JPS59190629A - 赤外線検出素子 - Google Patents
赤外線検出素子Info
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- JPS59190629A JPS59190629A JP58064201A JP6420183A JPS59190629A JP S59190629 A JPS59190629 A JP S59190629A JP 58064201 A JP58064201 A JP 58064201A JP 6420183 A JP6420183 A JP 6420183A JP S59190629 A JPS59190629 A JP S59190629A
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- JP
- Japan
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- substrate
- infrared
- detecting element
- carbonized
- heat absorbing
- Prior art date
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- Granted
Links
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N10/00—Thermoelectric devices comprising a junction of dissimilar materials, i.e. devices exhibiting Seebeck or Peltier effects
-
- H—ELECTRICITY
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- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N10/00—Thermoelectric devices comprising a junction of dissimilar materials, i.e. devices exhibiting Seebeck or Peltier effects
- H10N10/80—Constructional details
- H10N10/81—Structural details of the junction
- H10N10/817—Structural details of the junction the junction being non-separable, e.g. being cemented, sintered or soldered
Landscapes
- Photometry And Measurement Of Optical Pulse Characteristics (AREA)
- Radiation Pyrometers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（１）発明の分野
この発明は、入射赤外線を電気信号に変換する赤外線検
出素子に関するものである。
出素子に関するものである。
（２）従来技術
サーモパイル、サー妥スタボロメータ、焦電素子等の熱
形の赤外線検出素子は、第１図で示すように、基板１上
の検出膜（例えばサーモパイル）２の受光面側に全黒等
の吸熱層３を設け、感度の向上を図っているのが一般的
である。
形の赤外線検出素子は、第１図で示すように、基板１上
の検出膜（例えばサーモパイル）２の受光面側に全黒等
の吸熱層３を設け、感度の向上を図っているのが一般的
である。
しかしながら、この吸熱層３に用いる全黒膜は付着力が
弱く９機械的にも弱く、又、金を用いているので高価で
、しかも製作工数も多く必要である等の問題点があった
。
弱く９機械的にも弱く、又、金を用いているので高価で
、しかも製作工数も多く必要である等の問題点があった
。
（３）発明の目的
この発明の目的は９以上の点に鑑み、基板の一部を炭化
して吸熱層とすることにより、ｉ械的強度の向上等を図
った赤外線検出素子を提供することである。
して吸熱層とすることにより、ｉ械的強度の向上等を図
った赤外線検出素子を提供することである。
（４）発明の実施例
第２図は、この発明の一実施例を示す断面構成説明図で
、第１図と同一符号は同−構成要素を示す。
、第１図と同一符号は同−構成要素を示す。
基板１の中央の一部にプラズマを与えてスパッタリング
等の処理によシ表面を炭化して吸熱層４を形成し、その
反対側にサーモパイル用の熱電材料等よシなる検出膜２
．電極５を真空蒸着その他で設け、サーモパイルとする
。
等の処理によシ表面を炭化して吸熱層４を形成し、その
反対側にサーモパイル用の熱電材料等よシなる検出膜２
．電極５を真空蒸着その他で設け、サーモパイルとする
。
基板１としては、ボリイ↓ド、ポリ−ステル等のプラス
チック、有機系材料が考えられ、吸熱層４側が受光面と
なる。
チック、有機系材料が考えられ、吸熱層４側が受光面と
なる。
このように、全黒膜を特に形成する必要がなく。
機械的に強い吸熱層であり、構造も簡単で、安価。
高信頼性の素子となる。又、吸熱層４のある基板１は薄
く形成されるので、感度の向上も同時に図例を示す構成
説明図で、第２図と同一符号は同一構成要素を示す。
く形成されるので、感度の向上も同時に図例を示す構成
説明図で、第２図と同一符号は同一構成要素を示す。
第３図では、炭化吸熱層４の反対側の基板１にサー妥ス
タ材料よυなる検出膜２を形成し、電極５を形成してサ
ー↓スタボロメータとしている。
タ材料よυなる検出膜２を形成し、電極５を形成してサ
ー↓スタボロメータとしている。
第４図では、炭化吸熱層４の反対側の基板１に電極５を
形成し２次いで焦電材料よシなる検出膜２を形成して、
その上に電極５を形成し、焦電素子としている。
形成し２次いで焦電材料よシなる検出膜２を形成して、
その上に電極５を形成し、焦電素子としている。
なお、素子の種類は、上記の例に限るものでなく、炭化
処理の方法は、炭化エツチング等の他種々のものが考え
られる。
処理の方法は、炭化エツチング等の他種々のものが考え
られる。
（５）発明の要約
以上述べたように、この発明は、基板の少なくとも一部
を炭化して吸熱層を形成してなる赤外線検出素子である
。
を炭化して吸熱層を形成してなる赤外線検出素子である
。
（６）発明の効果
全黒展等は不快で９機械的に強く、安価、製作容易で、
高信頼性で、高感度の素子とすることができる。
高信頼性で、高感度の素子とすることができる。
第１図は、従来例を示す構成叫明図、第２図。
第３図、第４図は、各々この発明の一実施例を示す構成
説明図である。′ １・・・基板、２・・・検出膜、４・・・吸熱層、５・
・・電極特許出願人 株式会社 千野製作所
説明図である。′ １・・・基板、２・・・検出膜、４・・・吸熱層、５・
・・電極特許出願人 株式会社 千野製作所
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、基板の少なくとも一部を炭化して吸熱層を形成して
なることを特徴とする赤外線検出素子。 ２、前記吸熱層は、基板の検出膜の反対側に形成されて
なることを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の赤外
線検出素子。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58064201A JPS59190629A (ja) | 1983-04-12 | 1983-04-12 | 赤外線検出素子 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58064201A JPS59190629A (ja) | 1983-04-12 | 1983-04-12 | 赤外線検出素子 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59190629A true JPS59190629A (ja) | 1984-10-29 |
| JPH0457969B2 JPH0457969B2 (ja) | 1992-09-16 |
Family
ID=13251213
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58064201A Granted JPS59190629A (ja) | 1983-04-12 | 1983-04-12 | 赤外線検出素子 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59190629A (ja) |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS561320A (en) * | 1979-05-23 | 1981-01-09 | Heidenhain Gmbh Dr Johannes | Bolometer |
-
1983
- 1983-04-12 JP JP58064201A patent/JPS59190629A/ja active Granted
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS561320A (en) * | 1979-05-23 | 1981-01-09 | Heidenhain Gmbh Dr Johannes | Bolometer |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0457969B2 (ja) | 1992-09-16 |
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