JPS59202715A - Ｉｃｐ分析用高周波電源装置 - Google Patents
Ｉｃｐ分析用高周波電源装置Info
- Publication number
- JPS59202715A JPS59202715A JP58076675A JP7667583A JPS59202715A JP S59202715 A JPS59202715 A JP S59202715A JP 58076675 A JP58076675 A JP 58076675A JP 7667583 A JP7667583 A JP 7667583A JP S59202715 A JPS59202715 A JP S59202715A
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- JP
- Japan
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- transistor
- high frequency
- emitter
- direct current
- output
- Prior art date
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- Granted
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（イ）産業上の利用分野
本発明は高周波誘導結合プラスマ発光分析（工ＣＰ分析
と略記）用高周波電源回路に関す込。
と略記）用高周波電源回路に関す込。
（ロン従来技術
■ＣＰ分析用高周波電源は負荷の変動が非常に太きいた
めトランジスタ化がおくれでいる。即ち高周波トランジ
スタでは一個で負荷の変動の全域を一個でカバーできる
ような大容量のものがないので、多数のトランジスタを
並列につないで使わねばならないが、このようにすると
、各トランジスタの間で負荷の負担にアンバランスを生
じ、負荷が変動して大電流を供給しなければならない状
態のとき、このアンバランスのために一個のトランジス
タに負担が集中して破損し、次々と将棋倒し的にトラン
ジスタが破損してしまうと云うようなことが起るからで
ある。
めトランジスタ化がおくれでいる。即ち高周波トランジ
スタでは一個で負荷の変動の全域を一個でカバーできる
ような大容量のものがないので、多数のトランジスタを
並列につないで使わねばならないが、このようにすると
、各トランジスタの間で負荷の負担にアンバランスを生
じ、負荷が変動して大電流を供給しなければならない状
態のとき、このアンバランスのために一個のトランジス
タに負担が集中して破損し、次々と将棋倒し的にトラン
ジスタが破損してしまうと云うようなことが起るからで
ある。
しかし、真空管に代えてトランジスタを用いることがで
きれば、電力消費も少くなり、発熱冷却の問題も軽減さ
れ、回路も安価になり、耐久性も向上する等の利点があ
る。
きれば、電力消費も少くなり、発熱冷却の問題も軽減さ
れ、回路も安価になり、耐久性も向上する等の利点があ
る。
（ハ）目 的
本発明は工ＣＰ分析用高周波電源回路のトランジスタ化
を目的としている。
を目的としている。
（ニ）構 成
高周波の電力増幅回路を複数のトランジスタの並列接続
で構成し、これらのトランジスタの電流を順次検出する
手段と、これらのトランジスタの電流の総和を検出する
手段と、上記各トランジスタの電流と電流の総和とを比
較する手段を設けて、何れかのトランジスタの電流と各
トランジスタの電流の平均値との差或は比率が所定値を
超えた場合′／′ｒＣ警告信号を発するか或は高周波出
力を低下させる制御回路を設けたことを特徴とするＩＣ
Ｐ分析用高周波電源回路を提供する。
で構成し、これらのトランジスタの電流を順次検出する
手段と、これらのトランジスタの電流の総和を検出する
手段と、上記各トランジスタの電流と電流の総和とを比
較する手段を設けて、何れかのトランジスタの電流と各
トランジスタの電流の平均値との差或は比率が所定値を
超えた場合′／′ｒＣ警告信号を発するか或は高周波出
力を低下させる制御回路を設けたことを特徴とするＩＣ
Ｐ分析用高周波電源回路を提供する。
（ホ）実施例
図は本発明の一実施例を示す。１は高周波発振器、２は
電力増幅回路で３２個のトランジスタよりなり、１６個
ずつ並列にしてプッシュプルに接続し、高周波発振器ｌ
の出力を電力増幅する。３はプラズマトーチ、４ｉ１″
１：プラズマトーチの周囲に設けられたコイルで５はコ
イル４と電源側とのインピーダンス整合を行う整合回路
である。ｒは電力増幅回路２で各トランジスタＴｒのエ
ミッタとアース間に挿入された電流検出用低抗であシ、
各トランジスタのエミッタの直流電位を検出することに
よって各トランジスタの電流をモニタすることができる
。６は切換え回路で制御回路（ＣＰＵ）７によって制御
され、各トランジスタＴｒのエミッタ電位を順次Ａ ／
Ｄ変換器８Ｖこ送る。ＣＰＵ７はＡ ／ Ｄ変換器８
を通して各トランジスタＴｒのエミッタ電位の情報を取
込み、次のような制御動作を行っている。
電力増幅回路で３２個のトランジスタよりなり、１６個
ずつ並列にしてプッシュプルに接続し、高周波発振器ｌ
の出力を電力増幅する。３はプラズマトーチ、４ｉ１″
１：プラズマトーチの周囲に設けられたコイルで５はコ
イル４と電源側とのインピーダンス整合を行う整合回路
である。ｒは電力増幅回路２で各トランジスタＴｒのエ
ミッタとアース間に挿入された電流検出用低抗であシ、
各トランジスタのエミッタの直流電位を検出することに
よって各トランジスタの電流をモニタすることができる
。６は切換え回路で制御回路（ＣＰＵ）７によって制御
され、各トランジスタＴｒのエミッタ電位を順次Ａ ／
Ｄ変換器８Ｖこ送る。ＣＰＵ７はＡ ／ Ｄ変換器８
を通して各トランジスタＴｒのエミッタ電位の情報を取
込み、次のような制御動作を行っている。
ＣＩ） Ｕは各トランジスタＴｒのエミッタを切換え回
路６ Ｖ（よって−回走前する毎に、取込んだ各トラン
ジスタのエミッタ電位の平均値ＥＯを算出し、次回の走
査の際取込んだ各トランジスタのエミッタ電位Ｅと前回
の平均値Ｅｏとの差の平均値Ｅｏに対する比率Ｘ Ｘ ＝（Ｅ−Ｅｏ）／Ｅ。
路６ Ｖ（よって−回走前する毎に、取込んだ各トラン
ジスタのエミッタ電位の平均値ＥＯを算出し、次回の走
査の際取込んだ各トランジスタのエミッタ電位Ｅと前回
の平均値Ｅｏとの差の平均値Ｅｏに対する比率Ｘ Ｘ ＝（Ｅ−Ｅｏ）／Ｅ。
を各トランジスタ毎に求め、このＸを予め設定しである
値ＸＯと比較してＸ ） Ｘ ｏであるトランジスタが
検出されたらブザー等の警報手段９を作動させる。オペ
レータは警報手段９が作動した場合、高周波発振器１の
出力を下げる。或ばＣＰＵ’７が直接高周波発振器の出
力を下げるようにしてもよいＯ Ｎ効 果 本発明によれば複数のトランジスタを並列作動させる場
合のアンバランスがチェックされてアンバランスが限度
を超えたとき処置がとられるから、トランジスタの破壊
が防がれ、仮に一個のトランジスタが破損しても、引続
き他のトランジスタが順次破損して全滅すると云うよう
な心配はなく、高価な高周波用の電力用トランジスタを
安心して使うことができ、ＩＣＰ分析用高周波電源のト
ランジスタ化が可能となる。
値ＸＯと比較してＸ ） Ｘ ｏであるトランジスタが
検出されたらブザー等の警報手段９を作動させる。オペ
レータは警報手段９が作動した場合、高周波発振器１の
出力を下げる。或ばＣＰＵ’７が直接高周波発振器の出
力を下げるようにしてもよいＯ Ｎ効 果 本発明によれば複数のトランジスタを並列作動させる場
合のアンバランスがチェックされてアンバランスが限度
を超えたとき処置がとられるから、トランジスタの破壊
が防がれ、仮に一個のトランジスタが破損しても、引続
き他のトランジスタが順次破損して全滅すると云うよう
な心配はなく、高価な高周波用の電力用トランジスタを
安心して使うことができ、ＩＣＰ分析用高周波電源のト
ランジスタ化が可能となる。
図面は本発明の一実施例装置の構成を示すブロック図で
ある。 ｌ・・高周波発振器、２・・・電力増幅回路、３・・・
プラズマｌ−−チ、４・・・コイル、５・・・インピー
ダンス整合回路、６・・・切換え回路、７・・・制御回
路、９・・警報手段。
ある。 ｌ・・高周波発振器、２・・・電力増幅回路、３・・・
プラズマｌ−−チ、４・・・コイル、５・・・インピー
ダンス整合回路、６・・・切換え回路、７・・・制御回
路、９・・警報手段。
Claims (1)
- 複数のトランジスタの並列接続により構成され−る高周
波電力増幅回路と、上記各トランジスタの直流電流を検
出する手段と、上記各直流電流の平均を検出し、上記各
直流電流と上記平均とを比較し、両者の比率が予め決め
である比率を超えた場合警告を発し或は高周波出力を低
下させるよう作動する制御回路とを有する工ＣＰ分析用
高周波電源装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58076675A JPS59202715A (ja) | 1983-04-30 | 1983-04-30 | Ｉｃｐ分析用高周波電源装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58076675A JPS59202715A (ja) | 1983-04-30 | 1983-04-30 | Ｉｃｐ分析用高周波電源装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59202715A true JPS59202715A (ja) | 1984-11-16 |
| JPH057884B2 JPH057884B2 (ja) | 1993-01-29 |
Family
ID=13611997
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58076675A Granted JPS59202715A (ja) | 1983-04-30 | 1983-04-30 | Ｉｃｐ分析用高周波電源装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59202715A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010536118A (ja) * | 2007-07-23 | 2010-11-25 | ヒュッティンガー エレクトローニク ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング ウント コンパニー コマンディートゲゼルシャフト | プラズマ給電装置の作動方法およびプラズマ給電装置 |
| JP2012244559A (ja) * | 2011-05-24 | 2012-12-10 | Nec Corp | バイアス回路を備えたパワーアンプ装置 |
| WO2018236087A1 (ko) * | 2017-06-23 | 2018-12-27 | 인투코어테크놀로지 주식회사 | 전원 공급 장치 및 부하에 전원을 공급하는 방법 |
| KR20200077491A (ko) * | 2019-03-05 | 2020-06-30 | 인투코어테크놀로지 주식회사 | 전원 공급 장치 |
| KR20220073721A (ko) * | 2020-06-22 | 2022-06-03 | 인투코어테크놀로지 주식회사 | 전원 공급 장치 및 그 제어 방법 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS51841U (ja) * | 1974-06-18 | 1976-01-06 | ||
| JPS57194612A (en) * | 1981-05-26 | 1982-11-30 | Nec Corp | Monitoring circuit for nonbreak amplifying circuit |
-
1983
- 1983-04-30 JP JP58076675A patent/JPS59202715A/ja active Granted
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS51841U (ja) * | 1974-06-18 | 1976-01-06 | ||
| JPS57194612A (en) * | 1981-05-26 | 1982-11-30 | Nec Corp | Monitoring circuit for nonbreak amplifying circuit |
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010536118A (ja) * | 2007-07-23 | 2010-11-25 | ヒュッティンガー エレクトローニク ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング ウント コンパニー コマンディートゲゼルシャフト | プラズマ給電装置の作動方法およびプラズマ給電装置 |
| JP2012244559A (ja) * | 2011-05-24 | 2012-12-10 | Nec Corp | バイアス回路を備えたパワーアンプ装置 |
| WO2018236087A1 (ko) * | 2017-06-23 | 2018-12-27 | 인투코어테크놀로지 주식회사 | 전원 공급 장치 및 부하에 전원을 공급하는 방법 |
| KR20190000624A (ko) * | 2017-06-23 | 2019-01-03 | 인투코어테크놀로지 주식회사 | 전원 공급 장치 및 부하에 전원을 공급하는 방법 |
| US11290028B2 (en) | 2017-06-23 | 2022-03-29 | En2Core Technology, Inc. | Power supply and method of supplying power to load |
| US11632061B2 (en) | 2017-06-23 | 2023-04-18 | En2Core Technology, Inc. | Power supply and method of supplying power to load |
| US11909331B2 (en) | 2017-06-23 | 2024-02-20 | En2Core Technology, Inc. | Power supply and method of supplying power to load |
| KR20200077491A (ko) * | 2019-03-05 | 2020-06-30 | 인투코어테크놀로지 주식회사 | 전원 공급 장치 |
| KR20220073721A (ko) * | 2020-06-22 | 2022-06-03 | 인투코어테크놀로지 주식회사 | 전원 공급 장치 및 그 제어 방법 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH057884B2 (ja) | 1993-01-29 |
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