JPS59194859A - インクジェットヘッド - Google Patents
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- JPS59194859A JPS59194859A JP58067722A JP6772283A JPS59194859A JP S59194859 A JPS59194859 A JP S59194859A JP 58067722 A JP58067722 A JP 58067722A JP 6772283 A JP6772283 A JP 6772283A JP S59194859 A JPS59194859 A JP S59194859A
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- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
記録を行寿う液体噴射記録ヘッドに関する。
インクジェット記録法（液体噴射記録法）は、記録時に
おける騒音の発生が無視し得る程度に極めて小さいとい
う点、及び高速記録が可能であり、而も所謂普通紙に定
着という特別な処理を必要とせずに記録の行なえる点に
おいて最近関心を集めている。
おける騒音の発生が無視し得る程度に極めて小さいとい
う点、及び高速記録が可能であり、而も所謂普通紙に定
着という特別な処理を必要とせずに記録の行なえる点に
おいて最近関心を集めている。
その中で、例えば特開昭タｔａーｓｉｇＪｑ号公報、ド
イツ公開（ＤＯＬＳ）第．２ｇ’ｌ３０乙ゲ号公報に記
載されである液体噴射記録法は、熱エネルギーを液体に
作用させて、液滴吐出の為の原動力を得るという点にお
いて、他の液体噴射記録法とは、異なる特徴を有してい
る。
イツ公開（ＤＯＬＳ）第．２ｇ’ｌ３０乙ゲ号公報に記
載されである液体噴射記録法は、熱エネルギーを液体に
作用させて、液滴吐出の為の原動力を得るという点にお
いて、他の液体噴射記録法とは、異なる特徴を有してい
る。
即ち、上記の公報に開示されである記録法は、熱エネル
ギーの作用を受けた液体が急激な体積の増大を伴う状態
変化を起し、この状態変化に基く作用力によって、記録
ヘッド部先端のオリフィスより液体が吐出されて、飛翔
的液滴が形成され、これらの液滴が被記録部材に付着し
記録が行われることを特徴としている。
ギーの作用を受けた液体が急激な体積の増大を伴う状態
変化を起し、この状態変化に基く作用力によって、記録
ヘッド部先端のオリフィスより液体が吐出されて、飛翔
的液滴が形成され、これらの液滴が被記録部材に付着し
記録が行われることを特徴としている。
殊に、ＤＯＬＳ ２ｇ’ｌ３０１，’ｌ号公報に開示
されている液体噴射記録法は、所謂ｄｒｏｐ−ａｎ ｄ
ｅｍａｎｄ記録法に極めて有効に適用されるばかシでは
なく、記録ヘッド部を容易にｆｕｌｌ １ｉｎｅタイプ
で高密度マルチオリフィス化することができるので、高
解像度、高品質の画像を高速で得られるという特徴を有
している。
されている液体噴射記録法は、所謂ｄｒｏｐ−ａｎ ｄ
ｅｍａｎｄ記録法に極めて有効に適用されるばかシでは
なく、記録ヘッド部を容易にｆｕｌｌ １ｉｎｅタイプ
で高密度マルチオリフィス化することができるので、高
解像度、高品質の画像を高速で得られるという特徴を有
している。
上記の記録法に適用される装置の記録ヘッド部は、゛液
体を吐出する為に設けられたオリフィスと、このオリフ
ィスに連通し、液滴を吐出する為の熱エネルギーが液体
に作用する部分である熱作用部を構成の一部とする液流
路とを有する液吐出部と、熱エネルギーを発生する手段
としての電気熱変換体とを具備している。
体を吐出する為に設けられたオリフィスと、このオリフ
ィスに連通し、液滴を吐出する為の熱エネルギーが液体
に作用する部分である熱作用部を構成の一部とする液流
路とを有する液吐出部と、熱エネルギーを発生する手段
としての電気熱変換体とを具備している。
そして、この電気熱変換体は、一対の電極と、これ等の
電極に接続し、これ等の電極の間に発熱する領域（熱発
生部）を有する発熱抵抗層とを具備しており、一般にと
れら電極及び熱発生部表面を覆う保護層をその」二部に
有し、かつ絶縁基板上は、その表面を覆う保護層を除い
て電気熱変換体を上方から見た場合の部分千面冊を％鼾
一点鎖線ＡＡで示す位置で電気熱変換体を切断した場合
の断面図である。
電極に接続し、これ等の電極の間に発熱する領域（熱発
生部）を有する発熱抵抗層とを具備しており、一般にと
れら電極及び熱発生部表面を覆う保護層をその」二部に
有し、かつ絶縁基板上は、その表面を覆う保護層を除い
て電気熱変換体を上方から見た場合の部分千面冊を％鼾
一点鎖線ＡＡで示す位置で電気熱変換体を切断した場合
の断面図である。
護層３が、基板側よりこの順に積層された構造に熱発生
部７０３で熱を発生させるべく通電するだめの、１０／
および１０．２で示す電極配線部を形成するように所定
の形状にパターニングされている。
部７０３で熱を発生させるべく通電するだめの、１０／
および１０．２で示す電極配線部を形成するように所定
の形状にパターニングされている。
なお、第１図（ａ）で示す部分平面図は、説明のために
一つの熱発生部のみが示されているが、実際の電気熱変
換体においては、一般に所定の間隔で複数個の熱発生部
が並んだ構造と々っている。
一つの熱発生部のみが示されているが、実際の電気熱変
換体においては、一般に所定の間隔で複数個の熱発生部
が並んだ構造と々っている。
ところで、熱発生部１０３および電極配線部１０／、１
０２の形成は一般に次のような工程で行なわれる。まず
基板グの表面に蒸着やスパッタの上面に同様な方法で電
極導体層ノを形成する。
０２の形成は一般に次のような工程で行なわれる。まず
基板グの表面に蒸着やスパッタの上面に同様な方法で電
極導体層ノを形成する。
ついでいわゆるフォトエツチングの方法で、あらかじめ
きめられたパターンに従って、今度は上から順に電極導
体層ノの一部、発熱抵抗層／の一部を除去してゆくこと
によシ所望の位置に所望の形状の電極配線部／’０／、
１０．２および熱発生部１０３が形成される。
きめられたパターンに従って、今度は上から順に電極導
体層ノの一部、発熱抵抗層／の一部を除去してゆくこと
によシ所望の位置に所望の形状の電極配線部／’０／、
１０．２および熱発生部１０３が形成される。
該電極配線部１０／、１０．２．の幅と同じになるよう
にエラキングしていた。即ち、電極配線部１０／。
にエラキングしていた。即ち、電極配線部１０／。
１０２の形状をフォトエツチング法で形成するには電極
配線部ｉｏｉ、ｉｏ、ｘの所望する形状にホトレジスト
パターンを電極導体層ノの上面に形成して後、レジスト
パターンの形成されていない不要／は側面からアタック
され易く、第１図（ｂ）に示したように、この部分の発
熱抵抗層／の幅はその上部の電極配線部１０／、１０２
の幅よりも狭くなる傾向がある。ところがこのように電
極配線部１０／、１０２において、下部層である発熱抵
抗層／の縁が、上部層の電極導体層の縁の内側にあると
、電極導体層ノの縁の部分に「カール」や「欠け」が生
じやすい。
配線部ｉｏｉ、ｉｏ、ｘの所望する形状にホトレジスト
パターンを電極導体層ノの上面に形成して後、レジスト
パターンの形成されていない不要／は側面からアタック
され易く、第１図（ｂ）に示したように、この部分の発
熱抵抗層／の幅はその上部の電極配線部１０／、１０２
の幅よりも狭くなる傾向がある。ところがこのように電
極配線部１０／、１０２において、下部層である発熱抵
抗層／の縁が、上部層の電極導体層の縁の内側にあると
、電極導体層ノの縁の部分に「カール」や「欠け」が生
じやすい。
電気熱変換体の製作では、次にこの電極配線部１０／、
１０２を覆うように保護層３を形成するのであるが、こ
の際、電極導体層ノの側縁部が下部層の発熱抵抗層／よ
りも張シ出している為に、その側縁部分の保護層３によ
る被覆性が極めて悪く、保護層３を通して液体が浸入し
、電極配線部線の断線が起こり易かった。
１０２を覆うように保護層３を形成するのであるが、こ
の際、電極導体層ノの側縁部が下部層の発熱抵抗層／よ
りも張シ出している為に、その側縁部分の保護層３によ
る被覆性が極めて悪く、保護層３を通して液体が浸入し
、電極配線部線の断線が起こり易かった。
本発明は上記の諸点に鑑み成されたものであって、頻繁
なる繰返し使用や長時間の連続使用に於いて総合的な１
Ｔｒ１久性に優れ、初期の良好な液滴形成特性を長期に
亘って安定的に維持し得る液体噴射記録ヘッドを提供す
ることを主たる目的とする。。
なる繰返し使用や長時間の連続使用に於いて総合的な１
Ｔｒ１久性に優れ、初期の良好な液滴形成特性を長期に
亘って安定的に維持し得る液体噴射記録ヘッドを提供す
ることを主たる目的とする。。
又、本発明の別の目的は、製造加工上に於ける信頼性の
高い液体噴射記録ヘッドを提供することでもある。
高い液体噴射記録ヘッドを提供することでもある。
更には、マルチオリフィス化した場合にも製造歩留りの
高い液体噴射記録ヘッドを提供することも本発明の目的
である。
高い液体噴射記録ヘッドを提供することも本発明の目的
である。
本発明の液体噴射記録ヘッドは、液体を吐出して飛翔的
液滴を形成する為に設けられたオリフィスと、該オリフ
ィスに連通し、前記液滴を形成する為の、熱発生部にお
いて発生しだ熱エネルギーが液体に作用する部分である
熱作用部を構成の一部とする液流路とを有する液吐出部
と、基板上に設けられた発熱抵抗体層に電気的に接続し
て、少なくとも一対の対置する電極配線部が前記発熱体
層上に設けられ、これ等電極配線部の間に前記熱発生部
が形成されている電気熱変換体とを具備すを特徴とする
ものである。
液滴を形成する為に設けられたオリフィスと、該オリフ
ィスに連通し、前記液滴を形成する為の、熱発生部にお
いて発生しだ熱エネルギーが液体に作用する部分である
熱作用部を構成の一部とする液流路とを有する液吐出部
と、基板上に設けられた発熱抵抗体層に電気的に接続し
て、少なくとも一対の対置する電極配線部が前記発熱体
層上に設けられ、これ等電極配線部の間に前記熱発生部
が形成されている電気熱変換体とを具備すを特徴とする
ものである。
以下、図面に従って本発明を具体的に説明する。
第２図（ａ）には、本発明の液体噴射記録ヘッドの好適
な実施態様例の構造の主要部を説明する為に、その表面
を覆う保護層を除いて電気熱変換体を垂直上方から見た
場合の部分平面図が、第１図（ｂ）には第１図（ａｌに
一点鎖線Ｂ Ｂ／で示す位置で電気熱変換体を切断した
場合の断面図が示されている。
な実施態様例の構造の主要部を説明する為に、その表面
を覆う保護層を除いて電気熱変換体を垂直上方から見た
場合の部分平面図が、第１図（ｂ）には第１図（ａｌに
一点鎖線Ｂ Ｂ／で示す位置で電気熱変換体を切断した
場合の断面図が示されている。
第１図では第１図におけると同様に、液流路及びオリフ
ィス部材については省略してあシ、捷だ、説明のだめに
一つの熱発生部のみが示されているが、実際の電気熱交
換体においては、一般に所定の間隔で複数個の熱発生部
が並んだ構造となっている。
ィス部材については省略してあシ、捷だ、説明のだめに
一つの熱発生部のみが示されているが、実際の電気熱交
換体においては、一般に所定の間隔で複数個の熱発生部
が並んだ構造となっている。
第２図（ａ）において、λθ３は熱発生部、２ｏ／及び
２０２は熱発生部λθ３に通電をするだめの、所定の間
隔で対向する電極配線部を示す。第２図（ｂ）において
、／は電極配線部２０／の下部層をなす発熱抵抗体層（
熱発生部における発熱抵抗体層と同時に、一体的に形成
されている）、２は電極配線部！０／をなす電極導体層
、３は電極導体層ノ及び発熱抵抗層／をインクから遮蔽
するだめの保護層、グは基板を示す。なお、第２図（ｂ
）は電極配線部、２０／を含む部分の断面を示している
が、電極配線部２０２を含む部分の断面も同じ構造をに
、本発明の記録ヘッドにおいては、電極配線部２０／及
び２０．２の下部にあたる発熱抵抗体層／の基板面に水
平方向の幅は電極導体層ｌの幅よシも大きく形成されて
いる。そして電極配線部ノθ／及びノθノの縁部におい
て保護層３は発熱抵抗体層／と基板ｑとの間の段差及び
電極導体層ｌと発熱抵抗体層／との間の段差の２段の段
差を覆うように形成される。
２０２は熱発生部λθ３に通電をするだめの、所定の間
隔で対向する電極配線部を示す。第２図（ｂ）において
、／は電極配線部２０／の下部層をなす発熱抵抗体層（
熱発生部における発熱抵抗体層と同時に、一体的に形成
されている）、２は電極配線部！０／をなす電極導体層
、３は電極導体層ノ及び発熱抵抗層／をインクから遮蔽
するだめの保護層、グは基板を示す。なお、第２図（ｂ
）は電極配線部、２０／を含む部分の断面を示している
が、電極配線部２０２を含む部分の断面も同じ構造をに
、本発明の記録ヘッドにおいては、電極配線部２０／及
び２０．２の下部にあたる発熱抵抗体層／の基板面に水
平方向の幅は電極導体層ｌの幅よシも大きく形成されて
いる。そして電極配線部ノθ／及びノθノの縁部におい
て保護層３は発熱抵抗体層／と基板ｑとの間の段差及び
電極導体層ｌと発熱抵抗体層／との間の段差の２段の段
差を覆うように形成される。
電極配線部２０／及び、２０．２の幅と、電極配線部２
０／及び２０２の下部にある発熱抵抗体層／の幅との比
は特に限定はされないが、発熱抵抗体層／が多少、大き
なオーバーエツチングを生じてもエツチングをコントロ
ールするのに充分な余裕がある程度に発熱抵抗体層／の
パターンの縁から電極導体層ノのパターンの縁捷での幅
をとればよい。特に好ましくは発熱抵抗体層／のパター
ンの幅を電極導体層ノのパターンの幅の７μｍ以上、よ
り好捷しくは２μｍ以上大きくするのがよい。
０／及び２０２の下部にある発熱抵抗体層／の幅との比
は特に限定はされないが、発熱抵抗体層／が多少、大き
なオーバーエツチングを生じてもエツチングをコントロ
ールするのに充分な余裕がある程度に発熱抵抗体層／の
パターンの縁から電極導体層ノのパターンの縁捷での幅
をとればよい。特に好ましくは発熱抵抗体層／のパター
ンの幅を電極導体層ノのパターンの幅の７μｍ以上、よ
り好捷しくは２μｍ以上大きくするのがよい。
本発明の液体噴射記録ヘッドは、上記のように形成され
た基板上に、熱発生部２０３に対応した液流路、２０グ
とオリフィス、２０Ｓを基板上に形成することによって
完成される。
た基板上に、熱発生部２０３に対応した液流路、２０グ
とオリフィス、２０Ｓを基板上に形成することによって
完成される。
第３図は、完成しだ液体噴射記録ヘッドの一態様の内部
構造を示すだめの模式的分解図であり、この例ではオリ
フィス２０５は、熱発生部、２０３（７つだけを図示）
の上方に設けられている。なお、２０乙はインク流路壁
、２０７は共通液室、２０ｇは第２の共通液室を１．２
０９は共通液室、２０７と第２の共通液室２０ｇを連結
する貫孔、２１０は天板である。また、電気熱変換体の
配線部については図示を省略してあ不。
構造を示すだめの模式的分解図であり、この例ではオリ
フィス２０５は、熱発生部、２０３（７つだけを図示）
の上方に設けられている。なお、２０乙はインク流路壁
、２０７は共通液室、２０ｇは第２の共通液室を１．２
０９は共通液室、２０７と第２の共通液室２０ｇを連結
する貫孔、２１０は天板である。また、電気熱変換体の
配線部については図示を省略してあ不。
第ｑ図は、完成した他の態様の液体噴射記録ヘッド模式
図を示すもので、この例ではオリフィス、２０には液流
路の先端に形成されている。なお、２／／はインク供給
口を示す。
図を示すもので、この例ではオリフィス、２０には液流
路の先端に形成されている。なお、２／／はインク供給
口を示す。
本発明において、発熱抵抗体層／、電極導体層２、保護
層３および基体ｑの素材は、当該技術分野において用い
られあるいは提案されているものが広く使用され得る。
層３および基体ｑの素材は、当該技術分野において用い
られあるいは提案されているものが広く使用され得る。
以下に本発明による記録ヘッドの典型的な一実施例を示
して製造工程の順を追って本発明を具体的に説明する。
して製造工程の順を追って本発明を具体的に説明する。
実施例
Ｓｌウェーハ表面に、スパッタリングによってＨｆ Ｂ
２からなる発熱抵抗体層／を２００ＯＡの厚さに形成
し、引続いてその上面に電気ビーム蒸着法によシアルミ
ニウムを７μｍの厚さに堆積させて電極導体層２を形成
した。ついで、この上にフォトレジストを塗布し、電極
配線部２θ／及び２０２の形状にレジストパターンを形
成し、ｌ−ｌＮＯ３゜ＣＨ３ＣＯ０Ｉ−（及びＨ３ＰＯ
４の混合液よりなるエツチング液を用いて電極導体層／
の不要部分を途去し、その後フォトレジストを剥離した
。電極導体層）の、長さ方向に垂直な幅はｇｏμｍ１捷
た熱発生部、！０３において対向する電極配線部２０／
と、２０２との間隔は２００μｍに形成された。
２からなる発熱抵抗体層／を２００ＯＡの厚さに形成
し、引続いてその上面に電気ビーム蒸着法によシアルミ
ニウムを７μｍの厚さに堆積させて電極導体層２を形成
した。ついで、この上にフォトレジストを塗布し、電極
配線部２θ／及び２０２の形状にレジストパターンを形
成し、ｌ−ｌＮＯ３゜ＣＨ３ＣＯ０Ｉ−（及びＨ３ＰＯ
４の混合液よりなるエツチング液を用いて電極導体層／
の不要部分を途去し、その後フォトレジストを剥離した
。電極導体層）の、長さ方向に垂直な幅はｇｏμｍ１捷
た熱発生部、！０３において対向する電極配線部２０／
と、２０２との間隔は２００μｍに形成された。
次に、再びフォトリソグラフ法によって、前記電極配線
部、２０／および、２０２の電極配線導体層２の下部の
発熱抵抗体層／のパターンを形成した。
部、２０／および、２０２の電極配線導体層２の下部の
発熱抵抗体層／のパターンを形成した。
ついで、ＨＦとＨＮＯ３との混合液中で発熱抵抗体層の
不要部分を除去した。発熱抵抗体層／の幅はｇｔμｍに
形成された。発熱抵抗体層／のンジストパターン幅が電
極導体層！のパターンの幅よりも大きく形成されている
ので、エツジ部分においてはレジストが直接発熱抵抗体
層／上に密着して形成されておシ、従来のように電極導
体層ノの上面にレジストが形成されている従来の方法に
比（７て、オーバーエツチングの度合を極めて小さく抑
えることができた。なお、仮に多少大きなオーバーエツ
チングが生じても発熱抵抗体層／のパターンの縁から電
極導体層λのパターンの縁までの間には、エツチングを
コントロールするのに充分な余裕があるから、電極導体
層）の縁の内側にまで下部の発熱抵抗体層のエツチング
が進行するという不都合は生じない。壕だ、以上述べた
ところから、電極導体層コと発熱抵抗体層／のパターン
のマスクアライメントに多少のズレが生じても特に不都
合はない。
不要部分を除去した。発熱抵抗体層／の幅はｇｔμｍに
形成された。発熱抵抗体層／のンジストパターン幅が電
極導体層！のパターンの幅よりも大きく形成されている
ので、エツジ部分においてはレジストが直接発熱抵抗体
層／上に密着して形成されておシ、従来のように電極導
体層ノの上面にレジストが形成されている従来の方法に
比（７て、オーバーエツチングの度合を極めて小さく抑
えることができた。なお、仮に多少大きなオーバーエツ
チングが生じても発熱抵抗体層／のパターンの縁から電
極導体層λのパターンの縁までの間には、エツチングを
コントロールするのに充分な余裕があるから、電極導体
層）の縁の内側にまで下部の発熱抵抗体層のエツチング
が進行するという不都合は生じない。壕だ、以上述べた
ところから、電極導体層コと発熱抵抗体層／のパターン
のマスクアライメントに多少のズレが生じても特に不都
合はない。
最後に、電極配線部ノ０／及び、２０２、並びに梶熱発
生部２０３の少なくとも液体に接触する部分に対して保
護層３として５ｉＯｚ層をスパッタリングによって、２
２μｍの厚さに堆積させた。この５ｉ０２保護層のステ
ップカバレージは、基板グと発熱抵抗体層／との間の段
差部分と、発熱抵抗体層／と電極導体層！との間の段差
部分とが離れて存在するので、他の段差部分と同様に極
めて良好に形成された。このようにして形成された基板
を用いて前述した液体噴射記録ヘッドを組み立てた。
生部２０３の少なくとも液体に接触する部分に対して保
護層３として５ｉＯｚ層をスパッタリングによって、２
２μｍの厚さに堆積させた。この５ｉ０２保護層のステ
ップカバレージは、基板グと発熱抵抗体層／との間の段
差部分と、発熱抵抗体層／と電極導体層！との間の段差
部分とが離れて存在するので、他の段差部分と同様に極
めて良好に形成された。このようにして形成された基板
を用いて前述した液体噴射記録ヘッドを組み立てた。
この液体噴射記録ヘッドにおいては、上述しだように保
護層が極めて良好に形成されているので、前述した従来
のもののように、熱発生部によシ液体の沸騰をくり返す
と液体が保護層のカバレージの悪い部分から電極配線部
、！０／及びノ０２の側縁に沿って浸入し、電極配線導
体層を溶解するという不都合は生じなかった。
護層が極めて良好に形成されているので、前述した従来
のもののように、熱発生部によシ液体の沸騰をくり返す
と液体が保護層のカバレージの悪い部分から電極配線部
、！０／及びノ０２の側縁に沿って浸入し、電極配線導
体層を溶解するという不都合は生じなかった。
以上説明したように、本発明による記録ヘッドに於てば
、電極配線部および発熱抵抗体層において、保護層のカ
バレージが極めて良好に形成される為に、頻繁な繰返し
使用や長時間の連続使用に於いても、電極配線部の溶解
による断線等が起らず、初期の良好な液滴形成特性を長
ルＪに亘って安定的に維持できる。
、電極配線部および発熱抵抗体層において、保護層のカ
バレージが極めて良好に形成される為に、頻繁な繰返し
使用や長時間の連続使用に於いても、電極配線部の溶解
による断線等が起らず、初期の良好な液滴形成特性を長
ルＪに亘って安定的に維持できる。
また、記録ヘッドの製造加工々程に於いて、特に電極配
線部分の形成工程での加工が容易になり、非常に高い歩
留りで信頼性の高い液体噴射記録ヘッドを提供すること
ができる。
線部分の形成工程での加工が容易になり、非常に高い歩
留りで信頼性の高い液体噴射記録ヘッドを提供すること
ができる。
の構造の主要部を説明するものであって、第１図ｆａｌ
は、その表面を覆う保護層を除・いて電気熱変換体を上
方から児だ場合の部分平面図、第１図（ｂ）は（ｂｊは
本発明の記録ヘッドの一実施態様の構造の主要部を説明
するだめのものであって、第２図（ａｉはその表面を覆
う保設層を除いて電気熱変換体を垂直上方から見た場合
の部分平面図が、第２図（ｂ）には第２図（ａ）に一点
鎖線Ｂ Ｂ’で示す位置で電気熱変換体を切断した場合
の断面図、第３図は本発明の液体噴射記録ヘッドの一実
施態様の内部構造を示すだめの模式的分解図、第４図は
本発明の液体噴射記録ヘッドの別の実施態様の内部構造
を示すだめの模式図である。
は、その表面を覆う保護層を除・いて電気熱変換体を上
方から児だ場合の部分平面図、第１図（ｂ）は（ｂｊは
本発明の記録ヘッドの一実施態様の構造の主要部を説明
するだめのものであって、第２図（ａｉはその表面を覆
う保設層を除いて電気熱変換体を垂直上方から見た場合
の部分平面図が、第２図（ｂ）には第２図（ａ）に一点
鎖線Ｂ Ｂ’で示す位置で電気熱変換体を切断した場合
の断面図、第３図は本発明の液体噴射記録ヘッドの一実
施態様の内部構造を示すだめの模式的分解図、第４図は
本発明の液体噴射記録ヘッドの別の実施態様の内部構造
を示すだめの模式図である。
１０／、１０２．２０／、、２０２・・・電極配線部１
０．３．．２０３ ・・・熱発生部／・・・発熱抵抗
体層 ノ・・・電極導体層３・・・保護層
ｑ・・・基板λθｑ・・・液流路 、２０３・・・
オリフィス！０乙・・・インク流路壁 ２０ｇ・・・第２の共通液室 氾０９・・・貫孔 ２１０・・・天板 ２／／・・・インク供給口 特許出願人 キャノン株式会社
０．３．．２０３ ・・・熱発生部／・・・発熱抵抗
体層 ノ・・・電極導体層３・・・保護層
ｑ・・・基板λθｑ・・・液流路 、２０３・・・
オリフィス！０乙・・・インク流路壁 ２０ｇ・・・第２の共通液室 氾０９・・・貫孔 ２１０・・・天板 ２／／・・・インク供給口 特許出願人 キャノン株式会社
Claims (1)
- （１）液体を吐出して飛翔的液滴を形成する為に設けら
れたオリフィスと、該オリフィスに連通し、前記液滴を
形成する為の、熱発生部において発生した熱エネルギー
が液体に作用する部分である熱作用部を構成の一部とす
る液流路とを有する液吐出部と、基板上に設けられた発
熱抵抗体層に電気的に接続して、少なくとも一対の対置
する電極配線部が前記発熱体層上に設けられ、これ等電
極配線部の間に前記熱発生部が形成さ記電極配線部の幅
よシも犬であることを特徴とする液体噴射記録ヘッド。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58067722A JPH062414B2 (ja) | 1983-04-19 | 1983-04-19 | インクジェットヘッド |
| US06/597,935 US4602261A (en) | 1983-04-19 | 1984-04-09 | Ink jet electrode configuration |
| DE19843414526 DE3414526A1 (de) | 1983-04-19 | 1984-04-17 | Fluessigkeitsstrahlaufzeichnungskopf |
| FR8406274A FR2544663B1 (fr) | 1983-04-19 | 1984-04-19 | Tete d'enregistrement a jets de liquide |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58067722A JPH062414B2 (ja) | 1983-04-19 | 1983-04-19 | インクジェットヘッド |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59194859A true JPS59194859A (ja) | 1984-11-05 |
| JPH062414B2 JPH062414B2 (ja) | 1994-01-12 |
Family
ID=13353131
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58067722A Expired - Lifetime JPH062414B2 (ja) | 1983-04-19 | 1983-04-19 | インクジェットヘッド |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4602261A (ja) |
| JP (1) | JPH062414B2 (ja) |
| DE (1) | DE3414526A1 (ja) |
| FR (1) | FR2544663B1 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61235165A (ja) * | 1985-04-12 | 1986-10-20 | Hitachi Ltd | サ−マルヘツドの製造方法 |
| JPS6273588A (ja) * | 1985-09-27 | 1987-04-04 | キヤノン株式会社 | 発熱抵抗体 |
| US4889587A (en) * | 1987-12-02 | 1989-12-26 | Canon Kabushiki Kaisha | Method of preparing a substrate for ink jet head and method of preparing an ink jet head |
Families Citing this family (16)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH062415B2 (ja) * | 1983-04-20 | 1994-01-12 | キヤノン株式会社 | インクジェットヘッド及び該インクジェットヘッドの製造方法 |
| JPS59194867A (ja) * | 1983-04-20 | 1984-11-05 | Canon Inc | ヘッドの製造方法 |
| JPS60157873A (ja) * | 1984-01-30 | 1985-08-19 | Canon Inc | 液体噴射記録装置の駆動回路 |
| US4719478A (en) * | 1985-09-27 | 1988-01-12 | Canon Kabushiki Kaisha | Heat generating resistor, recording head using such resistor and drive method therefor |
| DE3705014A1 (de) * | 1986-02-18 | 1987-08-20 | Canon Kk | Tintenstrahl-aufzeichnungskopf und substrat hierfuer |
| JPS63160853A (ja) * | 1986-12-25 | 1988-07-04 | Canon Inc | 液体噴射記録ヘツド |
| JP2611981B2 (ja) * | 1987-02-04 | 1997-05-21 | キヤノン株式会社 | インクジエツト記録ヘツド用基板及びインクジエツト記録ヘツド |
| DE3884904T2 (de) * | 1987-10-30 | 1994-02-17 | Canon Kk | Schutzverfahren für Tintenstrahldruckkopf und Tintenstrahldruckkopf. |
| US4887098A (en) * | 1988-11-25 | 1989-12-12 | Xerox Corporation | Thermal ink jet printer having printhead transducers with multilevelinterconnections |
| US4947189A (en) * | 1989-05-12 | 1990-08-07 | Eastman Kodak Company | Bubble jet print head having improved resistive heater and electrode construction |
| US5946013A (en) * | 1992-12-22 | 1999-08-31 | Canon Kabushiki Kaisha | Ink jet head having a protective layer with a controlled argon content |
| JP3248964B2 (ja) * | 1992-12-22 | 2002-01-21 | キヤノン株式会社 | 液体噴射記録ヘッド及び同ヘッドを備えた液体噴射記録装置 |
| US5660739A (en) * | 1994-08-26 | 1997-08-26 | Canon Kabushiki Kaisha | Method of producing substrate for ink jet recording head, ink jet recording head and ink jet recording apparatus |
| JP3397473B2 (ja) * | 1994-10-21 | 2003-04-14 | キヤノン株式会社 | 液体噴射ヘッド用素子基板を用いた液体噴射ヘッド、該ヘッドを用いた液体噴射装置 |
| US5901425A (en) | 1996-08-27 | 1999-05-11 | Topaz Technologies Inc. | Inkjet print head apparatus |
| JP2015168120A (ja) * | 2014-03-06 | 2015-09-28 | セイコーエプソン株式会社 | 積層配線の形成方法、液体噴射ヘッドの製造方法、配線実装構造、液体噴射ヘッド及び液体噴射装置 |
Citations (2)
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|---|---|---|---|---|
| JPS55132270A (en) * | 1979-04-02 | 1980-10-14 | Canon Inc | Liquid-drip jet recording device |
| JPS55132258A (en) * | 1979-04-02 | 1980-10-14 | Canon Inc | Liquid jet recording method |
Family Cites Families (6)
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|---|---|---|---|---|
| JPS5451837A (en) * | 1977-09-30 | 1979-04-24 | Ricoh Co Ltd | Ink jet head device |
| CA1127227A (en) * | 1977-10-03 | 1982-07-06 | Ichiro Endo | Liquid jet recording process and apparatus therefor |
| US4330787A (en) * | 1978-10-31 | 1982-05-18 | Canon Kabushiki Kaisha | Liquid jet recording device |
| US4336548A (en) * | 1979-07-04 | 1982-06-22 | Canon Kabushiki Kaisha | Droplets forming device |
| GB2106039A (en) * | 1981-08-14 | 1983-04-07 | Hewlett Packard Co | Thermal ink jet printer |
| US4438191A (en) * | 1982-11-23 | 1984-03-20 | Hewlett-Packard Company | Monolithic ink jet print head |
-
1983
- 1983-04-19 JP JP58067722A patent/JPH062414B2/ja not_active Expired - Lifetime
-
1984
- 1984-04-09 US US06/597,935 patent/US4602261A/en not_active Expired - Lifetime
- 1984-04-17 DE DE19843414526 patent/DE3414526A1/de active Granted
- 1984-04-19 FR FR8406274A patent/FR2544663B1/fr not_active Expired
Patent Citations (2)
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| US4889587A (en) * | 1987-12-02 | 1989-12-26 | Canon Kabushiki Kaisha | Method of preparing a substrate for ink jet head and method of preparing an ink jet head |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| DE3414526A1 (de) | 1984-10-25 |
| JPH062414B2 (ja) | 1994-01-12 |
| DE3414526C2 (ja) | 1990-02-01 |
| FR2544663A1 (fr) | 1984-10-26 |
| FR2544663B1 (fr) | 1986-12-26 |
| US4602261A (en) | 1986-07-22 |
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