JPS59186238A - カラ−ｃｒｔ - Google Patents
カラ−ｃｒｔInfo
- Publication number
- JPS59186238A JPS59186238A JP6185983A JP6185983A JPS59186238A JP S59186238 A JPS59186238 A JP S59186238A JP 6185983 A JP6185983 A JP 6185983A JP 6185983 A JP6185983 A JP 6185983A JP S59186238 A JPS59186238 A JP S59186238A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- layer
- color
- colored layer
- phosphor
- etching
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J9/00—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture, installation, removal, maintenance of electric discharge tubes, discharge lamps, or parts thereof; Recovery of material from discharge tubes or lamps
- H01J9/20—Manufacture of screens on or from which an image or pattern is formed, picked up, converted or stored; Applying coatings to the vessel
- H01J9/22—Applying luminescent coatings
- H01J9/227—Applying luminescent coatings with luminescent material discontinuously arranged, e.g. in dots or lines
- H01J9/2271—Applying luminescent coatings with luminescent material discontinuously arranged, e.g. in dots or lines by photographic processes
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Luminescent Compositions (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明はカラーＣＲＴに関するもので、特に微細色分解
能を有し、更に３色螢光体を用いずに３色カラー発光を
させるカラーＣＲＴに関するものである。
能を有し、更に３色螢光体を用いずに３色カラー発光を
させるカラーＣＲＴに関するものである。
従来のカラーＣＲＴの一般的な構成は第１図に示される
ように基板ｌ上に３色に発光する螢光体層２を形成し、
電子ビームを電子銃４と偏向ヨーク５により偏向し入射
させることによって赤、青、緑の信号で変調された３本
の電子ビーム７による発光を行う。通常第２図に示すよ
うに赤（６）、青（Ｂ）、緑Ｇ）の信号で偏向ヨーク５
により変調された３本の電子ビーム７をシャドウマスク
６でさえぎり、その穴を通過したものは、それぞれ対応
する色の螢光体ドツト（Ｒ，’Ｂ、 Ｇ ’）だけを刺
激することによって発色させてカラー画像表示を行うも
のである。螢光体ドツトは基板１上に配列されて螢光体
層２を形成している。
ように基板ｌ上に３色に発光する螢光体層２を形成し、
電子ビームを電子銃４と偏向ヨーク５により偏向し入射
させることによって赤、青、緑の信号で変調された３本
の電子ビーム７による発光を行う。通常第２図に示すよ
うに赤（６）、青（Ｂ）、緑Ｇ）の信号で偏向ヨーク５
により変調された３本の電子ビーム７をシャドウマスク
６でさえぎり、その穴を通過したものは、それぞれ対応
する色の螢光体ドツト（Ｒ，’Ｂ、 Ｇ ’）だけを刺
激することによって発色させてカラー画像表示を行うも
のである。螢光体ドツトは基板１上に配列されて螢光体
層２を形成している。
またカラーＣＲＴの螢光層２を作るに゛は、個々の管に
使用するシャドウマスクをそのｔまホトマスクとして利
用し、写真印刷的手法を用いている。例えば緑の信号で
変調される電子ビームたシャドウマスク６の穴を通して
基板（フェースプレート）内面に光を当てる。基板内面
には予め緑の螢光体と感光性結合剤を一様に塗布してあ
シ、光が当ると現像液に対して不溶性になシ、現像後は
緑のドツト状螢光面が残る。同様にして点光源の位置を
１２０・ずつ回転して順次前、赤のドツト螢光面を作成
する。
使用するシャドウマスクをそのｔまホトマスクとして利
用し、写真印刷的手法を用いている。例えば緑の信号で
変調される電子ビームたシャドウマスク６の穴を通して
基板（フェースプレート）内面に光を当てる。基板内面
には予め緑の螢光体と感光性結合剤を一様に塗布してあ
シ、光が当ると現像液に対して不溶性になシ、現像後は
緑のドツト状螢光面が残る。同様にして点光源の位置を
１２０・ずつ回転して順次前、赤のドツト螢光面を作成
する。
この様にして作られるカラーＣＲＴには、以下の様な特
性を要求される。
性を要求される。
すなわち、（１）発光輝度が高い、（２）発光色の純度
が高い、（３）残光が少ない、等の緒特性が要求される
○特に、白黒テレビ用ＣＲＴからカラーテレビ用ＣＲＴ
になってから３色の発光を行う螢光体を使わなければな
らず、発光輝度も残光特性も低下する傾向がある。
が高い、（３）残光が少ない、等の緒特性が要求される
○特に、白黒テレビ用ＣＲＴからカラーテレビ用ＣＲＴ
になってから３色の発光を行う螢光体を使わなければな
らず、発光輝度も残光特性も低下する傾向がある。
また、３色の発光を行う螢光体としては（１）硫化亜鉛
系螢光体、 （２）珪酸亜鉛系螢光体、 （３）希土類付活螢光体 ａ） Ｅｕ３＋付活の赤色螢光体 ｂ） Ｃｅ 付活の超短残光螢光体と、各種の螢光
体が用いられている。
系螢光体、 （２）珪酸亜鉛系螢光体、 （３）希土類付活螢光体 ａ） Ｅｕ３＋付活の赤色螢光体 ｂ） Ｃｅ 付活の超短残光螢光体と、各種の螢光
体が用いられている。
例えば赤色螢光体として、Ｙ２Ｏ１１： Ｅｕ ＋ Ｙ
２０ｔＳ：Ｅｕ緑色螢光体として、（ＺｎＣｄ）Ｓ：Ｃ
ｕ 、 （ＺｎＣｄ）Ｓ：ＡＬ青色螢光体として、Ｚｎ
Ｓ：Ａｙ が用いられている。
２０ｔＳ：Ｅｕ緑色螢光体として、（ＺｎＣｄ）Ｓ：Ｃ
ｕ 、 （ＺｎＣｄ）Ｓ：ＡＬ青色螢光体として、Ｚｎ
Ｓ：Ａｙ が用いられている。
各色帯光体の特性はそろえなければならず、上述した様
に、螢光体を入射電子ビームに従って所定の位置で正し
く発光させる様に製造するととは、製造工程としても複
雑かつ、高精度の製造技術を要求するものであり、コス
トも高いものである〇 而して、本発明は以上の点に鑑み、従来の３色螢光体使
用による欠点がない。即ち、特性がそろった３色の螢光
体を必要とすること、また製造工程が複雑になることが
ないカラーＣＲＴを提供することを主たる目的とする。
に、螢光体を入射電子ビームに従って所定の位置で正し
く発光させる様に製造するととは、製造工程としても複
雑かつ、高精度の製造技術を要求するものであり、コス
トも高いものである〇 而して、本発明は以上の点に鑑み、従来の３色螢光体使
用による欠点がない。即ち、特性がそろった３色の螢光
体を必要とすること、また製造工程が複雑になることが
ないカラーＣＲＴを提供することを主たる目的とする。
本発明によるカラーＣＲＴは、基板上に色要素を含む着
色層および白色の螢光を発する螢光層の積層を表示部に
有することを特徴とするものである。
色層および白色の螢光を発する螢光層の積層を表示部に
有することを特徴とするものである。
すなわち本発明は３色螢光体を用いる代りに白色に発光
する螢光体と３色の着色層とを組み合せて、３色の高い
発光輝度、残光特性の良いカラーＣＲＴを得ようとした
ものであり、製造工程も極めて簡略化されるものである
。白色螢光体としては、ＺｎＳ：Ａｙと（Ｚｎ Ｃｄ
）Ｓ ： Ａｙの他に任意の白色螢光体が用いられる。
する螢光体と３色の着色層とを組み合せて、３色の高い
発光輝度、残光特性の良いカラーＣＲＴを得ようとした
ものであり、製造工程も極めて簡略化されるものである
。白色螢光体としては、ＺｎＳ：Ａｙと（Ｚｎ Ｃｄ
）Ｓ ： Ａｙの他に任意の白色螢光体が用いられる。
本発明によるカラーＣＲＴ螢光体層の基本構成を第３図
に示す。すなわちガラス製の基板１上に青色要素Ｂ１緑
色要素Ｇおよび赤色要素Ｒからなる着色層９を形成し、
更に白色螢光体１０を積層したものである。更にまた白
色螢光体層１０上に電子ビームの吸収を増幅させて白色
螢光体の輝度の増大を図る電極層３を形成する。
に示す。すなわちガラス製の基板１上に青色要素Ｂ１緑
色要素Ｇおよび赤色要素Ｒからなる着色層９を形成し、
更に白色螢光体１０を積層したものである。更にまた白
色螢光体層１０上に電子ビームの吸収を増幅させて白色
螢光体の輝度の増大を図る電極層３を形成する。
この電極層は必要とされない場合には省略されてもよい
。着色層の色要素の形状は、モザイク状、ストライプ状
等任意に形成される。着色層の製造方法の一例は、基板
上に着色層を形成する工程着色層上にカルコゲンガラス
からなるパターンマスクを形成する工程、および該パタ
ーンマスクで被覆されていない部分の着色層をエツチン
グによシ選択的に除去する工程によシ製造することがで
きる。即ち、着色層を選択的に除去して色要素を形成し
て３色の発光層とする際、カルコゲンガラスからなるパ
ターンマスクをもって、除去されてはならない部分の着
色層を完全に保護できるし、着色層はカルコゲンガラス
層によって、エツチング処理剤から完全に保護されるも
のである。
。着色層の色要素の形状は、モザイク状、ストライプ状
等任意に形成される。着色層の製造方法の一例は、基板
上に着色層を形成する工程着色層上にカルコゲンガラス
からなるパターンマスクを形成する工程、および該パタ
ーンマスクで被覆されていない部分の着色層をエツチン
グによシ選択的に除去する工程によシ製造することがで
きる。即ち、着色層を選択的に除去して色要素を形成し
て３色の発光層とする際、カルコゲンガラスからなるパ
ターンマスクをもって、除去されてはならない部分の着
色層を完全に保護できるし、着色層はカルコゲンガラス
層によって、エツチング処理剤から完全に保護されるも
のである。
また、カルコゲンガラスからなるパターンマスクによっ
て、同一面上に各色要素が独立又は区分けして配列され
た理想的な構成の３色発光層の製造もできるものである
。パターンマスクをレジストを用いて作る場合にはレジ
スト用溶剤とかレジスト現像用溶剤が用いられるが、溶
剤がレジスト層から侵透して着色層を侵さないようにす
る。カルコゲンガラスを用いてパターンマスクを作る場
合には、レジスト用溶剤とか現像用溶剤を用いることな
どがないので、またカルコゲンガラスの耐薬品性が高い
ので着色層が侵されることがなく有利である。また、カ
ルカルコゲンガラスは２０００〜３０００’／ であ
る。本発明に用いられるカルコゲンガラスはカルコゲン
ガラス単層で用いられる他金属層と積層して用いること
も出来る。
て、同一面上に各色要素が独立又は区分けして配列され
た理想的な構成の３色発光層の製造もできるものである
。パターンマスクをレジストを用いて作る場合にはレジ
スト用溶剤とかレジスト現像用溶剤が用いられるが、溶
剤がレジスト層から侵透して着色層を侵さないようにす
る。カルコゲンガラスを用いてパターンマスクを作る場
合には、レジスト用溶剤とか現像用溶剤を用いることな
どがないので、またカルコゲンガラスの耐薬品性が高い
ので着色層が侵されることがなく有利である。また、カ
ルカルコゲンガラスは２０００〜３０００’／ であ
る。本発明に用いられるカルコゲンガラスはカルコゲン
ガラス単層で用いられる他金属層と積層して用いること
も出来る。
次に本発明の代表的な実施態様について図面により説明
する。
する。
まず、第４図に示されるように、裁板１上に着色層８を
形成する。着色層は種々の方法によって形成されるが、
特に色材の蒸着によって形成するのが有利である。蒸着
の場合には、色材のみで、着色層が形成でき、染色法に
おける媒染層が不用なので、きわめて薄膜化され、がっ
、非水工程によって着色層が形成できる。
形成する。着色層は種々の方法によって形成されるが、
特に色材の蒸着によって形成するのが有利である。蒸着
の場合には、色材のみで、着色層が形成でき、染色法に
おける媒染層が不用なので、きわめて薄膜化され、がっ
、非水工程によって着色層が形成できる。
ついで、第５図に示されるように着色層上にカルコゲン
ガラス層１１が形成される。カルコゲンガラスとはカル
コゲン元素、即ち硫黄（Ｓ）。
ガラス層１１が形成される。カルコゲンガラスとはカル
コゲン元素、即ち硫黄（Ｓ）。
セレン（Ｓｅ）、テルル（Ｔｅ）の少なくとも一つを主
成分とするガラス状物質の事であり、従って前記異種物
質も又カルコゲンガラスの一種である。
成分とするガラス状物質の事であり、従って前記異種物
質も又カルコゲンガラスの一種である。
本発明において有効な代表例は、ｓ、ｓｅ、などの単体
、Ａｓ−８系＋ Ａｓ Ｓｅ系＋ Ａｓ−Ｔｅ系、５−
８ｅ系、５ｂ−８ｅ系、 Ｓｂ、−Ｔｅ系＋ Ｂ１−３
系、 Ｂ１−８ｅ系。
、Ａｓ−８系＋ Ａｓ Ｓｅ系＋ Ａｓ−Ｔｅ系、５−
８ｅ系、５ｂ−８ｅ系、 Ｓｂ、−Ｔｅ系＋ Ｂ１−３
系、 Ｂ１−８ｅ系。
Ｂ１−Ｔｅ系、などの二元カルコゲンガラスまたはＡｓ
−８−Ｔｅ系、Ａｓ−３ｅ−Ｔｅ 系などの三元カル
コゲンガラスである。
−８−Ｔｅ系、Ａｓ−３ｅ−Ｔｅ 系などの三元カル
コゲンガラスである。
カルコゲンガラス層１１を形成する場合、必要に応じて
、ハロゲン、Ｇｅ、Ｓｉ、Ｔｔなどの元素を活性剤とし
そ少量（１モルチ以下）加えることもまた有効である。
、ハロゲン、Ｇｅ、Ｓｉ、Ｔｔなどの元素を活性剤とし
そ少量（１モルチ以下）加えることもまた有効である。
また、添加剤として、少量の金属を添加することは光感
度の点で有効である。添加する金属としては、代表的な
ものはＡｇ、 Ｃｕｔ ｚｎ、 Ｃｄ、 Ｍｒｚ Ｇａ
＋ Ｉｎ、 Ｂｉ ｔＳｂ、またはこれらの合金が挙げ
られ、特にＡｇ及びＣｕが好適である。
度の点で有効である。添加する金属としては、代表的な
ものはＡｇ、 Ｃｕｔ ｚｎ、 Ｃｄ、 Ｍｒｚ Ｇａ
＋ Ｉｎ、 Ｂｉ ｔＳｂ、またはこれらの合金が挙げ
られ、特にＡｇ及びＣｕが好適である。
金属の添加量はカルコゲンガラスを構成する原子数１０
０に対し、１〜ｏ、ｏ ｏ ｏ ｉ原子数、特に０．５
〜０．００５が好適である。
０に対し、１〜ｏ、ｏ ｏ ｏ ｉ原子数、特に０．５
〜０．００５が好適である。
カルコゲンガラス層の厚さは用途に応じて適宜設定され
るが、高解像性パターンを得るためには通常、カルコゲ
ンガラス層は薄く設定され約５μ〜１０ｍμである。特
に解像力について１Ｌ以上を得るためには約５００ｍμ
〜５０ｍμに設定される。層厚範囲の下限は均一層を形
成するだめの製造上の限界によって規定される。カルコ
ゲンガラス層単層ではなく金属層との積層で用いること
もできる。
るが、高解像性パターンを得るためには通常、カルコゲ
ンガラス層は薄く設定され約５μ〜１０ｍμである。特
に解像力について１Ｌ以上を得るためには約５００ｍμ
〜５０ｍμに設定される。層厚範囲の下限は均一層を形
成するだめの製造上の限界によって規定される。カルコ
ゲンガラス層単層ではなく金属層との積層で用いること
もできる。
金属層は光照射によってカルコゲンガラス層中拡散し得
る金属を与える層として規定される。
る金属を与える層として規定される。
拡散する金属は金属全般に及び、特に実用性の点から代
表的な金属を挙げればＬｉ 、 Ｎａ 、 Ｋ。
表的な金属を挙げればＬｉ 、 Ｎａ 、 Ｋ。
Ｒｂ及びＣｓ 、などのアルカリ金属Ｂｅ ＋ Ｍｇ
、Ｃａ。
、Ｃａ。
ア
Ｓｒ 、及びＢａ 、などのカルカリ土類金属ｓ Ａｇ
＋Ｚｎ ｒ ｃａ ｌ ｙ′ｉｎｌ Ｇａ ＋
Ｎｉ＋ Ｃｒ ＋ Ｃｕ ＋ Ｉｎ ｔ Ｓ
ｎ及びＴｉなどの金属及びこれら金属或いは金属イオン
を解離発生せしめる各化合物である。これらの化合物と
して、好適なものは、金属の硫化物。
＋Ｚｎ ｒ ｃａ ｌ ｙ′ｉｎｌ Ｇａ ＋
Ｎｉ＋ Ｃｒ ＋ Ｃｕ ＋ Ｉｎ ｔ Ｓ
ｎ及びＴｉなどの金属及びこれら金属或いは金属イオン
を解離発生せしめる各化合物である。これらの化合物と
して、好適なものは、金属の硫化物。
セレン化物、テルル化物、酸化物及びハロゲン化物など
である。これらの具体例として、特に’ＫＡ、＜Ｉｓ
＋ ＲｂＡｇ４Ｉ５ ｙ ｌ’ＪＨ＜Ａｇ４Ｌ ｙ Ｃ
ｄＳ ｒ ＺｎＳ＋Ｚｎ５ｅ ＋などである。
である。これらの具体例として、特に’ＫＡ、＜Ｉｓ
＋ ＲｂＡｇ４Ｉ５ ｙ ｌ’ＪＨ＜Ａｇ４Ｌ ｙ Ｃ
ｄＳ ｒ ＺｎＳ＋Ｚｎ５ｅ ＋などである。
金属層としては、 Ａｇ又はＣｕ ｌ ＡｇとＣｕ又は
Ａ３および／またはＣｕを含む合金が特に有効な結果を
与える。
Ａ３および／またはＣｕを含む合金が特に有効な結果を
与える。
金属層は照射光強度との関係で好適な厚さに選ばれる必
要があるが、一般に極めて薄い必要がありｓ ５００
ｍμ以上の厚さの場合には完全に相互拡散させて、層全
体を拡散効果によシ消失せしめること、即ち異種物質に
゛変化せしめる事は、強力な光を長時間照射するという
実用的でない手段を必要とする。又１０ｍμ以下のよう
に極端に薄くなった場合、金属膜の一様性が若干乱れて
来るので好ましくないゝ。１５〜１００ｍμの範囲はあ
らゆる点に関して好適であり、また、拡散性金属層を完
全に消失させることを期待しない場合、即ち、その後相
対的に露光部の拡散性金属層のみを除去する場合には、
拡散性金属層は５００ｍμ以上であってもよい。露光は
、紫外光、可視光、赤外光等の強い輻射線をもって行わ
れる。
要があるが、一般に極めて薄い必要がありｓ ５００
ｍμ以上の厚さの場合には完全に相互拡散させて、層全
体を拡散効果によシ消失せしめること、即ち異種物質に
゛変化せしめる事は、強力な光を長時間照射するという
実用的でない手段を必要とする。又１０ｍμ以下のよう
に極端に薄くなった場合、金属膜の一様性が若干乱れて
来るので好ましくないゝ。１５〜１００ｍμの範囲はあ
らゆる点に関して好適であり、また、拡散性金属層を完
全に消失させることを期待しない場合、即ち、その後相
対的に露光部の拡散性金属層のみを除去する場合には、
拡散性金属層は５００ｍμ以上であってもよい。露光は
、紫外光、可視光、赤外光等の強い輻射線をもって行わ
れる。
カルコゲンガラス層は、スパッタ蒸着、電子ビーム蒸着
もしくはＣＶＤ（ケミカル・ベイパニ・ディポジション
）法などの方法を用いて、カルコゲンガラス層１１を形
成する。
もしくはＣＶＤ（ケミカル・ベイパニ・ディポジション
）法などの方法を用いて、カルコゲンガラス層１１を形
成する。
ついで、紫外光、遠紫外光、Ｘ線あるいは電子線で所定
のパターン形状に露光する。
のパターン形状に露光する。
カルコゲンガラス層は、該パターン露光によシ非晶質ネ
ットワーク構造を破壊し、結晶化するため露光部は、未
露光部と比較して着色層側から剥離し易くなっている。
ットワーク構造を破壊し、結晶化するため露光部は、未
露光部と比較して着色層側から剥離し易くなっている。
従って、水洗又は弱アルカリ溶液によって露光部カルコ
ゲンガラスを除去することが出来る。
ゲンガラスを除去することが出来る。
まだ用い−もれるカルコゲンガラスによっては、圧縮空
気の吹き付けだけで露光部カルコゲンガラスを除去する
ことが出来る。
気の吹き付けだけで露光部カルコゲンガラスを除去する
ことが出来る。
或いはまた基板をドライエツチング装置内に設置し、Ｃ
Ｆ４． ＣＨＦ″ｓ 、’Ｃ２Ｆ６ 、Ｃ４Ｆｇ 、Ｃ
Ｃ４。
Ｆ４． ＣＨＦ″ｓ 、’Ｃ２Ｆ６ 、Ｃ４Ｆｇ 、Ｃ
Ｃ４。
ＣＣｌＦ５ ＋ ＣＢｒＦ３１などのハロゲンイし炭素
ガス又は、ハロゲン化炭化水素ガスあるいは、ＢＣｌ２
． ＳＦ６などの多ハロゲン化物のガスを主体とするガ
スを用い、エツチングを行なう。このハロゲン含有ガス
に対して、カルコゲンガラス１１は容易にエツチングさ
れる。
ガス又は、ハロゲン化炭化水素ガスあるいは、ＢＣｌ２
． ＳＦ６などの多ハロゲン化物のガスを主体とするガ
スを用い、エツチングを行なう。このハロゲン含有ガス
に対して、カルコゲンガラス１１は容易にエツチングさ
れる。
以上の工程によって第６図に示されるカルコゲンガラス
のマスク１２が形成される。
のマスク１２が形成される。
ついで、同じくドライエツチング装置内にて酸素を主体
とするガスを用い、エツチングを行なう。酸素に対して
、着色層はエツチングされやすく、反対にカルコゲンガ
ラス層は比較的エツチングされにくい。その結果、着色
層８のみがエツチングされ、第７図に示されるような色
要素８Ｂが形成される。この場合、着色層８およびカル
コゲンガラス層１１の膜厚や着色によって、着色層８の
みの色相と異々る色となる。
とするガスを用い、エツチングを行なう。酸素に対して
、着色層はエツチングされやすく、反対にカルコゲンガ
ラス層は比較的エツチングされにくい。その結果、着色
層８のみがエツチングされ、第７図に示されるような色
要素８Ｂが形成される。この場合、着色層８およびカル
コゲンガラス層１１の膜厚や着色によって、着色層８の
みの色相と異々る色となる。
そこでカルコゲンガラス１１としては、無色透明のもの
が選択されればよいが、Ｇｅ−８系又は５ｎ−８系等余
り多くはなく、一般的にはマスク１２を前記のエツチン
グ方法によって除去し、最終的には第８図の形状とする
。
が選択されればよいが、Ｇｅ−８系又は５ｎ−８系等余
り多くはなく、一般的にはマスク１２を前記のエツチン
グ方法によって除去し、最終的には第８図の形状とする
。
さらに、２色目の色要素を形成する場合は、同じ工程を
所望の色材について、第４図から第８図の工程を繰返し
行なえば良い。その結果、第９図に示されるように基板
１上に各色要素が形成される。
所望の色材について、第４図から第８図の工程を繰返し
行なえば良い。その結果、第９図に示されるように基板
１上に各色要素が形成される。
本発明で用いる色材は種々のものが適宜選択されて用い
られる。
られる。
例えば
（１） アゾ系着色剤
（ａ） アセトアセチックアニリド系イルカライト・
イエローＧＴＮ ’ （Ｃ，１，Ａ１１６８
０）シコ・イエローＤ１２５０ （ｔ
ｔ ）ハンザ・イエローＧ Ｒ（Ｃ，１，Ａ１１
７３０）シコ・イエローＬ１９５０
（Ｃ，Ｉ。４１１７１０）イルガライト・イエロー１０
Ｇ （ｔｔ ）（ｂ） ピラゾリン
アゾ系 ハンザ・イエローＲ（Ｃ，１，Ａ １２７１０ ）（Ｃ
） ナフトール類のモノアゾ系 モノライト・ファースト・レッドＢ （Ｃ，１
，、に１２０７０）シコ・ファースト・レッドＤ３７５
２（Ｃ，１，扁１２３１０）シコ・レッドＬ３７５０
（Ｃ，１，屋１２１２０）’ｙｒ
−ｖｙドＬ３２５０ （Ｃ，Ｉ、
Ａ １２０８５ ）オリエンタ／ｌ／、レッドＦ Ｂ
Ｎｅｗ ’ （Ｃ，１，Ａ １２４９０ ）
（２） アンスラキノン系着色剤 ヘリオ・ファーストマルーンＥ３Ｒ ９−７３−・カーミｙＬ ２ Ｂ
（Ｃ，１，Ａ３８０００）モノライト−ｖラドＹ
（Ｃ，１，Ａ ５９３００ ）クロ
モフタル・ＡＧＲ パリオゲｙ−レッ）”Ｌ ３５２０ （Ｃ
，１，Ａ３９７１０）（３） インジゴイド系着色剤 クロモフタル・ボルドーＲ（Ｃ，１，Ａ７３３１２）リ
オノゲン・マゼンタＲ（Ｃ，Ｉ浦７３９１５）Ａ ６１
６ ｖッ）”Ｒ（Ｃ，１，Ａ７３３９５）オラリス・ブ
リリアントピンクＲ（Ｃ，Ｉ。７６７３３６０）（４）
キナクリドン系着色剤 リオノゲ７−ｒゼンタＲ（Ｃ，１，Ａ ７３９１５ ）
ホスタパーム・レッドＥ Ｇ （Ｃ，
１，Ａ ７３９０５ ）リオノゲン・レッド２ Ｂ
（Ｃ，１，Ａ ４６５００ ）シン
カシア・マゼンタＲＴ−２４３−Ｄシンカシア・レッド
・ブルーＲＴ−７９０＝Ｄ（５） イソインドリノン
系着色剤 リオノゲン・イエロー３ＧＸ リオノゲン・イエローＲＸ モノライト・ネイビーＢｖ（ｃ、１．Ａ７３ｏｏｏ）（
６） インダスロン系着色剤 ファーストボン・スーパー・ブルー６０１１ＡＭＡ（Ｃ
，１，屋６９８００）ボリモ・ネイビーブルーＦ Ｒ（
Ｃ，１，Ａ６９８３５）リンゾール・ブルーＧＴ、
（Ｃ，１，朧６９８１０ ）（７）
ジオキザジン系着色剤 クロモフタル・バイオレットＢ ファーストボン・スーパー・バイオレットＢＢＬ （
Ｃ，１，屋５１３１９）（８） インダスレン系着色
剤 ミケスレン・イエローＧＣＭ （Ｃ，１
，Ａ６７３００）ミケスレン・イエロー
（Ｃ，１，扁６８４２０ ）ミケスレン・オレン
ジＲ（Ｃ，１，Ａ７３３３５）ミケスレン・スカーレッ
トＧ ミケスレン・ブリリアント・ピンクＲ（Ｃ，１，Ａ７３
３６０）（９）トＩＪフェニル・メタン系着色剤ファナ
ル・ブルーＤ ６３４０ （Ｃ，１，扁４
２５９５：２）ダイニチ・ファースト・ブルーＢＯＸ
（Ｃ，１，屋４４０４５：２）イルガライト
・ブルーＴＣＲ（Ｃ，１，ム４２１４０：１）ファナト
ン・ブルー６Ｇ （Ｃ，１，憲４２０
２５：１）ハロボン・ブルーＲＮＮ
（Ｃ，１，Ａ４２６００：１）叫 ニトロソ系着色剤 モノライト・グリーンＢ （Ｃ，
１，扁１０００６）モノゾール・グリーンＢ
（Ｃ，１，屋１００２０：１）０１ フクロ
シアニン系顔料 銅フタロシアニン（β型） ’ （Ｃ，
Ｌ Ａ７４１６０ ）〃 （β型） 無金属フタロシアニン （Ｃ，１，扁
７４１００）クロル化フタロシアニン
（Ｃ，１，Ａ ７４２６０ ）１／
（Ｃ，１，Ａ７４２５５）（旧 分散性
染料 チバセツトレッド２ Ｇ （Ｃ，１
，Ａ １１２１０ ）ルラフィックス・レッドＢＦ
（Ｃ，１，Ａ６０７５６） ’セリトン・
バイカレンｌ−Ｂ （Ｃ，１，扁６２
０３０ ）セリトン・イエロー５ Ｒ（Ｃ，１，Ａ２６
０９０）テラシル・イエロー２ ＧＷ
（Ｃ，１，Ａ４７０２０）αＢ）塩基性染料 ローダミン６ ＧＣＰ （Ｃ，
１，Ａ４５１６０）ローダミンＦ３Ｂ
（Ｃ，１，扁４５１７４）アストラ・フロキン
Ｇ （Ｃ，１，Ａ４８０７０ ）
マキロン・イエロー５ＧＬ （Ｃ，１
，墓４８０５５ ）クリスタル・バイオレット
（Ｃ，’１． Ａ ４２５５５ ）（１４）油
溶性染料 ガヤセットレッドＢ カヤセットブルーＡ２Ｒ 〃 イエローＧ （Ｃ，１
，屋１１８５５）〃 ブルーＦ’Ｒ 〃 イエローＡＧ （Ｌ５）酸性染料 ソラー・ピュア・イエロー８ Ｇ （Ｃ，１
，Ａ ５６２０５ ）〃 ブルーＡ Ｆ Ｘ
（Ｃ，１，Ａ４２０８０ ）フルオレセイン
（Ｃ，１，扁４５３５０）〃Ｎ
ａ ローズベンガル（Ｃ，１，Ａ４５４４０）（１６）建染
染料 インジゴ （Ｃ，１，Ａ
７３０００）チバ・ブルー
（Ｃ，１，Ａ７３０６５ ）インジゴゾール
（Ｃ，１，扁７３００２ ）次に実施
例を挙げて、具体的に本発明について説明する。
イエローＧＴＮ ’ （Ｃ，１，Ａ１１６８
０）シコ・イエローＤ１２５０ （ｔ
ｔ ）ハンザ・イエローＧ Ｒ（Ｃ，１，Ａ１１
７３０）シコ・イエローＬ１９５０
（Ｃ，Ｉ。４１１７１０）イルガライト・イエロー１０
Ｇ （ｔｔ ）（ｂ） ピラゾリン
アゾ系 ハンザ・イエローＲ（Ｃ，１，Ａ １２７１０ ）（Ｃ
） ナフトール類のモノアゾ系 モノライト・ファースト・レッドＢ （Ｃ，１
，、に１２０７０）シコ・ファースト・レッドＤ３７５
２（Ｃ，１，扁１２３１０）シコ・レッドＬ３７５０
（Ｃ，１，屋１２１２０）’ｙｒ
−ｖｙドＬ３２５０ （Ｃ，Ｉ、
Ａ １２０８５ ）オリエンタ／ｌ／、レッドＦ Ｂ
Ｎｅｗ ’ （Ｃ，１，Ａ １２４９０ ）
（２） アンスラキノン系着色剤 ヘリオ・ファーストマルーンＥ３Ｒ ９−７３−・カーミｙＬ ２ Ｂ
（Ｃ，１，Ａ３８０００）モノライト−ｖラドＹ
（Ｃ，１，Ａ ５９３００ ）クロ
モフタル・ＡＧＲ パリオゲｙ−レッ）”Ｌ ３５２０ （Ｃ
，１，Ａ３９７１０）（３） インジゴイド系着色剤 クロモフタル・ボルドーＲ（Ｃ，１，Ａ７３３１２）リ
オノゲン・マゼンタＲ（Ｃ，Ｉ浦７３９１５）Ａ ６１
６ ｖッ）”Ｒ（Ｃ，１，Ａ７３３９５）オラリス・ブ
リリアントピンクＲ（Ｃ，Ｉ。７６７３３６０）（４）
キナクリドン系着色剤 リオノゲ７−ｒゼンタＲ（Ｃ，１，Ａ ７３９１５ ）
ホスタパーム・レッドＥ Ｇ （Ｃ，
１，Ａ ７３９０５ ）リオノゲン・レッド２ Ｂ
（Ｃ，１，Ａ ４６５００ ）シン
カシア・マゼンタＲＴ−２４３−Ｄシンカシア・レッド
・ブルーＲＴ−７９０＝Ｄ（５） イソインドリノン
系着色剤 リオノゲン・イエロー３ＧＸ リオノゲン・イエローＲＸ モノライト・ネイビーＢｖ（ｃ、１．Ａ７３ｏｏｏ）（
６） インダスロン系着色剤 ファーストボン・スーパー・ブルー６０１１ＡＭＡ（Ｃ
，１，屋６９８００）ボリモ・ネイビーブルーＦ Ｒ（
Ｃ，１，Ａ６９８３５）リンゾール・ブルーＧＴ、
（Ｃ，１，朧６９８１０ ）（７）
ジオキザジン系着色剤 クロモフタル・バイオレットＢ ファーストボン・スーパー・バイオレットＢＢＬ （
Ｃ，１，屋５１３１９）（８） インダスレン系着色
剤 ミケスレン・イエローＧＣＭ （Ｃ，１
，Ａ６７３００）ミケスレン・イエロー
（Ｃ，１，扁６８４２０ ）ミケスレン・オレン
ジＲ（Ｃ，１，Ａ７３３３５）ミケスレン・スカーレッ
トＧ ミケスレン・ブリリアント・ピンクＲ（Ｃ，１，Ａ７３
３６０）（９）トＩＪフェニル・メタン系着色剤ファナ
ル・ブルーＤ ６３４０ （Ｃ，１，扁４
２５９５：２）ダイニチ・ファースト・ブルーＢＯＸ
（Ｃ，１，屋４４０４５：２）イルガライト
・ブルーＴＣＲ（Ｃ，１，ム４２１４０：１）ファナト
ン・ブルー６Ｇ （Ｃ，１，憲４２０
２５：１）ハロボン・ブルーＲＮＮ
（Ｃ，１，Ａ４２６００：１）叫 ニトロソ系着色剤 モノライト・グリーンＢ （Ｃ，
１，扁１０００６）モノゾール・グリーンＢ
（Ｃ，１，屋１００２０：１）０１ フクロ
シアニン系顔料 銅フタロシアニン（β型） ’ （Ｃ，
Ｌ Ａ７４１６０ ）〃 （β型） 無金属フタロシアニン （Ｃ，１，扁
７４１００）クロル化フタロシアニン
（Ｃ，１，Ａ ７４２６０ ）１／
（Ｃ，１，Ａ７４２５５）（旧 分散性
染料 チバセツトレッド２ Ｇ （Ｃ，１
，Ａ １１２１０ ）ルラフィックス・レッドＢＦ
（Ｃ，１，Ａ６０７５６） ’セリトン・
バイカレンｌ−Ｂ （Ｃ，１，扁６２
０３０ ）セリトン・イエロー５ Ｒ（Ｃ，１，Ａ２６
０９０）テラシル・イエロー２ ＧＷ
（Ｃ，１，Ａ４７０２０）αＢ）塩基性染料 ローダミン６ ＧＣＰ （Ｃ，
１，Ａ４５１６０）ローダミンＦ３Ｂ
（Ｃ，１，扁４５１７４）アストラ・フロキン
Ｇ （Ｃ，１，Ａ４８０７０ ）
マキロン・イエロー５ＧＬ （Ｃ，１
，墓４８０５５ ）クリスタル・バイオレット
（Ｃ，’１． Ａ ４２５５５ ）（１４）油
溶性染料 ガヤセットレッドＢ カヤセットブルーＡ２Ｒ 〃 イエローＧ （Ｃ，１
，屋１１８５５）〃 ブルーＦ’Ｒ 〃 イエローＡＧ （Ｌ５）酸性染料 ソラー・ピュア・イエロー８ Ｇ （Ｃ，１
，Ａ ５６２０５ ）〃 ブルーＡ Ｆ Ｘ
（Ｃ，１，Ａ４２０８０ ）フルオレセイン
（Ｃ，１，扁４５３５０）〃Ｎ
ａ ローズベンガル（Ｃ，１，Ａ４５４４０）（１６）建染
染料 インジゴ （Ｃ，１，Ａ
７３０００）チバ・ブルー
（Ｃ，１，Ａ７３０６５ ）インジゴゾール
（Ｃ，１，扁７３００２ ）次に実施
例を挙げて、具体的に本発明について説明する。
実施例１゜
ガラス板を真空容器内に設置し、真空度１０’〜１Ｏ−
５Ｔｏｒｒにおいて、ローダミンＢ （Ｃ，１，Ａ４５
１７０）を抵抗加熱法により３００〜４００ ｃに加熱
し、蒸着を行ない４０００ 膜厚の着色層とした。つい
で、Ｇｅ５２を蒸着法によシ蒸着し、カルコゲンガラス
層を形成した。膜厚は、 ２０００人としだ。
５Ｔｏｒｒにおいて、ローダミンＢ （Ｃ，１，Ａ４５
１７０）を抵抗加熱法により３００〜４００ ｃに加熱
し、蒸着を行ない４０００ 膜厚の着色層とした。つい
で、Ｇｅ５２を蒸着法によシ蒸着し、カルコゲンガラス
層を形成した。膜厚は、 ２０００人としだ。
ついで、モザイク形状の露光マスクを密着させ、紫外光
でマスク露光を１分行った後、プラズマエツチング装置
内でＣＦ４を用いたプラズマエツチングを行い、カルコ
ゲンガラス層のモザイク形状のマスクを形成した。エツ
チング時間は２分であった。引き続き、エツチングガラ
スを酸素に切り換えて、着色層をプラズマエツチングし
た。エツチング時間は５分であった。その結果、マスク
で保役された赤色の色要素が形成された。引き続き２色
目の色材として、銅フタロシアニン（Ｃ，１，Ａ７４１
６０ ）を用いて同様の方法によシ青色の色要素が形成
された。さらに同様の方法によシ、マラカイトグリーン
（Ｃ，Ｉ、Ａ４２０００） の蒸着膜からなる緑色の
各要素を加え、赤色、青色、緑色の３色からなる着色層
を形成した。との場合、カルコボンガラス層どして、Ｇ
ｅ５２の透明膜を用いたが、ＣＲＴのカラー輝度を向上
させるためには、０．１規定可性ソーダ水溶液を用いて
エツチング時間を行い除去することが出来る、エツチン
グ時間は１０数秒で充分である。
でマスク露光を１分行った後、プラズマエツチング装置
内でＣＦ４を用いたプラズマエツチングを行い、カルコ
ゲンガラス層のモザイク形状のマスクを形成した。エツ
チング時間は２分であった。引き続き、エツチングガラ
スを酸素に切り換えて、着色層をプラズマエツチングし
た。エツチング時間は５分であった。その結果、マスク
で保役された赤色の色要素が形成された。引き続き２色
目の色材として、銅フタロシアニン（Ｃ，１，Ａ７４１
６０ ）を用いて同様の方法によシ青色の色要素が形成
された。さらに同様の方法によシ、マラカイトグリーン
（Ｃ，Ｉ、Ａ４２０００） の蒸着膜からなる緑色の
各要素を加え、赤色、青色、緑色の３色からなる着色層
を形成した。との場合、カルコボンガラス層どして、Ｇ
ｅ５２の透明膜を用いたが、ＣＲＴのカラー輝度を向上
させるためには、０．１規定可性ソーダ水溶液を用いて
エツチング時間を行い除去することが出来る、エツチン
グ時間は１０数秒で充分である。
次に着色層上に白色螢光体層を共蒸着により形成した。
使用した白色螢光体は、ＺｎＳ：Ａｙと（Ｚｎ、 Ｃｄ
） Ｓ ：Ａｙであった。蒸着膜厚は３０００ ｍ １
ｔであった。その結果第１０図に示す様な白色螢光体層
１０を有する積層体を形成した。更に白色螢光体層上に
螢光面の輝度の増大を計るためにアルミニウム薄膜によ
るメタルバックを形成してその結果として、第３図に示
す様な電極層３を有する構成のカラーＣＲＴを製造した
。
） Ｓ ：Ａｙであった。蒸着膜厚は３０００ ｍ １
ｔであった。その結果第１０図に示す様な白色螢光体層
１０を有する積層体を形成した。更に白色螢光体層上に
螢光面の輝度の増大を計るためにアルミニウム薄膜によ
るメタルバックを形成してその結果として、第３図に示
す様な電極層３を有する構成のカラーＣＲＴを製造した
。
実施例２
実施例１．と同様の方法で、着色層の形成を行なった。
色材として、イルガジン・レッドＢＰＴ（赤色）、スダ
ンブルー（青色） 、（Ｃ，１，屋６１５２５）鉛フタ
ロシアニン（緑色）を用いた。又、この工程中、アルミ
ニウムの代りにＡ！５２Ｓｓ層とＡ７層の積層を用いた
。積層の形成はスパッター法によシ行った。膜厚は各々
３０００人及び３００人であった。高圧水銀灯により露
光しＡ２をＡｓ、Ｓ、層中に拡散させた。一般にカルコ
ゲンガラス層は、絶縁性を有するが、メタルカルコゲン
層は、導電性を有する。従って、この場合第４図に示す
アルミ蒸着膜の代シにメタルドーピングによるメタルカ
ルコゲン層により、電極層を形成することが出来た。
ンブルー（青色） 、（Ｃ，１，屋６１５２５）鉛フタ
ロシアニン（緑色）を用いた。又、この工程中、アルミ
ニウムの代りにＡ！５２Ｓｓ層とＡ７層の積層を用いた
。積層の形成はスパッター法によシ行った。膜厚は各々
３０００人及び３００人であった。高圧水銀灯により露
光しＡ２をＡｓ、Ｓ、層中に拡散させた。一般にカルコ
ゲンガラス層は、絶縁性を有するが、メタルカルコゲン
層は、導電性を有する。従って、この場合第４図に示す
アルミ蒸着膜の代シにメタルドーピングによるメタルカ
ルコゲン層により、電極層を形成することが出来た。
本発明によって得られる効果について説明する０
（１）各色要素の螢光特性が異なる３色の螢光体を用い
てカラーＣＲＴを構成する必要なく、白色の螢光体を用
いてカラーＣＲＴを形成することが出来る。
てカラーＣＲＴを構成する必要なく、白色の螢光体を用
いてカラーＣＲＴを形成することが出来る。
（２）その結果、各色要素の発光輝度は著しく増大する
とともに、３色の螢光体を用いた場合の残光時間が２０
０μｓｅｃと長かったのに対して、白色螢光体を用いる
のでμｓｅｃオーダーの残光時間に短縮することが出来
るので各色純度が格段に向上する。
とともに、３色の螢光体を用いた場合の残光時間が２０
０μｓｅｃと長かったのに対して、白色螢光体を用いる
のでμｓｅｃオーダーの残光時間に短縮することが出来
るので各色純度が格段に向上する。
（８）製造工程が短縮される。
（４） メタルバックを本発明に用いられる工程でカ
ルコゲンに金属をドーピングすることにより得られる。
ルコゲンに金属をドーピングすることにより得られる。
工程が短縮される。
第１図はカラーＣＲＴの断面図である。
第２図はカラーＣＲＴのカラー表示機構を示す説明図で
ある。 第３図は本発明によるカラーＣＲＴの表示部の断面図で
ある。 第４図〜第１０図は本発明によるカラーＣＲＴの表示部
の製造工程図であり、第４図は着色層の形成工程、第５
図はカルコゲンガラス層の形成工程、第６図はマスクの
形成工程、第７図は色要素の形成工程、第８図はマスク
の除去工程、第９図および第１０図は白色螢光体層の形
成工１・・・裁板、３・・・電極層、９・・・着色層％
１０・・・白色螢光体層。 出願人 キャノン株式会社
ある。 第３図は本発明によるカラーＣＲＴの表示部の断面図で
ある。 第４図〜第１０図は本発明によるカラーＣＲＴの表示部
の製造工程図であり、第４図は着色層の形成工程、第５
図はカルコゲンガラス層の形成工程、第６図はマスクの
形成工程、第７図は色要素の形成工程、第８図はマスク
の除去工程、第９図および第１０図は白色螢光体層の形
成工１・・・裁板、３・・・電極層、９・・・着色層％
１０・・・白色螢光体層。 出願人 キャノン株式会社
Claims (1)
- （１） 基板上に色要素を含む着色層および白色の螢
光を発する螢光層の積層を表示部に有することを特徴と
するカラーＣＲＴ０
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6185983A JPS59186238A (ja) | 1983-04-08 | 1983-04-08 | カラ−ｃｒｔ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6185983A JPS59186238A (ja) | 1983-04-08 | 1983-04-08 | カラ−ｃｒｔ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59186238A true JPS59186238A (ja) | 1984-10-23 |
Family
ID=13183246
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6185983A Pending JPS59186238A (ja) | 1983-04-08 | 1983-04-08 | カラ−ｃｒｔ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59186238A (ja) |
-
1983
- 1983-04-08 JP JP6185983A patent/JPS59186238A/ja active Pending
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