の間の差圧、ｔｉ−って弁スゾール（４１２
）の両端（４１８）と（４２０）に加えられる差圧は、
ノズル（４３（Ｎ　と（／１３２）をＪｌｐる相対的流
体流により決定さ才）る。

４′Ｉ５．１〜１３図に・ついて記載したサーボ弁と同
様に、ノズル＜４：３ｏ　＞　、　　（４３２＞　イｒ
通る相対的流体流は、制御部＋Ａ’　（４３４）の相ス
・１的接近度−こよって制御される。制御部材（３４）
と同様に、制御部材（４３４）は平衡位１ｉ！７にあり
、そごでは該部材はノズル（４３０）ト（４３２）より
等距離に配置されるのご、両ノスルを通る流計率は略々
同一でありか−、ノ、室（４２２）と（４２４）の差圧
ば略々零である。

制御部材（４３４）と一体に形成されるし−Ｊい支持構
造（４３６）は基準ビーム（４３８）と検出ビーム（４
４０）を含む。ビーム（４，３８）と（４１１Ｆ＋）は
平行に配置され、一端は制御部材（４：＋４）に付着さ
れる。その他端におい゛（〜、ビビー支持構造（４３ｆ
ｉ）は、ヒートシンク（４４２）により弁スプール（４
１２）に直接に連結される。かくジ（、し−ム支持構造
（４３６）は制御部材（４３４）を弁スプール（，１１
２＞から支持し、制御部＋Ａ’　（４３４）をノズル（
４３（１）と（４３２）の間に維持する。

第４図ンドの光学−油圧装置は史に、制御部材（４３４
）の位置を制御するため光学的指令（４号をもって感温
ビーム支持構ｉｉ！！（４３６）を選択的に照射するた
めの光学的手段を含む。

第４図示の実施例の作動におい−ｒ　＆；Ｉ、）Ｙ；　
′−？：的（ｈ全信号は検出ビーム（４４０）を１（＜
ン射−４べき光導波路（４４６）を通って導かれ、指令
信号の変調の程度に依存して該ビームを伸長又は収縮さ
ゼる。ビーノ、（４４０）に律した長さの変化は制御部
材（４３４）を、ノズル（４３（１）と（／１３２）か
ら等距離の平衡位；ｖＪ″から移動させ（、流体流に差
４一つくりかつ室（４２２）と（４２４）の間の差ｊ玉
をつくる。、−の差圧は弁スプール（４１２）の連動を
制御する。

第４図示の実ｈｔ・例は固有のフィートハックをその制
御ｆ＋Ｂ＋、ｔ　（４３４’）の中に具備し１．ごれは
ビーム支１．１構造１１６）により弁スプール（，１１
２ンに連結される。弁スプール（伺２゛）がｊ１１１動
するとき、それはビーＪ・支持構造（４３６’）を、４
光学的指令信号の照度パターンに関し−（移動する。か
くして、ヒーＪ・支持構造（４３６）の照度は、弁スプ
ール（４１２）の伸動により、制ｆｉｌ１１部材（４３
４）の位置を制御するために直接に変調される。か＜シ
゛ζ、ヒーノ、支持構造（４３６）の１ｊ４４度を変調
するごとにより、弁スゾール（４１２）の位ｉ６１ば室
（／１２２　）と（４２４’）内の圧力差を制御し、こ
れは弁スプール（４１２）のイ）装置を決定−４る。第
１へ・３図示の実施例と比較Ｊると、これはフィードバ
ックは、Ｉ：＋　（４４）が、室（２２）と（２４）の
中の１二力差を、ｊ１′−スヅール（１２）の連動に応
答し゛（制御部材（３４）の（妬１１Ｊ。

を機械的に制御することにより制御゛Ｊる。（ン）働く
Ｉｔｌｌ能に均等である。第４図示の固イ］のフィート
ハックをもつ実施例は、機械的フィー１パツク装置に固
有な機械的誤差及び変動を回６ｔ；ｔニー４る点でずＪ
利ごある。同様に、機械的リンク結合のないソイードハ
ソク制御は、信頼性を改善し、よっＣ１弁の全体寸度を
増大する機械的フィー１−ハック″装置か・ν・要とす
る外部機構を除去Ｊる。

本発明に１系る若干の好適なイ・実施例をし１小し記載
したけれど、本発明はそれらに限定されるものごはなく
、本発明の範囲内において各４１１１の変形を届し冑る
ことを諒解ずべきごあに７、

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明に係る九′ｙ−１１旧」制ｆａｌｌ装置
１９“を使用した油圧サーボ弁の断面図、第２図は開ボ
された光学−油圧制御機構の路線図、第３図は光’ｉ”
開指令信号を光学的油圧制御機構に５えるための電気−
光′〒°回路を小゛４−図、第４図は本発明に係る別の
実施例で、スゾール位置フィードバックが、弁スプール
に制御部ヰ４を数例りることにより固有に設りられたも
のをボず図。 （１２）は弁スゾール、（１４）はシリンダ、（１６）
は弁本体、（１乏（）　、　　（２０）は弁スプールの
端、（２２ン、　　（２４）は圧力室、にう６）　、　
　（２Ｂ）は通路、（３０）　、　　（３２）はノズル
、（３４）は制御部祠、（３Ｇ）は感温ビーム支持構造
、（３８）は基準ビーム、（４０）は検出ビーム、（４
２）はヒートシンク、（４４）はソイードハソクはね、
（４６）は光導波路、（４８）は光学的エネルギ源、（
５０）は制御増巾器、（５２）は電圧−周波数変換器、
（５３）は論理回路、（５４）　、　　（５６）はワン
ソコ、ソトマルチバイブレーク、（５８）　　、　　＜
６（ｌン　、　　（６２）　、　　（６４）は増巾器、
（６６）　、　　（６８）　、　　（７０）　、　　（
７２）はレーザダイオード″、　（７４）　　、　　（
７６）　、　　（７８）　　、　　（８０）は光導波路
、（，１１２＞　　は弁スプール、（４１４）はシリン
ダ、（４１６）は弁本体、（４１，８）、（４２０）は
弁スプールの端、（４２２＞　　、　　（４２４）は圧
力室、（４３（１＞　　。 （４３２）はノズル、（４３４）は制御部材、（４３６
）はビーム支持構造、（４３１は基７（１＋ビーム、（
／ｌ／１０）は検出ビーム、（４４２）はヒートシンク
、（，１４６）は先導波路、（４４８）　、　　（４４
９）は入力固定舅リソイス（ある。 図面の浄書（内容に変更なし） ＦＩＧ、１ 手続ネ市正書（方式） 昭和５９年特許願第２９４４５号 ２、発明の名称　　　　サーボ弁 ３、補正をする者 事件との関係　　　特許出願人 国籍　　アメリカ合衆国 ４、代理人

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、　２個のボートの間の差圧力に対応し゛こ制御され
   るリーーボ弁において、それぞれ２１１１ｉ＋の流体室
   に連通された少なくとも２個の流体ボートを含む弁本体
   と；」−１配流体ボートを通る流体を選択的に制御する
   ことにより、上記流体室内の相対的流体圧力を制御する
   制御部材と；上記弁本体と」−記制御部月に連結された
   感温ビーム構造であゲζ、」−記制御部材を」１記ビー
   ム構造の温度状態に対応して上記流体ボートに対して維
   持す−るビーム＋ｔ＜と；そして、１−配流体ボートに
   関シて上記制御部材の位置を制御するため該感温ビーム
   構造を選択的に加熱するための光学的手段とを有するこ
   とを特徴とするサーボ弁。 ２、十、記感温ビーム構造が少なくとも５／”ｃ’（９
   ／’Ｆ）の膨張係数を有する特許請求の範囲第１項記載
   のターボ弁。 ３．１−記感温ビーム構造が９．３Ｘ　１０°’　　ｃ
   ａｌ／　Ｓ　／　　　・□ｃｎ／’Ｃ（１，４ソソト／
   インチ０Ｆ　）以−１ミの熱伝導率を有する特許請求の
   範囲第１項記載のサーボ弁。 ４、上記光学的手段が該感温ビーム構造を０．２乃至２
   ０μｍの範囲の波長をもった光エネルギで加熱する特許
   請求の範囲第１項記載のサーボ弁。 ５、上記光学的手段が、光エネルギ源と；該エネルギ源
   に結合されかつそれから放射される光エネルギを上記感
   温ビーム構造へ照射するため導く少なくとも１個の先導
   波路を有Ｊる特許請求の範囲第１項記載のサーボ弁。 ６、該感温ビーム構造が上記先導波路の２個の間の光強
   度差に応答し゛ζ上記制御部祠を回動Ｊる特許請求の範
   囲第２項記載のサーボ弁。 ７、該感温ビーム構造が周囲温度の変動に応答Ｊる基準
   ビームと；周囲温度の変動に応答しかつまた上記制御部
   材の位置を制御する［−配光’？的十段による照度にも
   応答する検出ビームをイ１する特許請求の範囲第６項記
   載のターボ弁。 Ｂ、　上記基準ビームの寸度は−Ｌ記検出ヒームの寸度
   に略々等しい特許請求の範囲第６項記載のサーボ弁。 （Ｊ、　　上記基準ビームが旧記検出ビームと略々平行
   配置された特許請求の範囲第７項記載のサーボ弁。 ［０，１−記制御部材が、上記基Ｙ％Ｆ３ヒームの一端
   へ及び上記検出ビームの対応端へ連結された特許請求の
   範囲第９項記載のサーボ弁。 １１．１−記制御部材が、上記基準ビームの一端へ及び
   」−記検出ビームの対応端へ連結されかつ更に、上記基
   ｉ％ビームの反対端及び上記検出ビームの７・ｌ応端に
   連結されたヒートシンクをイｊする特許δ１１求の範囲
   第９項記載のサーボ弁。 １２、該流体流が内部の弁スプールの位置により制御さ
   れ、史に、上記弁スプール及び制御部材に連結されたフ
   ィードハック手段を有し、−ヒ記フィートハック十段力
   司二記弁スプールの位置の変化に応答し′（該制御部刊
   の位置を制御する特許請求の範囲第７ＪＪ′１記載のサ
   ーボ弁。 １３　、上記フィートハック手段が上記制御部材を平衡
   位置の方へ押し′Ｃいる勃許請求の範囲第１２ＪＪ（記
   載のサーボ弁。 １４、該流体流が内部の弁スプールのイ）Ｈ６゛により
   制御され、更に、該弁スプールのｉｊｌす」に応答３る
   フィードバック手段をイコし、１−記ソイードハック手
   段が、上記光学的手段を通っこ伝播する：ｉ−不ルギを
   、弁スプールの連動に応答し゛ｃＩ−記制御部材を平衡
   位置に戻すため変調する舶許請求の範囲第７項記載のサ
   ーボ弁。 １５、特許請求の範囲第１４項記載の光学的制御！Ａ置
   においζ、上記感温ビーム構造がＩ−記制御部４Ａを該
   平衡位置から離れた極端な位置の万一、とバイアスする
   こと及びトー記光１的１段が１−記制御部材を該極端な
   バイアス位置から動かずために該感温ビーム構造を照射
   する光導波路を自Ｊる光学的制御装置。 １６、　Ｊ二記光学的手段により供給される光′〒°勅
   カが上記制御部祠の位置を制御するために変調される特
   許請求の範囲第１５項記載の光学的制御系；６′。 １７、上記光学的手段が、Ｕ目及び第２先導波路をイイ
   し、第１先導波路は上記基準ビームを照射し、第２光導
   波路は上記検出ビームを照射してもっこ制御部材が該第
   １及び第２先導波路により供給された差動力により制御
   されるごとくする特許請求の範囲第１２項記載の光学的
   制御装置。