JPS59192221A - 対物レンズ破損防止機構付顕微鏡装置 - Google Patents
対物レンズ破損防止機構付顕微鏡装置Info
- Publication number
- JPS59192221A JPS59192221A JP6565283A JP6565283A JPS59192221A JP S59192221 A JPS59192221 A JP S59192221A JP 6565283 A JP6565283 A JP 6565283A JP 6565283 A JP6565283 A JP 6565283A JP S59192221 A JPS59192221 A JP S59192221A
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- Japan
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- collision
- distance
- mask
- signal
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-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B21/00—Microscopes
- G02B21/24—Base structure
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- Physics & Mathematics (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Microscoopes, Condenser (AREA)
- Automatic Focus Adjustment (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の利用分野〕
本発明は焦点調節機構をもつ光学顕微鏡利用装置に係υ
、特に自動焦点合わせ機構をもつ顕微鏡装置などに好適
な対物レンズと資料の衝突破損を防止可能な対物レンズ
破損防止機構付顕微鏡装置に関する。
、特に自動焦点合わせ機構をもつ顕微鏡装置などに好適
な対物レンズと資料の衝突破損を防止可能な対物レンズ
破損防止機構付顕微鏡装置に関する。
従来の光学顕微鏡利用装置では、通常は接眼レンズから
目視で資料を観察して像の焦点合わせを行なっていたた
め、特に高倍率になって対物レンズと資料との作動距離
や合焦点範囲がたとえば数１０ミクロン以下のように微
小になると、焦点調節のさいなど対物レンズと資料また
は資料台を衝突させ破損する危険があった。さらに自動
焦点合わせ可能な顕微鏡装置などにおいても、手動調整
のさいなど同様の危険があるのみならず、自動焦点合わ
せのさいにも資料上のごみや異物あるいは資料面の凹凸
などによシ、対物レンズと資料を衝突させ破損するなど
の欠点があった。
目視で資料を観察して像の焦点合わせを行なっていたた
め、特に高倍率になって対物レンズと資料との作動距離
や合焦点範囲がたとえば数１０ミクロン以下のように微
小になると、焦点調節のさいなど対物レンズと資料また
は資料台を衝突させ破損する危険があった。さらに自動
焦点合わせ可能な顕微鏡装置などにおいても、手動調整
のさいなど同様の危険があるのみならず、自動焦点合わ
せのさいにも資料上のごみや異物あるいは資料面の凹凸
などによシ、対物レンズと資料を衝突させ破損するなど
の欠点があった。
本発明の目的は、上記した従来技術の欠点をなりシ、対
物レンズと資料の衝突を防止もしくは緩衝して破損防止
可能な対物レンズ破損防止機構付顕微鏡装置を提供する
にある。
物レンズと資料の衝突を防止もしくは緩衝して破損防止
可能な対物レンズ破損防止機構付顕微鏡装置を提供する
にある。
本発明は、対物レンズと被観察資料間の距離を測定する
距離測定器の出力信号によシ、対物レンズと被観察資料
の焦点を合わせる焦点合せ機構を制御して、対物レンズ
と被観察資料の衝突を防止するとともに、必要に応じ対
物レンズを衝突緩衝機構を介して保持することによシ衝
突時の破損を防止するようにしたことを特徴とする対物
レンズ破損防止機構付顕微鏡装置である。
距離測定器の出力信号によシ、対物レンズと被観察資料
の焦点を合わせる焦点合せ機構を制御して、対物レンズ
と被観察資料の衝突を防止するとともに、必要に応じ対
物レンズを衝突緩衝機構を介して保持することによシ衝
突時の破損を防止するようにしたことを特徴とする対物
レンズ破損防止機構付顕微鏡装置である。
以下、本発明の一実施例を第１図ないし第５図により説
明する。なお各図面を通じて同一符号または記号は同一
または相当部分を示すものとする。
明する。なお各図面を通じて同一符号または記号は同一
または相当部分を示すものとする。
第１図は本発明による自動焦点合せ機構をもつ半導体用
ホトマスク検査装置に適用した対物レンズ破損防止機構
付顕微鏡装置の一実施例を示す全、体構成ブロック図で
ある。第１図において、資料台をなすＸＹステージ１上
に、被観察資料である２０ホトマスク２が載っておシ、
このＸＹステージ１をＸ軸駆動機構３およびＹ軸駆動機
構４によシ、顕微鏡鏡筒５に対してＸ軸およびＹ軸方向
に駆動走査して、半導体用ホトマスク２の全面を検査す
る。このさい対物レンズ６によシ拡大されたマスク２の
像はパターン検出器７に結像して電気信号に変換された
のち、パターン認識装置８によって検査が行なわれる。
ホトマスク検査装置に適用した対物レンズ破損防止機構
付顕微鏡装置の一実施例を示す全、体構成ブロック図で
ある。第１図において、資料台をなすＸＹステージ１上
に、被観察資料である２０ホトマスク２が載っておシ、
このＸＹステージ１をＸ軸駆動機構３およびＹ軸駆動機
構４によシ、顕微鏡鏡筒５に対してＸ軸およびＹ軸方向
に駆動走査して、半導体用ホトマスク２の全面を検査す
る。このさい対物レンズ６によシ拡大されたマスク２の
像はパターン検出器７に結像して電気信号に変換された
のち、パターン認識装置８によって検査が行なわれる。
さらに高解像度のパターン検査には自動焦点合わせが不
可欠であるため、対物レンズ６とマスク２０間の距離を
測定する距離測定器をなす焦点検出器９を設け、これに
よシ検出された焦点検出信号１０によシ演算制御装置１
１を介し合焦点位置指令１２との偏差に対応した操作量
信号１３を焦点合せ機構１４に送って駆動し、これによ
υ鏡筒５を上下して自動焦点合わせを行なう。なお、照
明光学系１５はマスク２を照明する光源およびコンデン
サレンズなどからなるパターン照明光学系である。さい
ごに対物レンズ６とマスク２の衝突を防止するため、焦
点検出器９からの無点検゛出信号１０を一定値と比較す
る比較器１６を設け、これによシ焦点検出信号１０が一
定値以下になった時には演算制御装置１１を介し最大の
操作量信号１３を焦点合せ機構１４に送って、速やかに
鏡筒５を上げて衝突を防止するぺ〈構成される。
可欠であるため、対物レンズ６とマスク２０間の距離を
測定する距離測定器をなす焦点検出器９を設け、これに
よシ検出された焦点検出信号１０によシ演算制御装置１
１を介し合焦点位置指令１２との偏差に対応した操作量
信号１３を焦点合せ機構１４に送って駆動し、これによ
υ鏡筒５を上下して自動焦点合わせを行なう。なお、照
明光学系１５はマスク２を照明する光源およびコンデン
サレンズなどからなるパターン照明光学系である。さい
ごに対物レンズ６とマスク２の衝突を防止するため、焦
点検出器９からの無点検゛出信号１０を一定値と比較す
る比較器１６を設け、これによシ焦点検出信号１０が一
定値以下になった時には演算制御装置１１を介し最大の
操作量信号１３を焦点合せ機構１４に送って、速やかに
鏡筒５を上げて衝突を防止するぺ〈構成される。
第２図は第１図の距離測定器をなす焦点検出器９の出力
特性側図で、横軸に焦点検出器９すなわち対物レンズ６
と、マスク２０間の距離ｄをとり、縦軸に焦点検出器９
の出力電圧Ｖすなわち焦点検出信号１０の信号電圧をと
って示したものである。
特性側図で、横軸に焦点検出器９すなわち対物レンズ６
と、マスク２０間の距離ｄをとり、縦軸に焦点検出器９
の出力電圧Ｖすなわち焦点検出信号１０の信号電圧をと
って示したものである。
第２図において、通常は合焦点位置指令１２にょシ対物
レンズ６とマスク２０間の距離ｄがたとえばほぼ旬μｍ
程度の合焦点位置ｆｏであるときには焦点検出器９の出
力電圧■は電圧Ｖｏとなる。ところが異常に対物レンズ
６とマスク２の間の距離ｄがたとえば約６μｍ程度の一
定距離ｆ１以下になったときには、焦点検出器９の出力
電圧Ｖは電圧■１以下となるため、これを比較器１６に
ょシ検知して対物レンズ６とマスク２が異常接近するの
を防止することができる。なお第２図の出力特性は、対
物レンズ６とマスク２のほぼ作動距離もしくは合焦□
点範囲を示す距離ｆ１から距離ｆ２の距離範囲内で、は
ぼ直線性をもつ電圧ｖ１がら電圧ｖ２の出力電圧範囲の
特性を示している。こうした対物レンズ６とマスク２の
間の距離を測定する距離測定器をなす焦点検出器９とし
ては、光学式や超音波方式や空気マイクロメータを利用
する方式など各種考案され実用化されている。
レンズ６とマスク２０間の距離ｄがたとえばほぼ旬μｍ
程度の合焦点位置ｆｏであるときには焦点検出器９の出
力電圧■は電圧Ｖｏとなる。ところが異常に対物レンズ
６とマスク２の間の距離ｄがたとえば約６μｍ程度の一
定距離ｆ１以下になったときには、焦点検出器９の出力
電圧Ｖは電圧■１以下となるため、これを比較器１６に
ょシ検知して対物レンズ６とマスク２が異常接近するの
を防止することができる。なお第２図の出力特性は、対
物レンズ６とマスク２のほぼ作動距離もしくは合焦□
点範囲を示す距離ｆ１から距離ｆ２の距離範囲内で、は
ぼ直線性をもつ電圧ｖ１がら電圧ｖ２の出力電圧範囲の
特性を示している。こうした対物レンズ６とマスク２の
間の距離を測定する距離測定器をなす焦点検出器９とし
ては、光学式や超音波方式や空気マイクロメータを利用
する方式など各種考案され実用化されている。
ついで、第３図は第１図の自動焦点合せ制御系（サーボ
系）を示すブロック図である。第３図によシ第１図の通
常の自動焦点合せ動作を説明すると、対物レンズ、６と
マスク２０間の距離ｄを合焦点位置ｆｏとする合焦点位
置指令１２に対応した電圧発生器１７の出力電圧ｖｏと
、焦点検出器９よシえた現在の焦点検出信号１０の信号
電圧Ｖとから、その偏差に対応した操作量信号１３の操
作量−ｋ （Ｖｏ−■）を演算制御装置１１にょシ演算
し、この演算制御装置１１からの操作量信号１３にょ力
焦点合せ機構１４を駆動するととＫよシ、対物レンズ６
とマスク２の間の距離ｄを合焦点位置ｆｏとするように
自動焦点合せが実行される。
系）を示すブロック図である。第３図によシ第１図の通
常の自動焦点合せ動作を説明すると、対物レンズ、６と
マスク２０間の距離ｄを合焦点位置ｆｏとする合焦点位
置指令１２に対応した電圧発生器１７の出力電圧ｖｏと
、焦点検出器９よシえた現在の焦点検出信号１０の信号
電圧Ｖとから、その偏差に対応した操作量信号１３の操
作量−ｋ （Ｖｏ−■）を演算制御装置１１にょシ演算
し、この演算制御装置１１からの操作量信号１３にょ力
焦点合せ機構１４を駆動するととＫよシ、対物レンズ６
とマスク２の間の距離ｄを合焦点位置ｆｏとするように
自動焦点合せが実行される。
つぎに、第４図は第１図の対物レンズ破損防止機構の衝
突防止・警報回路を例示する詳細構成ブロック図である
。第４図において、本回路は、焦点検出器９からの焦点
検出信号１０を入力として、この信号電圧Ｖと前記一定
距離ｆ１に対応の設定一定電圧ｖ１とを比較する比較器
１６と、上記信号電圧Ｖと前記合焦点時の合焦点位置ｆ
ｏに対応の電圧発生器１７の出力電圧ｖｏとの偏差に対
応した差動増幅器などからなる演算制御装置１１からの
出力の操作量−ｋ（Ｖｏ−Ｖ）と衝突防止のために焦点
合せ機＄１４を高速に操作して対物レンズ６をマスク２
から遠ざけるべき設定最大制御電圧−ｖ、、！ａＸとを
比較器１６の出力信号１８によシ切シ替えて操作量信号
１３とする操作量信号切替え用のアナログゲート１９と
、同比較器１６の出力信号１８によシ警報を出す警報発
生回路加から構成される。
突防止・警報回路を例示する詳細構成ブロック図である
。第４図において、本回路は、焦点検出器９からの焦点
検出信号１０を入力として、この信号電圧Ｖと前記一定
距離ｆ１に対応の設定一定電圧ｖ１とを比較する比較器
１６と、上記信号電圧Ｖと前記合焦点時の合焦点位置ｆ
ｏに対応の電圧発生器１７の出力電圧ｖｏとの偏差に対
応した差動増幅器などからなる演算制御装置１１からの
出力の操作量−ｋ（Ｖｏ−Ｖ）と衝突防止のために焦点
合せ機＄１４を高速に操作して対物レンズ６をマスク２
から遠ざけるべき設定最大制御電圧−ｖ、、！ａＸとを
比較器１６の出力信号１８によシ切シ替えて操作量信号
１３とする操作量信号切替え用のアナログゲート１９と
、同比較器１６の出力信号１８によシ警報を出す警報発
生回路加から構成される。
この構成の第４図により第１図の衝突防止動作を説明す
ると、まず通常は第３図の自動焦点合せサーボ系の応答
が十分速く設計されていて、自動焦点合わせ動作中では
焦点検出器９を介したフィードバック作用によシ対物レ
ンズ６とマスク２の間の距離ｄは合焦点位置ｆＯ付近に
あるため、焦点検出器９からの焦点検出信号１０の信号
電圧Ｖも電圧Ｖ（、付近にあってこの信号電圧Ｖが一定
電圧ｖ１以下となることはないが、マスク２上のごみや
異物などあるいはマスク２の表面の凹凸の大きさなどが
自動焦点合せサーボ系の初期の応答をこえる程度である
ときなどに、対物レンズ６とマスク２の間の距離ｄが一
定距離ｆ１以下となるためこの信号電圧Ｖが一定電圧ｖ
１以下となる。このようにして対物レンズ６とマスク２
が異常に接近して一定距離ｆ１以下となって焦点検出器
９からの焦点検出信号１０の信号電圧Ｖが一定電圧ｖ１
以下になったとき、比較器１６によシ信号電圧Ｖと一定
電圧ｖ１を比較してその時点で比較器１６の出力信号１
８は高レベル＠１＃となるため、この出力信号１８によ
りアナログゲート１９を演算制御装置１１の出力側から
設定最大制御電圧−■、、！ａｘ側に切り替えて接続さ
れ、この最大制御電圧−■□８ｘを操作量とする操作量
信号１３が通常の自動焦点合せサーボ系のフィードバッ
ク系を通らずに焦点合せ機構１４に送られ、これによ多
焦点合せ機構１４を最大の駆動力で駆動して、高速に対
物レンズ６をマスク２から遠ざけ衝突を防止すると同時
に、比較器１６の出力信号１８により！報発生回路加が
警報ブザーなどを鳴らして作業者に異常接近を知らせる
。
ると、まず通常は第３図の自動焦点合せサーボ系の応答
が十分速く設計されていて、自動焦点合わせ動作中では
焦点検出器９を介したフィードバック作用によシ対物レ
ンズ６とマスク２の間の距離ｄは合焦点位置ｆＯ付近に
あるため、焦点検出器９からの焦点検出信号１０の信号
電圧Ｖも電圧Ｖ（、付近にあってこの信号電圧Ｖが一定
電圧ｖ１以下となることはないが、マスク２上のごみや
異物などあるいはマスク２の表面の凹凸の大きさなどが
自動焦点合せサーボ系の初期の応答をこえる程度である
ときなどに、対物レンズ６とマスク２の間の距離ｄが一
定距離ｆ１以下となるためこの信号電圧Ｖが一定電圧ｖ
１以下となる。このようにして対物レンズ６とマスク２
が異常に接近して一定距離ｆ１以下となって焦点検出器
９からの焦点検出信号１０の信号電圧Ｖが一定電圧ｖ１
以下になったとき、比較器１６によシ信号電圧Ｖと一定
電圧ｖ１を比較してその時点で比較器１６の出力信号１
８は高レベル＠１＃となるため、この出力信号１８によ
りアナログゲート１９を演算制御装置１１の出力側から
設定最大制御電圧−■、、！ａｘ側に切り替えて接続さ
れ、この最大制御電圧−■□８ｘを操作量とする操作量
信号１３が通常の自動焦点合せサーボ系のフィードバッ
ク系を通らずに焦点合せ機構１４に送られ、これによ多
焦点合せ機構１４を最大の駆動力で駆動して、高速に対
物レンズ６をマスク２から遠ざけ衝突を防止すると同時
に、比較器１６の出力信号１８により！報発生回路加が
警報ブザーなどを鳴らして作業者に異常接近を知らせる
。
第５図は第１図の対物レンズ破損防止機構の衝突緩衝機
構を例示する部分構成断面図である。第５図において、
対物レンズ６ははね機構などからなる衝突緩衝機構２１
を介して鏡筒５に支持される。
構を例示する部分構成断面図である。第５図において、
対物レンズ６ははね機構などからなる衝突緩衝機構２１
を介して鏡筒５に支持される。
この構成によシ、第３図の自動焦点合せサーボ系による
自動焦点合わせ動作中あるいは手動焦点調整のさいなど
に、第４図の衝突防止・警報回路があってもなお万一、
対物レンズ６とマスク２あるいは資料台をなすＸＹステ
ージ１が衝突したときにも、対物レンズ６が衝突緩衝機
構２１により逃げることができるようにして、対物レン
ズ６の破損を防止することができる。
自動焦点合わせ動作中あるいは手動焦点調整のさいなど
に、第４図の衝突防止・警報回路があってもなお万一、
対物レンズ６とマスク２あるいは資料台をなすＸＹステ
ージ１が衝突したときにも、対物レンズ６が衝突緩衝機
構２１により逃げることができるようにして、対物レン
ズ６の破損を防止することができる。
なお、上記実施例では、対物レンズ６とマスク２が異常
接近したときに比較器１６の動作によシ操作量信号１３
の操作量を最大制御電圧−Ｖ□ａＸに切シ替えて焦点合
せ機構１４を最大駆動力で駆動することにより高速で対
物レンズ６をマスク２から遠ざけて衝突を防止するよう
にしているが、たとえば比較器１６の動作によ多焦点合
せ機構１４を動かなくロックするなどして、対物レンズ
６とマスク２の一定距離範囲内でのみ焦点合せ機構１４
が有効に働らきそれ以外では無効にすることによシ対物
レンズ６とマスク２の衝突を防止するようにしてもよい
。
接近したときに比較器１６の動作によシ操作量信号１３
の操作量を最大制御電圧−Ｖ□ａＸに切シ替えて焦点合
せ機構１４を最大駆動力で駆動することにより高速で対
物レンズ６をマスク２から遠ざけて衝突を防止するよう
にしているが、たとえば比較器１６の動作によ多焦点合
せ機構１４を動かなくロックするなどして、対物レンズ
６とマスク２の一定距離範囲内でのみ焦点合せ機構１４
が有効に働らきそれ以外では無効にすることによシ対物
レンズ６とマスク２の衝突を防止するようにしてもよい
。
このようにして上記の自動焦点合せ機構をもつ半導体用
ホトマスク検査装置に適用した実施例によれば、距離測
定器を新たに設けることなく自動焦点合せ機構の焦点検
出器９を対物レンズ破損防止機構の距離測定器として効
果的に兼用し、第２図に例示したような自体の出力特性
によシ対物レンズ６と資料マスク２０間の距離を認識可
能な焦点検出器９の自動焦点合わせ用の焦点検出信号１
０を対物レンズ衝突防止用の距離検出信号として利用し
、これにより自動焦点合わせ動作中にも常に対物レンズ
６とマスク２の距離を監視するとともに、対物レンズ６
とマスク２の異常接近を比較器１６によシ検知して衝突
を防止するほか、万一衝突した場合にも衝突緩衝機構乙
により対物レンズ６の破損を防止することができる。
ホトマスク検査装置に適用した実施例によれば、距離測
定器を新たに設けることなく自動焦点合せ機構の焦点検
出器９を対物レンズ破損防止機構の距離測定器として効
果的に兼用し、第２図に例示したような自体の出力特性
によシ対物レンズ６と資料マスク２０間の距離を認識可
能な焦点検出器９の自動焦点合わせ用の焦点検出信号１
０を対物レンズ衝突防止用の距離検出信号として利用し
、これにより自動焦点合わせ動作中にも常に対物レンズ
６とマスク２の距離を監視するとともに、対物レンズ６
とマスク２の異常接近を比較器１６によシ検知して衝突
を防止するほか、万一衝突した場合にも衝突緩衝機構乙
により対物レンズ６の破損を防止することができる。
なお、本発明は自動焦点合せ機構をもたない手動焦点調
節機構による顕微鏡装置にも、対物レンズ６とマスク２
などの資料の間の距離を測定する距離測定器を設けるこ
とによシ、上記実施例と同様に適用可能である。
節機構による顕微鏡装置にも、対物レンズ６とマスク２
などの資料の間の距離を測定する距離測定器を設けるこ
とによシ、上記実施例と同様に適用可能である。
以上の説明から明らかなように本発明の対物レンズ破損
防止機構付顕微鏡装置によれば、対物レンズと資料もし
くは資料台の異常接近を検知して対物レンズと資料の衝
突を未然に防止し対物レンズの破損を防止できるほか、
必要に応じ衝突緩衝機構を付加して万一衝突した場合に
も対物レンズの破損を防止することができるため、手動
焦点調節機構または自動焦点合せ機構をもつ顕微鏡装置
をとわず広く顕微鏡利用装置に適用してその操作性と安
全性を向上できる。
防止機構付顕微鏡装置によれば、対物レンズと資料もし
くは資料台の異常接近を検知して対物レンズと資料の衝
突を未然に防止し対物レンズの破損を防止できるほか、
必要に応じ衝突緩衝機構を付加して万一衝突した場合に
も対物レンズの破損を防止することができるため、手動
焦点調節機構または自動焦点合せ機構をもつ顕微鏡装置
をとわず広く顕微鏡利用装置に適用してその操作性と安
全性を向上できる。
第１図は本発明による対物レンズ破損防止機構付顕微鏡
装置の一実施例を示す全体構成ブロック図、第２図は第
１図の距離測定器をなす焦点検出器の出力特性例図、第
３図は第１図の自動焦点合せ制御系を示すブロック図、
第４図は第１図の対物レンズ破損防止機構の衝突防止・
警報回路を例示する詳ａ構成ブロック図、第５図は第１
図の対物レンズ破損防止機構の衝突緩衝機構を例示する
部分構成断面図である。 １・・・資料台をなすｘｙステージ、２・・・被観察資
料をなすホトマスク、５・・・鏡筒、６・・・対物レン
ズ、９・・・距離測定器をなす焦点検出器、１１・・・
演算制御装置、１４・・・焦点合せ機構、１６川比較器
、１９・・・操作量信号切替え用のアナログゲート、加
・・・警報発生回路、２１・・・衝突緩衝機構。 代理人 弁理士 秋 本 正 実第３Ｂ 第４図 １ 第５図
装置の一実施例を示す全体構成ブロック図、第２図は第
１図の距離測定器をなす焦点検出器の出力特性例図、第
３図は第１図の自動焦点合せ制御系を示すブロック図、
第４図は第１図の対物レンズ破損防止機構の衝突防止・
警報回路を例示する詳ａ構成ブロック図、第５図は第１
図の対物レンズ破損防止機構の衝突緩衝機構を例示する
部分構成断面図である。 １・・・資料台をなすｘｙステージ、２・・・被観察資
料をなすホトマスク、５・・・鏡筒、６・・・対物レン
ズ、９・・・距離測定器をなす焦点検出器、１１・・・
演算制御装置、１４・・・焦点合せ機構、１６川比較器
、１９・・・操作量信号切替え用のアナログゲート、加
・・・警報発生回路、２１・・・衝突緩衝機構。 代理人 弁理士 秋 本 正 実第３Ｂ 第４図 １ 第５図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、対物レンズと被観察資料の焦点を合わせる焦点合せ
機構と、上記対物レンズと被観察資料間の距離を測定す
る距離測定器と、該距離測定器の出力によシ上記対物レ
ンズと被観察資料間の距離が所定値以下になったことを
検知して上記焦点合せ機構を制御し上記対物レンズと被
観察資料の衝突破損を防止する手段とからなる対物レン
ズ破損防止機構付顕微鏡装置。 ２、上記対物レンズを衝突緩衝し破損防止する衝突緩衝
機構を設けたことを特徴とする特許請求の範囲第１項記
載の対物レンズ破損防止機構付顕微鏡装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6565283A JPS59192221A (ja) | 1983-04-15 | 1983-04-15 | 対物レンズ破損防止機構付顕微鏡装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6565283A JPS59192221A (ja) | 1983-04-15 | 1983-04-15 | 対物レンズ破損防止機構付顕微鏡装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59192221A true JPS59192221A (ja) | 1984-10-31 |
Family
ID=13293147
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6565283A Pending JPS59192221A (ja) | 1983-04-15 | 1983-04-15 | 対物レンズ破損防止機構付顕微鏡装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59192221A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001305432A (ja) * | 2000-04-19 | 2001-10-31 | Olympus Optical Co Ltd | フォーカス安定装置 |
| EP2793069A1 (de) * | 2013-04-19 | 2014-10-22 | Carl Zeiss Microscopy GmbH | Digitalmikroskop und Verfahren zur Optimierung des Arbeitsablaufes in einem Digitalmikroskop |
| JP2015127773A (ja) * | 2013-12-27 | 2015-07-09 | 株式会社キーエンス | 拡大観察装置 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5333862A (en) * | 1976-08-27 | 1978-03-30 | Tsuneyoshi Nagashima | Process for removing organic mercury using purslane soil polluted with organic mercury |
-
1983
- 1983-04-15 JP JP6565283A patent/JPS59192221A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5333862A (en) * | 1976-08-27 | 1978-03-30 | Tsuneyoshi Nagashima | Process for removing organic mercury using purslane soil polluted with organic mercury |
Cited By (4)
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