JPS59181574U - 電子顕微鏡 - Google Patents
電子顕微鏡Info
- Publication number
- JPS59181574U JPS59181574U JP7588283U JP7588283U JPS59181574U JP S59181574 U JPS59181574 U JP S59181574U JP 7588283 U JP7588283 U JP 7588283U JP 7588283 U JP7588283 U JP 7588283U JP S59181574 U JPS59181574 U JP S59181574U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- rotation
- ray tube
- cathode ray
- sample
- circuit
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図は本考案を走査電子顕微鏡に適用した実施例を示
す略図、第２図乃至第７図は第１図の装置の動作を説明
するための略図、第８図は本考案を透過電子顕微鏡に適
用した実施例装置を示す略図、第９図乃至第１１図は第
８図の装置の動作を説明するための略図である。 １・・・・・・電子線、２・・・・・・試料ステージ、
３・・・・・・試料、６・・・・・・走査電源、７・・
・・・・倍率制御回路、８・・・ ９・・・回転回路、
９・・・・・・倍率操作手段、１０・・・・・・回転操
作手段、１１．１２・・・・・・Ｘ、 Ｙモータ、１３
・・・・・・視野移動操作手段、１４・・・・・・回転
回路、１５・・・・・・位置表示用陰極線管、１６・・
・・・・表示回路、１９・・・・・・対物レンズ、２０
・・・・・・中間レンズ、２１・・・・・・投影レンズ
、２２・・・・・・螢光板、２３・・・・・・結像レン
ズ電源、２５・・・・・・回転検出回路。 第８図 １ ２え −−−第１０図 −第９図 ＼）Ｘ″ ］ Ｌ−、）７
す略図、第２図乃至第７図は第１図の装置の動作を説明
するための略図、第８図は本考案を透過電子顕微鏡に適
用した実施例装置を示す略図、第９図乃至第１１図は第
８図の装置の動作を説明するための略図である。 １・・・・・・電子線、２・・・・・・試料ステージ、
３・・・・・・試料、６・・・・・・走査電源、７・・
・・・・倍率制御回路、８・・・ ９・・・回転回路、
９・・・・・・倍率操作手段、１０・・・・・・回転操
作手段、１１．１２・・・・・・Ｘ、 Ｙモータ、１３
・・・・・・視野移動操作手段、１４・・・・・・回転
回路、１５・・・・・・位置表示用陰極線管、１６・・
・・・・表示回路、１９・・・・・・対物レンズ、２０
・・・・・・中間レンズ、２１・・・・・・投影レンズ
、２２・・・・・・螢光板、２３・・・・・・結像レン
ズ電源、２５・・・・・・回転検出回路。 第８図 １ ２え −−−第１０図 −第９図 ＼）Ｘ″ ］ Ｌ−、）７
Claims (1)
- 試料をＸ、 Ｙ二方向へ移動させるＸ、 Ｙモータと、
前記試料に関する顕微鏡像の表示面における横縦方向Ｈ
，Ｖへの視野移動を指定する視野移動操作手段と、前記
Ｘ、 Ｙ方向とＨ，Ｙ方向とがなす回転角に応じた信号
を出力する回転信号回路と、前記視野移動操作手段から
の信号に前記回転信号回路の出力に基づく回転補正を施
した制御信号を前記Ｘ、 Ｙモータに供給する回転回路
を備えた装置において、現在表示中の顕微鏡像の視野が
試料面内のどの位置に相当するかを表示するための位置
表示用陰極線管を設けると共に、該陰極線管画面内の表
示を前記回転信号回路の出力に応じて回転させるための
手段を設け４こことを特徴とする電子顕微鏡。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7588283U JPS59181574U (ja) | 1983-05-20 | 1983-05-20 | 電子顕微鏡 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7588283U JPS59181574U (ja) | 1983-05-20 | 1983-05-20 | 電子顕微鏡 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59181574U true JPS59181574U (ja) | 1984-12-04 |
Family
ID=30205942
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7588283U Pending JPS59181574U (ja) | 1983-05-20 | 1983-05-20 | 電子顕微鏡 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59181574U (ja) |
-
1983
- 1983-05-20 JP JP7588283U patent/JPS59181574U/ja active Pending
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