JPS59191338A - ワイヤボンダ用ツ−ル - Google Patents

ワイヤボンダ用ツ−ル

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JPS59191338A
JPS59191338A JP58066221A JP6622183A JPS59191338A JP S59191338 A JPS59191338 A JP S59191338A JP 58066221 A JP58066221 A JP 58066221A JP 6622183 A JP6622183 A JP 6622183A JP S59191338 A JPS59191338 A JP S59191338A
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tapered
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wire
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十三男 小林
Hiroshi Ushiki
博 丑木
Masashi Kawamoto
川本　昌司
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Shinkawa Ltd
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （発明の利用分野） 本発明はワイヤボンダ用ツールに係り、特にネールへラ
ドテールレスワイヤボンダ用ツールの改良に関する。
（発明の背景） 従来のワイヤボンダ用ツールの先端内部形状は、第１図
に示すようにワイヤ挿通用穴１の先端に面取り部２が形
成されている。この面取り部２は、ワイヤ先端に形成さ
れたボールを第１ボンド点に押付けてボールを押しつぶ
す作用を有し、面取り部２の角度θ、によってボールの
圧着形状及び圧着強度が左右される。即ち、ボールをツ
ールで第１ボンド点に押付けでつぶした時、つぶされた
ボールは面取り部２内に充満し、面取り部２の面方向よ
りワイヤ挿通用穴ｌの方向に盛り上って圧着ボール形状
が決定される。またボールは面取り部２の面に垂直な力
によって押しつぶされて第１ボンド点に圧着して圧着強
度が得られる。従って、ワイヤ挿通用穴ｌの穴径ｄ１及
び面取り部２の開口径ｄ２が一定の条件のもとで、面取
り角度θ１を小さくすると、面取り部２よりワイヤ挿通
用穴１方向にボールカ乏流れ易くなるので、圧着ボール
径は小さくなるが、ボールのつぶれが少なくて圧着強度
が弱くなる。また逆に面取り角度θ□を大きくすると、
ボールが十分につぶれて圧着強度が強くなるが、ワイヤ
挿通用穴１方向に盛り上りにくくなるので、ツール内部
に盛り上るよりはツールと第１ボンド点との隙間に広が
って圧着ボール径が大きくなる。また面取り角度θ、が
大きすぎると、圧着ボール径が大きくなるばかりでなく
、ボールのつぶされすぎによって圧着強度もかえって弱
くなる。
このように、面取り角度は圧着ボール形状及び圧着強度
に微妙な影響を及ぼす。そこで従来は、圧着強度の面よ
り面取り角度θ、が４５度のツールが多く用いられでい
る。しかしながら、かかる面取り角度θ１＝４５度では
、ツール内部に盛り上るよりはツールの下面側に広がり
易く、第２図に示すように圧着ボール径は大きくなって
しまう。この場合のツールは、ワイヤ挿通用穴１の穴径
ｄ、が４３μｍφ、面取り部２の開口径ｄ２が７６μｍ
φのものを使用した。本願発明者は面取り角度θ１を色
々変えて実験を行ったが、いずれも圧着ボール径及び圧
着強度の両方を満足するものは得られなかった。
ところで、ＬＳ　Ｉ、ＶＬＳ　Ｉ等のような高密度集積
回路は、ペレット上に設けられたポンディングのための
パッドは必然的に小さくなっているので、圧着ボール径
が大きいと、圧着ボールがパッドの面積から外れ、ショ
ートする原因となる。
（発明の目的） 本発明の目的は、圧着ボール径が小さく、十分な圧着強
度が得られるワイヤボンダ用ツールを提供することにあ
る。
（発明の実施例） 以下、本発明の一実施例を第３図により説明する。面取
り部３は、大きな面取り角度θ、のテーパ部４と小さな
面取り角度θ３のテーパ部５との２段テーパ状に形成さ
れでおり、ざらにテーパ部４と５の接点及びテーパ部５
とワイヤ挿通用穴１との接点には若干のＲ取りが行われ
ている。
このよう（こ面取り部３は２段テーパ状に形成されでい
るので、大きな面取り角度０２によって押しつぶされた
ボールの部分は強い圧着強度で第１ボンド点にボンドさ
れる。またテーパ部４からテーパ部５に、テーパ部５か
らワイヤ挿通用穴１に徐々に角度が変るので、抵抗なく
ツール内部に盛り上り、圧着ボール径は小さく形成され
る。
例えば、テーパ部４の面取り角度θ、が４５度で、テー
パ部５の面取り角度θ、が１５度のツールによって実験
を行ったところ、第４図に示すように小さな圧着ボール
径が得られた。またこの時の圧着強度は第２図に示す従
来の場合と同等の強さが得られた。この場合のツールは
、ワイヤ挿通用大工の穴径ｄ１が４３μｍφ、テーパ部
４の一口径ｄ２が７６μｍφ、テーパ部４の高さり、が
１２μｍφ、テーパ部５の高さｈ２が１７μｍφのもの
を使用した。
なお、上記実施例においては、２段テーパ状の場合につ
いで説明したが、３段テーパ状又は曲線状に形成しても
同様の効果が得られる。
（発明の効果） ・以上の説明から明らかな如く、本発明によれば、面取
り部は複数段のテーパ状又は曲線状に形成されでいるの
で、適度につぶれて強い圧着強度が得うレると共に、ボ
ール部がワイヤ挿通用穴方向に流れ易くてツール内部に
盛り上り、小さな圧着ボール径が得られる。
【図面の簡単な説明】
第１図は従来のワイヤボンダ用ツールの断面図、第２図
は第１図のツールによる圧着ボール形状の断面図、第３
図は本発明になるワイヤボンダ用ツールの断面図、第４
図は第３図のツールによる圧着ボール形状の断面図であ
る。 １・・・ワイヤ挿通用穴、　　　　　３・・・面取り部
、４．５・・・テーパ部。 第２図 第４図 第１図 第３図

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. ワイヤ挿通用穴の先端に面取り部が形成されたワイヤボ
    ンダ用ツールにおいて、前記面取り部は複数段のテーパ
    状又は曲線状に形成されてなるワイヤボンダ用ツール。
JP58066221A 1983-04-14 1983-04-14 ワイヤボンダ用ツ−ル Granted JPS59191338A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP58066221A JPS59191338A (ja) 1983-04-14 1983-04-14 ワイヤボンダ用ツ−ル

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP58066221A JPS59191338A (ja) 1983-04-14 1983-04-14 ワイヤボンダ用ツ−ル

Publications (2)

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JPS59191338A true JPS59191338A (ja) 1984-10-30
JPH03780B2 JPH03780B2 (ja) 1991-01-08

Family

ID=13309559

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP58066221A Granted JPS59191338A (ja) 1983-04-14 1983-04-14 ワイヤボンダ用ツ−ル

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