JPS59199459A - 品物の運搬および搬入方法 - Google Patents
品物の運搬および搬入方法Info
- Publication number
- JPS59199459A JPS59199459A JP58070393A JP7039383A JPS59199459A JP S59199459 A JPS59199459 A JP S59199459A JP 58070393 A JP58070393 A JP 58070393A JP 7039383 A JP7039383 A JP 7039383A JP S59199459 A JPS59199459 A JP S59199459A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- box
- items
- transport
- transporting
- dust
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Packging For Living Organisms, Food Or Medicinal Products That Are Sensitive To Environmental Conditiond (AREA)
- Containers Having Bodies Formed In One Piece (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は、清浄空間に外部から品物を、塵埃を持ち込む
ことなく、しかも、能率よく搬入することを可能にする
品物の運搬および搬入方法、例えば、半導体シリコン大
規模集積回路装置の製造の場である清浄に管理されたク
リーン・ルーム内における製造工程で必要な化学薬品な
どの品物を運搬し、まだ、運搬した品物をクリーン・ル
ームの中へ塵埃を持ち込まないように搬入する方法に係
る。
ことなく、しかも、能率よく搬入することを可能にする
品物の運搬および搬入方法、例えば、半導体シリコン大
規模集積回路装置の製造の場である清浄に管理されたク
リーン・ルーム内における製造工程で必要な化学薬品な
どの品物を運搬し、まだ、運搬した品物をクリーン・ル
ームの中へ塵埃を持ち込まないように搬入する方法に係
る。
従来例の構成とその問題点
清浄空間に、外部から塵埃を持ち込まないように品物を
搬入するには、品物の表面に塵埃が４１１着しないよう
品物を被覆することと、塵埃が一旦付着した場合には、
これを除去することの二つを考えねばならない。
搬入するには、品物の表面に塵埃が４１１着しないよう
品物を被覆することと、塵埃が一旦付着した場合には、
これを除去することの二つを考えねばならない。
例えば、半導体装置の製造に用いるフッ酸、硝酸などの
液体化学薬品は、プラヌチソクあるいはガラスの容器に
入れて取シ扱われ、またこの運搬方法として、第１図に
斜視図を示すように、薬品を入れた容器１を１本づつ、
セロファンあるいはビニール膜などの被膜２で被覆し、
この容器の複数本を仕切板３で互に直接には当らないよ
うにして、ダンボール箱４に詰め、ダンボール箱単位で
運搬する方法がとられていた。このような従来の運搬方
法によると、ダンボール箱から発生した塵埃が容器の被
覆膜に付着し、それが被覆膜を除去する作業時に容器表
面に再付着することがあった。
液体化学薬品は、プラヌチソクあるいはガラスの容器に
入れて取シ扱われ、またこの運搬方法として、第１図に
斜視図を示すように、薬品を入れた容器１を１本づつ、
セロファンあるいはビニール膜などの被膜２で被覆し、
この容器の複数本を仕切板３で互に直接には当らないよ
うにして、ダンボール箱４に詰め、ダンボール箱単位で
運搬する方法がとられていた。このような従来の運搬方
法によると、ダンボール箱から発生した塵埃が容器の被
覆膜に付着し、それが被覆膜を除去する作業時に容器表
面に再付着することがあった。
丑だ、容器を被覆する被膜を１本づつ取り除くためにか
なシの千１’ｌＪ］がかがシ、作業能率が低くなる行な
わねばならず、このことによっても作業能率が低下する
。
なシの千１’ｌＪ］がかがシ、作業能率が低くなる行な
わねばならず、このことによっても作業能率が低下する
。
ところで、半導体シリコン大規模集積回路の製造の場で
あるクリーン・ルームの中に塵埃が存在すると、製造歩
留が低下する。このため、クリーン・ルームへの入室に
は、無塵衣、無塵靴の着用と、エアシャワーを通過する
ことなどの防塵対策が講じられているが、上記のように
、搬入する品物に塵埃が付着し、これがクリーン・ルー
ムの中に持ち込まれてし甘う危険性のある従来の運搬方
法を採用したのでは、防塵対策効果が半減してしまう。
あるクリーン・ルームの中に塵埃が存在すると、製造歩
留が低下する。このため、クリーン・ルームへの入室に
は、無塵衣、無塵靴の着用と、エアシャワーを通過する
ことなどの防塵対策が講じられているが、上記のように
、搬入する品物に塵埃が付着し、これがクリーン・ルー
ムの中に持ち込まれてし甘う危険性のある従来の運搬方
法を採用したのでは、防塵対策効果が半減してしまう。
さらに、作業能率の低下は、製品価格を高める要因の一
つであり、この面からみても従来の運搬方法には問題か
あった。
つであり、この面からみても従来の運搬方法には問題か
あった。
なお、クリーン・ル−ム内へ搬入する品物が液体薬品で
あるときには、塵埃の持ち込みを防止するため、外部と
クリーン ／レームとを隔てる壁を貫通するパイプを設
け、このパイプによって液体薬品を輸送する方法も考え
られるが、設備ならびに維持のために費用を要し、特に
、液体薬品の扱い量が少い場合には適当でない。
あるときには、塵埃の持ち込みを防止するため、外部と
クリーン ／レームとを隔てる壁を貫通するパイプを設
け、このパイプによって液体薬品を輸送する方法も考え
られるが、設備ならびに維持のために費用を要し、特に
、液体薬品の扱い量が少い場合には適当でない。
発明の目的
本発明は、清浄に管理された清浄空間に搬入するべき品
物への塵埃などの付着を防いで品物を運搬する方法およ
び運搬した品物を清浄空間内へ塵埃を持ち込むことなく
搬入することを可能にする搬入方法の提供を目的とする
ものである。
物への塵埃などの付着を防いで品物を運搬する方法およ
び運搬した品物を清浄空間内へ塵埃を持ち込むことなく
搬入することを可能にする搬入方法の提供を目的とする
ものである。
発明の構成
本発明は、品物の運搬にあたシ、棒状部材の接合によシ
、独立した複数個の収納空間をもち、粗い網目状の箱体
とされた運搬箱に品物を納め、次いで、この運搬箱全体
を被膜で覆い、さらに、この運搬箱を密閉可能な外箱に
収納して運搬すること、また、清浄空間内への品物の搬
入にあたり、運搬箱を覆う被膜を除き、運搬箱内へ品物
が収納された寸まで品物に除塵のだめの清浄化処理を施
し、こののち、清浄空間内へ品物を搬入することを特徴
とするものである。
、独立した複数個の収納空間をもち、粗い網目状の箱体
とされた運搬箱に品物を納め、次いで、この運搬箱全体
を被膜で覆い、さらに、この運搬箱を密閉可能な外箱に
収納して運搬すること、また、清浄空間内への品物の搬
入にあたり、運搬箱を覆う被膜を除き、運搬箱内へ品物
が収納された寸まで品物に除塵のだめの清浄化処理を施
し、こののち、清浄空間内へ品物を搬入することを特徴
とするものである。
本発明の品物の運搬および搬入方法によれば、品物の運
搬時あるいは保持時に、品物に塵埃などが伺着せず、ま
た、清浄空間内への搬入に際しては、運搬箱単位で、品
物に清浄化処理を施すことができ、作業能率を低下させ
ることなく、清浄化された品物を搬入することができる
。
搬時あるいは保持時に、品物に塵埃などが伺着せず、ま
た、清浄空間内への搬入に際しては、運搬箱単位で、品
物に清浄化処理を施すことができ、作業能率を低下させ
ることなく、清浄化された品物を搬入することができる
。
実施例の説明
以下に、フッ酸、硝酸などの液体化学薬品を入れたビン
を収納して運搬し、さらに清浄空間へ搬入する場合につ
いて説明する。
を収納して運搬し、さらに清浄空間へ搬入する場合につ
いて説明する。
第２図は、本発明で用いられる運搬箱の外観ならひにビ
ンを納め、運搬箱を被膜で覆った状態を説明するだめの
斜視図であり、運搬箱５は、棒状部材６を接合すること
により粗い網目状とされ、しかも、図示する例では６区
画に区分けされている。この区分けされた収納空間のそ
れぞれの中にビン１を収め、さらに、運搬箱全体を熱収
縮性をもつ透明な樹脂フィルム７で覆い、熱風をあてて
収縮させることによシ皺や弛みを除いて密封する。
ンを納め、運搬箱を被膜で覆った状態を説明するだめの
斜視図であり、運搬箱５は、棒状部材６を接合すること
により粗い網目状とされ、しかも、図示する例では６区
画に区分けされている。この区分けされた収納空間のそ
れぞれの中にビン１を収め、さらに、運搬箱全体を熱収
縮性をもつ透明な樹脂フィルム７で覆い、熱風をあてて
収縮させることによシ皺や弛みを除いて密封する。
このようにして密封するならば、樹脂フィルムγの表面
が平坦となシ、塵埃の溜り場所となる箇所が除かれる。
が平坦となシ、塵埃の溜り場所となる箇所が除かれる。
次いで、第３図で示すように、外箱８の中に２個の運搬
箱を入れ、蓋９で密閉することによシ、液体化学薬品の
運送用ケースが得られる。この運送用ケースは、上記の
ように、樹脂フィルム７による密封と、外箱による密閉
とにより、ビンに苅して二重の防塵対策を講じたもので
あるため、収納したビンを清浄な状態で運搬することが
可能になる。
箱を入れ、蓋９で密閉することによシ、液体化学薬品の
運送用ケースが得られる。この運送用ケースは、上記の
ように、樹脂フィルム７による密封と、外箱による密閉
とにより、ビンに苅して二重の防塵対策を講じたもので
あるため、収納したビンを清浄な状態で運搬することが
可能になる。
以上のようにして運搬された液体化学薬品を、清浄空間
内へ搬入するにあたシ、本発明では、第４図で示す搬入
方法がとられる。先ず、運送されてきた運送用ケースを
非清浄空間１ｏでおろし、その蓋９をあけ、樹脂フィル
ムで被覆されている運搬箱５を清浄空気の吹き出すエア
シャワー１１を通して準清浄空間１２の中へ入れる。運
搬箱を覆う樹脂フィルムに塵埃が仮りに付着していたと
しても、その殆んどがエアシャワー１１で取り除かれる
。次いで、樹脂フィルムを除き、運搬箱５に」―下左右
から水シヤワー１３を浴びせ、運搬箱６ならびに、この
中に収納されたビンの双方に付着している塵埃を流し去
り、乾燥室１４で乾燥さセタのち、清浄空間であるクリ
ーン・ル−ム１５の中へ入れることによって、液体化学
薬品の搬入が終了する。
内へ搬入するにあたシ、本発明では、第４図で示す搬入
方法がとられる。先ず、運送されてきた運送用ケースを
非清浄空間１ｏでおろし、その蓋９をあけ、樹脂フィル
ムで被覆されている運搬箱５を清浄空気の吹き出すエア
シャワー１１を通して準清浄空間１２の中へ入れる。運
搬箱を覆う樹脂フィルムに塵埃が仮りに付着していたと
しても、その殆んどがエアシャワー１１で取り除かれる
。次いで、樹脂フィルムを除き、運搬箱５に」―下左右
から水シヤワー１３を浴びせ、運搬箱６ならびに、この
中に収納されたビンの双方に付着している塵埃を流し去
り、乾燥室１４で乾燥さセタのち、清浄空間であるクリ
ーン・ル−ム１５の中へ入れることによって、液体化学
薬品の搬入が終了する。
以」−１本発明を一例を示１〜で説明したが、本発明の
品物の運搬と搬入の方法は、清浄空間内で使用される他
の品物の搬入に広く利用できる。まだ、品物の固形物で
あるときには、運搬箱の中へ直接網めればよい。さらに
、運搬箱を憶う被膜としては、実施例で示した熱収縮性
の樹脂フィルムか好適ではあるが、塵埃の発生源となら
ないものであるならば他のものを使用してもよく、水シ
ヤワーにかえて水中浸漬による洗滌を施してもよい。
品物の運搬と搬入の方法は、清浄空間内で使用される他
の品物の搬入に広く利用できる。まだ、品物の固形物で
あるときには、運搬箱の中へ直接網めればよい。さらに
、運搬箱を憶う被膜としては、実施例で示した熱収縮性
の樹脂フィルムか好適ではあるが、塵埃の発生源となら
ないものであるならば他のものを使用してもよく、水シ
ヤワーにかえて水中浸漬による洗滌を施してもよい。
発明の効果
本発明の品物の運搬および搬入方法によれば、密閉でき
る外箱と運搬箱を覆う被膜とによって二重の防塵対策が
講じられているだめ、外界からの塵埃の侵入をほぼ完全
に防止して品物を運搬することができ、したがって、品
物の表面への塵埃の付着を防止できること、運搬箱が粗
い網目状とｌ〜で構成されていることによシ、この中に
多数の品物を収納したｆまでエアシャワー、水シヤワー
を品物の表面に効率よく到達させることができ、品物の
清浄化処理を能率よく行なえること、被膜の除去が運搬
箱単位でなされるため能率的であることなどの効果が奏
される。
る外箱と運搬箱を覆う被膜とによって二重の防塵対策が
講じられているだめ、外界からの塵埃の侵入をほぼ完全
に防止して品物を運搬することができ、したがって、品
物の表面への塵埃の付着を防止できること、運搬箱が粗
い網目状とｌ〜で構成されていることによシ、この中に
多数の品物を収納したｆまでエアシャワー、水シヤワー
を品物の表面に効率よく到達させることができ、品物の
清浄化処理を能率よく行なえること、被膜の除去が運搬
箱単位でなされるため能率的であることなどの効果が奏
される。
勿論、清浄空間内への塵埃の持ち込みが防止されるため
、清浄空間を汚染することがなく、この清浄空間の中で
製造される半導体装置などの製品の製造歩留を高める効
果も奏される。
、清浄空間を汚染することがなく、この清浄空間の中で
製造される半導体装置などの製品の製造歩留を高める効
果も奏される。
さらに、本発明によれば、輸送パイプなどを設置する必
要がなく、既存の設備を使用して塵埃の清浄空間内への
持ち込みを防止できるため、製品価格を高める費用が発
生しない効果も奏される。
要がなく、既存の設備を使用して塵埃の清浄空間内への
持ち込みを防止できるため、製品価格を高める費用が発
生しない効果も奏される。
第１図は従来の運搬方法で用いられていた運送用ケース
と品物の収納状態を示す一部切欠斜視図、第２図は本発
明で使用する運搬箱の外観およびビンを納め、被膜で覆
った状態を示す斜視図、第３図は本発明で用いる運送用
ケースと品物の収納状態を示す一部切欠斜視図、第４図
は搬入方法を説明するだめの略図である。 １・・・・薬品ビン、２・・・・・・薬品ビン被覆透明
膜、脂フィルム）、８・ ・・・外箱、９・・・・・・
ｉ、１０・・・・・非清浄空間、１１・・・・エアシャ
ワー、１２・・・・・準清浄空間、１３・・・・・水シ
ヤワー、１４・・・・・乾燥室、１５・ ・清浄空間（
クリーン・ルーム）。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか１名第２
図 第３図
と品物の収納状態を示す一部切欠斜視図、第２図は本発
明で使用する運搬箱の外観およびビンを納め、被膜で覆
った状態を示す斜視図、第３図は本発明で用いる運送用
ケースと品物の収納状態を示す一部切欠斜視図、第４図
は搬入方法を説明するだめの略図である。 １・・・・薬品ビン、２・・・・・・薬品ビン被覆透明
膜、脂フィルム）、８・ ・・・外箱、９・・・・・・
ｉ、１０・・・・・非清浄空間、１１・・・・エアシャ
ワー、１２・・・・・準清浄空間、１３・・・・・水シ
ヤワー、１４・・・・・乾燥室、１５・ ・清浄空間（
クリーン・ルーム）。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか１名第２
図 第３図
Claims (4)
- （１）棒状部材の接合によシ、独立した複数個の収納空
間をもち、かつ、粗い網目状の箱体とされた運搬箱に品
物を納めたのち、前記運搬箱を被膜で１５．被覆し、さ
らに、同運搬箱を密閉可能な外箱に収納して運搬するこ
とを特徴とする品物の運搬方法。 - （２）運搬箱の奪講被覆が、熱収縮性樹脂フィルムでな
されることを特徴とする特許請求の範囲第１項に記載の
品物の運搬方法。 - （３）棒状部材の接合により、独立した被数個の収納空
間をもち、かつ、粗い網目状の箱体とされた運搬箱に品
物が納められ、さらに、被膜によって密閉被覆された運
搬箱の前記被膜を除き、次いで、前記運搬箱およびこれ
に収納された品物は清浄化処理を施し、こののち、清浄
空間内へ運搬箱とともに品物を搬入することを特徴とす
る品物の搬入方法。 - （４）清浄化処理が、空気または水の吹きつけ、もしく
は、水中への浸漬のいずれかでなされることを特徴とす
る特許請求の範囲第３項に記載の品物の搬入方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58070393A JPS59199459A (ja) | 1983-04-21 | 1983-04-21 | 品物の運搬および搬入方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58070393A JPS59199459A (ja) | 1983-04-21 | 1983-04-21 | 品物の運搬および搬入方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59199459A true JPS59199459A (ja) | 1984-11-12 |
Family
ID=13430153
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58070393A Pending JPS59199459A (ja) | 1983-04-21 | 1983-04-21 | 品物の運搬および搬入方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59199459A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63131911U (ja) * | 1987-02-20 | 1988-08-29 | ||
| JP2023102376A (ja) * | 2022-01-12 | 2023-07-25 | 南海化学株式会社 | 毒物または劇物用包装容器 |
-
1983
- 1983-04-21 JP JP58070393A patent/JPS59199459A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63131911U (ja) * | 1987-02-20 | 1988-08-29 | ||
| JP2023102376A (ja) * | 2022-01-12 | 2023-07-25 | 南海化学株式会社 | 毒物または劇物用包装容器 |
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