JPS59192257U - 荷電粒子線装置 - Google Patents
荷電粒子線装置Info
- Publication number
- JPS59192257U JPS59192257U JP8737983U JP8737983U JPS59192257U JP S59192257 U JPS59192257 U JP S59192257U JP 8737983 U JP8737983 U JP 8737983U JP 8737983 U JP8737983 U JP 8737983U JP S59192257 U JPS59192257 U JP S59192257U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- charged particle
- sample
- particle beam
- holding means
- beam device
- Prior art date
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- Pending
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- Electron Beam Exposure (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図は本考案の一実施例装置の構成略図、第２図は第
１図の一実施例装置要部を説明するための図である。 １：ポールピース、２：電子線、３：試料ホルダー、４
：試料、５：試料ステージ、６：ステージ駆動機構、７
：真空容器、８：駆動軸、９ニスペーサ−機構、１０：
エアーシリンダー、１１：エアータンク、１２：弁切換
機構、１３：制御装置、１４：電源、＞１５：空気導入
口、１６：ピストン、１７：移動軸、１８ａ、 １８
ｂ：蝶番、１９ａ、 １９ｂ：７−ム、２０ａ、２０
ｂニア、ぺ−１−片、２１：空気導入口。
１図の一実施例装置要部を説明するための図である。 １：ポールピース、２：電子線、３：試料ホルダー、４
：試料、５：試料ステージ、６：ステージ駆動機構、７
：真空容器、８：駆動軸、９ニスペーサ−機構、１０：
エアーシリンダー、１１：エアータンク、１２：弁切換
機構、１３：制御装置、１４：電源、＞１５：空気導入
口、１６：ピストン、１７：移動軸、１８ａ、 １８
ｂ：蝶番、１９ａ、 １９ｂ：７−ム、２０ａ、２０
ｂニア、ぺ−１−片、２１：空気導入口。
Claims (1)
- 荷電粒子発生手段からの荷電粒子線を移動可能な試料保
持手段に保持された試料上で集束させると共に偏向系に
よって該試料上の任意位置へ移動させる装置において、
前記荷電粒子線を試料上に集束させるための集束レンズ
のポールピースと、前記試料保持手段内の試料ホルダー
との間隙に伸縮可能に構成されたスペーサーを挿入し、
該試料保持手段の移動、停止に関係づけて前記スペーサ
ーの伸縮を制御するよう構成した荷電粒子線装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8737983U JPS59192257U (ja) | 1983-06-08 | 1983-06-08 | 荷電粒子線装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8737983U JPS59192257U (ja) | 1983-06-08 | 1983-06-08 | 荷電粒子線装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59192257U true JPS59192257U (ja) | 1984-12-20 |
Family
ID=30217293
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8737983U Pending JPS59192257U (ja) | 1983-06-08 | 1983-06-08 | 荷電粒子線装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59192257U (ja) |
-
1983
- 1983-06-08 JP JP8737983U patent/JPS59192257U/ja active Pending
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