JPH0412811B2 - - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は静電容量型エンコーダ、特に回転板の
回転変位量を電気的に検出する静電容量型エンコ
ーダの改良に関する。

［背景技術］ 従来よりエンコーダを用いた各種の測定装置が
周知であり、この測定装置は装置本体上を移動し
被測定物に接触する測定子を含み、該測定子の移
動量をエンコーダを用いて測定し、その値を表示
器上にデジタル表示している。

ところで、この種の測定装置に用いられるエン
コーダとして、従来より静電容量型エンコーダが
周知であり、今日このような静電容量型エンコー
ダに対しては装置の携帯性及び操作性の向上を図
る上からその小型化及び軽量化が要請されてい
る。

第１の背景技術 第４図及び第５図にはこのような従来の静電容
量型エンコーダが示されており、このエンコーダ
は、測定子の移動量に応じて回転する回転軸１０
ａにより本体に回転可能に取り付けられた回転板
１０と、この回転板１０に対向配置するよう本体
に取り付けられた固定板１２と、を含み、固定板
１２に対する回転板１０の回転変位量を検出する
ものである。

このため、前記固定板１２の表面には、複数の
単位電極板１４ａがその円周方向に沿つて等間隔
に輪状配置され送信電極１４を形成している。こ
れら各単位電極板１４ａには電圧印加回路１６に
より所定の位相、実施例においては45°ずつ位相
をずらせた正弦波あるいは矩形波の交流電圧が印
加され、８相分の単位電極板１４ａを１単位とす
る電極ユニツト１００が複数組形成されている。

また回転板１０の表面には、前記電極ユニツト
数と同数の受信電極１８が設けられ、各受信電極
１８はそれぞれ各電極ユニツト１００に含まれる
連続した所定枚数の単位電極板１４ａと対向する
よう形成されている。

第５図に示すエンコーダにおいて、この受信電
極１８は、４個の連続した単位電極板群、すなわ
ち基準電圧V₁と、この基準電圧V₁に対し45°，
90°，135°ずつ位相がずれたV₂，V₃，V₄の各電圧
が印加される４枚の単位電極板１４ａに跨がつて
対向配置されている。

また回転板１０の表面には、各受信電極１８の
間に位置するアース電極２０が設けられており、
各受信電極１８及びその他からの静電容量の干渉
による悪影響を防止している。

以上の構成とすることにより、回転板１０を回
転させると、送信電極１４と受信電極１８とが相
対移動することになり、受信電極１８からは周知
のように回転数１０の回転変位量に応じた周期変
化を有する静電容量信号V₀が検出される。

このようにして回転板１０上の受信電極１８に
て得られる電圧V₀を本体側に取り出すため、固
定板１２の表面には、送信電極１４の内側に位置
してリング状の出力電圧２２が設けられている。
そして、前記受信電極１８は、固定板１２上に設
けられた送信電極１４及び出力電極２２の双方に
跨がつて対向配置するよう形成されている。

以上の構成とすることにより、このエンコーダ
によれば、受信電極１８にて得られる静電容量信
号V₀を、回転板１０と固定板１２との機械的な
接触を用いることなく静電結合を介して本体側に
出力し回転板１０の回転変位量を正確に測定する
ことができる。

しかし、この従来の静電容量型エンコーダは、
単に１枚の固定板１２上にほぼリング状に形成さ
れた１個の送信電極１４及び出力電極２２を設け
ているのみであるため良好な測定精度、検出分解
能を維持しようとする場合は、固定板１２を小さ
くすることができず、この結果装置を固定板１２
の幅方向へ向け小型化することができないという
欠点があつた。

すなわち、このように１枚の固定板１２上に送
信電極１４及び出力電極２２の双方を設けると、
これら両電極１４，２２の間に静電容量の干渉に
よる悪影響が発生しやすい。このような問題を除
去するためには、固定板１２上において送信電極
１４と出力電極２２の極間距離を大きく設定し、
かつ両電極１４，２２間にリング状のアース電極
２４を設けてやることが必要となる。この結果、
このような従来のエンコーダでは、固定板１２の
形状が大きくしかもこの表面電極構造が複雑とな
ることが避けられず、この結果固定板１２が大き
くなり装置全体の回転半径方向へ向けた小型化を
図ることができないという問題があつた。

第２の背景技術 このような静電容量の干渉による影響を除去
し、エンコーダの回転半径方向に対する小型化を
図るため、昭和59年10月29日付で特願昭59−
228785号に係る出願を行つた。

第６図及び第７図にはこの出願に係る静電容量
型エンコーダが示されており、前記第１の背景技
術と対応する部材には同一符号を付しその説明は
省略する。

このエンコーダは、回転軸１０ａにより本体に
回転可能に設けられた回転板１０と、この回転板
１０を介して互いに対向配置するよう本体に固定
された第１の固定板３０及び第２の固定板３２
と、を含む。

第７図には、第１の固定板３０、回転板１０及
び第２の固定板３２の各表面構造が示されてお
り、同図において回転板１０の表面は、第１の固
定板３０への対向面と第２の固定板３２への対向
面とに分解して図示している。

前記第１の固定板１２及び回転板１０の各表面
には、前記第１の背景技術と同様に、送信電極１
４、受信電極１８及びアース電極２０がそれぞれ
形成されている。

回転板１０上に形成された受信電極１８にて得
られる電圧V₀を本体側に取り出すために、回転
板１０の第２の固定板３２の対向面に結合電極３
４が設けられ、該結合電極３４は各受信電極１８
と電気的に接続されている。ここにおいて前記結
合電極３４は回転板１０の表面に円周方向に沿つ
てリング状に形成されている。

そして、第２の固定板３２の表面には、前記結
合電極３４と対向するようリング状に形成された
出力電極２２が設けられ、この出力電極２２と結
合電極３４との静電結合により受信電極１８にて
誘起される静電容量信号V₀を出力電極２２から
出力する。

そして、この出力電極２２から出力される信号
V₀と、検出回路３６内において設定された基準
電圧V₁と比較することにより、その位相差φに
基づき回転板１０の回転変位量を検出することが
できる。

このように該エンコーダによれば、送信電極１
４、受信電極１８、結合電極３４及び出力電極２
２を、それぞれ第１の固定板３０、回転板１０及
び第２の固定板３２の各表面にそれぞれ設けてい
る。このため、これら各固定板３０，３２及び回
転板１０の表面上に設けられた各電極は他の種類
の電極との静電容量の干渉を考慮する必要がな
く、この面から各電極１４，１８，３４及び２２
を検出精度を損わない範囲で小型化することがで
きる。

特に、このエンコーダは、前記第１の背景技術
のように送信電極１４と出力電極２２との静電容
量による干渉を考慮する必要がないため、前記第
１の従来技術と同一の検出精度であるならばこの
送信電極１４の半径を大幅に小さくすることがで
き、この結果エンコーダの回転半径方向への小型
化を図ることが可能となる。

なお、このエンコーダは、前記第１の背景技術
に比し、第２と固定板３２を設けているため回転
軸１０ａ方向にこの分だけ厚くなるが、回転板１
０とこれら第１及び第２の固定板３０，３２の間
隔は極めて小さく、具体的には1/10mm程度である
ため、このように第２の固定板３２を設けること
により発生する軸方向への厚みの増加はほとんど
無視することができる。

［発明が解決しようとする問題点］ ところで、このような静電容量型エンコーダに
おいて、その検出分解能を高めるためには、送信
電極１４を構成する各単位電極板１４ａの面積及
び間隔を適切な値に維持したまま、この電極板１
４ａの枚数を増加することが必要となる。

従つて、従来のように、単位電極板１４ａを輪
状配列してなる送信電極１４を有するエンコーダ
では、その検出分解能を高めようとすると送信電
極１４の半径が大きくなることが避けられず、回
転半径方向へ向けた小型化と検出分解能の向上と
いう２つの要求を同時に満たすことができないと
いう欠点があつた。

また、静電容量型エンコーダでは、回転板１
０、第１及び第２の固定板３０，３２を偏心、振
れ及び傾きなどを発生させることなく形成するこ
とが難しく、これらが誤差要因として働き、測定
誤差を引き起こすという問題があつた。

発明の目的 本発明は、このような従来の課題に鑑みなされ
たものであり、その目的は測定精度が高くしかも
回転半径方向へ向けた小型軽量化を図ることが可
能な静電容量型エンコーダを提供することにあ
る。

［問題点を解決するための手段］ 前記目的を達成するため本発明の静電容量型エ
ンコーダは、本体に回転可能に設けられた回転板
と、その回転板を介して互いに対向配置するよう
本体に固定された第１の固定板及び第２の固定板
と、を含む。

そして、前記第１の固定板上には、第１の送信
電極及び第２の送信電極がそれぞれ同心円上に輪
状配置されている。前記第１の送信電極は、それ
ぞれ位相の異なる交流電圧が印加される複数の単
位電極板を第１の固定板表面の外側にその円周方
向に沿つて輪等間隔に輪状配列することにより形
成されている。また前記第２の送信電極は、前記
第１の送信電極の各単位電極板側と180°位相の異
なる交流電圧がそれぞれ印加される複数の単位電
極板を、第１の固定板表面の内周側にその円周方
向に沿つて等間隔に輪状配列することにより形成
されている。

すなわち、第１及び第２の送信電極は、それぞ
れ同心円上に輪状配列された同数の単位電極板か
らなり、その内周側に位置する単位電極板と外周
側に位置する単位電極板とは180°位相の異なる電
圧がそれぞれ印加されている。

また前記第２の固定板には、前記第１の送信電
極及び第２の送信電極とにまたがつて対向配置さ
れた結合電極が設けられている。

また、前記回転板には、第１及び第２の送信電
極の共通位相交流電圧が印加される所定単位電極
板のみを前記出力電極と対向させ、その他の単位
電極板と出力電極とをシールドするシールド部が
形成される。

［作用］ このように、本発明によれば、前述したように
検出精度を決定する送信電極として第１の送信電
極及び第２の送信電極という２系列の送信電極を
有しているため、送信電極が１系列しかない従来
のエンコーダに比し、その大きさが同一であれば
約２倍の精度で回転板の回転変位量を検出するこ
とができ、また従来のエンコーダと同一精度であ
る場合には各送信電極を達成する単位電極板の数
が約1/2となり、その結果エンコーダをその回転
半径方向へ大幅に小型化することが可能となる。

更に、本発明によれば、第１の送信電極及び第
２の送信電極にはそれぞれ、180°位相の異なる交
流電圧が印加され、このような第１及び第２の送
信電極に対し第１の受信電極及び第２の受信電極
はそれぞれ同位相の電圧信号を静電結合により受
信している。従つて、本発明のエンコーダは、第
１の固定板、第２の固定板及び回転板間に偏心、
振れあるいは傾きなどの誤差要因が存在しても、
このような誤差要因により引き起こされる測定誤
差精度は、前記第１及び第２の受信電極の出力を
結合電極にて合成する際に互いに相殺され、出力
電極からはこのような誤差要因の有無にに拘りな
く、正確な測定信号を得ることが可能となる。

［実施例］ 次に本発明の好適な実施例を図面に基づき説明
する。なお前記第６図、第７図に示す従来装置と
対応する部材には同一符号を付しその説明は省略
する。

第１図及び第２図には本発明に係る静電容量型
エンコーダの好適な実施例が示されており、本発
明の特徴的事項は、回転板１０、第１及び第２の
固定板３０，３２の表面に設けられる電極構造を
改良することにより、静電容量型エンコーダを小
型化し、かつその検出精度を向上させたことにあ
る。

このため、本発明の第１の固定板３０の表面に
は、第１の送信電極１４Ａ及び第２の送信電極１
４Ｂがそれぞれ同心円上に輪状配置されている。
前記第１の送信電極１４Ａは、複数の単位電極板
１４ａが第１の固定板１２の表面外側にその円周
方向に沿つて等間隔に輪状配列して形成されてい
る。また、前記第２の送信電極１４Ｂは、前記第
１の送信電極１４Ａと同数の単位電極板１４ｂを
第１の固定板１２の表面内周側に位置して等間隔
に輪状配列して形成されている。

実施例においてこれら第１の送信電極１４Ａ及
び第２の送信電極１４Ｂは共に16枚の単位電極板
１４ａ及び14bからなり、外周側に位置する単位
電極板１４ａと内周側に位置する単位電極板１４
ｂは共にその中心軸が第１の固定板３０の中心０
に対しそれぞれ同一直線上に位置するよう取り付
け固定されている。

そして第１の送信電極１４の各単位電極板１４
ａには、電圧印加回路１６により所定の位相、実
施例においては45°ずつ位相をずらせた正弦波あ
るいは矩形波の交流電圧が印加され、０〜315°ま
での８相電極板を１単位とする２組の電極ユニツ
トが形成されている。

また第２の送信電極１４Ｂの各単位電極板１４
ｂには、電圧印加回路１６により各単位電極板１
４ａに対し180°位相をずらせた正弦波あるいは矩
形波からなる交流電圧が印加され、同様にして０
〜315°までの８相電極板１４ｂを１単位とする２
組の電極ユニツトが形成されている。

すなわち、第２図に示すように、第１の送信電
極１４Ａには、中心線Ａ上に位置する単位電極板
１４ａを始点として０，45°，90°…と順次位相を
ずらせた交流電圧が印加され、第２の送信電極１
４Ｂには前記中心線Ａに対し電気角で180°だけ位
相をずらせた中心線Ｂ上に位置する単位電極板１
４ｂを始点として０，45°，90°…と順次位相をず
らせた交流電圧が印加されることになる。

また、第２の固定板３２の表面には、第１の固
定板３０上に形成された第１及び第２の送信電極
１４Ａ及び１４Ｂに跨がつて対向配置する円盤形
状をした出力電極２２が設けられている。

そして、本発明のエンコーダは、回転板１０の
表面に非シールド部３６とシールド部３８とを設
け、第１及び第２の送信電極１４Ａ及び１４Ｂと
出力電極２２との静電結合を制御し、出力電極２
２から回転板２０の回転変位量に応じた信号V₀
を出力している。

本実施例において、前記回転板１０は周知の非
シールド材料からなる基板を用いて形成されてお
り、前記シールド部３８はこの基板上に例えば銅
箔又はステンレス等の周知のシールド材料を被覆
しこれをアース側に接続することにより形成され
る。

この場合には、回転板１０の表面に前記シール
ド材料を被覆しない領域が非シールド部３６とな
るが、本発明はこれに限らず、回転板１０の表面
全域にシールド材料を被覆し、非シールド部３６
に対応する個所を打ち抜きにより形成することも
可能である。

実施例において、前記非シールド部３６は、第
１の送信電極１４Ａの各電極ユニツト数と同数の
２組の第１の非シールド部３６Ａ，３６Ａと、前
記第２の送信電極１４Ｂの電極ユニツト数と同数
の２組の第２の非シールド部３６Ｂ，３６Ｂとか
らなる。

そして、前述した２組の第１の非シールド部３
６Ａ，３６Ｂは回転板１０の表面外周側に、その
回転中心を挟んで点対象に配置され、第１の送信
電極１４Ａに含まれる連続した４個の単位電極板
１４ａとそれぞれ対向している。

ここにおいて第１及び第２の非シールド部３６
Ａ及び３６Ｂは各送信電極１４Ａ及び１４Ｂに含
まれる同位相の単位電極板と対向するよう、その
中心軸が回転板１０の回転中心に対し機械的に
90°位相の異なる位置（電気角で表すと180°位相
の異なる位置）にそれぞれ設けられている。

また、実施例において前記シールド部３８は、
２組の第１シールド部３８Ａ，３８Ａと２組の第
２のシールド部３８Ｂ，３８Ｂと、からなる。

前述した２組のシールド部３８Ａ，３８Ａは回
転板１０の表面外周側に前記第１の非シールド部
３６Ａ，３６Ａに挟まれて位置し、それぞれ第１
の送信電極１４Ａに含まれる連続した４個の単位
電極板１４ａと対向した該対向単位電極板１４ａ
と出力電極２２との静電結合をシールドしてい
る。

また前述した第２のシールド部３８Ｂは、回転
板１０の表面内周側に前記第２の非シールド部３
６Ｂ，３６Ｂに挟まれて点対称に位置しており、
それぞれ第２の送信電極１４Ｂに含まれる連続し
た４個の単位電極板１４ｂと対向し、この対向単
位電極板１４ｂと出力電極２２との静電結合をシ
ールドしている。

このようにすることにより、第１の非シールド
部３６Ａ及び第２の非シールド部３６Ｂと対向す
る第１及び第２の出力電極１４Ａ及び１４Ｂの領
域のみが出力電極２２と静電結合することとな
り、これ以外の部分すなわち第１及び第２のシー
ルド部３８Ａ及び３８Ｂと対向する第１及び第２
の送信電極１４Ａ及び１４Ｂの領域は該シールド
部により良好にシールドされ出力電極２２との静
電結合が阻止される。

従つて、本発明によれば、例えば出力電極２２
が、第１の送信電極１４Ａの０〜135°の範囲の交
流電圧が印加されている４枚の単位電極板１４ａ
と静電結合している場合には、該出力電極２２は
同様に第２の送信電極１４Ｂの０〜135°の範囲の
４枚の単位電極板１４ｂと静電結合し、出力電極
２２からは、この２系列の静電結合を介して入力
される同位相の信号V₀が出力されることになる。

このようにして、出力電極２２から、回転板１
０の回転変位量に対応する位相の信号V₀が出力
されると、この検出信号V₀は検出回路３９内に
おいて基準電圧がV₁と比較され、その位相差φ
に基づき回転板１０の回転変位量が検出される。

以上説明したように、本発明は、第１の固定板
３０上に第１及び第２の送信電極１４Ａ及び１４
Ｂを設け、回転板１０上に形成された第１及び第
２の非シールド部３６Ａ及び３６Ｂを介してこの
２組の送信電極１４Ａ及び１４Ｂを出力電極２２
と静電結合させる。そして、この２系列の静電結
合部を介して出力電極２２に回転板１０の回転変
位量に対応した信号V₀を出力させ、この出力信
号V₀に基づき回転板１０の回転変位量の検出を
行つている。

このように、本発明によれば、２系列の静電結
合により回転板１０の回転変位量に対応した信号
V₀を発生させ、これら両系列から得られる信号
V₀を出力電極２２側にて合成し回転板１０の回
転変位量を検出しているため、送信電極１４と出
力電極２２との静電結合部を１系列しか設けない
エンコーダに比し約２倍の検出分解能をもつて回
転板１０の回転変位量を検出することができる。

従つて、例えば第６図及び第７図に示すよう
に、３２枚の単位電極板を輪状配列してなる１個
の送信電極１４のみを有するエンコーダと同一の
検出分解能を得ようとする場合には、本実施例の
ごとく第１の送信電極１４Ａ及び第２の送信電極
１４Ｂをそれぞれ16枚の単位電極板１４ａ及び１
４ｂを用いて形成すればよい。このとき16枚の単
位電極板を輪状配列してなる第１及び第２の送信
電気１４Ａ及び１４Ｂは、32枚の単位電極板を輪
状配列してなる送信電極１４に比しその半径を大
幅に小さくすることができ、従つて本発明のエン
コーダは、従来のエンコーダに比し同一の分解能
を得る場合には、その回転半径方向への大きさを
十分に小さくしエンコーダ自体の小型化を図るこ
とが可能となる。

更に、本発明によれば、第１の送信電極３０及
び第２の送信電極３２とを、２系列の静電結合部
を介して静電結合しているため、各固定板３０，
３２及び回転板１０に偏心、振れ又は傾きなどが
存在しても、これらの影響を受けることなく回転
板１０の回転変位量を正確に検出することが可能
となる。

また、本発明のエンコーダによれば、従来のよ
うに受信電極、結合電極を用いることなく送信電
極１４と出力電極２２とを直接静電結合している
ため、出力電極２２からはＳ／Ｎ比の高い良好な
信号V₀を得ることが可能となる。

また、本発明によれば、回転板１０上に例えば
シールド材料などを被覆しシールド部３８を設け
るだけで足り、従来のように受信電極、結合電極
を設ける必要がないため、回転板１０の作成を極
めて簡単かつ安価に行うことが可能となる。

具体的な応用例 第３図には、本発明に係る静電容量型エンコー
ダを、ワークの内径を測定する測定装置に用いた
場合が示されている。

実施例の測定装置は、円筒形状に形成されたフ
レーム本体４０の先端に設けられ矢印Ｙで示す半
径方向に進退する内径測定子４２と、フレーム本
体４６内に収納され矢印Ｚで示す軸方向に進退し
その先端部４４にて測定子４２の内側と当接する
スピンドル４６と、を含む。

実施例において、前記測定子４２は、フレーム
本体４０の先端部に120°の角度間隔をもつて３個
設けられており、各測定子４２は板バネ４８によ
りその内側に付勢されスピンドル４６の先端部４
４と当接している。

ここにおいて、スピンドル４６の先端部４４は
円錐形状に形成されており、各測定子４２の内面
は先端部４４の円錐形状に沿つて当接するよう切
り欠き形成されている。

そして、実施例の測定装置は、スピンドル４６
に一体的に設けられたシンブル５０を回転操作
し、スピンドル４６を矢印Ｚで示す軸方向に向け
進退させることにより、その先端部４４により測
定子４２を半径方向に向けて進退させている。

従つて、フレーム本体４０の先端部に設けられ
た３個の測定子４２がワークの内面と３点接触す
る状態を検出することにより、ワークの内径をス
ピンドル４６のＺ方向への変位量として検出する
ことができる。

実施例の装置は、このようなスピンドル４６の
変位量を本発明に係るエンコーダを用いて検出
し、検出変位量に応じた電気信号パルスを計数回
路に入力している。計数回路は、エンコーダの出
力する電気信号パルス信号を計数し、その計数値
をフレーム本体４０の側面に設けられたデジタル
表示器上にデジタル表示している。

本実施例の装置に用いられる、エンコーダは、
フレーム本体４０に固定された第１及び第２の固
定板３０，３２と、これら第１及び第２の固定板
３０，３２の間に設けられスピンドル４６の移動
量に応じ回動する回転板１０と、を含む。

前記第１及び第２の固定板３０，３２は、ほぼ
ドーナツ型に形成され、その中央に設けられた挿
通穴３０ａ，３２ａにスピンドル４６が進退自在
に挿通された状態でフレーム本体４０の基台５２
に固定されている。

また、回転板１０もほぼドーナツ型に形成さ
れ、スピンドル４６の周囲に回動可能に設けられ
た回転円筒５４上に前記第１及び第２の固定板３
０，３２と対向するよう配置されている。

ここにおいて、回転円筒５４には、その内周に
係合ピン５６が設けられ、このピン５６がスピン
ドル４６の外周にその進退方向に沿つて設けられ
たキー溝５８に係合されている。

また、回転円筒５４のスピンドル軸方向変位を
阻止するためのスラストアンギユラコンタクトベ
アリング６０が設けられている。

従つて、シンブル５０を回転操作し、スピンド
ル４６を回転させながら図中Ｚで示す軸方向に進
退させると、ピン５６とキー溝５８との係合によ
り回転円筒５４がスピンドル軸方向に変位するこ
となく回転され、該スピンドル４６の変位量に応
じて回転板１０が第１及び第２の固定板３０，３
２との間に一定のクリアランスを保つたまま回転
されることになる。

従つて、実施例の測定装置によれば、矢印Ｙで
示す測定子４２の半径方向への変位量を、本発明
のエンコーダを用いて回転板１０の回転変位量と
して正確に検出し、この結果、ワークの各種内径
の測定を正確に行うことが可能となる。

また、前記実施例においては、本発明のエンコ
ーダを、ワークの内径測定用の測定装置に適用し
た場合を例にとり説明したが、本発明はこれに限
らず、マイクロメータ、ダイヤルゲージ、マイク
ロゲージ及びその他の測定装置に適用可能である
ことは言うまでもない。

［発明の効果］ 以上説明したように、本発明によれば、装置全
体を小型化しかつ高い検出精度で回転板の回転変
位置を検出することが可能な静電容量型エンコー
ダを得ることができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明に係る静電容量型エンコーダの
好適な実施例を示す説明図、第２図は第１図に示
すエンコーダの電極構造を示す説明図、第３図は
本発明のエンコーダを用いた測定装置の構造説明
図、第４図及び第５図は静電容量型エンコーダの
第１の前提技術を示す説明図、第６図及び第７図
は静電容量型エンコーダの第２の前提技術を示す
説明図である。 １０……回転板、１４Ａ……第１の送信電極、
１４Ｂ……第２の送信電極、１４ａ……単位電極
板、１４ｂ……単位電極板、２２……出力電極、
３０……第１の固定板、３２……第２の固定板、
３６Ａ，３６Ｂ……非シールド部、３８Ａ，３８
Ｂ……シールド部。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １ 本体に回転可能に設けられた回転板と、 この回転板を介して互いに対向配置するよう本
   体に固定された第１の固定板及び第２の固定板
   と、 を含み、 前記第１の固定板には、位相の異なる交流電圧
   が印加される複数の単位電極板を円周方向に沿つ
   て等間隔に輪状配列してなる第１の送信電極と、
   この第１の送信電極の内側にその単位電極板と
   180°位相の異なる交流電圧が印加される複数の単
   位電極板を円周方向に沿つて等間隔に輪状配列し
   てなる第２の送信電極と、が設けられ、 前記第２の固定板には、前記第１の送信電極及
   び第２の送信電極とに跨がつて対向配置された出
   力電極が設けられ、 前記回転板には、第１及び第２の送信電極の共
   通位相交流電圧が印加される所定の単位電極板の
   みを出力電極と静電結合させそれ以外の単位電極
   板をシールドするシールド部が設けられ、 回転板の回転により変化する出力電極の出力信
   号に基づき回転板の回転変位量を検出することを
   特徴とする静電容量型エンコーダ。