JPS61269016A - 静電容量型エンコ−ダ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は静電容量型エンコーダ、特に回転板の回転変位
量を電気的に検出する静電容量型エンコーダの改良に関
する。

［背景技１］ 従来よりエンコーダを用いた各種の測定装置が周知であ
り、この測定装置は装置本体上を移動し被測定物に接触
する測定子を含み、該測定子の移動量をエンコーダを用
いて測定し、その値を表示器上にデジタル表示している
。

ところで、この種の測定装置に用いられるエンコーダと
して、従来より静電容量型エンコーダが周知であり、今
日このような静電容量型エンコーダに対しては装置の携
帯性及び操作性の向上を図る上からその小型化及びｌ１
ｆｆｉ化が要請されている。

１上些五旦盈韮 第４図及び第５図にはこのような従来の静電容量型エン
コーダが示されており、このエンコーダは、測定子の移
動量に応じて回転する回転軸１０ａにより本体に回転可
能に取り付けられた回転板１０と、この回転板１０に対
向配置するよう本体に取り付けられた固定板１２と、を
含み、固定板１２に対する回転板１０の回転変位量を検
出するものである。

このため、前記固定板１２の表面には、複数の単位電極
板１４ａがその円周方向に沿って等間隔に輪状配置され
送信電極１４を形成している。これら各単位電極板１４
ａには電圧印加回路１６により所定の位相、実施例にお
いては４５°ずっ位相をずらせた正弦波あるいは矩形波
の交流電圧が印加され、８相分の単位電極板１４ａを１
単位と１６電極ユニツト１００が複数組形成されている
。

また回転板１０の表面には、前記電極ユニット数と同数
の受信電極１８が設けられ、各受信電極１８はそれぞれ
各電極ユニット１００に含まれる連続した所定枚数の単
位電極板１４ａと対向するよう形成されている。

第５図に示すエンコーダにおいて、この受信電極１８は
、４個の連続した単位電極板群、すなわち基準電圧Ｖ１
と、この基準電圧ｖ１に対し４５゜９Ｇ”　、　　１３
５°ずつ位相がずれたＶ　、■　、ｖ４の各電圧が印加
される４枚の単位電極板１４ａに跨がって対向配置され
ている。

また回転板１０の表面には、各受信電極１８の間に位置
するアース電極２０が設けられており、各受信電極１８
及びその他からの静電容昌の干渉による悪影響を防止し
ている。

以上の構成とすることにより、回転板１０を回転させる
と、送信電極１４と受信電極１８とが相対移動すること
になり、受信電極１８からは周知のように回転板１０の
回転変位量に応じた周期変化を有する静電容量信号Ｖ。

が検出される。

このようにして回転板１０上の受信Ｗｉ１８にて得られ
る電圧■。を本体側に取り出すため、固定板１２の表面
には、送信電極１４の内側に位置してリング状の出力電
圧２２が設けられている。

そして、前記受信電極１８は、固定板１２上に設けられ
た送信電極１４及び出力電極２２の双方に跨がって対向
配置するよう形成されている。

以上の構成とすることにより、このエンコーダによれば
、受信電極１８にて得られる静電容量信号ｖ０を、回転
板１０と固定板１２との機械的な接触を用いることなく
静電結合を介して本体側に出力し回転板１０の回転変位
量を正確に測定することができる。

しかし、この従来の静電容量型エンコーダは、単に１枚
の固定板１２上にほぼリング状に形成された１個の送信
電極１４及び出力電極２２を設けているのみであるため
良好な測定精度、検出分解能を維持しようとする場合は
、固定板１２を小さくすることができず、この結実装置
を固定板１２の幅方向へ向は小型化することができない
という欠点があった。

すなわち、このように１枚の固定板１２上に送信電極１
４及び出力電極２２の双方を設けると、これら両電極１
４．２２の間に静電容量の干渉による悪影響が発生しや
すい。このような問題を除去するためには、固定板１２
上において送信電極１４と出力電極２２の極間距離を大
きく設定し、かつ両電極１４．２２間にリング状のアー
ス電極２４を設けてやることが必要となる。この結果、
このような従来のエンコーダでは、固定板１２の形状が
太き（しかもこの表面電極構造が複雑となることが避け
られず、この結果固定板１２が大きくなり装置全体の回
転半径方向へ向けた小型化を図ることができないとう問
題があった。

１ユ１すＵ」医員 このような静電容量の干渉による影響を除去し、エンコ
ーダの回転半径方向に対する小型化を図る↓ ため、昭和５９年１０月２９日付で特願昭５９−２２８
７８５号に係る出願を行った。

第６図及び第７図にはこの出願に係る静電容量型エンコ
ーダが示されており、前記第１の背景技術と対応する部
材には同一符号を付しその説明は省略する。

このエンコーダは、回転軸１０ａにより本体に回転可能
に設けられた回転板１０と、この回転板１０を介して互
いに対向配置するよう本体に固定された第１の固定板３
０及び第２の固定板３２と、を含む。

第７図には、第１の固定板３０２回転板１０及び第２の
固定板３２の各表面構造が示されており、同図において
回転板１０の表面は、第１の固定板３０への対向面と第
２の固定板３２への対向面とに分解して図示している。

前記第１の固定板１２及び回転板１０の各表面には、前
記第１の背景技術と同様に、送信電極１４、受信電極１
８及びアース電極２０がそれぞれ形成されている。

回転板１０上に形成された受信電極１８にて得られる電
圧ｖ０を本体側に取り出すために、回転板１０の第２の
固定板３２の対向面に結合電極３４が設けられ、該結合
電極３４は各受信電極１８と電気的に接続されている。

ここにおいて前記結合電極３４は回転板１０の表面に円
周方向に沿ってリング状に形成されている。

そして、第２の固定板３２の表面には、前記結合電極３
４と対向するようリング状に形成された出力電極２２が
設けられ、この出力電極２２と結合電極３４との静電結
合により受信電極１８にて誘起される静電容量信号■。

を出力電極２２から出力する。

そして、この出力電極２２から出力される信号ｖｏと、
検出回路３６内において設定された基準電圧ｖ１と比較
することにより、その位相差φに基づき回転板１０の回
転変位聞を検出することができる。

このように該エンコーダによれば、送信電極１４、受信
電極１８．結合電極３４及び出力電極２２を、それぞれ
第１の固定板３０、回転板１０及び第２の固定板３２の
各表面にそれぞれ設けている。このため、これら各固定
板３０．３２及び回転板１０の表面上に設けられた各電
極は他の種類の電極との静電容量の干渉を考慮する必要
がなく、この面から各電極１４．１８．３４及び２２を
検出精度を損わない範囲で小型化するこ、とができる。

特に、このエンコーダは、前記第１の背ｍ技術のように
送信電極１４と出力電極２２との静電容量による干渉を
考慮する必要がないため、前記第１の従来技術と同一の
検出精度であるならばこの送信電極１４の半径を大幅に
小さくすることができ、この結果エンコーダの回転半径
方向への小型化を図ることが可能となる。

なお、このエンコーダは、前記第１の背景技術に比し、
第２の固定板３２を設けているため回転軸１０ａ方向に
この分だけ厚くなるが、回転板１０とこれら第１及び第
２の固定板３０．３２の間隔は極めて小ざく、具体的に
は１／１０ｍ−程度であるため、このように第２の固定
板３２を設けることにより発生する軸方向への厚みの増
加はほとんど無視することができる。

ト ［発明が解決しようとする問題点］ ところで、このような静電言渋型エンコーダにおいて、
その検出分解能を高めるためには、送信電極１４を構成
する各単位電極板１４ａの面積及び間隔を適切な値に維
持したまま、この電極板１４ａの枚数を増加することが
必要となる。

従って、従来のように、中位電極板１４ａを輪状配列し
てなる送信電極１４を有するエンコーダでは、その検出
分解能を高めようとすると送信電極１４の半径が大きく
なることが避けられず、回転半径方向へ向けた小型化と
検出分解能の向上という２つの要求を同時に満たすこと
ができないという欠点があった。

また、静電客員型エンコーダでは、回転板１０、第１及
び第２の固定板３０．３２を偏心、振れ及び傾きなどを
発生させることなく形成することが難しく、これらが誤
差要因として働き、測定誤差を引き起こすという問題が
あった。

１更匹亘蓋 本発明は、このような従来の課題に鑑みなされたもので
あり、その目的は測定精度が高くしかも回転半径方向へ
向けた小型軽ω化を図ることが可能な静電容量型エンコ
ーダを提供することにある。

［問題点を解決するための手段］ 前記目的を達成するため、本発明の静電容量型エンコー
ダは、本体に回転可能に設けられた回転板と、その回転
板を介して互いに対向配置するよう本体に固定された第
１の固定板及び第２の固定板と、を含む。

そして、前記第１の固定板上には、第１の送信電極及び
第２の送信電極がそれぞれ同心円上に輪状配列されてい
る。前記第１の送信−極は、それぞれ位相の異なる交流
電圧が印加される複数の単位電極板を第１の固定板表面
にその円周方向に沿って等間隔に輪状配列することによ
り形成されている。また前記第２の送信電極は、前記第
１の送信電極の各単位電極板と１８０°位相の異なる交
流電圧がそれぞれ印加される複数の単位電極板を第１の
送信電極の内側に円周方向に沿って等間隔に輪状配列し
て形成されている。

すなわち、第１及び第２の送信電極はそれぞれ同心円上
に輪状配列された同数の単位電極板からなり、その中心
から等しい角度に位置する各単位電極板には１８０°位
相の異なる電圧がそれぞれ印加されている。

また、前記回転板には、前記第１の送信電極及び第２の
送信電極に向けそれぞれ対向配置され同位相の信号を受
信する第１の受信電極及び第２の受信電極が設けられて
いる。更にこの回転板には、前記第１及び第２の受信電
極と電気的に接続され、前記第２の固定板に対向配置さ
れた結合電極が設けられている。

また、前記第２の固定板には結合電極と対向配置された
出力電極が設けられている。

［作用］ このように、本発明によれば、検出精度を決定する送信
電極として第１の送信電極及び第２の送信電極という２
系列の送信電極を有しているため、送信電極が１系列し
かない従来のエンコーダに比し、その大きざが同一であ
れば、約２倍の精度で″Ｉ″４ｉ″″Ｍ　’ｆｉ−１１
（ｆ２　ｆｆｉ　’Ｅ−’ａ　ｔＢ　ｔ　６　Ｌ：、　
Ｌ“１３４“　　　（従来′７）１ン０−ダ８同−精度
１ある場合１１各送　　　　　１信電極を構成する単位
電極板の数が約１７２となり、その結果、エンコーダを
その回転半径方向へ大幅に小型化することが可能となる
。

更に、本発明によれば、第１の送信電極及び第２の送信
電極を構成する単位電極板にはそれぞれ１８０°位相の
異なる交流電圧が印加され、第１の受信電極及び第２の
受信電極はこれら第１の送信電極及び第２の送信電極か
ら同位相の電圧信号を静電結合により受信している。こ
のため、各固定板及び回転板に偏心、振れあるいは傾ぎ
などの誤差要因が存在していても、このような誤差要因
により引起こされる測定誤差成分は前記第１及び第２の
受信電極の出力を結合電極にて合成することにより互い
に相殺され、出力電極からはこのような誤差要因の有無
に拘りなく正確な測定信号を得ることが可能となる。

［実施例１ 次に本発明の好適な実施例を図面に基づき説明する。な
お前記第６図、第７図に示す従来装置と対応する部材に
は同一符号を付しその説明は省略する。

第１図及び第２図には本発明に係る静電容量型エンコー
ダの好適な実施例が示されており、本発明の特徴的事項
は、回転板１０、第１及び第２の固定板３０．３２の表
面に設けられる電極構造を改良することにより、静電容
量型エンコーダを小型化し、かつその検出精度を向上さ
せたことにある。

このため、本発明の第１の固定板３０の表面には、第１
の送信電極１４Ａ及び第２の送信電極１４Ｂがそれぞれ
同心円上に輪状配置されている。

前記第１の送信電極１４Ａは、複数の単位電極板１４ａ
が第１の固定板１２の表面外側にその円周ｊ　　　　　
方向に沿・て等間隔に輪状配列して形成されている。ま
た、前記第２の送信電極１４Ｂは、前記第１の送信電極
１４Ａと同数の単位電極板１４ｂを第１の固定板１２の
表面内周側に位置して等間隔に輪状配列して形成されて
いる。

実施例においてこれら第１の送信電極１４Ａ及び第２の
送信電極１４Ｂは共に１６枚の単位電極板１４ａ及び１
４ｂからなり、外周側に位置する単位電極板１４ａと内
周側に位置する単位電極板１４ｂは共にその中心軸が第
１の固定板３０の中心０に対しそれぞれ同一直線上に位
置するよう取り付は固定されてい把。

そして第１の送信電極１４の各単位電極板１４ａには、
電圧印加回路１６により所定の位相、実施例においては
４５゛ずつ位相をずらせた正弦波あるいは矩形波の交流
電圧が印加され、Ｏ〜３１５゜までの８相電極板を１単
位とする２組の電極ユニットが形成されている。

また第２の送信電極１４Ｂの各単位電極板１４ｂには、
電圧印加回路１６により各単位電極板１４ａに対し１８
０°位相をずらせた正弦波あるいは矩形波からなる交流
電圧が印加され、同様にして０〜３１５°までの８相電
極板１４ｂを１単位とする２組の電極ユニットが形成さ
れている。

すなわち、第２図に示すように、第１の送信電極１４Ａ
には、中心線Ａ上に位置する単位電極板１４ａを始点と
して０．４５′″、　９０’・・・と順次位相をずらせ
た交流電圧が印加され、第２の送信電極１４Ｂには前記
中心線Ａに対し電気角で１８０°だけ位相をずらせた中
心線Ｂ上に位置する単位電極板１４ｂを始点として０．
４５°、９０°・・・と順次位相をずらせた交流電圧が
印加されることになる。

また、回転板１０の表面には、その外周側に前記第１の
送信電極１４Ａの電極コニット数と同数の２組の第１の
受信電極１８Ａ、１８Ａが設けられ、この２組の受信電
極１８Ａ、１８Ａは回転中心を挟んで点対称に配置され
、第１の送信電極１４Ａに含まれる連続した４個の単位
電極板１４ａとそれぞれ対向している。

また、この回転板１０の表面内周側には、前記第２の出
力電極１４Ｂの電極ユニット数と同数の２組の受信電極
１８Ｂ、１８８が回転中心を介しほぼ点対称に設けられ
、これら２組の第２の受信電極１８Ｂ、１８Ｂは前記第
２の送信電極１４Ｂに含まれる連続した４枚の単位電極
板１４ｂとそれぞれ対向している。

ここにおいて、前記第１及び第２の受信電極１８Ａ及び
１８Ｂはそれぞれ同位相の信号を受信可能とするため、
回転中心に対し機械的に９０・位相　　　　゛の異なる
位置にそれぞれ設けられている。このようにすることに
より、例えば第１の受信電極１８八が第１の送信電極１
４ＡのＯ〜１３５°の範囲の交流電圧が印加されている
４枚の単位ｍ４ｊ板１４ａと対向している場合には、同
様に第２の受信電極１８Ｂは第２の送信電極１４ＢのＯ
〜１３５”の範囲の４枚の単位電極板１４ｂと対向し、
両受信電極１８Ａ及び１８Ｂからは同位相の信号を出力
することができる。

更に、この回転板１４の表面には、各受信電極１８間に
アース電極２０が配設されており、各受信電極１８間及
びその他からの静電容量の干渉による悪影響を防止して
いる。

このようにして、これら第１及び第２の受信電極１８Ａ
及び１８Ｂには、回転板１ｏの回転変位量に対応する電
圧Ｖ。がそれぞれ誘起されることになる。

そして、第１及び第２の受信電極１８Ａ及び１８Ｂにて
得られた同位相の電圧Ｖ。を本体側に取り出すために、
回転板１０の第２の固定板３２と対向する面に結合電極
３４が設けられ、該結合電極３４を前記第１及び第２の
受信電極１゛８八及び１８Ｂと電気的に接続している。

また、第２の固定板３２の表面には、前記結合電極３４
と対向するよう出力電極２２が設けられており、この出
力電極２２は前記結合電極３４と静電結合し、第１及び
第２の受信電極１８Ａ及び１８Ｂにて誘起される信号を
出力している。

そして、この出力電極２２から出力される検出信号Ｖ。

は、検出回路３６内において、基ｔ１！電圧ｖ１と比較
され、その位相差φに基づき回転板１０の１転変位量が
検出される。

以上説明しように、本発明によれば、第１の固定板３０
上に２組の送信電極、すなわち第１及び第２の送信電極
１４Ａ及び１４Ｂを設け、回転板１０上に設けられた第
１及び第２の受信電極１８Ａ及び１８Ｂにより回転板１
０の回転変位量に対応した信＠ｖｏをそれぞれ得ること
ができる。そして、このように２組の受信電極１８Ａ及
び１８Ｂの信号Ｖ。を回転板１０上に設けた結合電極３
４と第２の固定板３２上に設けた出力電極２２との静電
結合により、出力電極２２から取り出し、回転板１０の
回転変位量の検出を行っている。

このように、本発明によれば、二基列の送信電極１４Ａ
、１４Ｂ、受信電極１８Ａ、１８Ｂから回転板１０の回
転変位量に対応した信号■。を発生させ、これら両系列
から出力される信＠Ｖ　ｏに基づき回転板１０の回転変
位量を検出しているため、送信電極１４及び受信電極１
８を一系列しか設けないエンコーダに比し、約２倍の検
出分解能をもって回転板１０の回転変位量を検出するこ
とが可能となる。

従って、例えば第６図及び第７図に示すように、３２枚
の単位電極板を輪状配列した１個の送信電極１４のみを
形成したエンコーダと同一の検出精度を得ようとする場
合には、本実施例のごとく、第１の送信電極１４Ａ及び
第２の送信電極１４Ｂをそれぞれ１６枚の単位電極板１
４ａ及び１４ｂを輪状配列して形成すればよい。このと
き、１６枚の単位電極板を輪状配列してなる第１及び第
２の送信電極１４Ａ及び１４Ｂの半径は、３２枚の単位
電極板を輪状配列してなる送信電極１４の半径より大幅
に小さくなり、この結果、従来のエンコーダに比し、同
一の検出精度すなわち分解能を得る場合には、その幅方
向すなわち回転板１０の半径方向への大きさを十分に小
さくし、エンコーダ自体の小型化を図ることが可能とな
る。

更に、本発明によれば、第１の送信電極３０及び回転板
１０上に、位相を異にした二基列の送信電極１４Ａ及び
１４Ｂ及び受信電極１８Ａ及び１８Ｂを設けているため
、各固定板３０．３２及び回転板１０に偏心、振れ又は
傾きなどが存在しても、これらの影響を受けることなく
回転板１０の回転変位量を正確に検出することが可能な
る。

１１血皇亙ユ１ 第３図には、本発明に係る静電容山型エンコーダを、ワ
ークの内径を測定する測定装置に用いた場合が示されて
いる。

実施例の測定装置は、円筒形状に形成されたフレーム本
体４０の先端に設けられ矢印Ｙで示す半径方向に進退す
る内径測定子４２と、フレーム本体４６内に収納され矢
印２で示す軸方向に進退しその先端部４４にて測定子４
２の内側と当接するスピンドル４６と、を含む。

実施例において、前記測定子４２は、フレーム本体４０
の先端部に１２０°の角度間隔をもって３個設けられて
おり、各測定子４２は板バネ４８によりその内側に付勢
されスピンドル４６の先端部４４と当接している。

ここにおいて、スピンドル４６の先端８１１４４は円錐
形状に形成されており、各測定子４２の内面は先端部４
４の円錐形状に沿って当接するよう切り欠き形成されて
いる。

そして、実施例の測定装置は、スピンドル４６に一体的
に設けられたシンプル５０を回転操作し、スピンドル４
６を矢印Ｚで示す軸方向に向は進退させることにより、
その先端部４４により測定子４２を半径方向に向けて進
退させている。

従って、フレーム本体４０の先端部に設けられた３個の
測定子４２がワークの内面と３点接触する状態を検出す
ることにより、ワークの内径をスピンドル４６の７方向
への変位量として検出することができる。

実施例の装置は、このようなスピンドル４６の変位量を
本発明に係るエンコーダを用いて検出し、検出変位量に
応じた電気信号パルスを計数回路に入力している。計数
回路は、エンコーダの出力する電気信号パルス信号を計
数し、その計数値をフレーム本体４０の側面に設けられ
たデジタル表示器上にデジタル表示している。

１　　　　　　本実施例の装置に用いられる、エンコー
ダは、フレーム本体４０に固定された第１及び第２の固
定板３０．３２と、これら第１及び第２の固定板３０．
３２の間に設けられスピンドル４６の移動量に応じ回動
する回転板１０と、を含む。

前記第１及び第２の固定板３０．３２は、はぼドーナツ
型に形成され、その中央に設けられた挿通穴３０ａ、３
２ａにスピンドル４６が進退自在に挿通された状態でフ
レーム本体４０の基台５２に固定されている。

また、回転板１０もほぼドーナツ型に形成され、スピン
ドル４６の周囲に回動可能に設けられた回転円筒５４上
に前記第１及び第２の固定板３０゜３２と対向するよう
配置されている。

ここにおいて、回転円筒５４には、その内周に係合ビン
５６が設けられ、このビン５６がスピンドル４６の外周
にその進退方向に沿って設けられたキー溝５８に係合さ
れている。

また、回転円筒５４のスピンドル軸方向変位を阻止する
ためのスラストアンギュラコンタクトベアリング６０が
設けられている。

従って、シンプル５０を回転操作し、スピンドル４６を
回転させながら図中７で示す軸方向に進退させると、ビ
ン５６とキー溝５８との係合により回転円１１５４がス
ピンドル軸方向に変位することなく回転され、該スピン
ドル４６の変位量に応じて回転板１０が第１及び第２の
固定板３０，３２との間に一定のクリアランスを保った
まま回転されることになる。

従って、実施例の測定装置によれば、矢印Ｙで示す測定
子４２の半径方向への変位のを、本発明のエンコーダを
用いて回転板１０の回転変位量として正確に検出し、こ
の結果、ワークの各種内径の測定を正確に行うことが可
能となる。

また、前記実施例においては、本発明のエンコーダを、
ワークの内径測定用の測定装置に適用した場合を例にと
り説明したが、本発明はこれに限らず、マイクロメータ
、ダイヤルゲージ、マイクロゲージ及びその他の測定装
置に適用可能であることは言うまでもない。

［発明の効果］ 以上説明したように、本発明によれば、装置全体を小型
化しかつ高い検出精度で回転板の回転変位量を検出する
ことが可能な静電容量型エンコーダを得ることができる
。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明に係る静電容邑型エンコーダの好適な実
施例を示す説明図、 第２図は第１図に示すエンコーダの電極構造を示す説明
図、 第３図は本発明のエンコーダを用いた測定装置の構造説
明図、 第４図及び第５図は静電容量型エンコーダの第１の前提
技術を示す説明図、 第６図及び第７図は静電容量型エンコーダの第２の前提
技術を示す説明図である。 １０　・・・　回転板 １４Ａ　　・・・　第１の送信電極 １４Ｂ　　・・・　第２の送信電極 １４ａ　　・・・　単位電極板 １４ｂ　　・・・　単位電極板 １８Ａ　　・・・　第１の受信電極 １８Ｂ　　・・・　第２の受信電極 ２２　・・・　出力電極 ３０　・・・　第１の固定板 ３２　・・・　第２の固定板 ３４　・・・　結合電極。

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. （１）本体に回転可能に設けられた回転板と、この回転
   板を介して互いに対向配置するよう本体に固定された第
   １の固定板及び第２の固定板と、を含み、 前記第１の固定板には、位相の異なる交流電圧が印加さ
   れる複数の単位電極板を円周方向に沿って等間隔に輪状
   配列してなる第１の送信電極と、この第１の送信電極の
   内周側にその単位電極板と１８０°位相の異なる交流電
   圧が印加される複数の単位電極板を円周方向に沿って等
   間隔に輪状配列してなる第２の送信電極と、が設けられ
   、 前記回転板には、前記第１の送信電極及び第２の送信電
   極に向けそれぞれ対向配置され同位相の信号を受信する
   第１の受信電極及び第２の受信電極と、これら第１の受
   信電極及び第２の受信電極と電気的に接続され前記第２
   の固定板に対向配置された結合電極と、が設けられ、 前記第２の固定板には、前記結合電極と対向配置された
   出力電極が設けられ、 回転板の回転により変化する出力電極の出力信号に基づ
   き回転板の回転変位量を検出することを特徴とする静電
   容量型エンコーダ。
2. （２）特許請求の範囲（１）記載のエンコーダにおいて
   、 第１の送信電極は、それぞれ４５°位相の異なる交流電
   圧が印加される１６個の単位電極板からなり、前記第２
   の送信電極は、第１の送信電極の各単位電極板に対し１
   ８０°位相の異なる交流電圧が印加される１６個の単位
   電極板からなることを特徴とする静電容量型エンコーダ
   。
3. （３）特許請求の範囲（２）記載のエンコーダにおいて
   、 前記第１の受信電極は、回転板上に回転中心を介して点
   対称に位置し、前記第１の送信電極の連続する４枚の単
   位電極板とそれぞれ対向するよう形成された２枚の電極
   板を含み、 前記第２の受信電極は、回転板上に回転中心を介して点
   対称に位置し、かつ前記第１の受信電極に対し９０°位
   相が異なるよう設けられ、前記第２の送信電極の連続す
   る４枚の単位電極板とそれぞれ対向するよう形成された
   ２枚の電極板を含むことを特徴とする静電容量型エンコ
   ーダ。