JPS59183329A - デジタル表示測定装置 - Google Patents
デジタル表示測定装置Info
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- JPS59183329A JPS59183329A JP58057054A JP5705483A JPS59183329A JP S59183329 A JPS59183329 A JP S59183329A JP 58057054 A JP58057054 A JP 58057054A JP 5705483 A JP5705483 A JP 5705483A JP S59183329 A JPS59183329 A JP S59183329A
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- Japan
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- electrode
- electrodes
- encoder
- fixed plate
- transmitting
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-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
- G01D5/12—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means
- G01D5/14—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage
- G01D5/24—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage by varying capacitance
- G01D5/241—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage by varying capacitance by relative movement of capacitor electrodes
- G01D5/2412—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage by varying capacitance by relative movement of capacitor electrodes by varying overlap
- G01D5/2415—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage by varying capacitance by relative movement of capacitor electrodes by varying overlap adapted for encoders
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- Engineering & Computer Science (AREA)
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- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Arrangements For Transmission Of Measured Signals (AREA)
- Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
ＬｔＬ匹杷胆Ｌ１
本発明はデジタル表示測定装置、特に静電型エンコーダ
を用いたデジタル表示測定装置の改良（こ関する。
を用いたデジタル表示測定装置の改良（こ関する。
背景技術
従来より被測定物の測定値をデジタル表示するデジタル
表示測定装置が周知であり、このデジタル表示測定装置
は測定値の読取り個人誤差を除去することが可能であり
、かつ当該測定値の読取りを迅速に行うことができるこ
とから、各種製造部門の測定に幅広（利用されている。
表示測定装置が周知であり、このデジタル表示測定装置
は測定値の読取り個人誤差を除去することが可能であり
、かつ当該測定値の読取りを迅速に行うことができるこ
とから、各種製造部門の測定に幅広（利用されている。
一般に、この種の測定装置は、装置本体に移動可能に設
けられ被測定物に接触する測定子と、該測定子の移動量
を検出し電気信号パルスに変換量ノノツるエンコーダど
、を含み、エンコーダの出力する電気信号パルスを計数
回路にて計数し、その計数値をデジタル表示器上にデジ
タル表示している。
けられ被測定物に接触する測定子と、該測定子の移動量
を検出し電気信号パルスに変換量ノノツるエンコーダど
、を含み、エンコーダの出力する電気信号パルスを計数
回路にて計数し、その計数値をデジタル表示器上にデジ
タル表示している。
このようにすることしこより、表示器上に表示される表
示値を一読することにより、被測定物の測定値を瞬時に
求めることができる。
示値を一読することにより、被測定物の測定値を瞬時に
求めることができる。
ところで、この種の測定装置に用いられるエンコータと
して従来より光電型エンコーダ、接点型エンコータ、静
電型エンコーダ等が周知である。
して従来より光電型エンコーダ、接点型エンコータ、静
電型エンコーダ等が周知である。
光電型エンコーダでは、回転円板の表面に等間隔に設け
られたスリットと、該回転円板のスリットを介して光路
を形成する発光器及び受光器と、を含み、測定子の変位
量に応じて円板を回転し発受光器間に形成される光路を
オンオフし被８ｉ１１定物の変位量を検出している。
られたスリットと、該回転円板のスリットを介して光路
を形成する発光器及び受光器と、を含み、測定子の変位
量に応じて円板を回転し発受光器間に形成される光路を
オンオフし被８ｉ１１定物の変位量を検出している。
しかし、この充電型エンコーダで（ま、発光器の消費電
力が大きく、使用する電池の交４灸回数ｌＪ＜ １曽加
し、また容量の大きな電池をイ吏用した場合に（よ装置
全体が大型となるという欠点りくあつｌこ。さらに、測
定精度を上げるためには、回転円板上に数ミクロン間隔
でスリットを設けることｌｆｉ ｌ−要となり、その製
造が難しくしかも運転中（こり１ノアランス変化に起因
するミスカウントを生じやす（１と０う問題があった。
力が大きく、使用する電池の交４灸回数ｌＪ＜ １曽加
し、また容量の大きな電池をイ吏用した場合に（よ装置
全体が大型となるという欠点りくあつｌこ。さらに、測
定精度を上げるためには、回転円板上に数ミクロン間隔
でスリットを設けることｌｆｉ ｌ−要となり、その製
造が難しくしかも運転中（こり１ノアランス変化に起因
するミスカウントを生じやす（１と０う問題があった。
また、接点型エンコーダでは、測定子の変位量検出にス
リット、ブラシなどを用いるため、これらスリット、ブ
ラシの消耗が激しく、また測定信号にノイズが混入しや
すいという問題があった。
リット、ブラシなどを用いるため、これらスリット、ブ
ラシの消耗が激しく、また測定信号にノイズが混入しや
すいという問題があった。
これに対し、静電型エンコーダは、光電型エンコーダの
ように消費電力が大きくなく、接点型エンコーダのよう
にブラシ、スリット等の消耗及びノイズの混入という問
題がないため、近年各種のデジタル表示測定装置に幅広
く用いられている。
ように消費電力が大きくなく、接点型エンコーダのよう
にブラシ、スリット等の消耗及びノイズの混入という問
題がないため、近年各種のデジタル表示測定装置に幅広
く用いられている。
従来技術
従来、このようなデジタル表示測定装置に用いられる静
電型エンコーダでは、少くとも一対の電極板を対向配置
してコンデンサを形成し、両電極板を測定子の変位量に
対応して相対的に移動させ、このときの機械的変位量を
コンデンサの静電容量変化として電気的に検出していた
。
電型エンコーダでは、少くとも一対の電極板を対向配置
してコンデンサを形成し、両電極板を測定子の変位量に
対応して相対的に移動させ、このときの機械的変位量を
コンデンサの静電容量変化として電気的に検出していた
。
たとえば、メインスケール上に一方の電極板を等間隔に
複数個整列配置し、このメインスケールと一定間隔をＪ
３いて対向配置されたインデックススケール上に他方の
電極板を配置し、メインスケール又はインデックススケ
ールを測定子の変位に応じて板面と平行にスライド移動
させ、この時両電極板（こより形成されるコンデンサの
容量変化により測定子の変位量を検出している。
複数個整列配置し、このメインスケールと一定間隔をＪ
３いて対向配置されたインデックススケール上に他方の
電極板を配置し、メインスケール又はインデックススケ
ールを測定子の変位に応じて板面と平行にスライド移動
させ、この時両電極板（こより形成されるコンデンサの
容量変化により測定子の変位量を検出している。
しかし、従来の測定装置における静電型エンコータ′ｃ
′は、前記移動電極板から成るコンデンサを用い９１１
回路を形成し、コンデンサの静電容量に応じて変化する
分圧比を検出して測定子の変位量を検出していた。この
ため、従来の漬１］定装置で＋、１、コンデンサを形成
する移動電極板の板ｉｎｊ間距鐸１カく何らかの原因で
変化しコンデンサの前Ｉ電容量が変化した場合や、分圧
回路に印加する電源電圧力く変化したような場合には、
その分圧出力力＜ １ｌｌｌ定子の変位量に正確に対応
しなくなり、正確なよす定力くて゛ぎないという欠点が
あった。
′は、前記移動電極板から成るコンデンサを用い９１１
回路を形成し、コンデンサの静電容量に応じて変化する
分圧比を検出して測定子の変位量を検出していた。この
ため、従来の漬１］定装置で＋、１、コンデンサを形成
する移動電極板の板ｉｎｊ間距鐸１カく何らかの原因で
変化しコンデンサの前Ｉ電容量が変化した場合や、分圧
回路に印加する電源電圧力く変化したような場合には、
その分圧出力力＜ １ｌｌｌ定子の変位量に正確に対応
しなくなり、正確なよす定力くて゛ぎないという欠点が
あった。
発明の目的
本発明は、このような従来の課題に鑑み為されたもので
あり、その目的は、被測定物の測定を正確に行うことが
可能なデジタル表示測定装置を提供することにある。
あり、その目的は、被測定物の測定を正確に行うことが
可能なデジタル表示測定装置を提供することにある。
発明の構成
前記目的を達成のため、本発明の装置は、本体に移動可
能に設けられ被測定物に当（＆する測定子と、測定子の
変位量を検出し電気信号に変換出力するエンコータと、
を含み、エンコーダの出力する電気信号をデジタル表示
するデジタル表示測定装置において、前記エンコーダは
、装置の基台側に設けられた固定板と、固定板と対向配
置され測定子の移動に応じ回動する回転板と、を含み、
固定板には、円周方向に沿って等間隔に配列された複数
の送信電極と、該送信電極と同心円状に配置されたリン
グ状の受信電極と、が設【プられ、回転板には、送信電
極及び受信電極にまたがって対向配置され両電極間を静
電結合する結合電極と、送信電極及び受信電極にまたが
って対向配置されたアース電極と、がその回動方向に沿
って設（プられ、前記各送信電極にそれぞれ位相の異な
る交流電圧を印加し、回転板の回動により変化する受信
電極の出力信号に基つぎ測定子の変位量を検出すること
を特徴とでる。
能に設けられ被測定物に当（＆する測定子と、測定子の
変位量を検出し電気信号に変換出力するエンコータと、
を含み、エンコーダの出力する電気信号をデジタル表示
するデジタル表示測定装置において、前記エンコーダは
、装置の基台側に設けられた固定板と、固定板と対向配
置され測定子の移動に応じ回動する回転板と、を含み、
固定板には、円周方向に沿って等間隔に配列された複数
の送信電極と、該送信電極と同心円状に配置されたリン
グ状の受信電極と、が設【プられ、回転板には、送信電
極及び受信電極にまたがって対向配置され両電極間を静
電結合する結合電極と、送信電極及び受信電極にまたが
って対向配置されたアース電極と、がその回動方向に沿
って設（プられ、前記各送信電極にそれぞれ位相の異な
る交流電圧を印加し、回転板の回動により変化する受信
電極の出力信号に基つぎ測定子の変位量を検出すること
を特徴とでる。
実施例
つぎに本発明の好適な実施例を図面に基づき説明する。
第１図には本発明が適用されたデジタル表示型のマイク
ロメータが示されており、実施例の装置は、Ｕ字型フレ
ーム１０の一端内面側にその測定面１２ａを内側に向け
てＮＵ Ｌ：Ｊられたアンじル１２と、該Ｕ字型フレー
ム１０の他端側に測定子として設けられアンビル１２の
測定面１２ａに向は対向配置されたスピンドル１４と、
を含み、該スピンドル１４に一体的に設けられたシンプ
ル１６を回転操作してスピンドル１４をアンビル１２に
向は進退させている。
ロメータが示されており、実施例の装置は、Ｕ字型フレ
ーム１０の一端内面側にその測定面１２ａを内側に向け
てＮＵ Ｌ：Ｊられたアンじル１２と、該Ｕ字型フレー
ム１０の他端側に測定子として設けられアンビル１２の
測定面１２ａに向は対向配置されたスピンドル１４と、
を含み、該スピンドル１４に一体的に設けられたシンプ
ル１６を回転操作してスピンドル１４をアンビル１２に
向は進退させている。
実施例の装置は、このようなスピンドル１４の機械的な
変位量をエンコータを用いて検出し検出変位量に応じた
電気信号パルスを計数回路に入）〕している。計数回路
は、エンコーダの出力する電気信号パルスを計数し、そ
の計数値をフレーム１０の側面に８Ｕ ｔＪられたデジ
タル表示器１８上にデジタル表示している。
変位量をエンコータを用いて検出し検出変位量に応じた
電気信号パルスを計数回路に入）〕している。計数回路
は、エンコーダの出力する電気信号パルスを計数し、そ
の計数値をフレーム１０の側面に８Ｕ ｔＪられたデジ
タル表示器１８上にデジタル表示している。
従って、実施例の装置によれば、アンビル１２及びスピ
ンドル１４の両側定面１２ａ、１４ａに挾まれた被測定
物の寸法を表示器１８上にデジタル表示することが可能
となる。
ンドル１４の両側定面１２ａ、１４ａに挾まれた被測定
物の寸法を表示器１８上にデジタル表示することが可能
となる。
本発明の特徴的事項は、前記エンコーダとじて前記各送
信電極３０に位相の異なる交流電圧を印加した状態で回
転板２４を回転すれば、受信電極３２から回転板２４の
回転変位量に応じた位相の出力信号を得ることができる
。
信電極３０に位相の異なる交流電圧を印加した状態で回
転板２４を回転すれば、受信電極３２から回転板２４の
回転変位量に応じた位相の出力信号を得ることができる
。
従って、受信電極３２から出力される信号の位相を所定
の基準位相と比較器ることにより、測定子、実施例にａ
−３いてはスピンドル１４の変位量を電源電圧の変動等
に影響されることなく正確に測定することか可能となる
。
の基準位相と比較器ることにより、測定子、実施例にａ
−３いてはスピンドル１４の変位量を電源電圧の変動等
に影響されることなく正確に測定することか可能となる
。
実施例にｄ５いて、前記法（ｇ電極３（Ｎま固定板２２
上に２絹の８個つつの送信電極群として配列されており
、受信電極３２はこの送信電極３０の配置１］内側（こ
同心円状に配置されている。そして、各群の送信電極３
０のそれぞれに４５°づつ位相の異る交流電圧が印加さ
れている。また前記結合電極３４−１．３４−２及びア
ース電極３６−１．３６−２はそれぞれ２組設けられ、
回転板２４上にその回動方向に沿って交互に対称的に配
置されている。これら各結合電極３４及びアース電極３
６は固定板２２上に設置プられた送信電極３０及び受信
電極３２の４分の１の範囲、寸なわち４個の送信電極３
０及びリング状に形成された受信電極３２の４分の１の
範囲と対向するＪ、う配置されている。
上に２絹の８個つつの送信電極群として配列されており
、受信電極３２はこの送信電極３０の配置１］内側（こ
同心円状に配置されている。そして、各群の送信電極３
０のそれぞれに４５°づつ位相の異る交流電圧が印加さ
れている。また前記結合電極３４−１．３４−２及びア
ース電極３６−１．３６−２はそれぞれ２組設けられ、
回転板２４上にその回動方向に沿って交互に対称的に配
置されている。これら各結合電極３４及びアース電極３
６は固定板２２上に設置プられた送信電極３０及び受信
電極３２の４分の１の範囲、寸なわち４個の送信電極３
０及びリング状に形成された受信電極３２の４分の１の
範囲と対向するＪ、う配置されている。
以上の′ＷＩ造とすることにより、本実施例の装置では
、回転板２４の回転により変化する受信電極３２の出力
信号に基づき、スピンドル１４の変位量を正確に検出す
ることが可能となる。
、回転板２４の回転により変化する受信電極３２の出力
信号に基づき、スピンドル１４の変位量を正確に検出す
ることが可能となる。
第３図には前記各電極を用いてスピンドル１４の変位量
を検出するエンコータの電気回路が示されてあり、実施
例の電気回路では、所定のクロックパルスを出力する発
信器４０と、そのり［ｌツクパルスに同期して各送信電
極３０にそれぞれ４５°づつ位相の異なる８相の交流電
圧を印加するパルス変調発生器４２と、を含み、回転板
２４の回動により変化する受信電極３２の出力信号を積
分回路４４を介して位相比較器４６に入力している。位
相比較器４６は、このにうにして入力される信号の位相
と基準となる位相とを比較し、回転板２４の固定板２２
に対する相体回転変位量を基準位相に対づる入）ｊ信号
の位相ずれとして検出し、その検出信号を計数回路４８
に入力する。計数回路４８は、このようにして入力され
た検出信号に軍づぎ発信器４０から出力されるクロック
パルスをカウントし、表示器１８上のにスピンドル１／
Ｉの変位量をデジタル表示する。
を検出するエンコータの電気回路が示されてあり、実施
例の電気回路では、所定のクロックパルスを出力する発
信器４０と、そのり［ｌツクパルスに同期して各送信電
極３０にそれぞれ４５°づつ位相の異なる８相の交流電
圧を印加するパルス変調発生器４２と、を含み、回転板
２４の回動により変化する受信電極３２の出力信号を積
分回路４４を介して位相比較器４６に入力している。位
相比較器４６は、このにうにして入力される信号の位相
と基準となる位相とを比較し、回転板２４の固定板２２
に対する相体回転変位量を基準位相に対づる入）ｊ信号
の位相ずれとして検出し、その検出信号を計数回路４８
に入力する。計数回路４８は、このようにして入力され
た検出信号に軍づぎ発信器４０から出力されるクロック
パルスをカウントし、表示器１８上のにスピンドル１／
Ｉの変位量をデジタル表示する。
本実施例の装置は、以上の構成からなり次にその作用を
説明りる。
説明りる。
実施例の装置にａ５いて、シンプル１６を回転操作しス
ピンドル１４を進退さけるど、これに同期して回転板２
７１が回転し結合電極３４により静電結合される受信電
極３２ど送信電極３０との組み合わせが変化づる。
ピンドル１４を進退さけるど、これに同期して回転板２
７１が回転し結合電極３４により静電結合される受信電
極３２ど送信電極３０との組み合わせが変化づる。
実施例において、送信電極３０は８個づつ２組設けられ
これら各電極３０には４５°位相の異るＴｈｅ Ｉｆ〜
かそれぞれ印加されているため、回転板２４を１回転す
ると、受信電極３２から出力される信号は４５°Ｘ１６
＝７２０°位相が変わることになる。従って、例えば回
転板２４が１回転するとスピンドル１４が５００ミクロ
ン変位するようスピンドル１４のネジピッチが形成され
でいれば、受信電極３２の出力信号が１°位相角度が変
わるたびに５００／７２０−０．７ミク［］ンなるスピ
ンドル１４の変位を検出することができる。
これら各電極３０には４５°位相の異るＴｈｅ Ｉｆ〜
かそれぞれ印加されているため、回転板２４を１回転す
ると、受信電極３２から出力される信号は４５°Ｘ１６
＝７２０°位相が変わることになる。従って、例えば回
転板２４が１回転するとスピンドル１４が５００ミクロ
ン変位するようスピンドル１４のネジピッチが形成され
でいれば、受信電極３２の出力信号が１°位相角度が変
わるたびに５００／７２０−０．７ミク［］ンなるスピ
ンドル１４の変位を検出することができる。
従って、本実施例の装置によれば、固定板２２上に８個
２組の送信電極３０を配列し、これら各送信電極３０に
位相の異る電圧を印加づるという簡単な構造でスピンド
ル１４の変位、すなわち、被測定物の測定を正確に行う
ことノ〕＜可能どなる１、なお、スピンドルの送りネジ
ピッチが５００ミク［１ンのマイクロメータにおいて、
２列配置又は２ブラシ型構造の従来の接点型エンコータ
と本実施例のエンコーダとを比較すれは、従来のエンコ
ーダでは回転板上に形成するスリッ１への教ｎは、−列
あたりｎ ＝ ５００／ ４＝ １２５．１なわち電
気角３６０°あたり１２５飼スリットを形成ブる必要が
あり、本実施例に比しその構造が極めて楯密かつ複雑に
なることが理解される。
２組の送信電極３０を配列し、これら各送信電極３０に
位相の異る電圧を印加づるという簡単な構造でスピンド
ル１４の変位、すなわち、被測定物の測定を正確に行う
ことノ〕＜可能どなる１、なお、スピンドルの送りネジ
ピッチが５００ミク［１ンのマイクロメータにおいて、
２列配置又は２ブラシ型構造の従来の接点型エンコータ
と本実施例のエンコーダとを比較すれは、従来のエンコ
ーダでは回転板上に形成するスリッ１への教ｎは、−列
あたりｎ ＝ ５００／ ４＝ １２５．１なわち電
気角３６０°あたり１２５飼スリットを形成ブる必要が
あり、本実施例に比しその構造が極めて楯密かつ複雑に
なることが理解される。
また、同様に本実施例の装置と、従来の光゛歯型４分側
方式のエンコータとを比較すると、前記接直型エンコー
ダの場合と同様この従来の装置では回転根土に設けるス
リットの数１１がｎ ＝ ５００／ ４−１２５、すな
わち電気角３６０°あたり１２５個のスリットを設）づ
る必要があり、その＠造は非常に精密かつ複雑となるこ
とが理解される。
方式のエンコータとを比較すると、前記接直型エンコー
ダの場合と同様この従来の装置では回転根土に設けるス
リットの数１１がｎ ＝ ５００／ ４−１２５、すな
わち電気角３６０°あたり１２５個のスリットを設）づ
る必要があり、その＠造は非常に精密かつ複雑となるこ
とが理解される。
このように、本発明の装置では、スピンドル１４の変位
量の検出を極めて簡単な構造の装置で行うことが可能と
なる。
量の検出を極めて簡単な構造の装置で行うことが可能と
なる。
なお、前記実施例においては、固定板２２上に８個２絹
の送信電極３０を配列しこれら各送信電極に４５°位相
の異る交流電圧を印加する装置を例にとり説明したが、
本発明の装置はこれに限らず、固定板２２上に任意の数
の送信電極３０を配列し、これら各市ｉ４ｉ ３０にそ
れぞれ所定各位相の異る交流電圧を印加してもよい。
の送信電極３０を配列しこれら各送信電極に４５°位相
の異る交流電圧を印加する装置を例にとり説明したが、
本発明の装置はこれに限らず、固定板２２上に任意の数
の送信電極３０を配列し、これら各市ｉ４ｉ ３０にそ
れぞれ所定各位相の異る交流電圧を印加してもよい。
また、前記実施例においては、本発明をデジタル表示型
のマイクロメータに適用した場合を例にとり説明したが
、本発明装置はこれに限らず、たとえばダイヤルゲージ
、ハイ［〜ゲージ等の他のデジタル表示測定装置に適用
することも可能である。
のマイクロメータに適用した場合を例にとり説明したが
、本発明装置はこれに限らず、たとえばダイヤルゲージ
、ハイ［〜ゲージ等の他のデジタル表示測定装置に適用
することも可能である。
また、本発明の装置によれば、固定板２２側に設りられ
た送信電極３０及び受信電極３２にリード線等を接続す
るのみでよく、可動側である回転板２４上に設けられた
結合電極３４及びアース電極３６にはリード線等の接続
を必要としないため、電気回路等の配線を全て固定側に
おいて行うことができ、その結実装置全体を簡単な？ｉ
造でかつ小形なものとすることが可能となる。さらに、
回転板２４等の可動側に電気配線を必要どしないＩこめ
、装置全体を極めて信頼性の高いものと覆ることが可能
となる。
た送信電極３０及び受信電極３２にリード線等を接続す
るのみでよく、可動側である回転板２４上に設けられた
結合電極３４及びアース電極３６にはリード線等の接続
を必要としないため、電気回路等の配線を全て固定側に
おいて行うことができ、その結実装置全体を簡単な？ｉ
造でかつ小形なものとすることが可能となる。さらに、
回転板２４等の可動側に電気配線を必要どしないＩこめ
、装置全体を極めて信頼性の高いものと覆ることが可能
となる。
発明の詳細
な説明したように、本発明によれば、受信電極から測定
子の変位量に応じた位相を有する信号が出力されるため
、この出力信号に基づぎ被測定物の寸法を正確に測定す
ることができ、しかも従来の装置に比し、装置全体の構
造を極めて簡単なものとすることが可能となる。
子の変位量に応じた位相を有する信号が出力されるため
、この出力信号に基づぎ被測定物の寸法を正確に測定す
ることができ、しかも従来の装置に比し、装置全体の構
造を極めて簡単なものとすることが可能となる。
第１図は本発明が適用されたデジタル表示型のマイクロ
メータの説明図、 第２図は水元すｌの装置に用いＩうれる回転板及び固定
板の説明図、 第３図は本発明の装置に用いられる゛＜［ｉ気回路の一
例を示すブロック図である。 １４ ・・・ 測定子としてのスピンドル、１８ ・・
・ デジタル表示器、 ２２ ・・・ 固定板、 ２／４ ・・・ 回転板、 ３０ ・・・ 送信電極、 ３２ ・・・ 受信電極、 ３＃′Ｉ ・・・ 結合電極、 ３６ ・・・ アース電極。 代理人 弁理士 吉 １）萌 ： （外１名） １８３
メータの説明図、 第２図は水元すｌの装置に用いＩうれる回転板及び固定
板の説明図、 第３図は本発明の装置に用いられる゛＜［ｉ気回路の一
例を示すブロック図である。 １４ ・・・ 測定子としてのスピンドル、１８ ・・
・ デジタル表示器、 ２２ ・・・ 固定板、 ２／４ ・・・ 回転板、 ３０ ・・・ 送信電極、 ３２ ・・・ 受信電極、 ３＃′Ｉ ・・・ 結合電極、 ３６ ・・・ アース電極。 代理人 弁理士 吉 １）萌 ： （外１名） １８３
Claims (1)
- （１）木ｆＡに移動可能に設けられ被測定物に当接する
測定子と、測定子の変位量を検出し電気信号に変換用ツ
ノづるエンコーダと、を含み、エンコーダの出力する電
気信号をデジタル表示するデジタル表示測定装置におい
て、前記エンコーダは、装置の基台側に設（）られた固
定板と、固定板と対向配置され測定子の移動に応じ回動
する回転板と、を含み、固定板に（Ｊ、円周方向に冶っ
て等間隔（こ配列された複数の送信電極と、該送信電極
と同心円状に配置されたリング状の受信電極と、が設（
ブられ、回転板に（Ｊ、送信電極及び受信電極にまたか
って対向配置され両電極間を静電結合する結合電Ｏ！と
、送信電極及び受信電極にまたかつて対向配置されたア
ース電極と、がその回動方向に沿ってｊＱ ｉ、、Ｊら
れ、前記各送信電極にそれぞれ位相の異なる交流電圧を
印加し、回転板の回動により変化する受信電極の出力信
号（こ阜づき？１ｌｌＩ定子の変イヴ量を検出すること
を特徴とするデジタル表示８１１］定装置。 （２、特許請求の範囲（１）記載の装置こＡ３ ＬＳで
、固定板上には、それぞれ位相の異る送イ言電圧力くイ
共給される８個の送信電極から成る電Ｋ ｌｆｉ ４か
くとも２組設けられ、また、固定板上（こ（よ、ｉ訂古
己送イ言電極群の４個の送信電極と対向する結合電極／
〕（２組設けられたことを特徴とするデジタル表示１１
１１１定装置。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58057054A JPS59183329A (ja) | 1983-04-01 | 1983-04-01 | デジタル表示測定装置 |
| US06/595,248 US4578868A (en) | 1983-04-01 | 1984-03-30 | Digital display measuring apparatus |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58057054A JPS59183329A (ja) | 1983-04-01 | 1983-04-01 | デジタル表示測定装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59183329A true JPS59183329A (ja) | 1984-10-18 |
| JPH0379647B2 JPH0379647B2 (ja) | 1991-12-19 |
Family
ID=13044726
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58057054A Granted JPS59183329A (ja) | 1983-04-01 | 1983-04-01 | デジタル表示測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59183329A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61105421A (ja) * | 1984-10-29 | 1986-05-23 | Mitsutoyo Mfg Co Ltd | 静電容量型エンコ−ダ |
| JP2003207307A (ja) * | 2002-01-11 | 2003-07-25 | Mitsutoyo Corp | 絶対位置測定装置 |
| JP2007271604A (ja) * | 2006-03-07 | 2007-10-18 | Mitsutoyo Corp | 絶対位置測定装置 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5494354A (en) * | 1977-12-09 | 1979-07-26 | Stiftelsen Inst Mikrovags | Device for measuring relative position of moving part |
-
1983
- 1983-04-01 JP JP58057054A patent/JPS59183329A/ja active Granted
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5494354A (en) * | 1977-12-09 | 1979-07-26 | Stiftelsen Inst Mikrovags | Device for measuring relative position of moving part |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61105421A (ja) * | 1984-10-29 | 1986-05-23 | Mitsutoyo Mfg Co Ltd | 静電容量型エンコ−ダ |
| JPH0477846B2 (ja) * | 1984-10-29 | 1992-12-09 | Mitutoyo Corp | |
| JP2003207307A (ja) * | 2002-01-11 | 2003-07-25 | Mitsutoyo Corp | 絶対位置測定装置 |
| JP2007271604A (ja) * | 2006-03-07 | 2007-10-18 | Mitsutoyo Corp | 絶対位置測定装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0379647B2 (ja) | 1991-12-19 |
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