JPH0412812B2

JPH0412812B2 -

Info

Publication number: JPH0412812B2
Application number: JP11447485A
Authority: JP
Inventors: Yoshihiro Arai; Koji Sasaki; Takanori Oosaki
Original assignee: Mitutoyo Corp
Current assignee: Mitutoyo Corp
Priority date: 1985-05-27
Filing date: 1985-05-27
Publication date: 1992-03-05
Also published as: JPS61271411A

Description

【発明の詳細な説明】［産業上の利用分野］本発明は静電容量型エンコーダ、特に回転板の
回転変位量を電気的に検出する静電容量型エンコ
ーダの改良に関する。

［従来技術］従来よりエンコーダを用いた各種の測定装置が
周知であり、この測定装置は装置本体上を移動し
被測定物に接触する測定子を含み、該測定子の移
動量をエンコーダを用いて測定し、その値を表示
器上にデジタル表示している。

ところで、この種の測定装置に用いられるエン
コーダとして、従来より静電容量型エンコーダが
周知であり、今日このような静電容量型エンコー
ダに対しては装置の携帯性及び操作性の向上を図
る上からその小型化及び軽量化が要請されてい
る。

第１の背景技術第４図及び第５図にはこのような従来の静電容
量型エンコーダが示されており、このエンコーダ
は、測定子の移動量に応じて回転する回転軸１０
ａにより本体に回転可能に取り付けられた回転板
１０と、この回転板１０に対向配置するよう本体
に取り付けられた固定板１２と、を含み、固定板
１２に対する回転板１０の回転変位量を検出する
ものである。

このため、前記固定板１２の表面には、複数の
単位電極板１４ａがその円周方向に沿つて等間隔
に輪状配置され送信電極１４を形成している。こ
れら各単位電極板１４ａには電圧印加回路１６に
より所定の位相、実施例においては45°ずつ位相
をずらせた正弦波あるいは矩形波の交流電圧が印
加され、８相分の単位電極板１４ａを１単位とす
る電極ユニツト１００が複数組形成されている。

また回転板１０の表面には、前記電極ユニツト
数と同数の受信電極１８が設けられ、各受信電極
１８はそれぞれ各電極ユニツト１００に含まれる
連続した所定枚数の単位電極板１４ａと対向する
よう形成されている。

第５図に示すエンコーダにおいて、この受信電
極１８は、４個の連続した単位電極板群、すなわ
ち基準電圧V₁と、この基準電圧V₁に対し45°、
90°、135°ずつ位相がずれたV₂、V₃、V₄の各電圧
が印加される４枚の単位電極板１４ａに跨がつて
対向配置されている。

また回転板１０の表面には、各受信電極１８の
間に位置するアース電極２０が設けられており、
各受信電極１８及びその他からの静電容量の干渉
による悪影響を防止している。

以上の構成とすることにより、回転板１０を回
転させると、送信電極１４と受信電極１８とが相
対移動することになり、受信電極１８からは周知
のように回転板１０の回転変位量に応じた周期変
化を有する静電容量信号V₀が検出される。

このようにして回転板１０上の受信電極１８に
て得られる電圧V₀を本体側に取り出すため、固
定板１２の表面には、送信電極１４の内側に位置
してリング状の出力電極２２が設けられ、前記受
信電極１８は、固定板１２上に設けられた送信電
極１４及び出力電極２２の双方に跨がつて対向す
るよう形成されている。

以上の構成とすることにより、このエンコーダ
によれば、受信電極１８にて得られる静電容量信
号V₀を、回転板１０と固定板１２との機械的な
接触を用いることなく静電結合を介して本体側に
出力し回転板１０の回転変位量を正確に測定する
ことができる。

しかし、この従来の静電容量型エンコーダは、
単に１枚の固定板１２上にほぼリング状に形成さ
れた１個の送信電極１４及び出力電極２２を設け
ているのみであるため良好な測定精度、検出分解
能を維持しようとする場合は、固定板１２を小さ
くすることができず、この結果装置を固定板１２
の幅方向へ向け小型化することができないという
欠点があつた。

すなわち、このように１枚の固定板１２上に送
信電極１４及び出力電極２２の双方を設けると、
これら両電極１４，２２の間に静電容量の干渉に
よる悪影響が発生しやすい。このような問題を除
去するためには、固定板１２上において送信電極
１４と出力電極２２の極間距離を大きく設定し、
かつ両電極１４，２２間にリング状のアース電極
２４を設けてやることが必要となる。この結果、
このような従来のエンコーダでは、固定板１２の
形状が大きくしかもこの表面電極構造が複雑とな
ることが避けられず、この結果固定板１２が大き
くなり装置全体の回転半径方向へ向けた小型化を
図ることができないとう問題があつた。

第２の背景技術このような静電容量の干渉による影響を除去
し、エンコーダの回転半径方向に対する小型化を
図るため、昭和59年10月29日付で特願昭59−
228785号に係る出願を行つた。

第６図及び第７図にはこの出願に係る静電容量
型エンコーダが示されており、前記第１の背景技
術と対応する部材には同一符号を付しその説明は
省略する。

このエンコーダは、回転軸１０ａにより本体に
回転可能に設けられた回転板１０と、この回転板
１０を介して互いに対向配置するよう本体に固定
された第１の固定板３０及び第２の固定板３２
と、を含む。

第７図には、第１の固定板３０、回転板１０及
び第２の固定板３２の各表面構造が示されてお
り、同図において回転板１０の表面は、第１の固
定板３０への対向面と第２の固定板３２への対向
面とに分解して図示している。

前記第１の固定板１２及び回転板１０の各表面
には、前記第１の背景技術と同様に、送信電極１
４、受信電極１８及びアース電極２０がそれぞれ
形成されている。

回転板１０上に形成された受信電極１８にて得
られる電圧V₀を本体側に取り出すために、回転
板１０の第２の固定板３２の対向面に結合電極３
４が設けられ、該結合電極３４は各受信電極１８
と電気的に接続されている。ここにおいて前記結
合電極３４は回転板１０の表面に円周方向に沿つ
てリング状に形成されている。

そして、第２の固定板３２の表面には、前記結
合電極３４と対向するようリング状に形成された
出力電極２２が設けられ、この出力電極２２と結
合電極３４との静電結合により受信電極１８にて
誘起される静電容量信号V₀を出力電極２２から
出力する。

そして、この出力電極２２から出力される信号
V₀と、検出回路３６内において設定された基準
電圧V₁と比較することにより、その位相差φに
基づき回転板１０の回転変位量を検出することが
できる。

このように該エンコーダによれば、送信電極１
４、受信電極１８、結合電極３４及び出力電極２
２を、それぞれ第１の固定板３０、回転板１０及
び第２の固定板３２の各表面にそれぞれ設けてい
る。このため、これら各固定板３０，３２及び回
転板１０の表面上に設けられた各電極は他の種類
の電極との静電容量の干渉を考慮する必要がな
く、この面から各電極１４，１８，３４及び２２
を検出精度を損わない範囲で小型化することがで
きる。

特に、このエンコーダは、前記第１の背景技術
のように送信電極１４と出力電極２２との静電容
量による干渉を考慮する必要がないため、前記第
１の従来技術と同一の検出精度であるならばこの
送信電極１４の半径を大幅に小さくすることがで
き、この結果エンコーダの回転半径方向への小型
化を図ることが可能となる。

なお、このエンコーダは、前記第１の背景技術
に比し、第２の固定板３２を設けているため回転
軸１０ａ方向にこの分だけ厚くなるが、回転板１
０とこれら第１及び第２の固定板３０，３２の間
隔は極めて小さく、具体的にはピ1/10mm程度であ
るため、このように第２の固定板３２を設けるこ
とにより発生する軸方向への厚みの増加はほとん
ど無視することができる。

［発明が解決しようとする問題点］ところで、このような静電容量型エンコーダに
おいて、その検出分解能を高めるためには、送信
電極１４を構成する各単位電極板１４ａの面積及
び間隔を適切な値に維持したまま、この電極板１
４ａの枚数を増加することが必要となる。

従つて、従来のように、単位電極板１４ａを輪
状配列してなる送信電極１４を有するエンコーダ
では、その検出分解能を高めようとすると送信電
極１４の半径が大きくなることが避けられず、回
転半径方向へ向けた小型化と検出分解能の向上と
いう２つの要求を同時に満たすことができないと
いう欠点があつた。

また、静電容量型エンコーダでは、回転板１
０、第１及び第２の固定板３０，３２を偏心、振
れ及び傾きなどを発生させることなく形成するこ
とが難しく、これらが誤差要因として働き、測定
誤差を引き起こすという問題があつた。

発明の目的本発明は、このような従来の課題に鑑みなされ
たものであり、その目的は、測定精度が高くしか
も回転半径方向へ向けた小型化を図ることが可能
な静電容量型エンコーダを提供することにある。

［問題点を解決するための手段］前記目的を達成するため、本発明の静電容量型
エンコーダは、本体に回転可能に設けられた回転
板と、この回転板を介して互いに対向するよう本
体に固定された第１の固定板及び第２の固定板
と、を含む。

前記第１の固定板には、位相の異なる交流電圧
が印加される複数の単位電極板を円周方向に沿つ
て等間隔に輪状配列してなる第１の送信電極と、
この第１の送信電極の内周側にシールドリングを
介して配置された第１の出力電極と、が設けられ
る。

また、前記第２の固定板には、前記第１の送信
電極の各単位電極板と180°位相の異なる交流電流
が印加される複数の単位電極板を円周方向に沿つ
て等間隔に輪状配列してなる第２の送信電極と、
この送信電極の内周側にシールドリングを介して
配置された第２の出力電極と、が設けられる。

また、前記回転板には、前記第１の送信電極及
び第１の出力電極にまたがつて対向する第１の受
信電極と、前記第２の送信電極及び第２の出力電
極にまたがつて対向する第２の受信電極と、が設
けらる。

そして、これら第１の受信電極及び第２の受信
電極は共に共通位相交流電圧が印加される所定の
単位電極板に対し対向するよう形成される。

［作用］このように、本発明によれば、検出精度を決定
する送信電極として、第１の送信電極及び第２の
送信電極という２系列の送信電極を設け、これら
を第１の固定板及び第２の固定板上に分離形成し
ているため、送信電極が１系列しかない従来のエ
ンコーダに比し、その半径方向の大きさが同一で
あれば約２倍の精度で回転板の回転変位量を検出
するとができ、また従来のエンコーダと同一精度
である場合には各送信電極を構成する単位電極板
の数が約1/2となり、その結果エンコーダを半径
方向に向け大幅に小型化することが可能となる。

なお、本発明のエンコーダは、前記第１の従来
技術に比し第２の固定板を設けているため、回転
軸方向へこの分だけ厚くなることは避けられない
が、回転板とこの第２の固定板の間隔は一般的に
極めて小さく、具体的には1/10mm程度であること
が多いため、このように第２の固定板を設けるこ
とにより発生する軸方向への厚みの増加はほとん
ど無視することができる。

また、本発明によれば、第１の送信電極及び第
２の送信電極にそれぞれ180°位相の異なる交流電
圧が印加され、このような第１及び第２の送信電
極に対し第１の受信電極及び第２の受信電極はそ
れぞれ同位相の電圧信号を静電結合により受信し
ている。

従つて、第１の固定板、第２の固定板及び回転
板の間に偏心、振れあるいは傾きなどの誤差要因
が存在しても、このような誤差要因により引き起
される測定誤差は前記第１及び第２の受信電極の
出力を第１及び第２の出力電極から取り出し、そ
の出力信号を合成することにより互いに相殺さ
れ、前記誤差要因の有無に拘りなく正確な測定を
行うことが可能となる。

［実施例］次に本発明の好適な実施例を図面に基づき説明
する。なお、前記第４図及び第５図に示す従来装
置と対応する部材には同一符号を付しその説明は
省略する。

第１及び第２図には、本発明に係る静電容量型
エンコーダの好適な実施例が示されており、実施
例のエンコーダは、回転軸１０ａにより本体に回
転可能に設けられた回転板１０と、この回転板１
０を介して互いに対向するよう本体に固定された
第１の固定板３０及び第２の固定板３２と、を含
む。

本発明の特徴的事項は、回転板１０、第１及び
第２の固定板３０，３２の表面に設けられる電極
構造を改良することにより、静電容量型エンコー
ダを小型化し、かつその検出精度を向上させたこ
とにある。

第２図には、第１の固定板３０、回転板１０及
び第２の固定板３２の各表面構造が示されてお
り、同図において回転板１０の表面は、第１の固
定板３０への対向面と第２の固定板３２への対向
面とに分解して図示している。

本発明において、前記第１の固定板３０の表面
には、複数の単位電極板１４ａを円周方向に沿つ
て等間隔に輪状配列してなる第１の送信電極１４
Ａが設けられている。また、第２の固定板３２の
表面には、前記第１の送信電極１４Ａと同数の単
位電極板１４ｂを等間隔に輪状配列してなる第２
の送信電極１４Ｂが設けられている。

実施例において、前記第１の送信電極１４Ａ及
び第２の送信電極１４Ｂは、共に16枚の単位電極
板１４ａ及び１４ｂからなり、これら各単位電極
板１４ａと１４ｂとは互いに回転板１０を介して
１対１に相対向するように、各固定板３０及び３
２上に取り付け固定されている。

そして、第１の送信電極１４の各単位電極板１
４ａには、電圧印加回路１６により、所定の位
相、実施例においては45°ずつ位相をずらせた正
弦波あるいは矩形波の交流電圧が印加され、０〜
315°までの８層電極板を１単位とする２組の電極
ユニツトが形成されている。

また、前記第２の送信電極１４Ｂの各単位電極
板１４ｂには、電圧印加回路１６により前記各単
位電極板１４ａに対し180°位相をずらせた正弦波
あるいは矩形波からなる交流電圧が印加され、同
様にして０〜315°までの８層電極板を１単位とす
る２組の電極ユニツトが形成されている。

すなわち、第２図に示すように、第１の送信電
極１４Ａには、中心線Ａ上に位置する単位電極板
１４Ａを始点として０、45°、90°…と順次位相さ
せた交流電圧が印加され、これに対し第２の送信
電極１４Ｂには前記中心線Ａに対し電気角で180°
だけ位相をずらせた中心線Ｂ上に位置する単位電
極板１４ｂを始点として、０、45°、90°…と順次
位相をずらせた交流電圧が印加されることにな
る。

また、前記回転板１０の第１の固定板側表面に
は、前記第１の送信電極１４Ａの電極ユニツト数
と同数の２組の第１の受信電極１８Ａ，１８Ａが
設けられ、この２組の受信電極１８Ａ，１８Ａは
回転中心を挟んで点対称に配置され、第１の送信
電極１４Ａに含まれる２組の連続した４個の単位
電極板１４ａとそれぞれ対向している。

また、この回転板１０の第２の固定板側表面に
は、前記第２の送信電極１４Ｂの電極ユニツト数
と同数の２組の第２の受信電極１８Ｂ，１８Ｂが
設けられ、この２組の受信電極１８Ｂ，１８Ｂは
回転中心を挟んで点対称に配置され、第２の送信
電極１４Ｂに含まれる２組の連続した４個の単位
電極板１４ｂとそれぞれ対向している。

ここにおいて、前記第１及び第２の受信電極１
８Ａ及び１８Ｂはそれぞれ同位相の信号を受信可
能とするため、回転中心に対し機械的に90°位相
の異なる位置にそれぞれ設けられている。このよ
うにすることにより、例えば第１の受信電極１８
Ａが第１の送信電極１４Ａの０〜135°の範囲の交
流電圧が印加されている４枚の単位電極対１４ａ
と対向している場合には、同様に第２の受信電極
１８Ｂは第２の送信電極１４Ｂの０〜135°の範囲
の４枚の単位電極板１４Ｂと対向し、両受信電極
１８Ａ及び１８Ｂからは同位相の信号を出力する
ことができる。

更に、この回転板１４の第１の送信電極１８
Ａ，１８Ａ間には第１のアース電極２０Ａ，２０
Ａが設けられており、またこの回転板１４を他方
の表面には、第２の受信電極１８Ｂ，１８Ｂ間に
第２のアース電極２０Ｂ，２０Ｂが設けられ、各
受信電極１８Ａ，１８Ｂ間及びその他からの静電
容量の干渉による悪影響を防止している。

このようにして、これら第１及び第２の受信電
極１８Ａ及び１８Ｂには、回転板１０の回転変位
量に対する同位相の電圧V₀が誘起されることに
なる。

そして、回転板１０上に設けられた第１の受信
電極１８Ａ及び第２の受信電極１８Ｂにて得られ
る各電圧V₀を本体側に取り出すために、第１の
固定板３０及び第２の固定板３２の各表面には第
１の出力電極２２Ａ及び第２の出力電極２２Ｂが
設けられている。

前記第１の出力電極２２Ａは、第１の固定板３
０の表面に、第１の送信電極１４Ａの内周側に第
１のアース電極２４Ａを介してリング状に設けら
れている。また前記第２の出力電極２２Ｂは、第
２の固定板３２の表面に、第２の送信電極１４Ｂ
の内側にアース電極２４Ｂを介してリング状に設
けられている。

そして、前記第１の受信電極１８Ａは、第１の
固定板３０上に設けられた第１の送信電極１４Ａ
及び第１の出力電極２２Ａの双方にまたがつて対
向するように形成されており、同様にして第２の
受信電極１８Ｂは、第２の固定板３２上に設けら
れた第２の送信電極１４Ｂ及び第２の出力電極２
２Ｂの双方にまたがつて対向するよう形成されて
いる。

このようにして、これら第１及び第２の受信電
極１８Ａ及び１８Ｂと、前述した第１及び第２の
出力電極２２Ａ及び２２Ｂとが静電結合し、これ
ら第１及び第２の出力電極２２Ａ及び２２Ｂから
は第１及び第２の受信電極１８Ａ及び１８Ｂにて
誘起された電圧V₀が出力されることになる。

そして、これら第１及び第２の出力電極２２Ｂ
から出力される検出信号V₀は検出回路３６内に
おいて合成された後基準電圧V₁と比較され、そ
の位相差φに基づき回転板１０の回転変位量が検
出される。

このように、本発明よれば、第１及び第２の固
定板３０及び３２上に２組の送信電極、すなわち
第１及び第２の送信電極１４Ａ及び１４Ｂを設
け、回転板１０上に設けられた第１及び第２の受
信電極１８Ａ及び１８Ｂにより回転板１０の回転
変位量に対応した信号V₀をそれぞれ得ることが
できる。

そして、第１及び第２の受信電極１８Ａ及び１
８Ｂの信号V₀を、第１及び第２の固定板３０及
び３２上に設けた２組の出力電極２２Ａ及び２２
Ｂとの静電結合により固定板３０及び３２側から
取り出し回転板１０の回転変位量の検出を行つて
いる。

このように、本発明によれば、２系列の静電結
合を介して回転板１０の回転変位量に対応した信
号V₀を２組発生させ、これら両系列から得られ
る信号V₀を出力電極２２側にて合成し回転板１
０の回転変位量を検出しているため、送信電極１
４と出力電極２２との静電結合部を１系列しか設
けないエンコーダに比し約２倍の検出分解能をも
つて回転板１０の回転変位量を検出することがで
きる。

従つて、例えば第６図及び第７図に示すよう
に、32枚の単位電極板を輪状配列してなる１個の
送信電極１４のみを有するエンコーダと同一の検
出分解能を得ようとする場合には、本実施例のご
とく第１の送信電極１４Ａ及び第２の送信電極１
４Ｂをそれぞれ16枚の単位電極板１４ａ及び１４
ｂを用いて形成すればよい。このとき16枚の単位
電極板を輪状配列してなる第１及び第２の送信電
極１４Ａ及び１４Ｂは、32枚の単位電極板を輪状
配列してなる送信電極１４に比しその半径が大幅
に小さくなり、従つて本発明のエンコーダは、従
来のエンコーダに比し同一の分解能を得る場合に
は、その回転半径方向への大きさを十分に小さく
しエンコーダ自体の小型化を図ることが可能とな
る。

更に、本発明によれば、物理的な経路の異なる
２系列の静電結合を介して、回転板１０の回転変
位量に対応した２組の信号V₀を発生させている
ため、この２組の信号を合成することによりその
誤差成分は互いに相殺され、各固定板３０，３２
及び回転板１０に偏心、振れ又は傾きなどが存在
しても、これらの影響を受けることなく回転板１
０の回転変位量を正確に検出することが可能とな
る。

具体的な応用例第３図には、本発明に係る静電容量型エンコー
ダを、ワークの内径を測定する測定装置に用いた
場合が示されている。

実施例の測定装置は、円筒形状に形成されたフ
レーム本体４０の先端に設けられ矢印Ｙで示す半
径方向に進退する内径測定子４２と、フレーム本
体４６内に収納され矢印Ｚで示す軸方向に進退し
その先端部４４にて測定子４２の内側と当接する
スピンドル４６と、を含む。

実施例において、前記測定子４２は、フレーム
本体４０の先端部に120°の角度間隔をもつて３個
設けられており、各測定子４２は板バネ４８によ
りその内側に付勢されスピンドル４６の先端部４
４と当接している。

ここにおいて、スピンドル４６の先端部４４は
円錐形状に形成されており、各測定子４２の内面
は先端部４４の円錐形状に沿つて当接するよう切
り欠き形成されている。

そして、実施例の測定装置は、スピンドル４６
に一体的に設けられたシンブル５０を回転操作
し、スピンドル４６を矢印Ｚで示す軸方向に向け
進退させることにより、その先端部４４により測
定子４２を半径方向に向けて進退させている。

従つて、フレーム本体４０の先端部に設けられ
た３個の測定子４２がワークの内面と３点接触す
る状態を検出することにより、ワークの内径をス
ピンドル４６のＺ方向への変位量として検出する
ことができる。

実施例の装置は、このようなスピンドル４６の
変位量を本発明に係るエンコーダを用いて検出
し、検出変位量に応じた電気信号パルスを計数回
路に入力している。計数回路は、エンコーダの出
力する電気信号パルス信号を計数し、その計数値
をフレーム本体４０の側面に設けられたデジタル
表示器上にデジタル表示している。

本実施例の装置に用いられる、エンコーダは、
フレーム本体４０に固定された第１及び第２の固
定板３０，３２と、これら第１及び第２の固定板
３０，３２の間に設けられたスピンドル４６の移
動量に応じ回動する回転板１０と、を含む。

前記第１及び第２の固定板３０，３２は、ほぼ
ドーナツ型に形成され、その中央に設けられた挿
通穴３０ａ，３２ａにスピンドル４６が進退自在
に挿通された状態でフレーム本体４０の基台５２
に固定されている。

また、回転板１０もほぼドーナツ型に形成さ
れ、スピンドル４６の周囲に回動可能に設けられ
た回転円筒５４上に前記第１及び第２の固定板３
０，３２と対向するよう配置されている。

ここにおいて、回転円筒５４には、その内周に
係合ピン５６が設けられ、このピン５６がスピン
ドル４６の外周にその進退方向に沿つて設けられ
たキー溝５８に係合されている。

また、回転円筒５４のスピンドル軸方向変位を
阻止するためのスラストアンギユラコンタクトベ
アリング６０が設けられている。

従つて、シンブル５０を回転操作し、スピンド
ル４６を回転させながら図中Ｚで示す軸方向に進
退させると、ピン５６とキー溝５８との係合によ
り回転円筒５４がスピンドル軸方向に変位するこ
となく回転され、該スピンドル４６の変位量に応
じて回転板１０が第１及び第２の固定板３０，３
２との間に一定のクリアランスを保つたまま回転
されることになる。

従つて、実施例の測定装置によれば、矢印Ｙで
示す測定子４２の半径方向への変位量を、本発明
のエンコーダを用いて回転板１０の回転変位量と
して正確に検出し、この結果、ワークの各種内径
の測定を正確に行うことが可能となる。

また、前記実施例においては、本発明のエンコ
ーダを、ワークの内径測定用の測定装置に適用し
た場合を例にとり説明したが、本発明はこれに限
らず、マイクロメータ、ダイヤルゲージ、マイク
ロゲージ及びその他の測定装置に適用可能である
ことは言うまでもない。

［発明の効果］以上説明したように、本発明によれば、装置全
体を小型化しかつ高い検出精度で回転板の回転変
位量を検出することが可能な静電容量型エンコー
ダを得ることができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明に係る静電容量型エンコーダの
好適な実施例を示す説明図、第２図は第１図に示
すエンコーダの電極構造を示す説明図、第３図は
本発明のエンコーダを用いた測定装置の構造説明
図、第４図及び第５図は静電容量型エンコーダの
第１の前提技術を示す説明図、第６図及び第７図
は静電容量型エンコーダの第２の前提技術を示す
説明図である。１０……回転板、１４Ａ……第１の送信電極、
１４Ｂ……第２の送信電極、１４ａ……単位電極
板、１４ｂ……単位電極板、１８Ａ……第１の受
信電極、１８Ｂ……第２の受信電極、２２Ａ……
第１の出力電極、２２Ｂ……第２の出力電極、３
０……第１の固定板、３２……第２の固定板。

Claims

【特許請求の範囲】１本体に回転可能に設けられた回転板と、この
回転板を介して互いに対向するよう本体に固定さ
れた第１の固定板及び第２の固定板と、を含み、前記第１の固定板には、位相の異なる交流電圧
が印加される複数の単位電極板を円周方向に沿つ
て等間隔に輪状配列してなる第１の送信電極と、
この第１の送信電極の内周側にシールドリングを
介して配置された第１の出力電極と、が設けら
れ、前記第２の固定板には、前記第１の送信電極の
各単位電極板と180°位相の異なる交流電極が印加
される複数の単位電極板を円周方向に沿つて等間
隔に輪状配列してなる第２の送信電極と、この送
信電極の内周側にシールドリングを介して配置さ
れた第２の出力電極と、が設けられ、前記回転板には、前記第１の送信電極及び第１
の出力電極にまたがつて対向する第１の受信電極
と、前記第２の送信電極及び第２の出力電極にま
たがつて対向する第２の受信電極と、が設けら
れ、前記第１の受信電極及び第２の受信電極は共に
共通位相交流電圧が印加される所定の単位電極板
に対し対向するよう形成され、回転板の回転により変化する第１及び第２の出
力電極の出力信号に基づき回転板の回転変位量を
検出することを特徴とする静電容量型エンコー
ダ。２特許請求の範囲１記載のエンコーダにおい
て、第１の送信電極は、それぞれ45°位相の異なる
交流電圧が印加される16個の単位電極板からな
り、前記第２の送信電極は、第１の送信電極の各単
位電極板に対し180°位相の異なる交流電圧が印加
される16個の単位電極板からなることを特徴とす
る静電容量型エンコーダ。３特許請求の範囲２記載のエンコーダにおい
て、前記第１の受信電極は、回転板上に回転中心を
介して点対称に位置し、前記第１の送信電極の２
組の連続した４枚の単位電極板とそれぞれ対向す
るよう形成された２枚の電極板を含み、前記第２の受信電極は、回転板上に回転中心を
介して点対称に位置し、かつ前記第１の受信電極
に対し90°位相が異なるように設けられ、前記第
２の送信電極の２組の連続した４枚の単位電極板
とそれぞれ対向するように形成された２枚の電極
板を含むことを特徴とする静電容量型エンコー
ダ。